JPS5868711A - 対物レンズ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、例えばヒデオＹ、（スフ、」−ティオデスク
に必要イへ用糸な）マ、学系であ／１．）利□吻レンズ
、特にコリメータレンズとイ耳ＩＩＩさ１．　＜Ｓ　％
’Ｊ　！ｌ勿Ｖ７スに関するものである。

ビブオティスク等に用いら７”ｌ／ｌ）ｊ羊東の示１物
レンスｔｒＪ：、、３すいし５枚の１木而糸の乃うスレ
ンスで１１４成されている。勾′吻レンズに要求さＩｔ
７）菜ｆｌ＆よ収ｉ会の補市か十分であることを１、も
１）ろん、安価であること、史に自動焦点、トンノ・＼
−ングーリーボの必要性から小型軽量であることが′川
水される。低価格・小型軽鼠化をｔ」、かるにＣ−１１
、安１１１１ｉな１／ンズ」Ａ享Ｉならびにレンズ枚数
の削減が心安であるが、従来の球面系のガラスｌ／ンズ
のＩ’！’ｉ成でＶＩ高１イ１能を保ちつつこれらの安
水を満足することケ、」、困ケ１（であ−、／（−１本
発明は、安価なレンズＡＡ’　Ｈ４：使用１し、かつ非
球面の導入によりレンズ枚数を削減して１′１ルンズに
すると共に、＋１′１色）で４、’ｌ’！＋にＯｊ８７
１ｍの波長光に対しで収差補１１モがされた対物レンズ
を提供するものである。

以下、本発明について詳Ｊ（ｔｌに説明する。

第１図に本発明の対物レンズの構成例を示す。

１は対物レンズ、２はディスクのカバーガラスである１
０本発明のレンズ構成は両凸の単一レンズからなり、第
１曲は曲率半径ｒ１の小さい凸＋＋’＋ｉで、かつ頂点
イ・１近で双曲線で近似され入射高の１０乗に比例する
項寸でを含む非球面、第２面は曲率半径ｒ２の大きい凸
面で、かつレンズの焦点距離をｆ、屈折率をｎ１而間隔
をｄをして （＋）　　１．４　ｓ　（ｎｄ（１，５０（１１）　　
−〇、４２　（ｒ、／ｒ２（−ｏ。３７（ｉｉｉ）　　
０．６　＜　ｄ、／ｆ　（ｏ、ｓ　２の関係を有する。

本発明に係るレンズは、少くとも第１而を非球面として
波面収差を補正することにより単レンズで１；旧−」数
ＮＡが約０．４６のレンズを実現し、従来の３〜５枚の
球＋ｒ［ｉ系対物レンズと比較して大幅な枚数の削減か
り能になった。第１面を構成する非球面の形状な」１、
第１而の１１′旬、１、（にＩ、・＆　ｌ−）’、）ｌ
シ丁１１１１Ｖ（関し、各入射高ｙでの接’Ｆ　１ｌｉ
ｉ−Ｊでのｊ、ｌ驕ＩＩＩ　Ｚ　＋：＋：、１．／ｒ＝
Ｃ１円錐定数を１（、ｌ−１〜で次戊で１（１）Δ７１
．　／、）、、Ｇｙ　＋　Ｄ　」−・・− ここで、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇは男味面係数である。

波＋Ｍ　収差ノ補ｉＥ　＆）　点カｌ’＋、第１　＋ｆ
ｉｉ（１，１，Ｉｉ’！点イーＩＩ！Ｅで長軸に回転対
称な（１“］円面で１斤世、−、”ｒ　ＪＬｌ）ことが
望−１１−シい。即ち、円錐定数には −１（ｋ（。

なる関係をもつことになる。、 −まだ、第１面の男球面は彼面収；１．′の浦１１．の
点からＧ　ｙ　Ｉ　Ｏの項まで沈むことがゝイ！７トシ
い３、次に条件（１）〜ｊｉｉｉ）について説明する１
、を件（ｉ）ｉｉ、安イ曲なレンズ４Ｊ本Ｎの・を慴で
あり、イ氏１ｆｉｌ　１ｌｌｉ率の旧ト（を使用１〜で
低価格化イＬ実ＩＬＪ−１１−・：）５、Ｉ］１１に、
−１′クリル樹脂のプラスチック材オニ’ｉ　（ｎｄ−
１，４９１）　　’、ｒｙ使用すると、カラスと比１咬
して友幅ｆ、）　：＋ストり゛ランが１１能である。史
に、プラス−ｆツク１１４’　＋１１　＆、ｌ、カラス
で困難な非球面加工を容易にすると共に、比重もガラス
より入幅に小さいので、電融も坏以下に軽敏化できる５
、 次に条件（１］）及び（ｉｉｉ）は波面収差を補ＩＥす
ると共に上弦条件を満足させるだめの限定条件である。

軸−Ｌのみの収差補正で十分な場合は単レンズの第１而
のみを非球面にするだけでよい。軸外の収差補正を改善
させるだめには、単レンズの第２而も非球面にする必要
が生じる。この場合には、軸外の波面収差補正の点から
、第１面は曲率半径ｒ２の小さい凸面で、かつ頂点付近
で双曲面（ｋ＜−１）で近似され、入射高の１０乗に比
例する項までを含む非球面となる。

本発明の対物レンズの具体的な実施例を以下に示す。

（実施例１） ｆ−丁８．３５１　　　ＮＡ−０，４６物像距離丁Ｌ）
Ｌ−）　　　ｒ、＊＝４．８９９　　ｄ、＝６．６１ｎ
”＝−１，４８６ｒ２＝−１３，０６９ｄ２−二３．ｓ
了ｒ　３＝、ｉ：、　０−１　　　ｄ　３　＝　１　、
２０　１＊＝＝１．５００　　ｒ４＊印　井原１Ｔｉ１ にニー０．１２１０４　　　Ｄ＝−−０，６２４，０Ｏ
Ｘ１０−’Ｅ−−−−〇、１７００９×１σ＋　　　１
−、−ｏ、γ６４２８ＸＩＯ’　　　Ｇ＝−０，１９０
８８Ｘ１０””ｎ＊は波長が０．８７１ｍでの屈１ｊｒ
率（実施例２） ｆ−４，０５３ＮＡ　−０，４５物１゛イ；距１々１１
（×）ｒ、＊１＝２．４５６　　ｄ、−２，８Ｏｎ”’
　　１．４８５ｒ２−−６．１８３　　ｄ２−１．７５
　　　ｊ、　　（ｆ＋ｄ５＝：１．２　　　ｎ＊＝１．
６００　　　ｒ４−ｔｌ、＋＊印　非球面 ＊　１　　　　　　　　　　　　　　　　　＊　２ｋ　
−０，１１９３４−３８７７４ Ｄ　−０，５１２４９Ｘ１０−２　　０．１３９４．９
Ｘ１σ２Ｅ　　−０，５２２００Ｘ１σ３　０．１８０
２／Ｉ＼１０づＦ　−０，７８６６３Ｘ　１０−’　　
−０，１６６５３ゝ・ζ１Ｏ−４Ｃ−０，１３１５０Ｘ
１０””　　−０，６８１００ＸＩ　Ｏ’ｎ＊Ｑす０．
８μｍの屈折率 第２図ｋｌ、実施例１の収差図、第３図０１、実Ｍ１１
例２の収差図を示す。

対物レンズの許容敬として、レーレーリミノＩ・が用い
られる。これは波面収差が波長の１／以下になるように
補正されておればよいことを示す。

本発明では００８８ｍの波長を利用するので、波面収差
は０．２μｍ以下であればよく、第２図」３・よび第３
図の特性はこれを満足している。

以上の説明で明らかなように、本発明によれば、収差が
良好に補正された対物レンズの提供が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における対物レンズの構成図
、第２図、第３図は各実施例における収差性能を示す特
性図である。 １・・　対物レンズ、２　　・カバーガラス。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 第２図 天面ｑ×差　　　１ｒ−１※１■ヌ木 ＠３図 儂油収左 一υυＵ４υυＯＯず ”＋ｒ＋、収壓

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　両凸の単レンズよりなり、レンズの焦点距ガ
   〔をｆｌ　屈折率をｎｄｓ　面間隔をｄｌとｊ−で、第
   １面は曲率半径ｒ１の小さい凸面で、かつ頂点伺近で楕
   円面で近似され入射高の１０乗に比例する項丑でを含む
   非球面、第２面は曲率半径ｒ２の大きい凸面にして、下
   記の条件 （１）　　１，４　ｓ　（ｎｄ　（１，５０（１１）　
   　−〇、４２　＜　ｒ、／　ｒ２（−〇、３７（ｍ）　
   　１．）、６　（引／ｆ＜０．８２を満足することを特
   徴とする対物レンズ。
2. （２）第２面は曲率半径ｒ２の大きい凸面で、かつ、頂
   点伺近で双曲面で近似され、入射高の１０乗に比例する
   項までを含む非球面としたことを特徴とする特許請求の
   範囲第（１）項記載の対物レンズ○
3. （３）　　レンズをプラスチック材料で構成したことを
   特徴とする特許請求の・ｌｉｘ囲第（１）　、！’＋’
   ｉ　ｉ／こＱｌ、；’ｇ’ｒ　（２）煩１記載の交月勿
   しンス゛。