JPS585603A - 平行運動移動量トランスジユ−サ - Google Patents
平行運動移動量トランスジユ−サInfo
- Publication number
- JPS585603A JPS585603A JP57079795A JP7979582A JPS585603A JP S585603 A JPS585603 A JP S585603A JP 57079795 A JP57079795 A JP 57079795A JP 7979582 A JP7979582 A JP 7979582A JP S585603 A JPS585603 A JP S585603A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- parallel
- parallel motion
- transducer
- bearing
- movement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/001—Constructional details of gauge heads
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は位置または移動量感知のための平行運動移動量
トランスジユーサに関するものであり、特に平行運動フ
ィンガプローブとして知られる型のこの種のトランスジ
具−サに関するものであるが、これに限定されるもので
はない。
トランスジユーサに関するものであり、特に平行運動フ
ィンガプローブとして知られる型のこの種のトランスジ
具−サに関するものであるが、これに限定されるもので
はない。
多くの測定分野および制御分野において、与えられた線
に泊った工具または工作物などの物体の位置または移動
量を感知する必要が存在する。この必要に応じる正規の
方法は、与えられた整列された通常の線形移動量トラン
スジ為−サを前記物体に対して連結するにある。しかし
、通常の線形移動量トランスジ為−サが便利に使用でき
ない様な物体の形状または位置がしばしばある。これは
例えば、物体のくほみ、または近接困難な他の区域の位
置または移動量を感知することが望ましい場合である。
に泊った工具または工作物などの物体の位置または移動
量を感知する必要が存在する。この必要に応じる正規の
方法は、与えられた整列された通常の線形移動量トラン
スジ為−サを前記物体に対して連結するにある。しかし
、通常の線形移動量トランスジ為−サが便利に使用でき
ない様な物体の形状または位置がしばしばある。これは
例えば、物体のくほみ、または近接困難な他の区域の位
置または移動量を感知することが望ましい場合である。
この場合、平行運動フィンガプルーブを使用することが
できる。
できる。
公知の型の平行運動フィンガプローブは針腕、またはフ
ィンガを含み、との針腕の一端は物体のくほみまたは類
似の近接困難な近接区域の中に突入することができ、ま
たとの針腕は平行運動アームに対して連結されている。
ィンガを含み、との針腕の一端は物体のくほみまたは類
似の近接困難な近接区域の中に突入することができ、ま
たとの針腕は平行運動アームに対して連結されている。
この平行運動アームは前記の与えられた線に対して平行
に延び、またその両端はそれぞれの平行板バネを介して
固定構造に対して連結され、これらのバネは平行運動ア
ームに対して実質直角に延びる。この様な構造は、与え
られた線に沿ったフィンガ末端の運動に対応して、平行
運動アームを与えられた線に対して千行く移動させる平
行運動リンク仕掛けを成す。その際Ｋ、平行運動アーム
の移動量は任意の適当な移動量センサによって感知する
ことができる。
に延び、またその両端はそれぞれの平行板バネを介して
固定構造に対して連結され、これらのバネは平行運動ア
ームに対して実質直角に延びる。この様な構造は、与え
られた線に沿ったフィンガ末端の運動に対応して、平行
運動アームを与えられた線に対して千行く移動させる平
行運動リンク仕掛けを成す。その際Ｋ、平行運動アーム
の移動量は任意の適当な移動量センサによって感知する
ことができる。
しかしながら、この公知の型のフィンガブ四−プは、バ
ネがたわむ際に少し短縮し、とれによシ針腕の作動位置
を乱し、また針腕を少しねじる場合がある。この様な望
ましくない運動は、平行運動アームの運動が与えられた
線に沿りた物体の運動を忠実に再現することなく、従９
て、僅かの、しかし重要な測定誤差を生じることを示す
。
ネがたわむ際に少し短縮し、とれによシ針腕の作動位置
を乱し、また針腕を少しねじる場合がある。この様な望
ましくない運動は、平行運動アームの運動が与えられた
線に沿りた物体の運動を忠実に再現することなく、従９
て、僅かの、しかし重要な測定誤差を生じることを示す
。
本発明の目的は、前記の欠陥が除去された平行運動移動
量トランスジユーサを提供するにある。
量トランスジユーサを提供するにある。
本発明によれば、物体の位置または移動量を感知するた
めの平行運動移動量トランスジユーサにおいて、 物体と接触しこの物体によって移動される様に成された
一端を有する可動プローブ部材と、前記プローブ部材の
他端に対して連結された平行運動部材であつて、この部
材は、線形転勤要素軸受から横方向に片寄らされ、また
この部材は、プローブ部材の前記一端が物体によって移
動させられる線に対して平行に、前記軸受によって運動
させられるようにした平行運動部材と、前記の平行運動
部材の位置または移動量を感知するための移Ｍ！ｂｆ感
知手段とを含み、また前記軸受の回転軸線回シの平行運
動部材の回転を防止しながら、この平行運動部材を前記
軸線に涜りて一方向に片寄らせるように、平行運動部材
に連結された板バネを含むトランスジ凰−サが提供され
る。
めの平行運動移動量トランスジユーサにおいて、 物体と接触しこの物体によって移動される様に成された
一端を有する可動プローブ部材と、前記プローブ部材の
他端に対して連結された平行運動部材であつて、この部
材は、線形転勤要素軸受から横方向に片寄らされ、また
この部材は、プローブ部材の前記一端が物体によって移
動させられる線に対して平行に、前記軸受によって運動
させられるようにした平行運動部材と、前記の平行運動
部材の位置または移動量を感知するための移Ｍ！ｂｆ感
知手段とを含み、また前記軸受の回転軸線回シの平行運
動部材の回転を防止しながら、この平行運動部材を前記
軸線に涜りて一方向に片寄らせるように、平行運動部材
に連結された板バネを含むトランスジ凰−サが提供され
る。
以下、本発明を図面に示す実施例について詳細に説明す
る。
る。
第１図と第２図に図示の平行運動フィンガプローブ形式
のトランスジ為−サは全体として１０で表示され、主７
レーム１２を含み、このフレームｌ−は、常用に際して
、線１６に沿った移動量または位置を感知されるべき物
体／４４１Ｃ＠接して固定的に配置されるように成され
ている。そのため、フレーム１２の外面上に、一体的に
形成された一個のダブテール固定部＃／７．／Ｉが備え
られ、これらの固定部材はトランスジ為−サ１０を相互
に直角な二配向のいずれか一方に選択的に装着させるこ
とができる。
のトランスジ為−サは全体として１０で表示され、主７
レーム１２を含み、このフレームｌ−は、常用に際して
、線１６に沿った移動量または位置を感知されるべき物
体／４４１Ｃ＠接して固定的に配置されるように成され
ている。そのため、フレーム１２の外面上に、一体的に
形成された一個のダブテール固定部＃／７．／Ｉが備え
られ、これらの固定部材はトランスジ為−サ１０を相互
に直角な二配向のいずれか一方に選択的に装着させるこ
とができる。
（第１図において）フレームｌ、、２の左下隅部から可
動針腕またはフィンガ〃が突出する。このフィンガＪが
突出する。このフィンガＸはその先端Ｋ、前記物体／４
１Ｌと接触するためのボール２１を備える。
動針腕またはフィンガ〃が突出する。このフィンガＪが
突出する。このフィンガＸはその先端Ｋ、前記物体／４
１Ｌと接触するためのボール２１を備える。
針腕〃はスイベルリンクＪに対して枢着部ｎで枢着され
、このスイベルリンクＪは平行４ｆｔｌアーム３０の一
端Ｕに対して枢着部易において枢着されている。枢着部
２２．易の枢着軸線は相互に直角であるから、スイベル
リンクＪと枢着部ｎ、易は、針腕〃と平行運動アーム３
０との間の自在継手を一体的に構成している。この自在
継手は、物体ｌ弘の運動の多様な形状、配向および方向
に対応するため針腕〃と平行運動アーム３０の間の多様
な配向のいずれか１つを選定できるように備えられてい
る。
、このスイベルリンクＪは平行４ｆｔｌアーム３０の一
端Ｕに対して枢着部易において枢着されている。枢着部
２２．易の枢着軸線は相互に直角であるから、スイベル
リンクＪと枢着部ｎ、易は、針腕〃と平行運動アーム３
０との間の自在継手を一体的に構成している。この自在
継手は、物体ｌ弘の運動の多様な形状、配向および方向
に対応するため針腕〃と平行運動アーム３０の間の多様
な配向のいずれか１つを選定できるように備えられてい
る。
しかし、この自在継手は比較的剛性であるから、針腕〃
の所望の配向が一度選定されると、この針腕Ｘは、平行
運動アーム３０に対して、選定された配向に剛性的に固
着されたものとみなされる。
の所望の配向が一度選定されると、この針腕Ｘは、平行
運動アーム３０に対して、選定された配向に剛性的に固
着されたものとみなされる。
平行運動アーム３０の末端Ｕはフレーム１２の内部から
突出し、このフレーム１２の中に平行運動アーム３０の
残余の部分が配置されている。フレームｌ−の内部にお
いて、平行運動アーム３０は硬化鋼軸３コに対して張合
せ、またはその他の方法で剛性的に連接され、この鋼＠
３コは平行運動アームＪθから直角に突出して線形軸受
３ダの中に同軸的に支持されている。
突出し、このフレーム１２の中に平行運動アーム３０の
残余の部分が配置されている。フレームｌ−の内部にお
いて、平行運動アーム３０は硬化鋼軸３コに対して張合
せ、またはその他の方法で剛性的に連接され、この鋼＠
３コは平行運動アームＪθから直角に突出して線形軸受
３ダの中に同軸的に支持されている。
線形軸受３弘はスリーブ３５を有し、このスリーブ３Ｓ
は代表的には真ちゅうから成る。前記スリーブ３５は、
フレームｌ−に対して固着された鋼スリーブ３７の中に
同軸的に配置され、またこの鋼スリーブ３７に対して軸
方向に可動である。スリーブ３Ｓの各端部には、軸方向
に離間され角度的に片寄らされた１組の鋼球軸受３６が
備えられ、これらの鋼球は周方向に分布され、直径は６
ｍである。これらの鋼球３６はスリーブ３Ｓの壁を通し
て設けられたそれぞれの数的方向内向テーパ穴３ｔの中
に配置され、スリーブ３Ｓの外側からこれらの穴の挿入
されているので、それぞれの表面の一部がスリーブ３３
の内部に突出して軸３コを支持している。各穴３１の放
射方向内側開口の径は鋼球３６の径よシ僅かに小であシ
、また各穴の放射方向外側開口はそれぞれの鋼球の周囲
はすえ込まれているので、これらの鋼球はスリーブ３Ｓ
の樋中に捕えられている。
は代表的には真ちゅうから成る。前記スリーブ３５は、
フレームｌ−に対して固着された鋼スリーブ３７の中に
同軸的に配置され、またこの鋼スリーブ３７に対して軸
方向に可動である。スリーブ３Ｓの各端部には、軸方向
に離間され角度的に片寄らされた１組の鋼球軸受３６が
備えられ、これらの鋼球は周方向に分布され、直径は６
ｍである。これらの鋼球３６はスリーブ３Ｓの壁を通し
て設けられたそれぞれの数的方向内向テーパ穴３ｔの中
に配置され、スリーブ３Ｓの外側からこれらの穴の挿入
されているので、それぞれの表面の一部がスリーブ３３
の内部に突出して軸３コを支持している。各穴３１の放
射方向内側開口の径は鋼球３６の径よシ僅かに小であシ
、また各穴の放射方向外側開口はそれぞれの鋼球の周囲
はすえ込まれているので、これらの鋼球はスリーブ３Ｓ
の樋中に捕えられている。
またフレーム１２の内部において、平行運動アーム３０
は円筒形のニッケル／鉄コア句に対して張合せ、または
その他の方法で剛性的に連結されている。このコアりは
、線形電圧差動変成器（ＬＶＤＴ）型の従来の誘導型移
動センサ侵の一部を成す。コアりの軸線は線形軸受３Ｉ
１．の軸ｆｆＡＫ対して平行であシ、またこのコープり
は環状コイル組立体件の内部に同軸的に配置され、軸方
向に可動である。コイル組立体杯はフレーム１２に対し
て固着され、センナグーの残余部分を成す。コイル組立
体停から出た出力リード線Ｉ／６は・フレームｌ−の内
部廊溝の中を通ってコネクタｙに達する。このコネクタ
Ｚは、固定部材１７に隣接してフレームｌ−の後面に装
着されている。
は円筒形のニッケル／鉄コア句に対して張合せ、または
その他の方法で剛性的に連結されている。このコアりは
、線形電圧差動変成器（ＬＶＤＴ）型の従来の誘導型移
動センサ侵の一部を成す。コアりの軸線は線形軸受３Ｉ
１．の軸ｆｆＡＫ対して平行であシ、またこのコープり
は環状コイル組立体件の内部に同軸的に配置され、軸方
向に可動である。コイル組立体杯はフレーム１２に対し
て固着され、センナグーの残余部分を成す。コイル組立
体停から出た出力リード線Ｉ／６は・フレームｌ−の内
部廊溝の中を通ってコネクタｙに達する。このコネクタ
Ｚは、固定部材１７に隣接してフレームｌ−の後面に装
着されている。
平行運動アーム３０は板バネ５−の一端に対してネジ５
／によって連結され、この板バネ５−の他−はネジ５コ
によって可動制御アーム５４’に連接されている。
／によって連結され、この板バネ５−の他−はネジ５コ
によって可動制御アーム５４’に連接されている。
制御アーム５ｔＩはスタブ軸Ｓ６に対して剛性的に連結
され、とのスタブ軸５６は、制御アーム鉾から直角に延
び、鋼軸３２に対して平行であり、またこのスタブ軸５
６はフレーム１２０円筒形゛＜ホみＳＳの中に滑シばめ
で受けられている。連結ビン６０力鴨す御アーム５蓼と
スタブ軸Ｓ６とに対して直角に突出しくすなわち、第１
図の面に対して直角に央出し） 、１ｆｆｌｊ御ノブま
たはホイール６ｑの一面に偏心的に配置された円形グル
ープ６．２の中に係合する。このホイール６ＩＩは、ト
ランスジユーサ１０の一方の側面において、フレーム１
２の中に回転自在に取付けられている。
され、とのスタブ軸５６は、制御アーム鉾から直角に延
び、鋼軸３２に対して平行であり、またこのスタブ軸５
６はフレーム１２０円筒形゛＜ホみＳＳの中に滑シばめ
で受けられている。連結ビン６０力鴨す御アーム５蓼と
スタブ軸Ｓ６とに対して直角に突出しくすなわち、第１
図の面に対して直角に央出し） 、１ｆｆｌｊ御ノブま
たはホイール６ｑの一面に偏心的に配置された円形グル
ープ６．２の中に係合する。このホイール６ＩＩは、ト
ランスジユーサ１０の一方の側面において、フレーム１
２の中に回転自在に取付けられている。
ホイール６ダを回転させれば、制御アーム外が第１図に
おいて上下に運動させられ、この運動は、スラブ軸５６
がそのくほみ５１の中に滑り係合していることによりて
案内される。制御アーム外の７運動は、板バネ５コによ
つて平行運動アーム３０に対して従って針腕Ｊ、０に対
して加えられる片寄らせ力の大きさと方向を変動させる
。
おいて上下に運動させられ、この運動は、スラブ軸５６
がそのくほみ５１の中に滑り係合していることによりて
案内される。制御アーム外の７運動は、板バネ５コによ
つて平行運動アーム３０に対して従って針腕Ｊ、０に対
して加えられる片寄らせ力の大きさと方向を変動させる
。
使用に際して、トランスジユーサＩＯは、線形軸受３ダ
の軸線（すなわち、鋼軸３２とスリ”−力Ｓの共通軸線
）が、物体ｌ弘の移動量または位置を検出する線／６に
対し−て平行となるように装着される。実際上、これは
簡単に実施できる。なぜかなら、線形軸受評の軸線は固
定部材／’Ｉ、／ｌに対して正確に方向づけられている
からである（前者に対して平行、後者に対して直角）。
の軸線（すなわち、鋼軸３２とスリ”−力Ｓの共通軸線
）が、物体ｌ弘の移動量または位置を検出する線／６に
対し−て平行となるように装着される。実際上、これは
簡単に実施できる。なぜかなら、線形軸受評の軸線は固
定部材／’Ｉ、／ｌに対して正確に方向づけられている
からである（前者に対して平行、後者に対して直角）。
針腕Ｊがすでに正確に配向されていると仮定して、との
針腕Ｘのボール２／を片寄らせて物体／４’の表面に所
望の接触圧をもって接触するようにホイール６ケを回転
させる。
針腕Ｘのボール２／を片寄らせて物体／４’の表面に所
望の接触圧をもって接触するようにホイール６ケを回転
させる。
そののち、線／６に沿った物体／ｌの位置の変動はこの
線に泪ってボール２／を移動させ、またこれに対応して
、針腕ｘ全体と平行運、カアーム３θとヲ線１６に対し
て平行に同一量だけ移動させる。平行運動アーム３０は
、鋼軸３２が線形軸受３弘の中に係合していることによ
ＪＪｌｔ６に対して正確に平行に移動するように拘束さ
れる。鋼軸３２は線形軸受評の中にきわめて正確にはめ
合わされているから、物体ルによるボール２１の運動を
正確に再現する。平行運動アーム３０の移動量はセンサ
４４ｕによって正確に感知される。このセンサは、この
移動量を代表する出力信号をコネクタＳＯを介して発生
するように適当に生かされている。
線に泪ってボール２／を移動させ、またこれに対応して
、針腕ｘ全体と平行運、カアーム３θとヲ線１６に対し
て平行に同一量だけ移動させる。平行運動アーム３０は
、鋼軸３２が線形軸受３弘の中に係合していることによ
ＪＪｌｔ６に対して正確に平行に移動するように拘束さ
れる。鋼軸３２は線形軸受評の中にきわめて正確にはめ
合わされているから、物体ルによるボール２１の運動を
正確に再現する。平行運動アーム３０の移動量はセンサ
４４ｕによって正確に感知される。このセンサは、この
移動量を代表する出力信号をコネクタＳＯを介して発生
するように適当に生かされている。
鋼軸３２のＢ：ＩＩ線回シの平行運動アーム３θの回転
運動は板バネ見によって実質的に防止される。仁の板バ
ネは第１図の面に対して直角方向において比較的削性で
ある。
運動は板バネ見によって実質的に防止される。仁の板バ
ネは第１図の面に対して直角方向において比較的削性で
ある。
本発明の前記の実施態様に対して若干の震災を実施する
ことができる。例えば、線形軸受３ＩＩの中において、
玉軸受３６以外の転動要素、を使用することができる。
ことができる。例えば、線形軸受３ＩＩの中において、
玉軸受３６以外の転動要素、を使用することができる。
また、平行運動アーム３０の移動を感知するために、Ｌ
ＶＤＴセンサ≠コ以外の移動量センサを使用することが
できる。またもし望むなら、トランスジユーサｉｏを可
動構造に対して固着させ、この可動構造を移動させて、
基準位置に対する位置を感知されるべき定置物体と接触
させることができる。
ＶＤＴセンサ≠コ以外の移動量センサを使用することが
できる。またもし望むなら、トランスジユーサｉｏを可
動構造に対して固着させ、この可動構造を移動させて、
基準位置に対する位置を感知されるべき定置物体と接触
させることができる。
、 第１図は本発明によ、る平行運動移ＳｄＪ量トラ
ンスジ瓢−サの部分断面を示す側面図、また第一図は第
１図の低面図である。 １０・・・トランスジ瓢−サ、 ｌ弘・・・物体、／６
・・・物体ノ移動線、’／７．／ｌ・・・ダブテール固
定部材、Ｊ・・・プローブ部材（フィンガ）、３０・・
・平行運動部材（アーム）、 ３２・・・鋼軸、３μ・
・・線形軸受、３Ｓ・・・スリーブ、３６・・・球、
リ・・・コア、４’！・・・センサ、 件・・・コイル
、 ５コ・・・板バネ、５り・・・制御部材（アーム）
、Ｓ６・・・・スタブ軸、 ６θ川ビン、６２・・・グ
ループ、６１１・・・ホイール。 出願人代理人 猪 股 清
ンスジ瓢−サの部分断面を示す側面図、また第一図は第
１図の低面図である。 １０・・・トランスジ瓢−サ、 ｌ弘・・・物体、／６
・・・物体ノ移動線、’／７．／ｌ・・・ダブテール固
定部材、Ｊ・・・プローブ部材（フィンガ）、３０・・
・平行運動部材（アーム）、 ３２・・・鋼軸、３μ・
・・線形軸受、３Ｓ・・・スリーブ、３６・・・球、
リ・・・コア、４’！・・・センサ、 件・・・コイル
、 ５コ・・・板バネ、５り・・・制御部材（アーム）
、Ｓ６・・・・スタブ軸、 ６θ川ビン、６２・・・グ
ループ、６１１・・・ホイール。 出願人代理人 猪 股 清
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 を物体と接触しこの物体によって移動される様に成され
た一端を有する可動プローブ部材と、前記プローブ部材
の他端に対して連結された平行運動部材であつて、この
部材は、線形運動要素軸受から横方向に片寄らされ、ま
たこの部材は、プローブ部材の前記一端が物体によりて
移動させられる線に対して平行に、前記軸受によって運
動させられる様にした平行運動部材と、前記の平行運動
部材の位置または移動量を感知するための移動量感知手
段とを含み、更に、前記軸受の回転軸線回シの前記平行
運動部材の回転を防止しながら、この平行運動部材を前
記軸線に泊りて一方向に片寄らせる様に、前記平行運動
部材に連結された板バネを含む、物体の位置と移動量を
感知するための平行運動移動量トランスジ為−サ。 ユ前記の転勤要素軸受は玉軸受である仁とを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のトランスジ瓢−サ。 ３前記の転勤要素軸受は転勤要素／スリーブ軸受であり
て、また前記平行運動部材は、前記軸受の内部を軸方向
に可動の軸を備えることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載のトランスジェーサ。 ダ、前記軸は硬化鋼から成ることを特徴とする特許請求
の範囲・第３項記載のトランスジ為−サ。 ！、移動度感知手段は誘導性でありて、少°なくとも１
個のコイルの内部を可動のコアを含み、またこのコアは
前記の軸に対して平行に延び、また前記の軸に剛性的に
連結されていることを特徴とする特許請求の範囲第３項
記載のトランスジェーサ。 ｔ、板バネによりて発生される片寄らせ力の大きさと方
向ｔ−調整する手段を有することを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載のトランスジ為−サ。 Ｚ 前記板バネは、前記平行運動部材とこの平行運動部
材に対して実質平行に可動の制御部材との間に連結され
、前記制御部材の位置が片寄らせ方向と力を決定するこ
とを特徴とする特許請求の範囲第を項記載のトランスジ
凰−サ。 ！、制御部材の位置を制御するための回転制御ホイール
を有し、このホイールは、前記制御部材の運動方向く対
してほぼ直角の軸線回シに回転自在であシ、またその−
面上に偏心的に配置された円形グループに係合するピン
を有することを特徴とする特許請求の範囲第７項記載の
トランスジユーサ。 り、平行運動部材に対するプローブ部材の配向は調整可
能であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
トランスジ為−サ。 ｉｏ、プローブ部材は、相対的に剛性の自在継手によっ
て、平行運動部＃に連結されてｂることを特徴とする特
許請求の範囲第２項記載のトランスジユーサ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB8114378 | 1981-05-12 | ||
| GB8114378 | 1981-05-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS585603A true JPS585603A (ja) | 1983-01-13 |
Family
ID=10521717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57079795A Pending JPS585603A (ja) | 1981-05-12 | 1982-05-12 | 平行運動移動量トランスジユ−サ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4503616A (ja) |
| EP (1) | EP0065360A3 (ja) |
| JP (1) | JPS585603A (ja) |
| GB (1) | GB2098331A (ja) |
| ZA (1) | ZA822865B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6222002A (ja) * | 1985-07-22 | 1987-01-30 | Mitsutoyo Mfg Corp | 変位検出ヘツド |
| JPH0335412U (ja) * | 1989-08-11 | 1991-04-08 |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH668210A5 (de) * | 1985-09-12 | 1988-12-15 | Starrfraesmaschinen Ag | Verfahren und kopiereinrichtung zur digitalen steuerung einer werkzeugmaschine. |
| US4864731A (en) * | 1987-02-09 | 1989-09-12 | Kile Walter F | Measurement method and apparatus |
| DE3719509A1 (de) * | 1987-06-11 | 1988-12-22 | Mauser Werke Oberndorf | Hoehenmessgeraet |
| JP3256124B2 (ja) * | 1996-02-22 | 2002-02-12 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定機 |
| US5836082A (en) * | 1996-09-27 | 1998-11-17 | Sheldon/Van Someren Inc. | Three-axis probe |
| ATE211813T1 (de) * | 1998-03-13 | 2002-01-15 | Marposs Spa | Messkopf,apparat und verfahren zum kontrollieren der linearen dimensionen von einem mechanischen stück |
| IT1305387B1 (it) * | 1998-09-08 | 2001-05-04 | Marposs Spa | Braccetto per una testa di controllo di dimensioni lineari di pezzimeccanici e testa comprendente tale braccetto |
| ITBO20030694A1 (it) * | 2003-11-20 | 2005-05-21 | Marposs Spa | Tasta per il controllo di dimensioni lineari di pezzi meccanici. |
| CN100432618C (zh) * | 2006-11-21 | 2008-11-12 | 贵州大学 | 二维位移传感器及应用的大量程表面形貌测量装置 |
| AU2009320481C1 (en) | 2008-11-03 | 2016-12-08 | Syntarga B.V. | Novel CC-1065 analogs and their conjugates |
| AU2011243294C1 (en) | 2010-04-21 | 2015-12-03 | Syntarga B.V. | Novel conjugates of CC-1065 analogs and bifunctional linkers |
| EP2614333B1 (de) * | 2010-09-10 | 2021-08-11 | Carl Zeiss 3D Automation GmbH | Taststift-anordnung |
| US8558408B2 (en) | 2010-09-29 | 2013-10-15 | General Electric Company | System and method for providing redundant power to a device |
| US8278779B2 (en) | 2011-02-07 | 2012-10-02 | General Electric Company | System and method for providing redundant power to a device |
| JP5745664B1 (ja) * | 2014-03-14 | 2015-07-08 | 株式会社東京精密 | 双方向変位検出器 |
| WO2016015775A1 (de) * | 2014-07-31 | 2016-02-04 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Tastkopf für ein koordinatenmessgeraet |
| JP6649013B2 (ja) * | 2015-08-27 | 2020-02-19 | 株式会社ミツトヨ | プローブヘッド回転機構 |
| DE102019105059A1 (de) * | 2018-12-19 | 2020-06-25 | Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh | Verfahren zum Betreiben eines Oberflächenmessgeräts |
| DE102020108182A1 (de) | 2019-05-07 | 2020-11-12 | Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh | Oberflächenmessgerät |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB587127A (en) * | 1944-07-05 | 1947-04-15 | Kapella Ltd | Improvements in or relating to apparatus for measuring or indicating the roughnesses or undulations of a surface |
| GB584462A (en) * | 1944-09-04 | 1947-01-15 | Eugene Duval Finlayson | An improved measuring gauge or instrument |
| GB720132A (en) * | 1952-10-28 | 1954-12-15 | Capp & Son Ltd A | Improvements in or relating to linear dimension gauges |
| US3180030A (en) * | 1961-02-23 | 1965-04-27 | Bendix Corp | Gage probe |
| US3122838A (en) * | 1961-07-06 | 1964-03-03 | Pratt & Whitney Co Inc | Indicating device and zero adjustment therefor |
| US3638324A (en) * | 1969-07-31 | 1972-02-01 | Cass Kaifesh | Gage |
| DE2148066A1 (de) * | 1970-09-30 | 1972-04-06 | Olivetti & Co Spa | Durchmesser-Meßgerät für Werkzeugmaschinen |
| FR2118318A5 (ja) * | 1970-12-17 | 1972-07-28 | Sagem | |
| CH538107A (de) * | 1972-06-20 | 1973-06-15 | Pretec Ag | Wegaufnehmer mit einem Abtastarm und einem Messwertwandler |
| US3798779A (en) * | 1972-07-05 | 1974-03-26 | Ferranti Packard Ltd | Probe inspection system |
| US3946492A (en) * | 1974-03-14 | 1976-03-30 | Hycor, Incorporated | Dimension measuring module |
| GB1477508A (en) * | 1974-08-21 | 1977-06-22 | Rank Organisation Ltd | Measuring apparatus |
| JPS5353352A (en) * | 1976-10-25 | 1978-05-15 | Mitsutoyo Seisakusho | Outline measuring apparatus |
-
1982
- 1982-04-23 EP EP82302078A patent/EP0065360A3/en not_active Withdrawn
- 1982-04-23 GB GB8211763A patent/GB2098331A/en not_active Withdrawn
- 1982-04-27 ZA ZA822865A patent/ZA822865B/xx unknown
- 1982-05-06 US US06/375,521 patent/US4503616A/en not_active Expired - Fee Related
- 1982-05-12 JP JP57079795A patent/JPS585603A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6222002A (ja) * | 1985-07-22 | 1987-01-30 | Mitsutoyo Mfg Corp | 変位検出ヘツド |
| JPH0335412U (ja) * | 1989-08-11 | 1991-04-08 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ZA822865B (en) | 1983-04-27 |
| US4503616A (en) | 1985-03-12 |
| EP0065360A3 (en) | 1983-08-10 |
| GB2098331A (en) | 1982-11-17 |
| EP0065360A2 (en) | 1982-11-24 |
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