JPS585701A - 反射防止膜を設けた光学部品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ガラス、プラスチック等の透明基体Ｋｊｉｌ
ｌ威するｃ＋６ｃ遣しえアンバー色系の反射色を有する
反射防止膜に関するものである。

メｊネレンズ、ｉＩメ２レンズ等のレンズｌ１ｌＴ。

るい紘各種カバー透−ＩＮＯＩＩな透明物品、特に高透
過率Ｏ要求される光学部品においては１表面での入射光
の反射を低下させ、光の透過率【高める丸めＫＪ［射肪
止膜を設けることが公知である。ガラスからなる光学部
品の反射防止膜としては、真空蒸着法によるＭｇＦｇ膜
が典型的なものとして知られてお）２又実用されている
が。

かかるＭｇν怠層を真空蒸着するＩ［＋＆膜の付着性を
高めるえめに！　０１ｃ〜４００℃に加熱しなければな
らない、従って、耐熱性０弱いプラスチックからなる光
学部品［Ｍｇν倉膜を形成する場合には、充分な加熱が
行なえないため、＠〇付着力、硬度が不足して、実用に
供することができない、こ０ＩＩＫプラスチツクからな
る光学部品への反射防止性能、プラスチック基体の耐熱
性が弱いこと中屈折率が低いプラスチックが多いことな
どから材質、Ｉｌ法などの点で制限を費ける０例えば低
屈折率材料０中で酸化ケイ素膜（ｇｔｏ、膜）はプラス
チックと０付着カが喪酸化ケイ素膜の屈折率は、ｔ４６
〜ｔ４？と通常のプラスチックレンズ基体の屈折率に近
いので、単層の状態では反射防止膜としての機能を持ち
えず、使用できない。その丸め、酸化ケイ素膜を用いて
反射防止膜を得る場合には、２層。

１層あるいはそれ以上の多層コートが必要である。

とＯｗなプラスチックレンズ用の反射防止膜としては、
ガラスレンズの場合の単層のＭｇＦ１反射防止膜と同色
系Ｏ赤紫からマぞンダｂ反射光を有する２層構成の反射
防止膜や、又更に性艷を向上させ九緑色反射光を有する
５層構成の反射防止膜が知られている。例えば、この種
の５層系の反射防止層として、第１図の様にＯＲ−墨！
レンズ１０表面に樋λＯ光学膜厚を有するＡｈｏｓ層２
と、にλＯ光学膜厚を有するＺｒＯ意層意表１更に’Ａ
λの光学膜厚を有する８１０１層４とを順次形成した反
射防止層が知られている。

冑、ζこにおいて、λは設計波長であ夛、λ−４４６ｎ
ｗｍ〜Ｓ　７０　ｎｍｚ　　が多く採用される。

しかしながらこの緑色反射光を有する４層構成Ｏ反射騎
止膜は２人Ｏ目Ｏ感度の最も高い緑色光を反射させてい
るので、片ａｉｃ＋反射率を（１７−以下にすることが
困難であるという難点を有していた。

一方、アンバー色系Ｏ反射光を有する反射防止膜は、Ｉ
！感度の高い緑色系の反射を抑えであるため、緑色系の
反射光を有する反射防止膜に比べ透明性が向上し好まし
いものとして知られており、ガラスメガネレンズにおい
て実用化されているが、プラスチックレンズにおいては
。

反射防止膜をコーティングする場合にプラスチツタ基体
を１００℃以上の温度に加熱することができないために
膜材料と屈折率の組み合せに限界がある良め、いまだ好
ましいアンバー色系の反射光を有する反射防止膜が得ら
れていないという状況下にある。

本発明は、上記点に鑑み、アンバー色系の反射色調を有
し、かつ反射防止性能が高くて透明性が高く、更に機械
的強度及び化学的安定性が高いプラスチック光学部品に
適した材質及び膜構成を有する反射防止膜を提供するこ
とを目的として研究Ｏ結果発明されたものであシ、その
要旨は、透明基体上に、＃透明基体側から順に屈折率−
がＬ４１≦ｑ≦ｔ！ＳＯ第１層＆屈折率−ｚｔｔｓｓ≦
ｂ≦ｔｔｓｓＯ第２層、屈折率−＃２．０１≦ｑ≦ｌＯ
！！０＃ｌ；ｉ層、屈折重態４がｔ４４≦−≦ｔ４？Ｏ
第４？Ｏ形成しえことを特徴とする４層よ）＆るアンバ
ー白系Ｏ夏射色を有する反射防止膜を設は九光学部品に
関する４０である。

以下１本発明について１図面を参照しながら更に詳細に
説明する。第２図は１本発明の一具体ｆｌＫ係る反射防
止膜の設けられ九党学部品の横断面図を示しえもＯであ
シ、１・は１反射防止層を設ける透明基体、ｔａｔｉ該
透明基体１−０１１１１に形成されえ屈折率−がＬ４１
≦−≦ｔｗｉＯ膜からなる第１層、ｓＯはこの第１層２
・上に形成され良屈折皐−がｔｔｓｓ≦−≦ＬｔＩＩＩ
Ｏ属からなる菖意層、４０はこの第２層３０上に形成さ
れ九屈折率−が１０１≦−≦ｔｏｓｏ第ｉ層、５０はと
ｃ＋第Ｓ層４０上に形成された屈折率−がｔ４４≦−≦
ｔ４？ｆ）第４層を示す。

本発明において、透明１６基体としては透明性が高く、
耐擦傷性、耐摩耗性、耐化学的安定性、耐−１的安定性
、光学特性勢に優れ、かつメメネ、カメラそＯ他各種用
途のレンズＩ＠１針器、装置等に使用されるカバー透明
板、各種−材料、あるいはそＯ他各種光学部材に使用さ
れる特性を有するプラスチック材料、Ｐｌえげアリル樹
脂（飼えば裔晶名ｏｘ−ｉｔ（ボツアツルジダ雫＝−ル
カーボネート）として知られて−る。）％ポリメチルメ
タタリレート、ポリカー〆ネート、ポリスチレンなどが
使用される。勿論、これらＫ１１ｉｌ定される仁となく
上１ｅ４１１性を有するその他各種プラスチック材料も
及びｊラス基体も使用することがで自る。中でも１本発
−〇反射騎止膜株屈折率ｔ４ｔ・〜ｔｓ＠・を持り透明
基体に対し、！ＫＯ１−１９として知られているポリア
リルジグリコールカーｌネートに対し最適である。

本発明における第１層２０は１．６　Ｍ≦−≦ｔｉｓＯ
履折率−を有する光学膜が使用されうるが、中でもその
膜としてはかかる屈折率の範■が得られ、かつ、その屈
折率の制御も容易で。

化学的、物理的耐久性にも優れ、更に膜形成が容易な酸
化アルｌｘ＝ウム（ムｊｔｏｍ）又は酸化アル叱ニウム
（ムｊｓｏｓ）を７０嘩以上含む酸化ア）ｈｌニウム膜
が最適である。又第１層Ｏ膜厚としては、光学膜厚−４
テ（１／４−３／１２１　）λ・≦−４＜　（１／４　
＋　Ｖ１！８）λ・の範囲とするのが好壇しｎ、ココテ
、　１１１ハｔ　４　Ｓ　≦ｖｑ≦ｔ　６５０５ｍで＃
））１又反射防止の主波長λ拳　は（１４？　５　ｐｗ
ａ　〜ａｓ　Ｉｓ　Ｓ　ｐｍである。λ・　は以下同じ
である。

又、第！層ＳＯは、ｔｔｓｓ≦−≦ｔ！・ＳＯ履折率−
を有する光学膜が使用されうるが、中で４七〇膜として
は、かかる屈折率の＠囮が得られ、かつそＯ屈折率Ｏ制
御も容易で、化学的、物理的耐久性にも優れ、更に膜形
成が容易な酸化ジルコニウム（Ｚｒ０１　）、　　又は
酸化ジルコニウム（！ｒｏ１）１ｒ７０１！以上含む低
屈折率酸化ジルコニウム膜が最適である。又第２層Ｏ膜
厚としては、光学膜厚−４で５５／１２８λ・≦−〜≦
Ｎ　７／１　！　８λ・Ｏ範路とするのが好ましい。

こむでｎ＠Ｆｉ、ｔｔｓｓ６；ｎｇ≦ｔｔｓｓ　　ｏ範
囲である。

又館３層４０は、２．０１≦−≦Ｌｏ　ｓｏ屈折率−を
有する光学膜が使用されうるが、中でもその膜としては
、かかる屈折率の範囲が得られ。

かつその屈折率の制御４容易で、化学的、物理的耐久性
にも優れ、かつその膜形成も容異な酸化ジルコニウム（
ｚｒｏｗ）又は酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）を７０９
１以上含む高屈折率酸化ジルコニウム膜が最適である。

又、第１層Ｏ膜厚としては、光学膜厚−４で！Ｓ／１２
＠λ・≦−４≦２！／１！・λ・　ＯＩｉ囲とするのが
好ましい、ζこで−ｄ１０１≦４≦１０ｓｏｌ［囲であ
る。

こＯ様に第２層ｓＯと第１層４０とは、低履折率酸化ジ
ルコニウム膜、高屈折率酸化ジルコニウム膜とから構成
するのが最適である。この第宜層と第１層の酸化ジルコ
ニウム膜の屈折率の調整は１例えば真空蒸着時の真空度
と蒸着速度を調整して行う、ｉＦｌえば、酸化ジルコニ
ウム膜Ｏｇｋ肩折率化は　ｍ着真申縦を悪くして、即ち
真空中の残留ガスが多い雰囲気でゆり〈〕と蒸着すれば
達成化でき、一方高屈折率化は、高真空下で蒸着源温ｆ
を高めて蒸着すれば可能である。

又、第４層Ｓ＠は、ｔ４６≦−≦ｔ４？の屈折率−を有
する光学膜が使用されうるが、中でもその膜としては、
かかる屈折率Ｏ範囲が得られ、かつその屈折率＆）１１
１１１４害鳥で、化学的。

物理的耐久性にも優れ、かつその膜形成も容易な酸化ケ
イ素（１ｉｄｓ　）　　又は酸化ケイ素（ｓｉｏ、　）
を７・−以上含む酸化ケイ素膜が最適である。

又、第４層Ｏ膜厚としては、光学膜厚−と４で（１／４
−１／１２８　）λ・≦ｍ４ａ４≦（１／４　＋　ｌ／
１２１１）１・の範囲とするのが好ましい、ここで−は
’Ｌ４４≦ａ＊≦ｔ４ｔｏ＠ｓである。

この第４層は１本−明Ｏアンバー色糸反射紡止ｌ［Ｏ叉
射率に影響を与える最も重要な因子であり、第４層ＯＩ
Ｉ折率が低い嫌ど反射率は低くなるが、屈折率が１．４
４よ）低くなると酸化ケイ素膜が多孔質とな〉、機械的
、化学的耐久性が低下して好ましくなく、又屈折率がｔ
４？よ〉高くなると反射率が高くなって反射防止膜とし
ての性能が低下して好ましくない。

上記した第１層、第４層の屈折率の調整は。

第３゛層、第４層の酸化ジルコニウムの屈折率Ｏ調整と
同ＩＩＫ、蒸着条件を変えるととにより行なわれる。

上記したＩＩＩＫ、第１〜４層の各層の屈折率及び膜厚
を特定の範囲に選ぶことＫよ〉１可視党域の反射防止効
果が高くなシ、かつ第１〜４層の干渉効果により反射光
がアンバー色系の反射防止膜を提供することができる。

なお１本発明によるアンバー色系の反射色を有する反射
防止膜は、各層Ｏ屈折率及び膜厚に対する制約が厳しい
もＯ０第２層、及び館３層Ｏ膜厚Ｏｗ御を正しく行なう
ことＫよ〉、アンバー色系の反射色を有し、かつ反射率
の低い反射防止膜を得ることができる。特に、第宜層Ｏ
膜厚領御Ｏ精度は（１／１２８　）　Ｊ・、又第易層Ｏ
膜厚餠御Ｏ精ｆは（２／１２８　）λ・　ｆ）ＩｉｆＫ
する注意が必要である。

１に訃、第１１１に示し良様に１酸化アル２ニウム（ム
ＡＴＯｓ）膜と酸化ジルコニウム膜（ｇｒｏｗ）膜と酸
化ケイ素（ａｌｔＧ、）膜とｔＩ［次プラスチックレン
ズ表面に形成し九グリーン色系Ｏ反射色を有する反射防
止膜では、第２層Ｏ酸化ジルコ具つム膜がに波長で構成
されているが、グリ−色の補色であるアンバー色系の反
射色を実現する丸め１本発明においてはかかる酸化ジル
コニウム膜を低屈折率部と高屈折率部の！層に分け、し
かも膜厚構成を通常の樋波長からずらしている。

本発明においては２反射防止膜の主液長のとヤ方が一つ
Ｏ特徴となっておシ、アンＩ（−色はグリーン色の補色
といえるＯで、主波長はダシーン色領域（青緑−縁一黄
緑の領域）Ｏ約＊＊・ｐｍ−１！１７ｍｍ　　Ｋとっで
ある。ヒ０１１！にするととによ）、第１〜４層０４）
光学膜厚を前述し九＊ｔ＊ｉｓとしえ反射防止膜は′−
アンバー色系の反射色にさせることができる。

又１本発＠においては、上記しえ４層系の反射防止膜の
プラスチツタ透明基体ｌＩ面への付着強変を高め、かつ
プラスチック透明基体ＯＳＳの耐擦傷性、耐摩耗性の弱
さを補なう良めに２第Ｓ＠ｔ）様にプラスチック透明基
体１０と第１層！ＯとｆｌｌｓｌｌＩＫアンダープート
４６を介在させるとともできる。このアンダーコートと
しては。

付着性Ｏ改善、及び耐擦傷性、耐摩耗性の改善に効果的
な有機物質又は無機物質の中から最適な材料が選択され
るが、中でもプラスチック基体及び反射防止膜との付着
性が嵐好でかつ耐擦傷性、耐摩耗性が棗好で、化学的耐
久性４１１れ。

更にコーティング容易な酸化ケイ素（ａｔｏｍ）膜。

もしくは酸化ケイ素（ｓｎｏｗ）　ｋ　ｙ　ｏ−以上含
む酸化物膜からなるアンダーコートが特に好ましい、か
かるアンダーコートの膜厚紘、ＬＳｐｗａ〜２　ｐｗａ
　Ｄ＠＠がｑ＃に好オしい、アンダーコートＯ膜厚が２
声よ〉大となるとこの層中に生ずる応力が大と′＆夛、
プラスチック透明基板の強度低下を４えらし、あるいは
又剥Ｓ、亀裂等が入〉好ましくない、１ｐｌえばｏｎ−
ｓｔｏめがねレンズＫｌ　６　ｐｙｍ以上０８１０．　
　膜を形成するとめがねレンズＯ米ｌ１ｌＯ］ＰＤＡ！
ｌＬ格０９１度試験を満えさ欺くなる。一方、ｌＬｓｐ
ｍ　　よ）小となるとプラスチツタ透明基体の耐擦傷性
、耐摩耗性を向上させる良めに効果がなくなに、又分光
反射特性におけるリップルの振幅が大きくなル反射肪止
に対し悪影響を与えるＯで好ましくない。

又、アンダー；−トの酸化ケイ素（ｓｉｏ、）又はこれ
を主体とするｌｌ０ＩＩ折率社、グラスチック透明基体
の屈折率とＯ差異が大きくなるとりラグｓ−０＠　＠が
増大するえめ１．４　！ｉ　−ｔ　Ｓ　５とするのが好
ましい。

歯、プラスチツタ透明基体とアンダーコートとＯ付着性
を高めるためＫそ０間に反射防止性能、色調に影響を与
えない範囲の膜厚２例えば１０〜２００Ａｔ）その他Ｏ
アンダーコート１形成した）、あるいは又プラスチック
透明基体を化成処理することもできる。

本発明においては前述した様に、第１〜４０各層におい
て耐候性、硬ｆ１付着力等の向上の丸めに、それぞれの
各層の屈折率の範囲内で。

かつ所望の特性が得られる範囲内で＆ＳＯ−よ）少ない
他の成分、例えばＭｇＯ、ＯａＯ、ＴＬＯｈテ’１０１
ｔ　　　ム４０ｇ　、　　１ｉｉｏ１．　　８１０　　
、　　　ＺｎＯ、Ｇａ１Ｏ１゜Ｓ鳳ｏ１＆ｏ・０■を添
加し１Ｌあるいは複合膜とすることもできる。

以下、本発明ｃｓ＊ｍ１Ｐ１について説明する。

実施ＩＰ１１ 清浄に洗浄しにポリアリルカーｌネートレンズ基体（商
品名、０Ｒ−１９レンズ）ｋ真空蒸着槽内に七ットし、
該蒸着槽内ｉｔず１×１０″″ＩＴｏｒｒ　　まで排気
した０次−でレンズ基体を約１・０℃に加熱しつつ以下
０ＩＩＡ着を順次行なり良、はじめに、、ＩＮ着檜の真
空度ｉ　５　Ｘ　Ｉ　Ｄ−１〒ｏｒｒ　ＩＩＣ調整しえ
後、レンズ基体表面に酸化アルミニウムを３ム／−・ａ
の蒸着速度で蒸着し、−１６１の酸化アルミニウム（ム
ｈｏｇ　）　ｌ［からなる第１層を形成した。次いで真
空度を瓜ＳＸ１０−１〒ｏｒｒ　Ｋ再調整した俵、上記
酸化アルン真ウム膜上に酸化ジルコニウムｆＳム／―・
０の蒸着速度で蒸着し、５ｙｏｕＯ低屈折率酸化ジルコ
ニウム（ＺｒＯ禦）　膜からなる第２層を形成し、続い
て再び真空［１５Ｘ１ｆｔ″″’　Ｔｏｒｒ　Ｋ再調整
し九後、上記低屈折率酸化ジルコニウム膜上に酸化ジル
コニウムｔｓＸ／−・Ｃの蒸着速度で蒸着し７５５ムの
高屈折率酸化ジルコニウム（ＺｒＯ嘗）ｉｌｌからなる
第５層【形成しえ０次いで蒸着槽の真空ｆを５×１０″
″易〒ｏｒｒ　　に再調整した後上記高屈折率酸化ジル
コニウム膜上に酸化ケイ素［２０ム／−・Ｏの蒸着速度
で蒸着し、？ＯＯＡ＆）鹸化ケイ素からなる第４層【形
成し良。

このＩＩにして蒸着された各層についてそれぞれ屈折率
をアペレス法により測定したところ。

第１層の酸化アルミニウム膜の屈折率Ｆ１１．６　′５
であり、第２層の低屈折率酸化ジルコニウム膜の屈折率
はｔ９５５であり、第３層の高屈折率酸化ジル−ニウム
膜の屈折率は２−０１であ）。

第４層の酸化ケイ素膜の屈折率は１．４であつ九。

又この反射防止膜の反射色調は赤色系アンバー色を呈し
、この反射防止膜の反射特性ｔ−測測定た結果は、第４
ｍ５の曲線ａに示し九様になつえ。

又、この反射防止膜の反射色調を０１１座標に示すと、
第６図０点ムで示され、アンバー色系の線間を示す斜線
領域Ｐｆ）中に位置していることが認められる。

ａｍガ２ 清浄に洗浄したポリアリルカーｌネートレンズ基体（商
品名、０Ｒ−１？レンズ）を真空蒸着槽内に１ツトし、
該蒸着槽内ｔます１×１０″″ｉ！ｏｒｒ　　まて排気
し丸。次いでレンズ基体を約１・−〇に加熱しつつ以下
の蒸着ｔｌ１１次行なつ良、はじめに、蒸着槽の真空ｊ
［ｔｓＸｌｍ−暴テｏｒｒ　　Ｋ調整し友後、レンズ基
体表ＷＪＫ酸化アｋｉニウムをＳム／−・０の蒸着速度
で蒸着し。

７７・ムＯ酸化アル＜＝ラム（ムｊｓｏｓ）膜からなる
第１層を形成しえ１次いで真空ｌＩＬを表５×１０−”
　Ｔｏｒｒ　ｐｃ再調整した後、上記酸化アル建ニウム
膜上に酸化ジルコニウムをＭＡ’／ｇ・ｏｆ）蒸着速度
で蒸着し５４ｏｉＯ低屈折率酸化ジルツエウム（！ｒｏ
ｂ）膜からなる第２層重形成し。

続いて真空度ｔ　！！　Ｘ　１　＠−’　Ｔｏｒｒ　Ｉ
ＩＣ再調整し良後、上記低屈折率酸化ジルコニウム膜上
に酸化ジルコ１ウムｉｓＸ／ｓ＠ａの蒸着速度で蒸着し
７０１ＩＡｔ）高屈折率酸化ジル；ニウム（！ｒｏｂ）
膜からなる第Ｓ層を形成した。次いで蒸着槽０真空［１
１Ｘ１０″″墨テｏｒｒ　Ｋ再調整した後上記高属折本
酸化ジルコニウム膜上に酸化ケイ素を！Ｏム／−・Ｏの
蒸着速度で蒸着し、・ｂｏ’ｈ。

酸化ケイ素からなる第４層を形成した。

こ０４１！にして蒸着された各層にりいてそれぞれ屈折
率ｔアベレス法により一定したところ。

第１層Ｏ酸化アル（ニウムｌｌｌ０［ｇ折本はｔ４４で
あ）、第２層Ｏ低屈折率酸化ジルコニウム膜の屈折率は
ｔ！４５であ〕、第１層の高屈折率酸化ジルコニウム膜
の屈折率は２．０２であシ。

第４層の酸化ケイ素膜の屈折率はｔ４７であつ九、又ヒ
Ｏ反射防止膜の反射色調はアンバー色を呈し、ヒＯ反射
彷止膜Ｏ反射特性を一定しえ結果は、第４図Ｏ蘭線ｂ（
示し良様になりえ。

又、ζＯ反射肪止膜の反射色調を０工１座標に示すと、
第４９１１０点１で示され、アンバー色系の範囲を示す
斜線領域ｒの中に位置していることが認められる。

実施例Ｓ 清浄に洗浄したポリアシルカーｌネートレンズ基体（商
品名、０Ｒ−ｓ９レンズ）を真空蒸着槽内にセットし、
該蒸着槽内を★ずｌＸ１ｒ’テｏｒｒ　　壇で排気した
０次いでレンズ基体を約１１１１ｍ１：に加熱しつつ以
下の蒸着を順次行なり良、紘じめに、蒸着槽の真空度ｔ
！×１・−ＳＴｏｒｒ　ｐｃ調整し良後、レンズ基体表
１ｌＫＩＩ化７に々ニウムを墨ム／−・・Ｏ蒸着速度で
蒸着し。

ｇｏ＠ｍＯ酸化アル建ニウム（ム４０ｍ）膜からなる第
１層を形成した０次いで真空度を４×１・−・テｏｒｒ
　　Ｋ再調整した後、上記酸化アルｉｘ９＾膜上に酸化
ジルコニウム６ｓＳ／−・ａＯ薫層着速度蒸着し、ｓｍ
ｏ’ｈｏ＠屈折率酸化ジ屈折率酸化ジム（！ｒｏｔ）Ｉ
Ｉからなる第２層を形成し、続いて同じ真空度の４Ｘ１
（１−１〒ｏｒｒ　Ｋおｉで、上記低屈折率酸化ジルコ
ニウム膜上に酸化ジルコニウムを８１７−・ｏｆ）蒸着
速度で蒸着しｙｉｏｕｏ高屈折率酸化ジルコニウム（ｚ
ｒＯｌ）膜からなる第Ｓ層を形成しえ０次いで蒸着槽の
真空度を４Ｘ１＠″″４テｏｒｒ　Ｋ再調正した後上記
高屈折率酸化ジルコニウム膜上に酸化ケイ素を２０ム／
−・ａＯＯ着速度で蒸着し、・！５Ｘの酸化ケイ素から
なる第４層を形成した。

こ０ＩＩＩＫして蒸着されえ各層についてそれぞれ屈折
率をアペレス法によシ捌定し良ところ。

第１層Ｏ酸化アル１＝ウム膜の屈折率はｔ４Ｂであ）、
第２層の低屈折率酸化ジルコニウム膜０１ｌＡ折率はｔ
！８５であ如、第３層の高屈折率酸化ジルコニウム膜の
屈折率はｔａＳであ〉。

第４層の酸化ケイ素膜０［折率はｔ４１１であった。又
こＯ反射防止膜Ｏ反射色調はアンバー色を呈し、この反
射防止ＩＩＯ反射特性を測定した結果は、第１１１０１
１１！ＩａＫ示し先様になつえ。

又、ζＯ反射防止膜の反射色調をａｘｍ座欄に示すと第
６図ＯＯ点で示され、アンバー色系の範囲を示す斜線領
域Ｐの中に位置していることが認められる。

実施ｆｉ４ 清浄に洗浄したポリアリルカーボネートレンズ基体（商
品名、（３Ｒ−５９レンズ）を真空蒸着槽内にセットし
、該蒸着槽内ｋｔずＩ　Ｘ　１０−＠〒ｏｒｒ　　ｔで
排気し九０次いでレンズ基体を約１００℃に加熱しつつ
以下の蒸着を順次行なった。はじめに、蒸着槽の真空＆
を２　Ｘ　１０−１〒ｅｒｒ　　Ｋ調整し良後、レンズ
基体表面に酸化アル１＝ウムを３ム／ａ・ｏＯＯ着速度
で蒸着し。

ｓＯＯムの酸化アル電ニウム（ムＪｍＯｓ）膜からなる
第１層を形成した０次いで真空ｇｆ４Ｘ１０−１テｏｒ
ｒ　　Ｋ再調整し友後、上記酸化アルミニウム膜上Ｋｓ
！化ジルコニウムをｓｔ／−・ａ（Ｄ蒸着速度で蒸着し
、５ｉｏＸｏ低屈折率酸化ジルコニウム（ＫｒＯ＠）膜
からなる第２層を形成し。

続いて同じ真空ｆＯ４ｘｔｏ−ｓ　テ◎ｒｒ　ｐｃおい
て、上記低側折率酸化ジルコニウム膜上に酸化ジル：Ｉ
ａウムｔ８ム／−・ａｌＤ蒸着速度で蒸着しムＯ高屈折
率酸化ジルコニウム（Ｚｒ０１）膜からなる第１層を形
成しえ１次いで蒸着槽の真空度ｋｙｘ１ｅ−″テｏｒｒ
　Ｋ再調整し良後上記高屈折率酸化ジルコニウム膜上に
酸化ケイ素をｚｏＸ／−・（１０，ＩＩ着速度で蒸着し
、？１０ＸＯ酸化ケイ素からなる第４層を形成しえ。

ζ（ＩＩＩＫして蒸着されえ各層についてそれ（れ屈折
率をアペレス法により測定し九ところ。

第１層の酸化アル（＝ラム膜Ｏ屈折率はｔ６ｓであ）、
第２層の低屈折率酸化ジルコニウム膜Ｏｊ１折率はｔｔ
ｓｓであ〉、第５層Ｏ高屈折率酸化ジルプニウム膜の屈
折率は２．０ｓでＴｏｂ。

ｆｓ４層の酸化ケイ素膜の屈折率は１．４４であつた。

又こＯ反射防止膜Ｏ反射色調はアンバー色を呈し、この
反射防止膜の反射特性ｔ−ｉｍ定しえ結果は、鎖Ｓ図の
１線すに示した様になつ九。

又この反射防止膜の反射色調＠ＯＸＸ座標に示すと、第
６図ＯＤ点で示され、アンバー色系の範囲を示す斜線領
域ｒの中に位置していることが認められる。

以上Ｏ実施例での各層０＠ｔ）形成には、真空蒸着法を
用い九が、かかる膜の形成にはこれに限定される事なく
、スパッター法、化学蒸着８ｋ、イオンプレーテインダ
法等の各種；−テインダ法も同様に使用できることは勿
論である。

以上のＩＩＫ、本発明によれば、第１〜４層Ｏ屈折率、
光学膜厚を前述した様な所定範囲とすることによ〉、干
渉効果により可視域において高い反射防止効果が得られ
、かつアンバー色系の反射色調が得られることが認めら
れる。これは、特にメガ専用レンズとして適用した場合
反射防止性能及びファツジ璽ン性を兼ね四えておシ最適
である。

しかも１本発明の反射防止膜を構成する材質として酸化
ケイ素（ａｔｏｍ）　ｈ酸化ジルコニウム（ＸｒＯ朧）
、酸化アル建ニウム（ムｈｏｓ　）ある−はこれらを主
成分とする膜を用いれば、これらが機械的強度が高く、
又化学的安定性が高く。

耐久性にも優れているので、＃にプラスチツタレンズＯ
反射防止膜として最適である。

【図面の簡単な説明】

館１図は従来Ｏグリーン色系の反射色を有する１層反射
防止膜の形成された光学部品の横断面Ｉａ、第１　Ｍｌ
＠ｌは本発明０４層反射防止膜Ｏ形成されえ光学部品Ｏ
横断面図、１第４．　ｌｌｉ！は本発明０４層反射防止
膜Ｏ形形成れ良党学部品の分光反射特性図、第６１１１
１は本発明０４４層反射防止膜形成された光学部品Ｏ反
射色調を示すＣ工１座標図である。 １・：透明基体、２０：第１層、１０：第２層、４０：
第２層、ｚＯ：第４層、４０：７ンｆ／関 、ぐｈ 才２ＴｆＡ Δ６ ″ｆ３関 Ｌ浪玉（ス〕 ｆ４　ｒＡ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　透明基体上に、該透明基体側から屓に屈折率
   −がｔ４５≦−≦ｔｉｓｔ）第１層、ｍ折率ｗｓｔｔｓ
   ｓ≦ｂ≦ｔｙｓｓｏ第２層、屈折率−がｌＯ１≦ｂ≦１
   Ｏ３Ｏ第１≦ｂ≦折率−がｔ４４≦−≦ｔ４？ｔＤ第４
   ？ｔＤ成したととｔ特徴とする４層よシなるアンバー色
   糸０灰射色を有する反射防止膜を設けた光学部品。
2. （２）４層よ）＆る反射防止膜を形成する透明基体の屈
   折率ｎ　がｔ４９０≦ｎ、≦ｔｓ；ａｓであることに特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載のアンバー色糸０灰
   射色を有する反射防止膜を設は良党学部品。
3. （３）４層よ〉なる反射防止膜の主液長λ・が＊４９Ｓ
   ｐｍ≦２０≦ａ　ｍ　Ｓ　Ｓ　ｐｍ　であることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載のアは喪光学部品。
4. （４）４層よ）なる反射防止膜Ｏ第１層の光学膜２・≦
   −４≦１”２’ｌλ・　であることを特徴とする特許請
   求Ｏ範囲第４項記載のア／ノ（−色事０屓射色を有する
   反射防止膜を設は九光学部品。
5. （５）４層よりなる反射防止膜の第１層がｔ４５≦−≦
   ｔ４５０屈折率−を有する酸化アル之ニウム膜第２層が
   ｔ９５５≦−≦ｔ！易ＳＯ屈折率−を有する低屈折率酸
   化ジルコニウム膜、第１層が２．０１≦−≦＊ｏｓｏ屈
   折率ｎ。 を有する高屈折率酸化ジルプエウム膜、第４層が１４４
   ≦−≦’Ｌ４ｔｔ）屈折率１１４を有する酸化ケイ素膜
   であることを特徴とする特許請求０１！囲第１項記載Ｏ
   アｙ　ノ＜−色糸の反射色を有する反射防止膜を設けた
   光学部品。 〜！−ｐａｔ）酸化ケイ素膜のアンダーコート膜、光学
   膜厚−４が（１／４−　Ｓ／１２Ｂ　）λ・≦−４≦（
   １／４　＋　５ハ２８　）　Ｊ、の酸化アルミニウム膜
   からなる第１層、光学膜厚−４が５５７１２８λ・≦−
   〜≦１７／１２１５λ・０低屈折率酸化ジ羨コニウム膜
   からなる第！層、光学膜厚−４が２５／１２−λ＠　≦
   ｋ　４ａ　≦２”Ｆ／１２８λ＠　０　”ａ　ＩＩ折率
   酸化ジルコニウム膜からなる第５層、光学膜厚ｎ４（１
   ４が（１／４−３／１２８　）λ・≦ｎ４ａ４≦（１／
   ４　＋　Ｓ／１２・）λ・　Ｏ酸化ケイ素膜よシなる第
   ４層を順次形成してなる仁とを特徴とする特許請求ＯＳ
   ｇ第１第１載記載Ｏアンバーの反射色を有する反射防止
   膜を設けえ光学部品。