JPS60247178A - 電子検出器，およびこれを用いた回路試験方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は受けとられた電子、とくに電子ビーム衝突に応
答して目楯物から発せられる２次電子のエネルギー分析
用電子検出器およびこれを用いた回路試験方法に関する
。

Ｅ従来の技術ｊ たとえば、集積回路を試験するに際して、電圧を当該回
路に印加しつつ電子ビームを用いて当該回路に衝突させ
ることが提案されている。　電子ビーム衝突の結果９回
路部品により発せられる２次電子のエネルギーは、これ
らの２次電子を発する回路部品の電圧を示すことが知ら
れらている。

従って９回路が動作状態中に９回路上の電子ビームの位
置を定めるかあるいは走査してこの回路から発せられる
２次電子を検出することにより、動作中の回路内で発生
する電圧値を算定することができる。

［発明が解決しようとする問題点］ このような集積回路の試験を行なう際１回路の隣接部品
の電圧により生起される場によって、放出２次電子がか
なりの角度偏向させられるという難点があった。　２次
電子検出用に従来から用いられてる検出器のほとんどは
２回路面に垂直な各電子の速度に応答するように構成さ
れているため、上述した状況の下では測定されるみかけ
の電子速度にかなりの誤差が生じてしまう可能性がある
回路内で得られつつある電圧を正しく測定することを妨
げる回路部品間の相互作用が障害となっていることは明
らかである。　このような難点を克服すべく回路近傍の
高電圧電極を用いて各電子を引きよせる試みがなされて
きているものの。

このような高電圧によって被試験回路の表面に不所望の
電荷蓄積を引き起していた。

［目的］ 故に本発明の目的は上述した難点を少なくとも部分的に
克服することにある。

本発明によれば、減速グリッド手段を有する収集部に２
次電子を束縛および方向づけるような磁場を有する磁気
レンズを有し、前記収集部と前記磁気レンズを前記２次
電子の進路を制御するように構成するとともに、前記磁
気レンズを該収集部に対して相対的に配設して、前記２
次電子の接近速度が実際の速度にほぼ等しい速度で法線
方向に対して十分小さな角度をもって、前記２次電子を
前記収集部の前記減速グリッド手段に接近させるように
した電子ビームの衝突を受ける物体から発せられる２次
電子検出用の電子検出器が提供される。

電子検出器は電子ビームにより衝突を受けた集積回路か
ら発せられる２次電子のエネルギーを分析すべく用いる
ことができる。　また、磁気レンズを介して試験中の回
路から発せられる２次電子の移動を加速する静電加速器
と、電子エネルギーを算定すべく用いられる減速グリッ
ドに２次電子が到達した際、放出時の速度に近い速度ま
で抽出された２次電子を減速するための静電減速器とを
を磁気レンズ自体に一体化してもよい。

衝突を行なう１次電子ビームを、磁気レンズと同軸の電
子銃により発生させて、この１次電子ビームを被試験回
路へ磁気レンズを介して通過させるようにしてもよい、
　また静電的あるいは磁気的な電子ビーム用の偏向手段
を電子銃自体あるいはアパーチャの近傍に設けてもよい
。

本発明による検出器を適当な物体からの２次電子の励起
を分析するために用いることもでき、その用途ととして
は集積回路試験に限られるものではない。

２次電子が収集部の部分半球状減速グリッド手段の中心
の小領域中に集中するように前記磁気レンズを配置し、
前記２次電子を前記収集部の前記減速グリッド手段に実
質的に法線方向へ接近させるようにすることもできる。

　減速グリッド手段は半球状としてもよく、電子ビーム
を物体へ方向） づけることの可能なアパーチャを有するようにしてもよ
い、　あるいは、前記物体を磁気レンズの最大の場の強
度の領域あるいはその近傍に位置させてもよく、最大の
場の強度よりもかなり弱い略一定の場の強度を有する減
速グリッド手段が位置している領域に２次電子が到達す
るまで該２次電子の進路に沿って場の強度が確実に弱く
なるように前記磁気レンズを配置してもよい、　２次電
子は誘引電極により加速され磁気レンズ通過速度を増加
し、ついで適切な静電場により減速されて。

前記減速グリッド手段に到達するエネルギーを。

物体から発せられる場合とほぼ同等にする。

このような磁場においては、物体により発せられる２次
電子は束縛されて場の強度がより弱くなるに伴ない延伸
するらせん通路内で移動する。

この結果、前記らせん通路はより弱い場の強度の領域内
で各らせんの軸に対して単に小さな角度をなすようにな
る。　プレーナ形の減速グリッド手段をより弱い場の強
度領域に設けて２次電子のみを十分なエネルギーで通過
させる。　正に帯電した誘引電極を有する収集部は前記
減速グリッド手段を通過する電子を収集する。　なお、
加速用静電場を設けて磁気レンズにより２次電子を加速
する必要はないけれども、検出器の応答性はこの加速用
静電場を用いることにより向上する。

さらに、物体に衝突する電子ビームを磁気レンズを介し
て物体に方向づけすることもできる。

一実施例においては、磁気レンズは軸に近接した通路に
沿うように方向づけられる１次電子ビームと軸方向に対
称であり、底部から上方向に延在し物体をその上に載せ
る中央の柱部材を備えたコアを有している。　前記磁気
レンズ用の励磁コイルがこの中心柱部材の周囲に巻装さ
れている。

前記コアはコイルの外側で連続し、柱部材の頂部上に延
在して物体を磁気レンズの最大の場の強度の領域に位置
させる。　磁力線は柱部材から上方向に延びて場が弱く
なるに伴ないそれていく。

このような場を弱める効果により、物体によって発せら
れる２次電子のらせん通路が軸方向に延伸して、それ故
より一層略平行状態になり、２次電子のエネルギーを正
確に測定できることとなる。

［実施例Ｊ 第１図において、電子銃ｌは１次電子のビーム２を生成
し、その１次電子は検出器の軸に沿って下方の、集積回
路のような目標試料３に向けられる。　電子衝突の結果
、この試料３により２次電子４が発せられ、これらの２
次電子４は略円筒状の磁気レンズ５により束縛されて方
向が定められアパーチャアを通過する。　前記目標試料
３はこの磁気レンズ５の磁場にそれ自体がさらされてい
る。前記円筒状磁気レンズ５の内側の抵抗被覆６に印加
される電圧ＶＥＸにより発生する抽出静電場により、試
料３から２次電子が引きだされる。

この抵抗被覆６は、たとえば、炭素あるいはその他の電
気抵抗を有する原子番号の小さな物質により構成されて
いる。

アパーチャアを通過する２次電子４は、ついで、減速グ
リッドないしフィルタ機構９に印加された電圧ＶＧＲＩ
Ｏにより発生する球状の減速場ないしフィルタ場と、磁
気レンズ５上端部に配置されたご１１ 環状円盤１６の上面の抵抗被覆８上での円環状電圧分布
の下に置かれる。　この円盤１８は中心部に前記アパー
チャアを有し、このアパーチャアは半円球状の減速グリ
・ンド９の中心にも位置しており。

２次電子４が略半径方向に該グリッド９へ近づくことを
できるだけ確実にしている。　従って、この２次電子４
のグリッド９への接近速度は、２次電子４の実速と略等
しい。

グリッド９へ接近するために十分なエネルギーを有する
２次電子４はグリッド９を通過して、グリッド９と、前
記アパーチャアを中心として該゛グリッド９に対して同
心の半円球状抑制グリッド１０との間の空間に進入する
。　前記抑制グリッドｌＯはほぼ一３０ボルトの電位に
保たれ、入り込んだ２次電子をこれらのグリッド９とｌ
Ｏとの間の空間内ニ閉じ込めるが、後方に散乱する高エ
ネルギー２次電子の通過に関しては、これを計容する。

前記アパーチャアにやはり同心的な環状グリッド１１は
＋５０ボルトに維持され、各グリッド９と１０との間の
空間に入る２次電子を誘引する。　このグリッド］１に
より２次電子は下方に引き込まれ。

同様に環状でかつグリッド１１の下方に位置するシンチ
レーション装置１２へ向けてこれらの２次電子は加速さ
れる。　このシンチレーション装置１２内のグリッドは
＋ｌ０ＫＶの高電位に保たれていて１図示しない光電子
増倍管に適用すべく、該装置から高輝度の光出力を得る
ようになっている。　この光電子増倍管は２次電子の収
集率を表す電気出力を発生し、この電気出力から集積回
路の被走査部分の有効電圧の表示を得ることができる。

第１図から明らかなように、半円球状の収集部は円筒状
磁気レンズ５と同軸であり、各グリッド９および１０は
軸−ヒに円形アパーチャを有している、　これらのアパ
ーチャは、電子銃１からの電子ビーム２のための自由通
路を形成するもので、後方に散乱する１次電子が前記収
集部により捕促されることなく軸に近接して戻ることを
可能にしている。

鎖線１３．１４は、軸を中心とする狭い円錐形の領域を
示し、この領域内で後方散乱電子を捕促する電極１５に
後″ｊ−Ｊ散乱電子が戻される。　このような後方散乱
電子は、２次電子が１次電子の試料３上への衝突により
この試料３の物質から追いだされるものであるのに対し
て、概ね反転した軌道を有する１次電子である点におい
て２次電子とは相違し、ており、このような後方散乱１
次電子は、検出器の各部への衝突により３次電子の放出
をも引きおこす可能性がある。

このような３次電子の放出の可能性は、炭素等の原子番
号の小さな電気抵抗を有する物質から製造される抵抗層
６を設けることにより減少する。

符号ＩＩ（、，１７によって示した。前記磁気レンズ５
の環状円盤は、それぞれ＋２０ボルトおよび接地に維持
され、前記被覆６に印加される抽出電圧ＶＥＸとともに
、２次電子用の必要な静電加速場および減速場を発生す
る。

円盤１６」−の抵抗性被覆８は１円盤１６の大半の領域
上で９円盤１８から絶縁されているが、その外周部にお
いてグリッド９に接続されているので、後方散乱１次電
子の戻り通路となリラる軸近傍の部分は格別グリッド９
の半球状内部全体にわたって所望の放射状減速場が生成
される。

第１図に示す装置の動作を行なう際、当然のことながら
真空外囲器内に当該装置を配設して電子の自由運動を可
能にするように構成している。

図示の電圧値が各部に印加され、試料３は磁気レンズ５
の底部の中心孔のほぼ下方で検出器の軸上に配設されて
いる。　この試料３は正規の動作を行なうために図示し
ない手段に結合されている。

磁気レンズ５は、ビームを試料３に集束させるように電
子銃１からの電子ビーム２の集束系の部分を形成してい
る。　電子ビーム２を試料３上に走査してもよく、ある
いは点測定を必要とする場合には試料３のある特定部分
に電子ビーム２を衝突させるようにしてもよい、　この
ような電子ビームを偏向させるだめの手段を図示してい
ないけれども、これらの手段は静電的あるいは磁気的な
手段とし、電子銃ｌに含ませるかあるいはアパーチャア
の近傍に位置させるようにしてもよい。

ビーム２の衝突の結果、試料３により発せられる２次電
子はグリッド１１を通過し、これらの２次電子が必要な
エネルギーレベルにあればシンチレーション装置１２に
進行し、このシンチレーション装置１２の光は図示しな
い光電子倍増管により測定され、収集された電子の量に
従って２次電子を発する集積回路の各部品の電圧表示を
行なう、　グリッド９の電圧Ｖ　ＧＲＩＤを調節可能と
して、グリッド９内の半球状空間内の減速場の強度を変
化させることにより、２次電子のエネルギーを定めるこ
とができる。　抑制グリ・ンド１０の電圧が電子を停止
させるに不十分である場合には、きわめて高いエネルギ
ーを有する電子はすべてグリッド９ならびにグリッド１
０を通過することになる。

検出器の部品とくにグリッド９および１０は、後方散乱
１次電子により生成される３次電子の数を可能なかぎり
減少させるようにエネルギーが低い２次放出を有する物
質により構成することが好ましい。

第１図に示す検出器は、試料３から７パーチヤ７へ向け
て２次電子を束縛および方向づけるように機能するもの
で、試料３からの２次電子はアパーチャアに向い、そこ
で、半球対称の減速場もしくはフィルタ場に晒され、し
かる後、電子のエネルギーを正確に定めるべく、加速場
のもとにおかれる、　従って、試料自体の電流および電
圧に寄因した試料３の表面に近い静電場および磁場によ
る２次電子の偏向は、検出器による電子の検出について
なんら実質的影響はない、　磁気レンズによる強度の磁
場に対して稼動状態の集積回路をさらしても９回路動作
に影響がないことは特筆すべきである。　この実施例で
は、典型的には１テスラ以下程度の磁場を採用するのが
よい、　かくして１本発明に係る検出器により、試料３
内の電圧分布の正確なマツプを得ることができるとゆう
ことか理解される。　第 １図において２次電子が半円球収集装置の中心の小さな
領域に伝搬されるのに対して、第２図に示す実施例では
磁気レンズを用いて、２次電子が法線に接近してブレー
ナ収集部に近づくように２次電子の進路を略平行にして
いる。　第２図において、電子銃１は、検出器の軸に沿
って降下し、第１図の場合と同様に集積回路である目標
試料３に向う１次電子のビーム２を生成する。

試料３はノブ２１の制御の下で移動可能であるステージ
２０上に取り付けられている。　磁気レンズはその断面
が２３で示される軸対称のコアを有し。

かつ、中央に立設された柱部材２２を含み、その柱部材
２２の上には、前記ステージ２０が載置されている。　
励磁コイル２４はこの磁気レンズの磁化を行なう１図面
に示すように、コア２３は柱部材２２の頂部」−の外部
に延在し、試料３のまわりの中央リング部材を含んでい
る。

絶縁物質からなる円筒状筒部材２５は磁気レンズの頂部
の下方に延在し、磁場を形成するために用いられる他の
コイル２６を上１ｇ部に有している。

グリッド２７は約１００ボルトの正電位を保持し、電子
をその通路内で筒部材１５の上方に加速させるにの電圧
は柱部材２２上の集積回路に影響を与えない程度の十分
低い値である。　図示のように二重にすることができる
グリッド２８は減速グリッドもしくはフィルタグリッド
として作用する。

筒部材２５の内側の抵抗被覆２９により２次電子を減速
させるための必要な静電場が生成され、２次電子は、試
料３により発せられる場合の速度、すなわち放出速度と
略等しい速度で減、速グリッド２８に接近する。　磁気
レンズの場は線３０により示され、試料３の近傍で強度
が最大となり上方向に確実に弱められる。　前記コイル
２６は、グリッド２８の近くの筒部材２５の最上部で略
均−な場を発生するように作用する。

電子応答デバイス３１は検出器の軸の一方の側に位置し
、上方へ筒部材２５を離れる電子は、正の電位に保持さ
れたグリッド３３によって矢印３２により示されるよう
に誘引される。　これらの電子は。

約＋１２ＱＯＶにバイアスされた金属フィルムで被覆さ
れたシンチレーションプレート３５まで移動する、　矢
印３Ｂによって示されるプレート３５により発せられる
光は図示しない光電子増倍管に向けられ、＃Ｉ突する２
次電子によって発生したプレート３５の光出力の強度を
表す出力信号を発生する。　このようなやり方で、集積
回路の電圧表示が得られる。

第１図の検出器についてすでに概略説明した状態で生じ
る第２図に示す検出器の動作において。

電子ビーム２による衝突の結果、稼動状態の集積回路か
ら発せられる２次電子は、レンズの磁場により軸の回り
のらせん通路に束縛されかつ方向づけられる。　電子が
上方に移動するに伴い、電子１よまず静電場により加速
され、ついで再びその放出速度まで減速される。　磁場
を徐々に弱めることにより、電子は拡張傾向のらせん進
路に沿って筒部材２５の頂部まで活発に進行し、減速グ
リッドに到達する際には、軸から５度を越えない角度で
移動する。　電子の進路は３７で示され、検出器の軸を
破線３８で示す、この場合の例示は例示の明瞭化を図る
理由によって、検出器の軸に沿って正確な位置には描か
れていない、　２次電子の通路を検出器の軸の５度以内
にすることによって、電子の上向き速度は、角度５°の
余弦値が０．９１１８２であるため試料３を電子が離れ
る角度によっては実質的に影響されない、　磁気レンズ
の効果により速度に影響を及ぼすことなく２次電子の運
動方向が変化し、その結果平面的な減速あるいはフィル
タグリッドを用いて放出速度に応じて電子をフィルタす
ることかできる。。

以上本発明を、特定例としての集積回路の回路試験の例
を参照して記述してきたけれども、たとえば神経信号等
の何らかの他の電位源からの２次、電子のエネルギーを
も定めるべく本発明を用いることができるということも
理解されよう。　本発明の第１実施例の変形例として、
収集部を半円球よりさらに大きいかあるいは小さな円球
状にすることもできる。　磁気レンズの形状は、電子収
集器の形状を念頭において、磁場の形状が正確に保たれ
るならば１図示のものとは相違してもよい。

記載したシンチレーション装置以外の手段を用いて、収
集された電子からの出力を発生させることもできる。

さらに、減速グリッドあるいはフィルタグリッドとして
静電プレートを用いることも可能であり、このような他
の例も「減速グリッド」という述語に含まれる。

［発明の効果コ 本発明は以上述べてきたように、減速グリッド手段を有
する収集部に２次電子を束縛および方向づけるような磁
場を有する磁気レンズを設け、前記収集部と前記磁気レ
ンズを２次電子の進路を制御するように構成するととも
に、２次電子の接近速度が実際の速度に略等しい法線方
向に対して十分小さな角度で、２次電子を減速グリッド
手段に接近させるように電子検出器を構成したので、被
検出体の試験をその動作状態で行なっても、従来のよう
に電子速度の測定に誤差が生ずる可能性が少なく従って
高い測定精度を確保することができ、たとえば集積回路
の回路試験等に適用してその効果は極めて大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る電子検出器の第１実施例を示す概
略断面図、第２図は本発明に係る電子検出器の第２実施
例を示す概略断面図である。 １１０．電子銃 ２９６．ビーム ３０６．試料 ４、、．２次電子 ５・・、磁気レンズ ７０９．アパーチャ ９、１０，１１　、　、　、グリッド ＋２．、、シンチレーション装置 １３．１４　、　、　、狭い円錐形の領域１５、、、電
極 １８．１？　、　、　、円盤 ２５、、、円筒状筒部材 ２４．２Ｂ　、　、　、コイル ２７．３３　、　、　、グリッド ３０、、、磁気レンズの場 ３１、、、電子の応答デバイス ３５、、、プレート ３８、、、光 ３７、、、電子の進路 ３８、、、検出器の軸 出願人　テキサスインスッルメンッ・ インコーホレイテッド ・・１ｉ４１ｉの浄占（内容にし一更なし）期−７ Ｆ１ａ２ 手続補止書（方式） 昭和６０年２月２ヶ日 特願昭５９−２１８１６３号 ２　発明の名称 電子検出器、およびこれを用いた回路試験方法３　補正
をする者 事件との関係　特許出願人 住　所　アメリカ合衆国テキサス州ダラス、ノースセン
トラル　エクスプレスウェイ　１３５０００４代理人〒
１５０ ５　補正命令の日付　昭和６０年１月９日（昭和６０年
１月２９日発送） ６　補正により増加する発明の数　０ ７　補正の対像　図　面（全　図）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）減速グリッド手段を有する収集部に２次電子を束
   縛および方向づけるような磁場を有する磁気レンズを有
   し、前記収集部と前記磁気レンズを前記２次電子の進路
   を制御するように構成するとともに前記磁気レンズを該
   収集部と相対的に配設して、前記２次電子の接近速度が
   実際の速度に実質的に等しい法線方向に対して十分小さ
   な角度で。 前記２次電子を前記収集部の前記減速グリッド手段に接
   近させるようにしたことを特徴とする電子ビームにより
   衝突を受ける物体から発せられる２次電子検出用の電子
   検出器。 （２）前記磁気レンズを、軸対称とするとともに前記物
   体を軸上に位置させて、電子ビームが一方向に前記磁気
   レンズを通過し、前記２次電子が逆方向に前記磁気レン
   ズを通過するようにした特許請求の範囲第１項記載の電
   子検出器。 （３）電極手段を、前記磁気レンズに近接させるがある
   いはその内部に設けて、前記物体により発せられる２次
   電子を誘引し、かつ、これらの電子を加速し、ついで、
   前記磁気レンズの通路上の放出速度まで前記２次電子を
   減速するようにした特許請求の範囲第１項あるいは第２
   項記載の電子検出器。 （４）前記２次電子が小領域に集中するように前記磁気
   レンズを配置し、かつ、前記収集部を前記小領域−ヒに
   中心を有する部分半球状に形成して、前記２次電子が前
   記収集部の前記減速グリッド手段に実質的に法線方向へ
   接近するようにした特許請求の範囲第１項、第２項、あ
   るいは第３項記載の電子検出器。 （５）前記収集部を２つの同軸的な半球状の電極間の収
   集領域を有する半球状に形成し、がっ、前記収集領域を
   境界づける環状の電子応答手段を含むようにした特許請
   求の範囲第４項記載の電子検出器。 （Ｇ）２次電子を前記磁気レンズの磁場により束縛して
   、最大の場の強度よりもきわめて弱い略一定の場の強度
   を有する領域に強度が減少する場を介して移動させるよ
   うに、前記磁気レンズの最大の場の強度を有する領域の
   近傍に前記物体が位置するように、前記磁気レンズを配
   設し、前記減速グリッド手段はプレーナ形状としこれに
   垂直な軸を有する領域内に位置させ、前記物体によって
   発せられる２次電子を軸を中心とするらせん通路を移動
   させ、前記物体からの距離の増加に伴ない前記らせん通
   路を漸進的に延伸させて、前記略一定の場の強度領域内
   で、電子の進路が前記減速グリッド手段の法線に対して
   小さな角度をなすようにした特許請求の範囲第１項、第
   ２項あるいは第３項記載の電子検出器。 （７）前記磁気レンズは、磁化可能物質のコアを有し、
   該コアはその上端部で内方にテーパを形成した円筒容器
   の形状であり、かつ、底部において閉じられ、該底部か
   ら中央の柱部材を上方に突出させるとともに該柱部材の
   頂部のやや上の壁から付加的な環状円盤を延在させ、前
   記磁気レンズを前記中央の柱部材の周囲のコイルにより
   通電するようにした特許請求の範囲第６項記載の電子検
   出器（８）前記円筒容器の上部を介して延在するととも
   に柱部材と整合配置され、かつ、前記円筒容器の北端か
   ら突出する管状部材をさらに有し、該管状部材は前記物
   体によって発せられる２次電子を加速および減速するた
   めの電極手段を支持し、前記減速グリッド手段および付
   加的コイルにより前記管状部材の上端部で略一定の場の
   強度を有する領域を生成するようにした特許請求の範囲
   第７項記載の電子検出器。 （９）前記物体を、前記柱部材の頂部に位置させるよう
   にした特許請求の範囲第７項あるいは第８項記載の電子
   検出器。 （１０）前記収集部を、軸をはずして位置させるととも
   に電子誘引電極を有するようにした特許請求の範囲第６
   項ないし第９項のいずれかに記載の電子検出器。 （ｌｌ’ｌ前記電子応答手段は、この手段に衝突する電
   子に応答して光を発生させ９倍増型光電管を設けて前記
   電子応答手段からの光を受けとるとともに対応する出力
   信号を発生するようにした特許請求の範囲第５項あるい
   は第１０項記載の電子検出器。 （１２）前記物体は集積回路である特許請求の範囲第１
   項ないし第１１項のいずれかに記載の電子検出器（１３
   ）動作状態に前記集積回路を接続するとともに電子ビー
   ム衝突期間中に該集積回路を動作状態に維持するための
   手段を設けるようにした特許請求の範囲第１２項記載の
   電子検出器。 （１４）少なくとも回路の一部に電子ビームを用いて修
   了突を起こさせ、磁場により前記衝突の結果発せられる
   ２次電子を束縛して、減速グ１ルンド上で゛略法線方向
   で終端する進路を通過させるようにしたことを特徴とす
   る動作モード中における回路の試験する方法。 （１５）前記回路を最大強度の磁場にさらし、前記最大
   の場の強さよりきわめて弱い略一定の場の強度を有する
   強度が弱くなる磁場を前記２次電子が移動するように該
   ２次電子を束縛する段階をさらに含む特許請求の範囲第
   １４項記載の回路の試験方法（１６）前記回路からの距
   離が増加するに伴ない漸進的により延伸するとともに、
   ついで前記減速グリッドの表面に略垂直な軸を中心とし
   て延在するらせん通路を通るように、前記２次電子を束
   縛するようにした特許請求の範囲第１４項記載の回路の
   試験方法。