JPS5857064U - 電子線装置の対物レンズ - Google Patents

電子線装置の対物レンズ

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Publication number
JPS5857064U
JPS5857064U JP15218581U JP15218581U JPS5857064U JP S5857064 U JPS5857064 U JP S5857064U JP 15218581 U JP15218581 U JP 15218581U JP 15218581 U JP15218581 U JP 15218581U JP S5857064 U JPS5857064 U JP S5857064U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
objective lens
magnetic pole
electron beam
lens body
vertical direction
Prior art date
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Pending
Application number
JP15218581U
Other languages
English (en)
Inventor
谷中　隆志
大沢　一夫
勝 渡辺
Original Assignee
株式会社明石製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社明石製作所 filed Critical 株式会社明石製作所
Priority to JP15218581U priority Critical patent/JPS5857064U/ja
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案の第１の実施例に係る電子線１．装置
の対物レンズの構造を示す断面図である。第２−１本考
案の第１の実施例における絞り支持体部分の構造を拡大
し石示す要部断面図である。 第３図は、本考案の第２の実施例における絞り支持体部
分の構造を拡大して示す要部断面図である。 、第１図は、本考案の第３の実施例における絞り支゛持
体部分の構造を拡大して示す要部断面図である。 １−・・継鉄、２・・・上側磁極コイル、３・・・下側
磁極コイル、７・・・上側磁極片、８・・・上側磁極外
部筒、９・・・上側磁極内部筒、２４・・・絞り、２５
・・・絞り支持体、２７・・・調節ねじ、３１・・・下
側磁極片、３２−・・・下側磁極外部筒、３３・・・下
側磁極内部筒、５４・・・軸受部材、５８・・・ベロー
ズ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. レンズ本体部と、このレンズ本体部に取付けられ、上下
    方向に所定のギャップを置いて対向している一対の磁極
    片と、磁極片間隙ｉこ配置した試料ステージ及び絞りと
    を備えた対物レンズにおいて、前記一対の磁極片のうち
    少なくとも一方の磁極片を上下方向に移動可能に構成す
    る一方、上記絞りレンズ本体部に対してシール保持し、
    且つレンズ本体内部の真空を保ちつつ上下方向に移動可
    能にしたことを特徴とする電子線装置の対物レンズ。
JP15218581U 1981-10-15 1981-10-15 電子線装置の対物レンズ Pending JPS5857064U (ja)

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JPS5857064U true JPS5857064U (ja) 1983-04-18

Family

ID=29944845

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4327725Y1 (ja) * 1965-10-15 1968-11-15
JPS51137368A (en) * 1975-05-23 1976-11-27 Hitachi Ltd Movable iris for electron microscope

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4327725Y1 (ja) * 1965-10-15 1968-11-15
JPS51137368A (en) * 1975-05-23 1976-11-27 Hitachi Ltd Movable iris for electron microscope

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