JPS5860934U - 半導体製造用作業室 - Google Patents
半導体製造用作業室Info
- Publication number
- JPS5860934U JPS5860934U JP1981156458U JP15645881U JPS5860934U JP S5860934 U JPS5860934 U JP S5860934U JP 1981156458 U JP1981156458 U JP 1981156458U JP 15645881 U JP15645881 U JP 15645881U JP S5860934 U JPS5860934 U JP S5860934U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor manufacturing
- work room
- room
- air supply
- exhaust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 5
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の半導体製造用作業室の概略側面図、第２
図は本考案の実施例を示す概略側面図である。。 ７・・・・・・作業室、９・・・・・・清浄空気、１０
・・・・・・操作面、１３・・・・・・給排気機構、Ａ
・・・・・・（排気を必要とする）半導体製造装置。
図は本考案の実施例を示す概略側面図である。。 ７・・・・・・作業室、９・・・・・・清浄空気、１０
・・・・・・操作面、１３・・・・・・給排気機構、Ａ
・・・・・・（排気を必要とする）半導体製造装置。
Claims (1)
- 清浄な空気の雰囲気に保たれた室内に少（とも操作面側
が設置された給排気を必要とする半導体製造装置の専用
給排気機構を室外に設けたことを特徴とする半導体製造
用作業室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981156458U JPS5860934U (ja) | 1981-10-20 | 1981-10-20 | 半導体製造用作業室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981156458U JPS5860934U (ja) | 1981-10-20 | 1981-10-20 | 半導体製造用作業室 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5860934U true JPS5860934U (ja) | 1983-04-25 |
Family
ID=29948993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981156458U Pending JPS5860934U (ja) | 1981-10-20 | 1981-10-20 | 半導体製造用作業室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5860934U (ja) |
-
1981
- 1981-10-20 JP JP1981156458U patent/JPS5860934U/ja active Pending
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