JPS5855642B2 - カンシツソシ - Google Patents
カンシツソシInfo
- Publication number
- JPS5855642B2 JPS5855642B2 JP50102067A JP10206775A JPS5855642B2 JP S5855642 B2 JPS5855642 B2 JP S5855642B2 JP 50102067 A JP50102067 A JP 50102067A JP 10206775 A JP10206775 A JP 10206775A JP S5855642 B2 JPS5855642 B2 JP S5855642B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- moisture
- present
- sensing element
- powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Landscapes
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は酸化物半導体からなり、湿度を電気抵抗の変化
として検出する感湿素子に関する。
として検出する感湿素子に関する。
周知のように一般に金属酸化物（Ｆｅ０４ 、Ｆｅ２０
３ＡＩ ２０３ ＊ Ｃｒ２０３等）は吸水性にすぐれ
ているため感湿素子として利用できる。
３ＡＩ ２０３ ＊ Ｃｒ２０３等）は吸水性にすぐれ
ているため感湿素子として利用できる。
すなわちこの種の金属酸化物の微粉末を一対の対向電極
を有する無機質絶縁基板の表面に被着してなる層が、湿
度の変化に応じてその電気抵抗が大幅に変化することを
利用したものである。
を有する無機質絶縁基板の表面に被着してなる層が、湿
度の変化に応じてその電気抵抗が大幅に変化することを
利用したものである。
上記金属酸化物の微粉末を利用した感湿素子は物理的、
化学的、熱均に安定であるが、一般に固有抵抗が高いた
め吸脱湿現象によって多少の抵抗変化があってもこれを
電気的に高精度に検出することはむずかしい。
化学的、熱均に安定であるが、一般に固有抵抗が高いた
め吸脱湿現象によって多少の抵抗変化があってもこれを
電気的に高精度に検出することはむずかしい。
そこで固有抵抗を低下させる試みがいくつかなされてお
り、たとえばアルカリ金属酸化物（Ｌ １２０− Ｋ２
Ｏ−Ｎｏ ２０等）を添加含有せしめることが行なわれ
ている。
り、たとえばアルカリ金属酸化物（Ｌ １２０− Ｋ２
Ｏ−Ｎｏ ２０等）を添加含有せしめることが行なわれ
ている。
しかしながら、この場合、湿度サイクルの履歴が著るし
く大きくなる欠点があるばかりでなく、再現性が悪かっ
たり経時変化も大きいなどの欠点がある。
く大きくなる欠点があるばかりでなく、再現性が悪かっ
たり経時変化も大きいなどの欠点がある。
従って、本発明は上記欠点の除去された感湿素子を提供
しようとするものである。
しようとするものである。
本発明の感湿素子は、Ｌ ｔ ２Ｍ ｅ Ｔ ｉ３０ｇ
からなる焼結体に少なくとも一対の電極を設けてなる感
湿素子及びＬｉ２ＭｅＴｉ３０ｇ５モル以上（たたし１
００モル幅を除く）、Ｚ ｎ ０９５モル係以下（ただ
し０モル％を除く）の組成を採る焼結体に少なくとも一
対の電極を設けてなる感湿素子である（ただし、Ｍｅは
ＣｄｅＣｏ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｚｎのうち少なくとも
一種）。
からなる焼結体に少なくとも一対の電極を設けてなる感
湿素子及びＬｉ２ＭｅＴｉ３０ｇ５モル以上（たたし１
００モル幅を除く）、Ｚ ｎ ０９５モル係以下（ただ
し０モル％を除く）の組成を採る焼結体に少なくとも一
対の電極を設けてなる感湿素子である（ただし、Ｍｅは
ＣｄｅＣｏ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｚｎのうち少なくとも
一種）。
即ち本発明の感湿素子は酸化カドミニウム、炭酸コバル
ト、酸化銅、炭酸マグネシウム、炭酸マンガン、酸化亜
鉛のうち少なくとも一種と、炭酸リチウム、酸化チタン
を組成分として焼結してなる疑スピネル構造をもつＬ
ｉ ２ＭｅＴ ｉ ３０Ｂを必須外とし、要すれば酸化
亜鉛を混合し、プレス成形して得られたものを本体とし
てなるものである。
ト、酸化銅、炭酸マグネシウム、炭酸マンガン、酸化亜
鉛のうち少なくとも一種と、炭酸リチウム、酸化チタン
を組成分として焼結してなる疑スピネル構造をもつＬ
ｉ ２ＭｅＴ ｉ ３０Ｂを必須外とし、要すれば酸化
亜鉛を混合し、プレス成形して得られたものを本体とし
てなるものである。
本発明において主成分をなすＬ ｉ ２Ｍｅ Ｔ ｉ
３０ｇ粉末は例えばＬｉ２ＣＯ３，Ｍｅ Ｏ（Ｍｅ ＝
Ｃｄ 、 Ｃｏ 。
３０ｇ粉末は例えばＬｉ２ＣＯ３，Ｍｅ Ｏ（Ｍｅ ＝
Ｃｄ 、 Ｃｏ 。
Ｃｕ 、Ｍｇ、Ｍｎ Ｚｎのうち少なくとも一種）およ
びＴｉＯ２を１：１：３のモル比に正確に秤取し、これ
をボールミルによってよく混合し、７００℃程度の温度
で１時間前後予備焼成し、粉砕することによって容易に
得られる。
びＴｉＯ２を１：１：３のモル比に正確に秤取し、これ
をボールミルによってよく混合し、７００℃程度の温度
で１時間前後予備焼成し、粉砕することによって容易に
得られる。
しかして本発明の感湿素子は、上記Ｌ ｉ２Ｍｅ Ｔ
ｔ ３０Ｂ粉末のみまたはＬ ｉ ２ＭｅＴ １３０ｇ
粉末にＺｎＯ粉末を添加混合したものを原料としてプレ
ス成形、焼成して得ることができる。
ｔ ３０Ｂ粉末のみまたはＬ ｉ ２ＭｅＴ １３０ｇ
粉末にＺｎＯ粉末を添加混合したものを原料としてプレ
ス成形、焼成して得ることができる。
しかしＺｎＯ成分を添加混合する場合には、その組成比
は９５モル幅以下に選択する必要がある。
は９５モル幅以下に選択する必要がある。
その理由はＺｎＯの組成比が９５モル％以上を占めると
湿度に対する抵抗値の変化幅が小さくなり実用上適さな
くなるからである。
湿度に対する抵抗値の変化幅が小さくなり実用上適さな
くなるからである。
次に本発明について具体例を挙げて説明する。
先ずＬｉ２ＣＯ３，ＭｅＯ（Ｍｅ＝Ｃｄ 、Ｃｏ 、Ｃ
ｕ 。
ｕ 。
Ｍｇ 、Ｍｎ 、Ｚｎのうち少なくとも一種）およびＴ
ｉＯ２をモル比で１：１：３の組成比に正確に秤取し、
ボールミルによってよく混合した。
ｉＯ２をモル比で１：１：３の組成比に正確に秤取し、
ボールミルによってよく混合した。
しかる後この混合物を７００℃で１時間予備焼成を施し
てからボールミルによって粉砕してＬｔ ２ＭｅＴｉ３
０Ｂ（Ｍｅ＝Ｃｄ、Ｃｏ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｚｎのう
ち少なくとも一種）を得た。
てからボールミルによって粉砕してＬｔ ２ＭｅＴｉ３
０Ｂ（Ｍｅ＝Ｃｄ、Ｃｏ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｚｎのう
ち少なくとも一種）を得た。
かくして得たＬｉ２ＭｅＴｉ３０ｇ粉末とＺｎＯ粉末と
を次表に示す如き組成比（モル幅）に選び混合したりし
て比較例を含め５７種の原料を調製用意した。
を次表に示す如き組成比（モル幅）に選び混合したりし
て比較例を含め５７種の原料を調製用意した。
次いで上記原料粉末にポリビニルアルコール、（粘結剤
）を加え１トン／ｃｓｔの圧力でプレス成形してから８
００〜１３００℃の温度で２時間加熱焼結して厚さ１山
、径２０順の円板形焼結体を得た。
）を加え１トン／ｃｓｔの圧力でプレス成形してから８
００〜１３００℃の温度で２時間加熱焼結して厚さ１山
、径２０順の円板形焼結体を得た。
この円板形焼結体の主面に銀ペーストを焼付は一対の電
極を設ける一方リード線を半田付けして感湿素子をそれ
ぞれ作成した。
極を設ける一方リード線を半田付けして感湿素子をそれ
ぞれ作成した。
第１図は上記感湿素子を平面的に示したもので１は焼結
体を２．２′は電極を３，３′はリード線を示す。
体を２．２′は電極を３，３′はリード線を示す。
上記によってそれぞれ得た感湿素子について相対湿度と
抵抗値との関係を表２．に示す。
抵抗値との関係を表２．に示す。
第２図に実施例３５の相対湿度−抵抗値特性を示す。
湿度サイクルによるずれが認められず、安定した特性を
示した。
示した。
第２図には参考までに従来例としてマグネタイトコロイ
ド型の場合も併せて示した。
ド型の場合も併せて示した。
さらに実施例２８．４２．４９について４０℃相対湿度
９５％下１０００Ｈｒ放置し、特性（抵抗値−湿度関係
）の経時変化を求めたところ、第３図に示す如くであっ
た。
９５％下１０００Ｈｒ放置し、特性（抵抗値−湿度関係
）の経時変化を求めたところ、第３図に示す如くであっ
た。
図からも明らかなように本発明に係るＬ ｉ２ＭｅＴ
１３０ｇ系の感湿素子は抵抗値の変化がほとんどみられ
ず経時に対しても安定している。
１３０ｇ系の感湿素子は抵抗値の変化がほとんどみられ
ず経時に対しても安定している。
このように本発明に係る感湿素子は常に所要の特性を示
し、湿度サイクルによるずれもなく且つ、湿度変化に対
する抵抗変化も大きいので、正確に湿度を測定しうろこ
とになるので、その製造の容易さ、取扱品さなどの点と
相俟って実用上多くの利点をもたらすものと云える。
し、湿度サイクルによるずれもなく且つ、湿度変化に対
する抵抗変化も大きいので、正確に湿度を測定しうろこ
とになるので、その製造の容易さ、取扱品さなどの点と
相俟って実用上多くの利点をもたらすものと云える。
第１図は本発明に係る感湿素子の構成例を示す平面図、
第２図は本発明に係る感湿素子について相対湿度と抵抗
値との関係を示す特性図、第３図は本発明に係る感湿素
子についての経時特性を示す図である。
第２図は本発明に係る感湿素子について相対湿度と抵抗
値との関係を示す特性図、第３図は本発明に係る感湿素
子についての経時特性を示す図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｉ Ｌ ｉ２ＭｅＴ １ ａｓｓ （Ｍｅ＝Ｃｄ、Ｃｏ、ＣｕｔＭｇｔＭｎ、Ｚｎから選ば
れた少なくとも一種）からなる焼結体に少なくとも一対
の電極を具備してなる感湿素子。 ２ Ｌ ｉ２Ｍｅ Ｔ ｔ ３０ Ｂ （Ｍｅ＝Ｃｄ、Ｃｏ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｚｎから選ば
れた少なくとも一種）５モル２以上（ただし１００モル
％を除く）、Ｚｎ０９５％以下（ただし０モル％を除く
）の組ｇ＋採る焼結体に少なくとも一対の電極を具備し
てなる感湿素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50102067A JPS5855642B2 (ja) | 1975-08-25 | 1975-08-25 | カンシツソシ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50102067A JPS5855642B2 (ja) | 1975-08-25 | 1975-08-25 | カンシツソシ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5226293A JPS5226293A (en) | 1977-02-26 |
| JPS5855642B2 true JPS5855642B2 (ja) | 1983-12-10 |
Family
ID=14317407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50102067A Expired JPS5855642B2 (ja) | 1975-08-25 | 1975-08-25 | カンシツソシ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5855642B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5236788A (en) * | 1975-09-18 | 1977-03-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Porcelain composition for humidity sensig resister |
-
1975
- 1975-08-25 JP JP50102067A patent/JPS5855642B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5226293A (en) | 1977-02-26 |
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