JPS5857372B2 - 光フアイバガラスの製造装置 - Google Patents
光フアイバガラスの製造装置Info
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- JPS5857372B2 JPS5857372B2 JP51096233A JP9623376A JPS5857372B2 JP S5857372 B2 JPS5857372 B2 JP S5857372B2 JP 51096233 A JP51096233 A JP 51096233A JP 9623376 A JP9623376 A JP 9623376A JP S5857372 B2 JPS5857372 B2 JP S5857372B2
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- Japan
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- optical fiber
- fiber glass
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- Expired
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高品質な光ファイバを得ることができる光フア
イバガラスを製造する装置に関するものである。
イバガラスを製造する装置に関するものである。
光ファイバに要求される最も重要な特性として低損失性
と広帯域性が挙げられる。
と広帯域性が挙げられる。
このような特性を満たす光ファイバはガラス管の内壁に
ガラス膜を化学蒸着したり、中心素材の外壁に光フアイ
バガラスを化学蒸着したりして得られる光フアイバ素材
を紡糸することによって得られている。
ガラス膜を化学蒸着したり、中心素材の外壁に光フアイ
バガラスを化学蒸着したりして得られる光フアイバ素材
を紡糸することによって得られている。
しかしながら、化学蒸着法で得られる光ファイバは一般
に高性能ではあるが、その特性は大きくばらつき、安定
に再現性よく製造することが困難である。
に高性能ではあるが、その特性は大きくばらつき、安定
に再現性よく製造することが困難である。
これは化学蒸着法の制御性の困難さに依存している。
本発明の目的は、光フアイバガラスを化学蒸着法によっ
て形成する際の不安定性を改善し、所望の高品質光フア
イバガラスを安定にかつ再現性よく製造できる装置を提
供することにある。
て形成する際の不安定性を改善し、所望の高品質光フア
イバガラスを安定にかつ再現性よく製造できる装置を提
供することにある。
本発明によれば、キャリヤガスの供給源と、光フアイバ
ガラスの液体原料を収納することができかつ内部に前記
キャリヤガスを流すことができる原料容器と、前記液体
原料の温度を制御する温度制御手段と、前記光フアイバ
ガラスを化学反応によって形成するため前記キャリヤガ
スと前記液体原料から気化した気体との混合気体を励起
する手段とを含む光フアイバガラスの製造装置において
、前記原料容器に、収納された前記液体原料の容量の減
少量を検知することができる減少量検知手段を設けた光
フアイバガラスの製造装置が得られる。
ガラスの液体原料を収納することができかつ内部に前記
キャリヤガスを流すことができる原料容器と、前記液体
原料の温度を制御する温度制御手段と、前記光フアイバ
ガラスを化学反応によって形成するため前記キャリヤガ
スと前記液体原料から気化した気体との混合気体を励起
する手段とを含む光フアイバガラスの製造装置において
、前記原料容器に、収納された前記液体原料の容量の減
少量を検知することができる減少量検知手段を設けた光
フアイバガラスの製造装置が得られる。
また本発明によれば、前記減少量検知手段として指向性
の鋭い光ビームを原料容器内の液体原料の液面に照射し
て、液面からの反射光ビームの変位量を光検出器によっ
て検出して液体原料の減少量を検知する先ファイバガラ
スの製造装置が得られる。
の鋭い光ビームを原料容器内の液体原料の液面に照射し
て、液面からの反射光ビームの変位量を光検出器によっ
て検出して液体原料の減少量を検知する先ファイバガラ
スの製造装置が得られる。
さらに、本発明によれば、前記減少量検知手段として、
単色性の良い第一の光を原料容器内の液体原料の液面に
ほぼ垂直に照射し、その反射光の一部を単色性の良い第
二の光と干渉させて得られる干渉光の強度を光検出器で
検出して液体原料の減少量を検知する光フアイバガラス
の製造装置が得られる。
単色性の良い第一の光を原料容器内の液体原料の液面に
ほぼ垂直に照射し、その反射光の一部を単色性の良い第
二の光と干渉させて得られる干渉光の強度を光検出器で
検出して液体原料の減少量を検知する光フアイバガラス
の製造装置が得られる。
次に図面を用いて本発明を説明する。
第１図は本発明の第一の実施例を示し、１および２はキ
ャリヤガス兼反応ガスの酸素を供給する酸素供給源、３
および４はガラス容器、５および６は光フアイバガラス
の液体原料でそれぞれ５ｉＣｌ、およびＧｅＣｌ４．１
および８は液体原料の５ｉＣ７４５およびＧｅＣＡ４６
の温度を制御する温度制御装置、９および１０は指向
性の鋭い光ビームの光源、１１および１２は光検出器、
１３は内壁に光フアイバガラスが堆積させられる管、そ
して１４は加熱体である。
ャリヤガス兼反応ガスの酸素を供給する酸素供給源、３
および４はガラス容器、５および６は光フアイバガラス
の液体原料でそれぞれ５ｉＣｌ、およびＧｅＣｌ４．１
および８は液体原料の５ｉＣ７４５およびＧｅＣＡ４６
の温度を制御する温度制御装置、９および１０は指向
性の鋭い光ビームの光源、１１および１２は光検出器、
１３は内壁に光フアイバガラスが堆積させられる管、そ
して１４は加熱体である。
以上の構成において、酸素供給源１および２の酸素はガ
ラス容器３および４にそれぞれ進み、この中から５ｉＣ
１！＋５およびＧｅＣＡ、６の気体をそれぞれ運び出す
。
ラス容器３および４にそれぞれ進み、この中から５ｉＣ
１！＋５およびＧｅＣＡ、６の気体をそれぞれ運び出す
。
運び出された５ｉｃｋ４のＧｅＣ７４の気体は途中で混
合されて管１３の内部に送られる。
合されて管１３の内部に送られる。
管１３め内部の酸素５ｉＣ７４、ＧｅＣＡ４の混合気体
は加熱体１４で加熱されて化学反応を起こし管１３の内
壁に光フアイバガラスとして堆積される。
は加熱体１４で加熱されて化学反応を起こし管１３の内
壁に光フアイバガラスとして堆積される。
加熱体１４を管１３の長さ方向に移動させると、管１３
の内壁にその長さ方向にそって一様に光フアイバガラス
が堆積される。
の内壁にその長さ方向にそって一様に光フアイバガラス
が堆積される。
酸素供給源１および２からの酸素の供給量を変えてやれ
ば成分比の異なる多層の光フアイバガラス膜が形成され
る。
ば成分比の異なる多層の光フアイバガラス膜が形成され
る。
ところでこのような化学蒸着を行なっている間、５ｉＣ
１４５とＧｅＣｌ４６は減少していくが、この減少量は
光源９および１０からの光ビームを利用して検出される
。
１４５とＧｅＣｌ４６は減少していくが、この減少量は
光源９および１０からの光ビームを利用して検出される
。
すなわち光ビームは５ｉＣｌ。５とＧｅ Ｃｌ！ ４６
の液面で反射されてそれぞれ光検出器１１および１２に
到達する。
の液面で反射されてそれぞれ光検出器１１および１２に
到達する。
５ｉＣ７４５とＧｅＣ７，６の液面の変化は光検出器１
１および１２にそれぞれ入射する光ビームの位置の変化
に対応している。
１および１２にそれぞれ入射する光ビームの位置の変化
に対応している。
すなわち反射光ビームの変化量を検出して、この量が一
定になるように温度制御装置７および８を動作させて均
一な光フアイバガラス膜を得る。
定になるように温度制御装置７および８を動作させて均
一な光フアイバガラス膜を得る。
予め変化量を設定しておくことにより各層の成分比が異
なる均一な多層の光フアイバガラスを形成することがで
きる。
なる均一な多層の光フアイバガラスを形成することがで
きる。
第２図は本発明の第二の実施例を示し、１および２は酸
素供給源、３および４はガラス容器、５および６はそれ
ぞれ５ｉＣＡ とＧｅ Ｃ１３、，７および８は温度制
御装置、２１および２２は単色性のよい光を発する第一
光源、２３および２４は単色性のよい光を発する第二光
源、２５および２６は光強度検出器、１３は管、そして
１４は加熱体である。
素供給源、３および４はガラス容器、５および６はそれ
ぞれ５ｉＣＡ とＧｅ Ｃ１３、，７および８は温度制
御装置、２１および２２は単色性のよい光を発する第一
光源、２３および２４は単色性のよい光を発する第二光
源、２５および２６は光強度検出器、１３は管、そして
１４は加熱体である。
以上の構成において、第一の実施例の場合と同様に酸素
、５ｉｃ１４．ＧｅＣｌ、の混合気体は管１３の内部で
化学反応してその内壁に堆積される。
、５ｉｃ１４．ＧｅＣｌ、の混合気体は管１３の内部で
化学反応してその内壁に堆積される。
この時、液体原料の５ｉＣ１４５とＧｅＣｌ４６の減少
量は第一光源２１および２２から発せられた光の、それ
ぞれ５ｉＣ１４５とＧｅＣ，ｇ４６の液面からの反射光
と、第二光源２３および２４の光とのそれぞれの干渉光
を検出器２５および２６でそれぞれ受光し、それらの光
強度を検知する。
量は第一光源２１および２２から発せられた光の、それ
ぞれ５ｉＣ１４５とＧｅＣ，ｇ４６の液面からの反射光
と、第二光源２３および２４の光とのそれぞれの干渉光
を検出器２５および２６でそれぞれ受光し、それらの光
強度を検知する。
液体原料の減少量はその液面の低下量に対応するので干
渉光の光強度も同時に変化する。
渉光の光強度も同時に変化する。
すなわち光強度の変化量を検出して、この量が一定にな
るように温度制御装置７および８を動作させて均一な光
フアイバガラス膜を得ることができる。
るように温度制御装置７および８を動作させて均一な光
フアイバガラス膜を得ることができる。
さらに前もって変化量を設定しておくことにより成分比
の異なる均一な多量の光フアイバガラス膜をも形成させ
ることができる。
の異なる均一な多量の光フアイバガラス膜をも形成させ
ることができる。
第一、第二の実施例において、光フアイバガラスを管の
内壁に堆積させたが、中心素材の外壁に光フアイバガラ
スを形成させたり、単に粉末状の光フアイバガラスを得
ることもできることは明らかである。
内壁に堆積させたが、中心素材の外壁に光フアイバガラ
スを形成させたり、単に粉末状の光フアイバガラスを得
ることもできることは明らかである。
また上記実施例では、キャリヤガスの酸素は液体原料の
表面を通過する方式について説明したが、キャリヤガス
を液体原料の内部から押し出す方式の気体原料の発生シ
ステムを用いてもよいことは当然である。
表面を通過する方式について説明したが、キャリヤガス
を液体原料の内部から押し出す方式の気体原料の発生シ
ステムを用いてもよいことは当然である。
また本実施例では説明を簡単にするために、５ｉＣ１４
とＧｅ Ｃ１１４の２種類の液体原料を用いたが、さら
に異なる多数の液体原料を用いてもよいことは明らかで
ある。
とＧｅ Ｃ１１４の２種類の液体原料を用いたが、さら
に異なる多数の液体原料を用いてもよいことは明らかで
ある。
また光フアイバガラスを形成するための混合気体の励起
手段に加熱体を用いたが、電界励起などの他の励起手段
を利用してもよいことは当然である。
手段に加熱体を用いたが、電界励起などの他の励起手段
を利用してもよいことは当然である。
最後に本発明が有する特徴を挙げれば、光ファイバガラ
スの原料となる気体の発生量を常に制御するので高品質
な光フアイバガラスを均一にかつ安定に形成することが
できる。
スの原料となる気体の発生量を常に制御するので高品質
な光フアイバガラスを均一にかつ安定に形成することが
できる。
また原料気体の発生量の精密な設定が可能であるので均
一な光フアイバガラスを再現性よく製造することができ
ることである。
一な光フアイバガラスを再現性よく製造することができ
ることである。
第１図および第２図はそれぞれ本発明の第一および第二
の実施例を示す図であって、１および２は酸素供給源、
３および４はガラス容器、５はＳ ｉ Ｃ１４，６はＧ
ｅ Ｃ１４，７および８は温度制御装置、９および１０
は光源、１１および１２は光検出器、１３は管、１４は
加熱体、２１および２２は単色光を発する第一の光源、
２３および２４は単色光を発する第二の光源、２５およ
び２６は光強度検出器である。
の実施例を示す図であって、１および２は酸素供給源、
３および４はガラス容器、５はＳ ｉ Ｃ１４，６はＧ
ｅ Ｃ１４，７および８は温度制御装置、９および１０
は光源、１１および１２は光検出器、１３は管、１４は
加熱体、２１および２２は単色光を発する第一の光源、
２３および２４は単色光を発する第二の光源、２５およ
び２６は光強度検出器である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ キャリヤガスの供給源と、光フアイバガラスの液体
原料を収納することができかつ内部に前記キャリヤガス
を流すことができる原料容器と、前記液体原料の温度を
制御する温度制御手段と、前記光フアイバガラスを化学
反応によって形成するため前記キャリヤガスと前記液体
原料から気化した気体の混合気体を励起する手段とを含
む光フアイバガラスの製造装置において、前記原料容器
に収納される前記液体原料の容量の減少量を検知するこ
とができる手段を設けたことを特徴とする光フアイバガ
ラスの製造装置。 ２ 指向性の鋭い光ビームを原料容器内の液体原料の液
面に照射して、この液面から反射された光ビームの変位
量を光検出器により検出して液体原料の減少量を検知す
る特許請求の範囲第１項記載の光フアイバガラスの製造
装置。 ３ 単色性の良い第一の光を原料容器内の液体原料の液
面にほぼ垂直に照射し、その反射光と単色性の良い第二
の光と干渉させて得られる干渉光の強度を光検出器によ
り検出して液体原料の減少量を検知する特許請求の範囲
第１項記載の光フアイバガラスの製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51096233A JPS5857372B2 (ja) | 1976-08-12 | 1976-08-12 | 光フアイバガラスの製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51096233A JPS5857372B2 (ja) | 1976-08-12 | 1976-08-12 | 光フアイバガラスの製造装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18418384A Division JPS6077140A (ja) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | 光フアイバガラスの製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5321935A JPS5321935A (en) | 1978-02-28 |
| JPS5857372B2 true JPS5857372B2 (ja) | 1983-12-20 |
Family
ID=14159500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51096233A Expired JPS5857372B2 (ja) | 1976-08-12 | 1976-08-12 | 光フアイバガラスの製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5857372B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5823726U (ja) * | 1981-08-10 | 1983-02-15 | トヨタ自動車株式会社 | 四輪駆動車におけるアクスル |
| JPS5844226U (ja) * | 1981-09-04 | 1983-03-24 | トヨタ自動車株式会社 | 四輪駆動車用アクスルのフリ−ホイ−ルハブ機構 |
| JPH0545865Y2 (ja) * | 1986-03-04 | 1993-11-29 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3737293A (en) * | 1972-01-03 | 1973-06-05 | Corning Glass Works | Method of forming an economic optical waveguide fiber |
-
1976
- 1976-08-12 JP JP51096233A patent/JPS5857372B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5321935A (en) | 1978-02-28 |
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