JPS5855643B2 - カンシツソシ - Google Patents
カンシツソシInfo
- Publication number
- JPS5855643B2 JPS5855643B2 JP50103448A JP10344875A JPS5855643B2 JP S5855643 B2 JPS5855643 B2 JP S5855643B2 JP 50103448 A JP50103448 A JP 50103448A JP 10344875 A JP10344875 A JP 10344875A JP S5855643 B2 JPS5855643 B2 JP S5855643B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- mol
- moisture
- present
- sensing element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は酸化物半導体からなり、湿度を電気抵抗の変化
として検出する感湿素子に関する。
として検出する感湿素子に関する。
周知のよう（こ一般に金属酸化物（Ｆｅ３Ｏ４。
Ｆｅ２Ｏ３＋ Ａｌ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３等）は吸水性に
すぐれているため感湿素子として利用できる。
すぐれているため感湿素子として利用できる。
すなわちこの種の金属酸化物の微粉末を一対の対向電極
を有する無機質絶縁基板の表面に被着してなる層が、湿
度の変化に応じてその電気抵抗が大幅ｌこ変化すること
を利用したものである。
を有する無機質絶縁基板の表面に被着してなる層が、湿
度の変化に応じてその電気抵抗が大幅ｌこ変化すること
を利用したものである。
上記金属酸化物の微粉末を利用した感湿素子は物理的、
化学的熱均に安定であるが、一般に固有抵抗が高いため
吸脱湿現象によって多少の抵抗変化があってもこれを電
気的ｌこ高精度（こ検出することはむずかしい。
化学的熱均に安定であるが、一般に固有抵抗が高いため
吸脱湿現象によって多少の抵抗変化があってもこれを電
気的ｌこ高精度（こ検出することはむずかしい。
そこで固有抵抗を低下させる試みがいくつかなされてお
り、たとえばアルカリ金属酸化物（Ｌｉ２Ｏ、Ｋ２Ｏ、
Ｎｏ２０等）を添加含有せしめることが行なわれている
。
り、たとえばアルカリ金属酸化物（Ｌｉ２Ｏ、Ｋ２Ｏ、
Ｎｏ２０等）を添加含有せしめることが行なわれている
。
しかしながら、この場合、湿度サイクルの履歴が著るし
く大きくなる欠点があるばかりでなく、再現性が悪かっ
たり経時変化も太きいなどの欠点がある。
く大きくなる欠点があるばかりでなく、再現性が悪かっ
たり経時変化も太きいなどの欠点がある。
従って、本発明は上記欠点の除去された感湿素子を提供
しようとするものである。
しようとするものである。
本発明の感湿素子は、Ｌｉ２ＭｅＭｎ３０Ｂからなる焼
結体に少なくとも一対の電極を設けてなる感湿素子及び
Ｌ １２ Ｍ ｅ Ｍ ｎ ３０ Ｂ ５モル％以上
（ただし１００モル％を除く）、Ｚｎ０９５モル％以下
（たし０モル％を除く）の組成を採る焼結体に少なくと
も一対の電極を設けてなる感湿素子である（ただし、Ｍ
ｅはＣｏ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｎｉ、Ｚｎのうち少なくとも一
種）。
結体に少なくとも一対の電極を設けてなる感湿素子及び
Ｌ １２ Ｍ ｅ Ｍ ｎ ３０ Ｂ ５モル％以上
（ただし１００モル％を除く）、Ｚｎ０９５モル％以下
（たし０モル％を除く）の組成を採る焼結体に少なくと
も一対の電極を設けてなる感湿素子である（ただし、Ｍ
ｅはＣｏ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｎｉ、Ｚｎのうち少なくとも一
種）。
即ち本発明の感湿素子は炭酸コバルト、酸化銅、炭酸マ
グネシウム、酸化ニッケル、酸化曲鉛のうち少なくとも
一種と、炭酸ノチウム、炭酸マンガンを組成分とし焼結
してなる疑スピネル構造をもつＬ ｉ２ Ｍ ｅ Ｍ
ｎ ３０ ｇを必須成分とし、要すれば酸化亜鉛を混合
し、プレス成形し焼結して得られたものを本体としてな
るものである。
グネシウム、酸化ニッケル、酸化曲鉛のうち少なくとも
一種と、炭酸ノチウム、炭酸マンガンを組成分とし焼結
してなる疑スピネル構造をもつＬ ｉ２ Ｍ ｅ Ｍ
ｎ ３０ ｇを必須成分とし、要すれば酸化亜鉛を混合
し、プレス成形し焼結して得られたものを本体としてな
るものである。
本発明において主成分をなすＬｉＭｅＯ粉末は、例えば
Ｌｉ２ＣＯ３２ＭｅＯ（Ｍｅ＝Ｃｏ、Ｃｕ２ＭｇＮｉ、
Ｚｎのうち少なくとも一種）およびＭ ｎ ＣＯ３を１
：１：３のモル比に正確ｌこ秤堆し、これをボールミル
ｌこよってよく混合し、７００°Ｃ程度の温度で１時間
前後予備焼成し、粉砕すること（こよって容易（こ得ら
れる。
Ｌｉ２ＣＯ３２ＭｅＯ（Ｍｅ＝Ｃｏ、Ｃｕ２ＭｇＮｉ、
Ｚｎのうち少なくとも一種）およびＭ ｎ ＣＯ３を１
：１：３のモル比に正確ｌこ秤堆し、これをボールミル
ｌこよってよく混合し、７００°Ｃ程度の温度で１時間
前後予備焼成し、粉砕すること（こよって容易（こ得ら
れる。
しかして本発明の感湿素子は、上記Ｌｉ２ＭｅＭｎ３０
８粉末のみまたはＬ ｉ２ Ｍ ｅ Ｍ １３０ Ｂ粉
末にＺｎｏ粉末を添加混合したものを原料としてプレス
成形、焼成して得ることができる。
８粉末のみまたはＬ ｉ２ Ｍ ｅ Ｍ １３０ Ｂ粉
末にＺｎｏ粉末を添加混合したものを原料としてプレス
成形、焼成して得ることができる。
しかしＺｎＯ成分を添加混合する場合には、その組成比
は９５モル％以下に選択する必要がある。
は９５モル％以下に選択する必要がある。
その理由はＺｎＯの組成比が９５モル％以上を占めると
湿度に対する抵抗値の変化幅が少さくなり実用上適さな
くなるからである。
湿度に対する抵抗値の変化幅が少さくなり実用上適さな
くなるからである。
次に本発明ｌこついて具体例を挙げて説明する。
先ずＬｉ２ＣＯ３，ＭｅＯ（Ｍｅ＝Ｃｏ 、Ｃｕ 、Ｍ
ｇ。
ｇ。
Ｎｉ、Ｚｎのうち少なくとも一種）およびＭｕＣＯ３を
モル比で１：１：３の組成比（こ正確に秤取し、ボール
ミル（こよってよく混合した。
モル比で１：１：３の組成比（こ正確に秤取し、ボール
ミル（こよってよく混合した。
しかる後この混合物を７００℃で１時間予備焼成を施し
てからボールミルによって粉砕してＬ ｉ２ＭｅＭｎｇ
０６ （Ｍ ｅＣｏ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｎｉ 、Ｚｎのうち
少なくとも一種）を得た。
てからボールミルによって粉砕してＬ ｉ２ＭｅＭｎｇ
０６ （Ｍ ｅＣｏ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｎｉ 、Ｚｎのうち
少なくとも一種）を得た。
かくして得たＬ ｉ２ Ｍ ｅ Ｍ ｎ ３０ Ｂ粉末
とＺｎＯ粉末とを次表に示す如き組成比（モル％）に選
び混合し、たりして比較例を含め４８種の原料を調製用
意シタ。
とＺｎＯ粉末とを次表に示す如き組成比（モル％）に選
び混合し、たりして比較例を含め４８種の原料を調製用
意シタ。
次いで上記原料粉末にポリビニルアルコ−・・（粘結剤
、１）を加え１トン／−の圧力でプレス成形してから’
８００〜１３００℃の温度で２時間加熱焼結して厚さ１
間、径２０ｍｍの円板形焼結体を得た。
、１）を加え１トン／−の圧力でプレス成形してから’
８００〜１３００℃の温度で２時間加熱焼結して厚さ１
間、径２０ｍｍの円板形焼結体を得た。
この円板形焼結体の主面に鉄ペーストを焼付は一対の電
極を設ける一方リード線を半田付けして、感湿素子をそ
れぞれ作成した。
極を設ける一方リード線を半田付けして、感湿素子をそ
れぞれ作成した。
第１図は上記感湿素子を平面的に示したもので、１は焼
結体を２，２′は電極を、３，３′はリード線を示す。
結体を２，２′は電極を、３，３′はリード線を示す。
上記によってそれぞれ得た感湿素子について相対湿度と
抵抗値との関係を表２に示す。
抵抗値との関係を表２に示す。
第２図に実施例３１の相対湿度−抵抗値特性を示す。
湿度サイクル（こよるずれが認められず安定した特性を
示した。
示した。
第２図（こは参考までに従来例としてマグネタイトコロ
イド型の場合も併せて示した。
イド型の場合も併せて示した。
さらに実施例２１，３３，３’Ｈこついて４０°Ｃ相対
湿度９５％下１０００Ｈｒ放置し、特性（抵抗値−湿度
関係）の経時変化を求めたところ、第３図に示す如くで
あった。
湿度９５％下１０００Ｈｒ放置し、特性（抵抗値−湿度
関係）の経時変化を求めたところ、第３図に示す如くで
あった。
図からも明らかなように、本発明に係るＬｉ２ＭｅＭｎ
３０８系の感湿素子は抵抗値の変化がほとんどみられず
、経時（こ対しても安定している。
３０８系の感湿素子は抵抗値の変化がほとんどみられず
、経時（こ対しても安定している。
このよう（こ本発明に係る感湿素子は常ｌこ所要の特性
を示し、湿度サイクルによるずれもなく、且つ、湿度変
化に対する抵抗変化も大きいので、正確に湿度を測定し
うろことになるので、その製造の容易さ、取扱品さなど
の点と相俟って実用上多くの利点をもたらすものと云え
る。
を示し、湿度サイクルによるずれもなく、且つ、湿度変
化に対する抵抗変化も大きいので、正確に湿度を測定し
うろことになるので、その製造の容易さ、取扱品さなど
の点と相俟って実用上多くの利点をもたらすものと云え
る。
第１図は本発明に係る感湿素子の構成例を示す平面図、
第２図は本発明に係る感湿素子について相対湿度と抵抗
値との関係例を示す特性図、第３図は本発明ｌこ係る感
湿素子ｌこついての経時特性例を示す図である。
第２図は本発明に係る感湿素子について相対湿度と抵抗
値との関係例を示す特性図、第３図は本発明ｌこ係る感
湿素子ｌこついての経時特性例を示す図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｉ Ｌｉ２ＭｅＭｎ３０８ （Ｍｅ＝Ｃｏ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｎｉ 、Ｚｎから選ばれた
少なくとも一種）からなる焼結体に少なくとも一対の電
極を具備してなる感湿素子。 ２ Ｌ ｉ２ Ｍ ｅ Ｍ ｎ ３０ ｇ（Ｍｅ＝Ｃ
ｏ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｎｉ 、Ｚｎから選ばれた少なくとも
一種）５モル％以上（ただし１００モル％を除く）、Ｚ
ｎ０９５モル％以下（たたし０モル％を除く）の組成を
採る焼結体に少なくとも一対の電極を具備してなる感湿
素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50103448A JPS5855643B2 (ja) | 1975-08-28 | 1975-08-28 | カンシツソシ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50103448A JPS5855643B2 (ja) | 1975-08-28 | 1975-08-28 | カンシツソシ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5228388A JPS5228388A (en) | 1977-03-03 |
| JPS5855643B2 true JPS5855643B2 (ja) | 1983-12-10 |
Family
ID=14354299
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50103448A Expired JPS5855643B2 (ja) | 1975-08-28 | 1975-08-28 | カンシツソシ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5855643B2 (ja) |
-
1975
- 1975-08-28 JP JP50103448A patent/JPS5855643B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5228388A (en) | 1977-03-03 |
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