JPS5886409A - 寸法測定装置における温度補正方法 - Google Patents
寸法測定装置における温度補正方法Info
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- JPS5886409A JPS5886409A JP18604781A JP18604781A JPS5886409A JP S5886409 A JPS5886409 A JP S5886409A JP 18604781 A JP18604781 A JP 18604781A JP 18604781 A JP18604781 A JP 18604781A JP S5886409 A JPS5886409 A JP S5886409A
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、被測定物の寸法を計測すると同時に被測定物
の温度を計測し、計測された被測定物の温度に応じて計
測された寸法値を補正することによって被測定物の標準
温度における寸法を算出するようにしだ、寸法測定装置
における温度補正方法に関する。
の温度を計測し、計測された被測定物の温度に応じて計
測された寸法値を補正することによって被測定物の標準
温度における寸法を算出するようにしだ、寸法測定装置
における温度補正方法に関する。
一般にピストン等材質面で熱変化による寸法変位量が大
きく高精度な寸法管理が要求される被測定物においては
、その標準の寸法値が、予め定められた標準温度におけ
る寸法値として定められている。このため、ピストン等
の被測定物の寸法は加工直後の被測定物の温度が高い時
点で測定しても意味がなく、従来では、加工完了後の被
測定物を冷却槽等によって標準温度まで冷却してから被
測定物の寸法測定を行なうようにしていたが、このよう
にすると冷却槽等が必要となるだけでなく、被測定物が
標準温度になるまで測定を行なえないため、測定に多大
な時間がかかる問題があった。
きく高精度な寸法管理が要求される被測定物においては
、その標準の寸法値が、予め定められた標準温度におけ
る寸法値として定められている。このため、ピストン等
の被測定物の寸法は加工直後の被測定物の温度が高い時
点で測定しても意味がなく、従来では、加工完了後の被
測定物を冷却槽等によって標準温度まで冷却してから被
測定物の寸法測定を行なうようにしていたが、このよう
にすると冷却槽等が必要となるだけでなく、被測定物が
標準温度になるまで測定を行なえないため、測定に多大
な時間がかかる問題があった。
また、このような問題をなくすためには、被測定物の寸
法を測定する。と同時に被測定物の温度も測定し、この
測定された被測定物の湿度と、被測宝物の材質によって
決まる膨張係数とによって測定寸法を補正して標準温度
における寸法値を算出する方法も考えられる。しかしな
がら、一般の温度検出器は、温度検出器自体の熱容量等
によって決まる応答遅れがあり、温度検出器を被測定物
に接触させても温度検出器の温度は被測定物の温度と直
ぐには同じにならず、両者の温度差が実用上無視できる
ようになるには１０秒以上の時間を要する。このため、
かかる方法を用いても寸法測定に可成りの時間がかかる
問題は解決することができない。
法を測定する。と同時に被測定物の温度も測定し、この
測定された被測定物の湿度と、被測宝物の材質によって
決まる膨張係数とによって測定寸法を補正して標準温度
における寸法値を算出する方法も考えられる。しかしな
がら、一般の温度検出器は、温度検出器自体の熱容量等
によって決まる応答遅れがあり、温度検出器を被測定物
に接触させても温度検出器の温度は被測定物の温度と直
ぐには同じにならず、両者の温度差が実用上無視できる
ようになるには１０秒以上の時間を要する。このため、
かかる方法を用いても寸法測定に可成りの時間がかかる
問題は解決することができない。
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたもの
で、温度検出器の経時的な出力変化の割合を温度検出器
と被測定物との一間の温度差を表わすデータとして検出
し、この検出された変化割合のデータと温度検出器の出
力信号とによって被測定物の寸法測定値を補正すること
により、温度検出器と被測定物との間に温度差がある状
態でも、被測定物の温度に応じた正確な温度補正が行な
えるようにし、被測定物の寸法測定を短時間の内に完了
できるようにしたことを特徴とするものである。
で、温度検出器の経時的な出力変化の割合を温度検出器
と被測定物との一間の温度差を表わすデータとして検出
し、この検出された変化割合のデータと温度検出器の出
力信号とによって被測定物の寸法測定値を補正すること
により、温度検出器と被測定物との間に温度差がある状
態でも、被測定物の温度に応じた正確な温度補正が行な
えるようにし、被測定物の寸法測定を短時間の内に完了
できるようにしたことを特徴とするものである。
以下本発明を図面に基づいて説明する。第１図は、加工
後における被測定物の湿度変化と、加工直後の時刻ｔｏ
において被測定物に接触された温度検出器の温度変化と
金示すもので、被測定物の温度Ｔｗは、自然冷却によっ
てゆっくり低下して行き、温度検出器の温度７日は、温
度検出器と被測定物との間の温度差か大きい時刻ｔｏ付
近では急激に上昇し、両者の間の温度差が小さくなるに
従って単位時間Δを当りの上昇量ΔＴは次第に低下する
。そして、両者の温度が等しくなる時刻１．以降におい
ては、被測定物の温度ＴＶに追従して温度検出器の温度
Ｔｓもゆっくり低下して行く。
後における被測定物の湿度変化と、加工直後の時刻ｔｏ
において被測定物に接触された温度検出器の温度変化と
金示すもので、被測定物の温度Ｔｗは、自然冷却によっ
てゆっくり低下して行き、温度検出器の温度７日は、温
度検出器と被測定物との間の温度差か大きい時刻ｔｏ付
近では急激に上昇し、両者の間の温度差が小さくなるに
従って単位時間Δを当りの上昇量ΔＴは次第に低下する
。そして、両者の温度が等しくなる時刻１．以降におい
ては、被測定物の温度ＴＶに追従して温度検出器の温度
Ｔｓもゆっくり低下して行く。
この第１図からも明らかなように、温度検出器と被測定
物との間の温度差Ｔｄが大きな時刻ｔｏ付近においては
、単位時間Δを当りの温度検出器の温度上昇量ΔＴが大
きく、両者の間の温度差Ｔｄが小さくなるに従って単位
時間△を当りの温度上昇量ΔＴが小さくなること、すな
わち、温度検出器の単位時間当りの温度上昇量ΔＴの大
きさは、その時の温度検出器と被測定物との間の温度差
Ｔｄにほぼ比例することが分かる。
物との間の温度差Ｔｄが大きな時刻ｔｏ付近においては
、単位時間Δを当りの温度検出器の温度上昇量ΔＴが大
きく、両者の間の温度差Ｔｄが小さくなるに従って単位
時間△を当りの温度上昇量ΔＴが小さくなること、すな
わち、温度検出器の単位時間当りの温度上昇量ΔＴの大
きさは、その時の温度検出器と被測定物との間の温度差
Ｔｄにほぼ比例することが分かる。
本発明は、温度検出器を被測定物に接触させてから両者
の温度が等しくなる時刻ｔｌまでの間のある決められた
時刻Ｔｍにおいて、予め定められた長さの単位時間Δを
当りの温度検出器の温度変化量ΔＴをその出力信号の変
化量から検出し、これを温度検出器と被測定物との間の
温度差Ｔｄと見なして寸法測定値を、この温度変化量Δ
Ｔと、温度検出器によって検出された検出温度Ｔとによ
って補正するようにしたものである。
の温度が等しくなる時刻ｔｌまでの間のある決められた
時刻Ｔｍにおいて、予め定められた長さの単位時間Δを
当りの温度検出器の温度変化量ΔＴをその出力信号の変
化量から検出し、これを温度検出器と被測定物との間の
温度差Ｔｄと見なして寸法測定値を、この温度変化量Δ
Ｔと、温度検出器によって検出された検出温度Ｔとによ
って補正するようにしたものである。
すなわち、時刻ｔｍにおける温度検出器の温度をＴｓ０
、標準温度をＴｒ、時刻ｔｍから一定時間Δｔが経過す
るまでの温度検出器の温度変化量ΔＴｍとすると、標準
温度Ｔｒにおける被測定物の寸法Ｄｗ’は（１）式で計
算される。
、標準温度をＴｒ、時刻ｔｍから一定時間Δｔが経過す
るまでの温度検出器の温度変化量ΔＴｍとすると、標準
温度Ｔｒにおける被測定物の寸法Ｄｗ’は（１）式で計
算される。
ＤＷ’−ｗ ＤＷ（ｌ ＋ｔｘ （Ｔｓ ｌ−Ｔｒ ）
）−ΔＴｍＸＫ・・・（１）ここにおいて、ＤＷは時
刻ｔｍの近傍で測定された被測定物の測定寸法、αは被
測定物の材質によって決まる膨張係数であり、Ｋは実験
によって決められる補正係数である。
）−ΔＴｍＸＫ・・・（１）ここにおいて、ＤＷは時
刻ｔｍの近傍で測定された被測定物の測定寸法、αは被
測定物の材質によって決まる膨張係数であり、Ｋは実験
によって決められる補正係数である。
上記（１）式によって温度補正を行なうことにより、測
定寸法Ｄｗは、温度検出器の温度’ｒｓｌと標準温度Ｔ
ｒとの間の偏差だけでなく、寸法測定時における温度検
出器と被測定物との間の温度差Ｔｄｍによっても補正さ
れるため、温度検出器と被測定物との間に温度差があっ
ても被測定物の温度に応じた正確な補正が可能となる。
定寸法Ｄｗは、温度検出器の温度’ｒｓｌと標準温度Ｔ
ｒとの間の偏差だけでなく、寸法測定時における温度検
出器と被測定物との間の温度差Ｔｄｍによっても補正さ
れるため、温度検出器と被測定物との間に温度差があっ
ても被測定物の温度に応じた正確な補正が可能となる。
次に、上記方法によって温度補正を行なうようにした寸
法測定装置の実施例について説明する。
法測定装置の実施例について説明する。
第２図において５．１０はピストン等の被測定物Ｗの直
径寸法を測定する測定ヘッドで、被測定物Ｗおよびマス
クＭＬ、 ＭＳを選択的に載置する支持ペース１１上に
案内部材１２が立設され、被測定物ＷおよびマスクＭＬ
、 ＭＳの直径よりも間隔の広い互いに平行な一対の側
壁１２ａ、 １２ａと、この一対の側壁１２ａ。
径寸法を測定する測定ヘッドで、被測定物Ｗおよびマス
クＭＬ、 ＭＳを選択的に載置する支持ペース１１上に
案内部材１２が立設され、被測定物ＷおよびマスクＭＬ
、 ＭＳの直径よりも間隔の広い互いに平行な一対の側
壁１２ａ、 １２ａと、この一対の側壁１２ａ。
１２ａに連続するＶ字状の支持部１２ｂとを有する切欠
きが案内部材１２の一側面に刻設されている。そして、
支持ベース１１上に載置した被測定物Ｗもしくはマスタ
ＭＬ、 ＭＳの外周面を支持面１２ｂに当接することに
よって被測定物ＷもしくはマスクＭＬ、 ＭＳの位置決
めが行なわれる。
きが案内部材１２の一側面に刻設されている。そして、
支持ベース１１上に載置した被測定物Ｗもしくはマスタ
ＭＬ、 ＭＳの外周面を支持面１２ｂに当接することに
よって被測定物ＷもしくはマスクＭＬ、 ＭＳの位置決
めが行なわれる。
前記一対の側壁１２ａ、 １２ａの支持ベースｌｌ上に
位置決めされた被測定物Ｗの軸線を挾んで対向する位置
には、エアーノズル１３ａ、 １３ｂがそれぞれ穿設さ
れており、これらのエアーノズル１３ａ、１３ｂはそれ
ぞれ絞り１５ａ、 １５ｂを介して、エアー源１６から
供給される空気圧を一定圧力に減圧調整するレギュレー
タ１７の出力に接続されている。そして、エアーノズル
１３ａ、 １３ｂと絞り１５ａ、 １５ｂとの間には１
．エアーノズル１３ａ、 １３ｂの背圧からエア−ノズ
ル１３ａ、 １３’ｂと被測定物ＷもしくはマスクＭＬ
。
位置決めされた被測定物Ｗの軸線を挾んで対向する位置
には、エアーノズル１３ａ、 １３ｂがそれぞれ穿設さ
れており、これらのエアーノズル１３ａ、１３ｂはそれ
ぞれ絞り１５ａ、 １５ｂを介して、エアー源１６から
供給される空気圧を一定圧力に減圧調整するレギュレー
タ１７の出力に接続されている。そして、エアーノズル
１３ａ、 １３ｂと絞り１５ａ、 １５ｂとの間には１
．エアーノズル１３ａ、 １３ｂの背圧からエア−ノズ
ル１３ａ、 １３’ｂと被測定物ＷもしくはマスクＭＬ
。
ＭＳと外周面との間の隙間をそれぞれ検出する圧力検出
器１８ａ、 １８ｂが接続されている。
器１８ａ、 １８ｂが接続されている。
一方、前記案内部材１２上には、支持ベース１１上に位
置決めされた被測定物Ｗの外周面に当接して被測定物Ｗ
の温度を測定するサーミスタ等の温度検出器２０が配設
され、支持ベース１１上に位置決めされた被１定物Ｗの
外周面に所定の押圧力で当接するようスプリング２１に
よって弾性力が付与されている。
置決めされた被測定物Ｗの外周面に当接して被測定物Ｗ
の温度を測定するサーミスタ等の温度検出器２０が配設
され、支持ベース１１上に位置決めされた被１定物Ｗの
外周面に所定の押圧力で当接するようスプリング２１に
よって弾性力が付与されている。
前記圧力検出器１８ａ、 １８ｂの出力および温度検出
器２０の出力はマルチプレクサ３０を介してＡＤ変換器
３１に供給され、圧力検出器１８ａ、 １８ｂの出力と
温度検出器２０の出力とが選択的にデジタル信号に変換
されてコンピュータ３２に供給されるようになっている
。このコンピュータ３２は、被測定物の標準寸法よりも
径の大きな大径マスタＭＬと、標準寸法よりも径の小さ
な小径マスクＭｓとによってマスク合せをし、これを基
準として被測定物Ｗの寸法を測定するもので、メモリ３
３、寸法表示用の表示器３５、大径マスタＭＬおよび小
径マスクＭＳの寸法取、Ｄｍｓ 、被測定物Ｗの膨張係
数ａ１補正係数にの値をそれぞれ設定するデジタルスイ
ッチＤＳＬ〜ＤＳ４が接続されている。
器２０の出力はマルチプレクサ３０を介してＡＤ変換器
３１に供給され、圧力検出器１８ａ、 １８ｂの出力と
温度検出器２０の出力とが選択的にデジタル信号に変換
されてコンピュータ３２に供給されるようになっている
。このコンピュータ３２は、被測定物の標準寸法よりも
径の大きな大径マスタＭＬと、標準寸法よりも径の小さ
な小径マスクＭｓとによってマスク合せをし、これを基
準として被測定物Ｗの寸法を測定するもので、メモリ３
３、寸法表示用の表示器３５、大径マスタＭＬおよび小
径マスクＭＳの寸法取、Ｄｍｓ 、被測定物Ｗの膨張係
数ａ１補正係数にの値をそれぞれ設定するデジタルスイ
ッチＤＳＬ〜ＤＳ４が接続されている。
次にかかる寸法測定装置の動作を説明する。まず、被測
定物の寸法測定に先立って、マスク合せを行なうため、
作業者は大径マスクＭＬを測定ヘッド１０に装着してス
イッチＳＷＩを押圧し、この後、小径マスクＭＳを測定
ヘッド１０に装着してスイッチＳＷ２を押圧する。スイ
ッチＳＷＩもしくはＳＷ２が押圧されると、コンピュー
タ３２は閃絡のマスタ合せ処理ルーチンを実行し、大径
マスタＭＬ測定時においては、圧力検出器１８ａ、 １
８ｂによってそれぞれ測定されたエアーノズル１３ａ、
１３ｂの背圧Ｐａ、 Ｐｂの合計値を大径マスタ測定
圧ｐｚとして記憶し、小径マスクＭＳ測定時においては
、圧力検出器１８ａ。
定物の寸法測定に先立って、マスク合せを行なうため、
作業者は大径マスクＭＬを測定ヘッド１０に装着してス
イッチＳＷＩを押圧し、この後、小径マスクＭＳを測定
ヘッド１０に装着してスイッチＳＷ２を押圧する。スイ
ッチＳＷＩもしくはＳＷ２が押圧されると、コンピュー
タ３２は閃絡のマスタ合せ処理ルーチンを実行し、大径
マスタＭＬ測定時においては、圧力検出器１８ａ、 １
８ｂによってそれぞれ測定されたエアーノズル１３ａ、
１３ｂの背圧Ｐａ、 Ｐｂの合計値を大径マスタ測定
圧ｐｚとして記憶し、小径マスクＭＳ測定時においては
、圧力検出器１８ａ。
１８ｂによってそれぞれ測定されたエアーノズ／Ｌ’Ｌ
３ａ。
３ａ。
１３ｂの背圧Ｐａ、 Ｐｂの合計値を小径マスク測定圧
Ｐ８として記憶する。なお、測定圧ＰＡ、 Ｐｓが標準
値から一定量以上ずれている場合には異常として表示さ
れるようになっている。
Ｐ８として記憶する。なお、測定圧ＰＡ、 Ｐｓが標準
値から一定量以上ずれている場合には異常として表示さ
れるようになっている。
一方、被測定物Ｗの測定時には、被測定物Ｗを測定ヘッ
ド１０に取付けた後、押釦スイッチＳＷ３を押圧する。
ド１０に取付けた後、押釦スイッチＳＷ３を押圧する。
これにより、コンピュータ３２は第３図に示す処理の実
行を開始し、ステップ（４０’）において一定時間ｔｃ
だけ待期した後、ステップ（４１）において温度検出器
２０の出力を被測定物Ｗの検出温度Ｔｓ１として検出し
て記憶し、この後、ステップ（４ｚ）において単位時間
Δｔだけ再び待期した後、ステップ（４３）へ移行して
、圧力検出器１８ａ、１８ｂによってそれぞれ検出され
たエアーノズル１３ａ。
行を開始し、ステップ（４０’）において一定時間ｔｃ
だけ待期した後、ステップ（４１）において温度検出器
２０の出力を被測定物Ｗの検出温度Ｔｓ１として検出し
て記憶し、この後、ステップ（４ｚ）において単位時間
Δｔだけ再び待期した後、ステップ（４３）へ移行して
、圧力検出器１８ａ、１８ｂによってそれぞれ検出され
たエアーノズル１３ａ。
１３ｂの背圧Ｐ＆、 Ｐｂと温度検出器２０によって検
出された被測定物Ｗの検出温度Ｔ ｓ ２とを読込んで
、ステップ（４５）以降の演算ルーチンを実行する。
出された被測定物Ｗの検出温度Ｔ ｓ ２とを読込んで
、ステップ（４５）以降の演算ルーチンを実行する。
ここにおいて、前記一定時間ｔｏは、温度検出器２０が
被測定物Ｗに接触してから、両者の温度が等しくなるの
に要する時間の１／１０〜１１５程度に設定され、前記
単位時間Δｔは、例えば０．１秒程度に設定されている
。
被測定物Ｗに接触してから、両者の温度が等しくなるの
に要する時間の１／１０〜１１５程度に設定され、前記
単位時間Δｔは、例えば０．１秒程度に設定されている
。
上記の処理が完了すると、ステップ（４５）に移行し、
先ず最初に、前記ステップ（４３）で読込まれたエアー
ノズル１３ａ、 １３ｂの背圧Ｐａ、 Ｐｂの合計値を
被測定物Ｗ測定時の背圧Ｐｗとして算出する。
先ず最初に、前記ステップ（４３）で読込まれたエアー
ノズル１３ａ、 １３ｂの背圧Ｐａ、 Ｐｂの合計値を
被測定物Ｗ測定時の背圧Ｐｗとして算出する。
そして、これに続くステップ（４６〕において、次の（
２）式を用い、被測定物Ｗの直径寸法Ｄｗを演算する。
２）式を用い、被測定物Ｗの直径寸法Ｄｗを演算する。
この（２）式は、第４図に示すように、エアーノズル１
３ａ、 １３ｂの背圧の合計値Ｐと測定寸法りとの関係
は通常の測定領域では直線的な関係にあることを利用し
たものであり、大径マスクＭＬの寸法値Ｄｍｊおよび小
径マスクＭｅの寸法値Ｉ＋ｍｓの値としてはデジタルス
イッチＤＳＬ、 ＤＳ２に設定された値が使用され、大
径マスタ測定圧Ｐｔと小径マスタ測定圧Ｐｓの値として
はマスク合わせ時に記憶した値が使用される。
３ａ、 １３ｂの背圧の合計値Ｐと測定寸法りとの関係
は通常の測定領域では直線的な関係にあることを利用し
たものであり、大径マスクＭＬの寸法値Ｄｍｊおよび小
径マスクＭｅの寸法値Ｉ＋ｍｓの値としてはデジタルス
イッチＤＳＬ、 ＤＳ２に設定された値が使用され、大
径マスタ測定圧Ｐｔと小径マスタ測定圧Ｐｓの値として
はマスク合わせ時に記憶した値が使用される。
ステップ（４７ン、（４Ｂ）は、ステップ（４６）にて
算出された被測定物Ｗの寸法値Ｄｗを、温度検出器２０
によって検出された被測定物Ｗの温度Ｔｓ２と、単位時
間Δｔの間における温度検出器２０の温度変化△’ｒｍ
とによって補正し、これによって標準湿度Ｔｒにおける
被測定物Ｗの寸法ＤＷＪを演算するステップであり、最
初のステップ（４７）では、ステップ（４１）とステッ
プ（４３）において読込んだ温度検出器２０による温度
検出値ＴＪ、Ｔｓ２の偏差から単位時間Δを当りの温度
検出器２０の温度変化量ΔＴｍを演算する。
算出された被測定物Ｗの寸法値Ｄｗを、温度検出器２０
によって検出された被測定物Ｗの温度Ｔｓ２と、単位時
間Δｔの間における温度検出器２０の温度変化△’ｒｍ
とによって補正し、これによって標準湿度Ｔｒにおける
被測定物Ｗの寸法ＤＷＪを演算するステップであり、最
初のステップ（４７）では、ステップ（４１）とステッ
プ（４３）において読込んだ温度検出器２０による温度
検出値ＴＪ、Ｔｓ２の偏差から単位時間Δを当りの温度
検出器２０の温度変化量ΔＴｍを演算する。
そして、ステップ（４８）に移行すると、前記ステップ
（４６）で演算された寸法値ＤＷ、デジタルスイッチＤ
Ｓ３に設定された被測定物Ｗの膨張係数α、ステップ（
４３）で読込んだ温度測定値ＴＥ１２、標準温度Ｔｒ、
ステップ（４７）で演算された単位時間△を当りの温度
変化量△Ｔｍ、デジタルスイッチＤＳ４に設定された補
正係数にの値を前記（１）式に代入して標準温度Ｔｒに
おける被測定物Ｗの寸法値Ｄｗ を計算する。これによ
り被測定物Ｗの標準温度Ｔｒにおける寸法値ＤＷ が
正確に算出され、この寸法値ＤＷ′が、ステップ（５０
）において表示器３５に表示される。
（４６）で演算された寸法値ＤＷ、デジタルスイッチＤ
Ｓ３に設定された被測定物Ｗの膨張係数α、ステップ（
４３）で読込んだ温度測定値ＴＥ１２、標準温度Ｔｒ、
ステップ（４７）で演算された単位時間△を当りの温度
変化量△Ｔｍ、デジタルスイッチＤＳ４に設定された補
正係数にの値を前記（１）式に代入して標準温度Ｔｒに
おける被測定物Ｗの寸法値Ｄｗ を計算する。これによ
り被測定物Ｗの標準温度Ｔｒにおける寸法値ＤＷ が
正確に算出され、この寸法値ＤＷ′が、ステップ（５０
）において表示器３５に表示される。
なお、上記実施例では、単位時間△上当りの湿度検出器
２０の出力変化量に定数を捌けだ値を減算することによ
って、温度検出器と被測定物との間に存在する温度差に
基づく測定誤差を補正するようにしていたが、この測定
誤差は、温度検出器２０の出力が一定量変化するのに要
する時間を検出し、一定の定数をこの検出された時間で
除去したものを減じることによっても補正できる。
２０の出力変化量に定数を捌けだ値を減算することによ
って、温度検出器と被測定物との間に存在する温度差に
基づく測定誤差を補正するようにしていたが、この測定
誤差は、温度検出器２０の出力が一定量変化するのに要
する時間を検出し、一定の定数をこの検出された時間で
除去したものを減じることによっても補正できる。
以上述べたように本発明においては、被測定物の寸法測
定時において、被測定物の温度を温度検出器を用いて検
出するようにし、この温度検出器の経時的な出力変化割
合を被測定物と温度検出器との間の温度差を表わすデー
タとして検出し、被測定物の測定寸法を、温度検出器に
よって検出された検出温度と、温度検出器の経時的な出
力変化割合を表わすデータとによって補正するようにし
たものであるから、温度検出器と被測定物との間に温度
差がある状態においても、被測定物の現実の温度に応じ
た正確な温度補正が行なえ、被測定物の標準温度におけ
る寸法を高精度に算出できる。
定時において、被測定物の温度を温度検出器を用いて検
出するようにし、この温度検出器の経時的な出力変化割
合を被測定物と温度検出器との間の温度差を表わすデー
タとして検出し、被測定物の測定寸法を、温度検出器に
よって検出された検出温度と、温度検出器の経時的な出
力変化割合を表わすデータとによって補正するようにし
たものであるから、温度検出器と被測定物との間に温度
差がある状態においても、被測定物の現実の温度に応じ
た正確な温度補正が行なえ、被測定物の標準温度におけ
る寸法を高精度に算出できる。
したがって、ピストン等の被測定物の寸法を加工直後に
測定する場合でも、温度検出器の温度が被測定物の温度
と同じになるまで待っている必要がなく、被測定物の寸
法測定をきわめて短時間の内に完了できる利点が有る。
測定する場合でも、温度検出器の温度が被測定物の温度
と同じになるまで待っている必要がなく、被測定物の寸
法測定をきわめて短時間の内に完了できる利点が有る。
第１図は本発明の温度補正の原理を説明するだめの被測
定物の温度変化と温度検出器の温度変化の関係を示す図
、第２図から第４図は本発明の実施例を示すもので、第
２図は寸法測定装置の全体構成を示すブロック図、第３
図は第２図におけるコンピュータ３２の動作を示すフロ
ーチャート、第４図は第１図の測定ヘッド１０の特性を
示す図である。 １０・・・測定ヘッド、１３ａ、 １３’ｂ・・・エア
ーノズル、１５ａ、 １５ｂ ｅ ＠ ＠絞り、１８ａ
、 １８ｂ １１ ＠・圧力検出器、２０．２２＋Ｉ
ｍ ＊温度検出器、３ｏ・０・マルチプレクサ、３１・
・・ＡＤ変換器、３２拳・・コンピュータ、３５・・・
表示器、ＭＬ＠・・大径マスタ、ＭＳ・・・小径マスタ
、Ｗ・・・被測定物。 特許出願人 豊田工機株式会社 トヨタ自動車工業株式会社 第３固 ７４図 寸ｅ大（Ｄ）
定物の温度変化と温度検出器の温度変化の関係を示す図
、第２図から第４図は本発明の実施例を示すもので、第
２図は寸法測定装置の全体構成を示すブロック図、第３
図は第２図におけるコンピュータ３２の動作を示すフロ
ーチャート、第４図は第１図の測定ヘッド１０の特性を
示す図である。 １０・・・測定ヘッド、１３ａ、 １３’ｂ・・・エア
ーノズル、１５ａ、 １５ｂ ｅ ＠ ＠絞り、１８ａ
、 １８ｂ １１ ＠・圧力検出器、２０．２２＋Ｉ
ｍ ＊温度検出器、３ｏ・０・マルチプレクサ、３１・
・・ＡＤ変換器、３２拳・・コンピュータ、３５・・・
表示器、ＭＬ＠・・大径マスタ、ＭＳ・・・小径マスタ
、Ｗ・・・被測定物。 特許出願人 豊田工機株式会社 トヨタ自動車工業株式会社 第３固 ７４図 寸ｅ大（Ｄ）
Claims (1)
- （１） 被測定物の寸法を計測するとともに、前記被
測定物の温度を温度検出器を用いて計測し、この計測さ
れた前記被測定物の温度に応じて前記寸法計測値を補正
して前記被測定物の標準温度における寸法を算出する温
度補正方法であって、前記温度検出器を前記被測定物に
接触させた後にお壜する前記温度検出器出力の経過時間
に対する変化割合を前記被測定物と温度検出器との間の
温度差を表わすデータとして検出し、この検出された変
化割合のデータと前記温度検出器の出力信号の大きさと
により前記被測定物の寸法計測値を補正して前記被測定
物の前記標準温度における寸法を算出するようにしたこ
とを特徴とする寸法測定装置における温度補正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18604781A JPS5886409A (ja) | 1981-11-19 | 1981-11-19 | 寸法測定装置における温度補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18604781A JPS5886409A (ja) | 1981-11-19 | 1981-11-19 | 寸法測定装置における温度補正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5886409A true JPS5886409A (ja) | 1983-05-24 |
Family
ID=16181464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18604781A Pending JPS5886409A (ja) | 1981-11-19 | 1981-11-19 | 寸法測定装置における温度補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5886409A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4991488A (ja) * | 1972-12-29 | 1974-08-31 |
-
1981
- 1981-11-19 JP JP18604781A patent/JPS5886409A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4991488A (ja) * | 1972-12-29 | 1974-08-31 |
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