JPS5856953B2 - 電界放出型電子銃 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は引出し電圧と初段加速電圧を単一の伝達経路で
供給することのできる電界放出型電子銃に関する。

電子ビームを高エネルギーに加速する（例えば加速電圧
１００ＫＶ以上）電界放出電子銃は、通常第１図に示す
ように構成され、エミッターＥの下方には第１陽極（引
出し電、極）Ｐｌ、第２陽極（初段加速電極）Ｐ２ 、
後段加速系Ｐ３の電極が順次配置される。

エミッターＥには加速電源６により後段加速系Ｐ３の最
終段接地電極（図示せず）に対して＋３０ ＫＶから＋
１２０ＫＶ程度の可変電圧が印加され、後段加速系の他
の電極には加速電源６の出力を分圧した電圧が印加され
る。

一方エミッターＥと第１陽極Ｐ１の間には電源１の可変
出力電圧が印加され、加速電源の出力に関係なく、エミ
ッター先端の開本半径等に応じてエミッターに対して＋
５から＋ｌ０ＫＶ程度の適切な弓出し電、圧が印加され
る。

同様に、エミッターと第２陽極Ｐ２の間には電源２の出
力電圧が印加され、エミッターから引出ｊされた電子線
に対して適当な静電レンズ作用を与えると回路に加速す
るため、エミッターに対して＋ｌ０ＫＶ程度の定電圧が
印加される。

又、これらの電源１及び２は加速電源６の出力と関係な
くその出力を接地側から制御できるようにするため夫々
高周波発振器３．絶縁トランス４及び整流回路５等から
構成されている。

斯かる従来例では電源を個々に備えるためコスト的に不
利であると共に装置が大型化するとい・′〕欠侭があっ
た。

本発明はこの様な従来の問題点を改善すべくなされたも
のであり、単一の電源で引出し電圧及び初段加速電圧を
供給し得るようにした電界放出型電子銃を提供すること
を目的としている。

以下図面を用いて本発明を詳述する。

第２図は本発明の一実施例を示す構成図である。

尚第１図の従来例と同一の構成要素には同一の記号又は
番号を付して説明を省略する。

第２図にむいて高周波発振器３から発生した高周波は絶
縁ｌ・ランス４を介してコツククロフト−ウオルトン回
路７へ送られる。

該コツククロフト−ウオルトン回路７は２段構成であり
、１段目の出力電圧ｖ１はエミッター第１陽極間に印加
され、２段目の出力電圧■２は工□ツター第２陽極間に
ドロップ低抗８を介して印加される。

又、該エミッター第２陽極間には例えばツェナダイオー
ドの様な定電圧素子９が接続されている。

斯かる構成にむいてコツククロフト−ウオルトン回路７
の２段目出力■２は１段目出力Ｖ１の２倍である。

従って今ビーム電流を可変するために発振器３の出力を
変えてｖｌを５ＫＶ〜ｌ０ＫＶの範囲で変化させれば■
２はｌ０ＫＶ〜２０ＫＶの範囲で変化する。

しかしながら該２段目出力■２はドロップ抵抗８及び定
電圧素子９から成る定電圧回路を介して第２陽極Ｐ２へ
供給されるため、第２陽極にはｖ２に拘らず一定電圧（
例えば１０ＫＶ）が供給される。

従って可変引出し電圧と一定初段加速電圧の双方を単一
の伝送経路を持つ単一の電源から得ることができる。

尚、上述した実施例では高層波発振器３とコツククロフ
ト−ウオルトン回路７との間の伝送手段として絶縁トラ
ンスを用いたが、これに限らｒ高圧部（エミッタ、陽極
等）と低圧部（高周波発振器３）とを絶縁することがで
きるものであれば、例えばコンデンサ結合を用いても良
い。

又上述した実施例では２段構成のコツククロフト−ウオ
ルトン回路を用いたが、これに限らず多段構成のもので
も良く、その場合第２陽極へは最終段の出力を、又第１
陽極−＼は中間の適宜な段の出力電圧を夫々供給すれば
よいことは言う１でもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例を示す構成図であり、第２図は本発明の
一実施例を示す構成図である。 ３：高周波発振器、４：絶縁トランス、７：コツククロ
フト−ウオルトン回路、８ニトロツブ抵抗、９：定電圧
素子、Ｅ：エミッタ、Ｐｌ：第１陽極、Ｐ２：第２陽極
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ エミッタと第１陽極と、第２陽極とそれに続く後段
   加速系と、高周波発振器と、該発振器からの高周波が供
   給される多段コツククロフトウオルトン回路とを備え、
   該コツククロフトウオルトン回路の中間段の出力電圧を
   エミッター第１陽極間に印加すると共に、最終段の出力
   電圧をドロップ低抗及び定電圧素子から成る定電圧回路
   を介してエミッター第２陽極間に印加したことを特徴と
   する電界放出型電子銃。