JPS586472A - 電子ビ−ムによる電圧測定装置 - Google Patents
電子ビ−ムによる電圧測定装置Info
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- JPS586472A JPS586472A JP56104027A JP10402781A JPS586472A JP S586472 A JPS586472 A JP S586472A JP 56104027 A JP56104027 A JP 56104027A JP 10402781 A JP10402781 A JP 10402781A JP S586472 A JPS586472 A JP S586472A
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- JP
- Japan
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- voltage
- sample
- hemispherical
- secondary electrons
- electrode
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/302—Contactless testing
- G01R31/305—Contactless testing using electron beams
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子ビームによって試料の電圧を測定する電圧
測定装置に関する。
測定装置に関する。
従来よυ電子ビーム照射で試料から放出される２次電子
のエネルギー分布を半球面状減速電界型エネルギー分析
器ｌこよって求めることりこより試料の電圧を測定して
いた。
のエネルギー分布を半球面状減速電界型エネルギー分析
器ｌこよって求めることりこより試料の電圧を測定して
いた。
第１図は従来の電子ビームによる電圧測定装置を示す。
グリッドＧ１、Ｇ２、Ｇ３（第１図では断面を表わす）
は金属メツシュからなる半球であり、中心はすべてａ点
である。
は金属メツシュからなる半球であり、中心はすべてａ点
である。
前記グリッドＧ１、Ｇ２、Ｇ３はドーナツ状絶縁円盤３
によって固定され、前記円盤３の反対側は接地されてい
る。グリッドＧ１には電圧Ｖｅ、グリッドＧ ２ Ｋは
電圧ｖｂ１グリッド０３には電圧Ｖａがそれぞれ印加さ
れている。電子銃（図示せず）より投射された電子ビー
ム１はグリッドＧ３、Ｇ２、Ｇ１を通適し、試料２上の
被電圧測定部位に照射さｔｌ。
によって固定され、前記円盤３の反対側は接地されてい
る。グリッドＧ１には電圧Ｖｅ、グリッドＧ ２ Ｋは
電圧ｖｂ１グリッド０３には電圧Ｖａがそれぞれ印加さ
れている。電子銃（図示せず）より投射された電子ビー
ム１はグリッドＧ３、Ｇ２、Ｇ１を通適し、試料２上の
被電圧測定部位に照射さｔｌ。
る。その結果損料２の電子ビームが照射された被電圧測
定部位からは２次電子が放出される。前記放出された２
次電子は各グリッドＧ１、Ｇ２、Ｇ３を通過して発散す
るが少なくとも印１記２次電子の１部は２次を子検知器
４によって検知され、出力端子５に出力される。
定部位からは２次電子が放出される。前記放出された２
次電子は各グリッドＧ１、Ｇ２、Ｇ３を通過して発散す
るが少なくとも印１記２次電子の１部は２次を子検知器
４によって検知され、出力端子５に出力される。
出力端子５より出力された信号は被電圧測定部位の電圧
情報を有しており、該信号をもとに電圧が求められる。
情報を有しており、該信号をもとに電圧が求められる。
すなわち、シフトの度合いによって測る前記従来の方法
は被電圧測定部位が各グリッドＧ１、Ｇ２、Ｇ３の半球
の中心にあることが前提であった。
は被電圧測定部位が各グリッドＧ１、Ｇ２、Ｇ３の半球
の中心にあることが前提であった。
しかしながら、被電、圧測定試料が半導体ウェハー等の
場合には、ウェハープローバーの同時使用が必豐であっ
た。
場合には、ウェハープローバーの同時使用が必豐であっ
た。
このため、試料の表面にグローブを配置しようとしても
、試料の位置を半球面の中心から動かすことが難かしか
ったので、前記プローフ゛のウェーハ上への載置か困難
であった。
、試料の位置を半球面の中心から動かすことが難かしか
ったので、前記プローフ゛のウェーハ上への載置か困難
であった。
すなわち従来の装置にあつ、では、試料を図につまり試
料の上下方向の動作範囲に限定をうけていたことのため
に、袖′圧測定において困離さがあった。
料の上下方向の動作範囲に限定をうけていたことのため
に、袖′圧測定において困離さがあった。
本発明は前記問題点を解決し、前記電圧測定装置が有す
る半球面状減速電界型分析器の半球面状の中心より下方
に試料を置き、ｇ料の上下方向の動作範囲を拡大でき、
ウェハープローバの同時使用を１■能とする電子ビーム
による電圧測定装置を提供するものである。
る半球面状減速電界型分析器の半球面状の中心より下方
に試料を置き、ｇ料の上下方向の動作範囲を拡大でき、
ウェハープローバの同時使用を１■能とする電子ビーム
による電圧測定装置を提供するものである。
本発明の％＊は電子ビーム照射で試料から放出される２
次電子のエネルギー分布を半球面状電極を有する減速電
界型エネルギー分析器によって求めることにより、試料
の電圧を測定する電圧測定装置において、前記減速電界
型エネルギー分析器は前記半球面状電極と試料との間に
前記放出された２次電子を前ｄピ半球面状電極の半球面
状の中心より電子が放出することと等価にする電界又は
磁界印加手段を設けた電子ビームによる電圧測定装ｆｉ
ｌ＆ｃある。以下本発明を図面を参照して詳細に説明す
る。
次電子のエネルギー分布を半球面状電極を有する減速電
界型エネルギー分析器によって求めることにより、試料
の電圧を測定する電圧測定装置において、前記減速電界
型エネルギー分析器は前記半球面状電極と試料との間に
前記放出された２次電子を前ｄピ半球面状電極の半球面
状の中心より電子が放出することと等価にする電界又は
磁界印加手段を設けた電子ビームによる電圧測定装ｆｉ
ｌ＆ｃある。以下本発明を図面を参照して詳細に説明す
る。
第２図は本発明の一実施例である。従来の電子ビームに
よる電圧測定装置のグリッドＧ１、Ｇ２、Ｇ３の半球面
状の中心ａ点を中心とするドーナツ円板状の電極Ｇ４と
電子ビームの通過する線上に中心を有する断面が三角形
状のドーナツ円板状電極Ｇ５を電極Ｇ４と試料２の間Ｖ
Ｃ設け、それぞれの電極Ｇ４、Ｇ５に電圧Ｖ、、Ｖ−を
印加する。重子ビーム１が被電圧測定部位より放出した
２次電子６は電極Ｇ４、Ｇ５によって点ａにて集束する
。
よる電圧測定装置のグリッドＧ１、Ｇ２、Ｇ３の半球面
状の中心ａ点を中心とするドーナツ円板状の電極Ｇ４と
電子ビームの通過する線上に中心を有する断面が三角形
状のドーナツ円板状電極Ｇ５を電極Ｇ４と試料２の間Ｖ
Ｃ設け、それぞれの電極Ｇ４、Ｇ５に電圧Ｖ、、Ｖ−を
印加する。重子ビーム１が被電圧測定部位より放出した
２次電子６は電極Ｇ４、Ｇ５によって点ａにて集束する
。
前記グリッドＧ５、Ｇ４Ｆｉ試料から放出される２次電
子エネルギーを１ＫｅＶ〜２Ｋｅ Ｖｌで加速すると同
時に半球グリッドＧ１、Ｇ２、Ｇ３の球心に向かって集
束するように配置され、且つ電圧ＶｆＳＶｅが印加され
る。そして２次電子は再度点ａより放射状に発散してい
く。点ａに集束した２次電子６Ｖｉ点ａの試料２から２
次ｌ子が放出していくのと等価である。すなわち従来の
電圧測定装置と等価な測定を行なうことができる。
子エネルギーを１ＫｅＶ〜２Ｋｅ Ｖｌで加速すると同
時に半球グリッドＧ１、Ｇ２、Ｇ３の球心に向かって集
束するように配置され、且つ電圧ＶｆＳＶｅが印加され
る。そして２次電子は再度点ａより放射状に発散してい
く。点ａに集束した２次電子６Ｖｉ点ａの試料２から２
次ｌ子が放出していくのと等価である。すなわち従来の
電圧測定装置と等価な測定を行なうことができる。
以上述べた実施例では、試料２すなわち被電圧測定部位
は半球面状の中心ａより下にあるので、従来困難とされ
ていたウエノ・−プローバを試料２の電圧測定と同時に
使用することが可能である。
は半球面状の中心ａより下にあるので、従来困難とされ
ていたウエノ・−プローバを試料２の電圧測定と同時に
使用することが可能である。
第３図は磁界を用・いて２次電子を集束させる本発明の
他の実施例である。従来の電圧測定装置と試料２０間Ｖ
（２次重子６を集束させるため集束コイルＬを設け、そ
のコイルに集束コイル励磁電流ｉを流す。電子ビームＩ
ＶＣよって放射した２次電子６は集束コイルしより発
生する磁界によって点ａで集束する。この２次電子の集
束は第２図の実施例において電界によって集束させた場
合と同様である。
他の実施例である。従来の電圧測定装置と試料２０間Ｖ
（２次重子６を集束させるため集束コイルＬを設け、そ
のコイルに集束コイル励磁電流ｉを流す。電子ビームＩ
ＶＣよって放射した２次電子６は集束コイルしより発
生する磁界によって点ａで集束する。この２次電子の集
束は第２図の実施例において電界によって集束させた場
合と同様である。
試料２の位ｉ１社半球面状の中心ａより下にあるが、従
来の電圧測定装置と等価な測定を行なうことができるは
かりでなく、前記第１の実施例と同様の効果を奏する。
来の電圧測定装置と等価な測定を行なうことができるは
かりでなく、前記第１の実施例と同様の効果を奏する。
第４図は前記２次電子６を集束させる場合と異なるが、
集束と等価な動作をする本発明のさらに他の実施例であ
る。電子ビームが通過する線上に中心を有し、試料２か
ら離れた４゜位置にリング状の減速電ｆｆｊＧｊを試料
２に近い位置に加速ＩＩｒ極Ｇｋを設け、１′極Ｇ ｊ
ｖｃ電圧Ｖｊ１電、極Ｇｋに電圧Ｖｋを印加する。電
子ビーム１によって放射した２次電子７は加速電極Ｇｋ
によって上方に加速される。上方に加速された２次電子
７は減速電極Ｇｊによって減速される。
集束と等価な動作をする本発明のさらに他の実施例であ
る。電子ビームが通過する線上に中心を有し、試料２か
ら離れた４゜位置にリング状の減速電ｆｆｊＧｊを試料
２に近い位置に加速ＩＩｒ極Ｇｋを設け、１′極Ｇ ｊ
ｖｃ電圧Ｖｊ１電、極Ｇｋに電圧Ｖｋを印加する。電
子ビーム１によって放射した２次電子７は加速電極Ｇｋ
によって上方に加速される。上方に加速された２次電子
７は減速電極Ｇｊによって減速される。
第５図は第４図に示した２次電子７のかきを示す。試料
２より発生した２次電子７は領域８で１１Ｌ極Ｇｋによ
って上方に加速される。
２より発生した２次電子７は領域８で１１Ｌ極Ｇｋによ
って上方に加速される。
加速された２次電子７は領域９で電極Ｇｊによって減速
される。電極Ｇ ｊ ｔｔｃよって減速され、電極Ｇｊ
の影響がなくなった２次電子６はａ点より放射した２次
電子と等価的な発散をする。すなわち、第４図の本発鴫
の実施例では点ａより放射した２次電子と等価であるた
め、従来の電圧測定装置と等価な測宇を行なうことがで
きるばかりでなく、前記２つの実施例と同様の効果を奏
する。
される。電極Ｇ ｊ ｔｔｃよって減速され、電極Ｇｊ
の影響がなくなった２次電子６はａ点より放射した２次
電子と等価的な発散をする。すなわち、第４図の本発鴫
の実施例では点ａより放射した２次電子と等価であるた
め、従来の電圧測定装置と等価な測宇を行なうことがで
きるばかりでなく、前記２つの実施例と同様の効果を奏
する。
第１図は従来の電子ビームによる電圧測定装置の要部側
断面図、第２．３．４図はそれぞれ本発明の一実施例の
隻部断面図、第５図は第４図に示（、た実施例における
２次電子の勧きを示す図である。 ４・・・・・・２次電子検知器、 Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３・・・・・・グリッド、Ｇ４、Ｇ５・
・・・・・電極、 Ｌ・・・・・・集束コイルＧｋＸ
Ｇｊ・・・・・・電極 特許出願人 富士通株式会社 才１凹 ７２ 圀 才３凹 り ４ 回
断面図、第２．３．４図はそれぞれ本発明の一実施例の
隻部断面図、第５図は第４図に示（、た実施例における
２次電子の勧きを示す図である。 ４・・・・・・２次電子検知器、 Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３・・・・・・グリッド、Ｇ４、Ｇ５・
・・・・・電極、 Ｌ・・・・・・集束コイルＧｋＸ
Ｇｊ・・・・・・電極 特許出願人 富士通株式会社 才１凹 ７２ 圀 才３凹 り ４ 回
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｌ）電子ビーム照射で試料から放−出させる２次電子の
エネルギー分布を半球面状電極を有する減速電界型エネ
ルギー分析器によって求めることによシ試料の電圧を測
定する 電圧測定袋ａｉｒ ｖｃおいて、前記減速電界型エネル
ギー分析器は前記半球面状電極と試料との間に、前記放
出された２次市、子を前記半球面状電極の半球面状の中
心より電子が放出することと等価ｐｃする電界又は磁界
印加手段を設けたことを特徴とする電子ビームＶＣよる
電圧測定装置。 ２）前記半球面状の中心に少なくとも等価に入射する手
段は試料拘の一点から放出される２次電子を加速し、半
球面状の中心付近で減速する特許請求の範囲第１項請求
の電子ビームによる電圧測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56104027A JPS586472A (ja) | 1981-07-03 | 1981-07-03 | 電子ビ−ムによる電圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56104027A JPS586472A (ja) | 1981-07-03 | 1981-07-03 | 電子ビ−ムによる電圧測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS586472A true JPS586472A (ja) | 1983-01-14 |
| JPH0311433B2 JPH0311433B2 (ja) | 1991-02-15 |
Family
ID=14369761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56104027A Granted JPS586472A (ja) | 1981-07-03 | 1981-07-03 | 電子ビ−ムによる電圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS586472A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6098981A (ja) * | 1983-11-04 | 1985-06-01 | Mitsubishi Kakoki Kaisha Ltd | 回転円板式バイオリアクタ− |
| JPS60247178A (ja) * | 1983-10-17 | 1985-12-06 | テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド | 電子検出器，およびこれを用いた回路試験方法 |
-
1981
- 1981-07-03 JP JP56104027A patent/JPS586472A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60247178A (ja) * | 1983-10-17 | 1985-12-06 | テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド | 電子検出器，およびこれを用いた回路試験方法 |
| JPS6098981A (ja) * | 1983-11-04 | 1985-06-01 | Mitsubishi Kakoki Kaisha Ltd | 回転円板式バイオリアクタ− |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0311433B2 (ja) | 1991-02-15 |
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