JPS5868931A - マ−ク位置検出装置 - Google Patents
マ−ク位置検出装置Info
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- JPS5868931A JPS5868931A JP56167551A JP16755181A JPS5868931A JP S5868931 A JPS5868931 A JP S5868931A JP 56167551 A JP56167551 A JP 56167551A JP 16755181 A JP16755181 A JP 16755181A JP S5868931 A JPS5868931 A JP S5868931A
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- mark
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- electron beam
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
- H01J37/3045—Object or beam position registration
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は１位置合わせ用マークを電子ビームで走査して
マークの中心位置を検出するマーク位置検出装置の改良
（：関：、する。
マークの中心位置を検出するマーク位置検出装置の改良
（：関：、する。
近時、半導体ウェハやマスク基板尋の試料に微細パター
ンを形成するものとして各種の電子ビーム無光装置が用
いられているが、この装置では精度良い無光を可能とす
るため試料の高精度な位置合わせが必要となる。このた
め、試料、カセット或いは試料台等（＝位置合わせ用マ
ークを設け、このマークを電子ビームで走査して得られ
る反射電子、２次電子或いは吸収電子等に基づいてマー
ク位置を検出し、これ（；より試料の位置合わせな行う
よう（＝シている。
ンを形成するものとして各種の電子ビーム無光装置が用
いられているが、この装置では精度良い無光を可能とす
るため試料の高精度な位置合わせが必要となる。このた
め、試料、カセット或いは試料台等（＝位置合わせ用マ
ークを設け、このマークを電子ビームで走査して得られ
る反射電子、２次電子或いは吸収電子等に基づいてマー
ク位置を検出し、これ（；より試料の位置合わせな行う
よう（＝シている。
ところで、上記マーク位置の検出−二用いられるマーク
位置検出装置として、最近次の１１１＋２１に示す手法
を利用したものが考案されている。
位置検出装置として、最近次の１１１＋２１に示す手法
を利用したものが考案されている。
（１）、マークからの反射電子を検出して得られるマー
ク信号のピークと基準値とから、マーク部が２値信号の
「１」を得るようなレベルで！−り信号を２値化し、２
値信号の「１」と電子ビームの走査位置とから１次モー
メントを算出してマークの中心位置を求める手法。
ク信号のピークと基準値とから、マーク部が２値信号の
「１」を得るようなレベルで！−り信号を２値化し、２
値信号の「１」と電子ビームの走査位置とから１次モー
メントを算出してマークの中心位置を求める手法。
（２１マーク信号なＡ／Ｄｆｐして記憶回路に記憶する
と共に、複数回の電子ビーム走査を行いマーク信号のＡ
／Ｄ変換値を平均加算し、ノイズ成分を除□去する。か
くして得られたマーク波形のＰ−Ｐ値（Ｐｏａｋ ｔ
ｏ Ｐｅａｋ ）からスライスレベル以上め、そのスラ
イスレベル以上のマーク波形のλ／Ｄ変換値と電子ビー
ムの走査位置とから１次モーメントを算出してマークの
中心位置を求める手法。
と共に、複数回の電子ビーム走査を行いマーク信号のＡ
／Ｄ変換値を平均加算し、ノイズ成分を除□去する。か
くして得られたマーク波形のＰ−Ｐ値（Ｐｏａｋ ｔ
ｏ Ｐｅａｋ ）からスライスレベル以上め、そのスラ
イスレベル以上のマーク波形のλ／Ｄ変換値と電子ビー
ムの走査位置とから１次モーメントを算出してマークの
中心位置を求める手法。
しかしながら、この種の手法を用いたマーク位置検出装
置にあっては次のような問題があった。すなわち、前記
ｓ１の手法では、マーク信号の一部しか利用していない
ため、マーク中心位置の検出ｈｉが劣る。また、前記第
２の手法では、λ／Ｄ変換したマーク波形を平均加算す
るため（−多大な時間を要し、かつそのための記憶回路
が必要となりコスト尚を招く咎の間融があった。
置にあっては次のような問題があった。すなわち、前記
ｓ１の手法では、マーク信号の一部しか利用していない
ため、マーク中心位置の検出ｈｉが劣る。また、前記第
２の手法では、λ／Ｄ変換したマーク波形を平均加算す
るため（−多大な時間を要し、かつそのための記憶回路
が必要となりコスト尚を招く咎の間融があった。
本発明は上記事情を考慮してなされたもので、その目的
とするところは、位置合わせ用マークの中心位置検出を
高ｎｒｉｔ＜二、かつ短時間で行い得るマーク位置検出
装置を提供することＣユある。
とするところは、位置合わせ用マークの中心位置検出を
高ｎｒｉｔ＜二、かつ短時間で行い得るマーク位置検出
装置を提供することＣユある。
まず１本発明の詳細な説明する０本発明は、位置合わせ
用マークを電子ビームで走査して得られる反射電子、２
次電子或いは吸収電子を電子検出器で検出し、この検出
信号の微分波形を所定の振幅閾値Ｘｏでスライスし、閾
値Ｘｏ以上の微分波形の時系列が所定の連続時系列閾値
Ｇｏ以上連続している場所をマーク端と判足し、このと
きの上記検出信号の振幅値ＸＡを記憶し、該振幅値Ｘム
より大きな検出信号の振幅値と電子ビームの走査位置と
から１次モーメントを算出し、この算出結果をマークの
中心位置として検出するようにしたものである。
用マークを電子ビームで走査して得られる反射電子、２
次電子或いは吸収電子を電子検出器で検出し、この検出
信号の微分波形を所定の振幅閾値Ｘｏでスライスし、閾
値Ｘｏ以上の微分波形の時系列が所定の連続時系列閾値
Ｇｏ以上連続している場所をマーク端と判足し、このと
きの上記検出信号の振幅値ＸＡを記憶し、該振幅値Ｘム
より大きな検出信号の振幅値と電子ビームの走査位置と
から１次モーメントを算出し、この算出結果をマークの
中心位置として検出するようにしたものである。
したがって本発明によれば、マーク信号全体の情報を無
駄なく利用でき、→−り中心位置の検出を精度良く行う
ことができる。また、平均加算する必要がなく、そのた
めのメモリが不要となり、さら（：平均加算のための時
間も不要となる。しかも、電子ビーム走査と同時（二計
算するよう４＝シているので、！−り中心位置検出のた
めの時間を短縮化し得る等の効果を奏する。
駄なく利用でき、→−り中心位置の検出を精度良く行う
ことができる。また、平均加算する必要がなく、そのた
めのメモリが不要となり、さら（：平均加算のための時
間も不要となる。しかも、電子ビーム走査と同時（二計
算するよう４＝シているので、！−り中心位置検出のた
めの時間を短縮化し得る等の効果を奏する。
以下１本発明の詳細を図示の実施例（二よって説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例の概略構成を示すブロック図
である。図中１は位置合わせ用マークであり、このマー
クＩを電子ビーム２で走査したときζ＝得られるマーク
１からの反射電子は。
である。図中１は位置合わせ用マークであり、このマー
クＩを電子ビーム２で走査したときζ＝得られるマーク
１からの反射電子は。
反射電子検出器３にて検出される。−ここで、反射電子
検出器３の検出信号（マーク信号）４は。
検出器３の検出信号（マーク信号）４は。
第２図（二示す如く電子ビーム２がマーク１を横切ると
きその振幅が太きいも゛のとなる。マーク信号４はアナ
ログ・デジタル・コンバータ（以下Ａ／Ｄと略記する）
５（：供給され、デジタル信号（−変換される。そして
、この変換出力Ｘはｍｌの遅延回路（以下ＤＬと略記す
る）６を介すると共（；、直接減算器７Ｉ＝供給される
。ｆＩｋ算器７では、上記Ａ／Ｄ５の変換出力ＸとＤＬ
６を介した遅延信号Ｘ′＼との差ｘ−ｘ’が算出され、
この差出力ｘ−ｘ’は彼達するモーメント計算領域決定
回路８に；供給される。また、前記変換出力Ｘは第２の
ＤＬ９を介して上記モーメント計算領域決定回路８、乗
算器１０および第１の累積加算器１１に供給されるもの
となっている。
きその振幅が太きいも゛のとなる。マーク信号４はアナ
ログ・デジタル・コンバータ（以下Ａ／Ｄと略記する）
５（：供給され、デジタル信号（−変換される。そして
、この変換出力Ｘはｍｌの遅延回路（以下ＤＬと略記す
る）６を介すると共（；、直接減算器７Ｉ＝供給される
。ｆＩｋ算器７では、上記Ａ／Ｄ５の変換出力ＸとＤＬ
６を介した遅延信号Ｘ′＼との差ｘ−ｘ’が算出され、
この差出力ｘ−ｘ’は彼達するモーメント計算領域決定
回路８に；供給される。また、前記変換出力Ｘは第２の
ＤＬ９を介して上記モーメント計算領域決定回路８、乗
算器１０および第１の累積加算器１１に供給されるもの
となっている。
′−万、電子ビームの位置を示すカウンタ１２の出力信
号Ａは第３のＤＬｉ３を介して乗算器１０（二供給され
る１乗算器１０では、第２および第３のＤＬｉ 、Ｉ
Ｊを介した各遅延出力Ｘ″。
号Ａは第３のＤＬｉ３を介して乗算器１０（二供給され
る１乗算器１０では、第２および第３のＤＬｉ 、Ｉ
Ｊを介した各遅延出力Ｘ″。
Ａ′が乗算され、この乗算出力Ｘ”’＊ Ａ’はＩ８２
の累積加算器１４（＝供給される。′！ＩＩ＆２の累積
加算器１４では、前記そ−メント計算領域決定回路８か
らの制御出力ＭｐＨより上記乗算出力ｘ″％Ａ′が累積
加算される。そして、この累積加算出力ΣＸ″・Ａ′は
一時記憶回路１５に供給される。また、第１の累積加算
器１１では、上記第２の累積加算器１４と同様に制御出
力Ｍｐにより前記遅延出力Ｘ″が累積加算され、この累
積加算出力ΣＸ” は一時記憶回路１５Ｃ：供給され
る。一時記憶回路１５では、モーメント計算領域決定回
路８からの制御出力Ｍｓにより上記各累積加算出力ΣＸ
″・Ａ″、ΣＸ”が一時的に記憶され、この記憶情報は
ＯｊＵ Ｊ ｒ；に転送される。そして、この０ＰＵ７
６によりΣＸ”・Ａ′／ΣＸ″が演算され％１次モーメ
ント、つまりマーク１の小心位置が検出されるも、のと
なっている。 ′ ところで、前記モーメント計算領域決定回路８は第３図
（二示す如く構成されている。すなわち、コンパレータ
（以下ＯＭＰと略記する）２１、〜２１．カウンタ２８
．〜，３０．フリップ・フロップ（以下Ｆ−Ｆと略記す
る）３１、ラッチ回路３２、ＡＮＤゲート３３．〜．３
８およびＯＲゲート３９等から構成されている。
の累積加算器１４（＝供給される。′！ＩＩ＆２の累積
加算器１４では、前記そ−メント計算領域決定回路８か
らの制御出力ＭｐＨより上記乗算出力ｘ″％Ａ′が累積
加算される。そして、この累積加算出力ΣＸ″・Ａ′は
一時記憶回路１５に供給される。また、第１の累積加算
器１１では、上記第２の累積加算器１４と同様に制御出
力Ｍｐにより前記遅延出力Ｘ″が累積加算され、この累
積加算出力ΣＸ” は一時記憶回路１５Ｃ：供給され
る。一時記憶回路１５では、モーメント計算領域決定回
路８からの制御出力Ｍｓにより上記各累積加算出力ΣＸ
″・Ａ″、ΣＸ”が一時的に記憶され、この記憶情報は
ＯｊＵ Ｊ ｒ；に転送される。そして、この０ＰＵ７
６によりΣＸ”・Ａ′／ΣＸ″が演算され％１次モーメ
ント、つまりマーク１の小心位置が検出されるも、のと
なっている。 ′ ところで、前記モーメント計算領域決定回路８は第３図
（二示す如く構成されている。すなわち、コンパレータ
（以下ＯＭＰと略記する）２１、〜２１．カウンタ２８
．〜，３０．フリップ・フロップ（以下Ｆ−Ｆと略記す
る）３１、ラッチ回路３２、ＡＮＤゲート３３．〜．３
８およびＯＲゲート３９等から構成されている。
そして、前記減算器７の出力４（差出力ｘ−ｘ’）はＯ
Ｍ Ｐ ２ Ｊ （：、供給される。ＯＭＰｊＪ１では
上記差出力ｘ ｘｌ と設定値（振幅−値）Ｘｏとイ
ズによる減算器７の出力より大きな値に選ばれており、
ｘ−ｘ’ ≧Ｘｏをとること（二より電気系ノイズの影
響を受けないことになる。Ｆ・ＦＪＪの反転出力Ｑが初
”めセットされていて。
Ｍ Ｐ ２ Ｊ （：、供給される。ＯＭＰｊＪ１では
上記差出力ｘ ｘｌ と設定値（振幅−値）Ｘｏとイ
ズによる減算器７の出力より大きな値に選ばれており、
ｘ−ｘ’ ≧Ｘｏをとること（二より電気系ノイズの影
響を受けないことになる。Ｆ・ＦＪＪの反転出力Ｑが初
”めセットされていて。
ＯＭＰ！’Ｊの出力ｘ−ｘ’≧Ｘｏ の期間がカウン
タ２８でカウントされる。このカウンタ２８の内容はＯ
Ｍ Ｐ ２２ （＝供給され、設定値（連続時系列−儀
） Ｇ ｏと比較される。そして、カウンタ２８の内容
が設定値Ｇｏ以上のときＯＭＰ２２の出力によりＦ−Ｆ
ＪＪがセットされ、その非反転出力Ｑが「１」となる、
：Ｌら＄二、 ＯＭｔ’２２の出力によりカウンタ２９
がクリアされると共４＝、ラッチ回路３２に前記第２の
ＤＬ９を介した遅延出力Ｘ″が一時記憶される。（この
ときの記憶内容をＸＡとする。）設定値Ｇｏはマーク１
の設置面のざらつきによるノイズとマーク端（立上り又
は立下り）とを区別するための御飯である。すなわち、
前記減算器１の出力ｘ−ｘ’が設定値Ｘｏより大きく、
その期間がＧｏクロック以上連続したときがマーク端と
して検出される。また、減算器７の出力ｘ−ｘ’が設定
値Ｘｏより大きく、その期間がＧｏクロックより短い場
合は、マーク１の設置面のざらつき（＝よるノイズとし
て無視される。カウンタ２９はマーク１の設置面のざら
つきによるノイズをカウンタ２８でカウントした分をク
リアするためのものであ、す、クリアパルスを発生する
条件はカウンタ２９の内容が設定値Ｌｏより大きくなっ
た場合で、ＯＭＰｊＪの出力ζ二よりカウンタ２８がク
リアされる。
タ２８でカウントされる。このカウンタ２８の内容はＯ
Ｍ Ｐ ２２ （＝供給され、設定値（連続時系列−儀
） Ｇ ｏと比較される。そして、カウンタ２８の内容
が設定値Ｇｏ以上のときＯＭＰ２２の出力によりＦ−Ｆ
ＪＪがセットされ、その非反転出力Ｑが「１」となる、
：Ｌら＄二、 ＯＭｔ’２２の出力によりカウンタ２９
がクリアされると共４＝、ラッチ回路３２に前記第２の
ＤＬ９を介した遅延出力Ｘ″が一時記憶される。（この
ときの記憶内容をＸＡとする。）設定値Ｇｏはマーク１
の設置面のざらつきによるノイズとマーク端（立上り又
は立下り）とを区別するための御飯である。すなわち、
前記減算器１の出力ｘ−ｘ’が設定値Ｘｏより大きく、
その期間がＧｏクロック以上連続したときがマーク端と
して検出される。また、減算器７の出力ｘ−ｘ’が設定
値Ｘｏより大きく、その期間がＧｏクロックより短い場
合は、マーク１の設置面のざらつき（＝よるノイズとし
て無視される。カウンタ２９はマーク１の設置面のざら
つきによるノイズをカウンタ２８でカウントした分をク
リアするためのものであ、す、クリアパルスを発生する
条件はカウンタ２９の内容が設定値Ｌｏより大きくなっ
た場合で、ＯＭＰｊＪの出力ζ二よりカウンタ２８がク
リアされる。
一万、前記Ｆ−１３１の非反転出力夷が「１」になると
、マーク１の幅を検出するために、カウンタ３０でその
期間がカウントされる。
、マーク１の幅を検出するために、カウンタ３０でその
期間がカウントされる。
また、前記遅延出力Ｘ″とラッチ回路３２の記憶円谷Ｘ
ムとがＯ，ＭＰ２４＋：て比較される。
ムとがＯ，ＭＰ２４＋：て比較される。
ＯＭＰ２４’の出力ｘ”＞ｘム、Ｆ−ＦＪＪの非反転出
力Ｑおよびクロック信号はＡＮＤゲート３６を介して出
力され、これ（二よりモーメントを計算する期間が決め
られる。そして、ｋＮＤ３６の出力が制御出力Ｍｐとし
て前記第１および第２の累積加算器ｘ、ｘ、１ａｒ二そ
れぞれ送出されるものとなっている。
力Ｑおよびクロック信号はＡＮＤゲート３６を介して出
力され、これ（二よりモーメントを計算する期間が決め
られる。そして、ｋＮＤ３６の出力が制御出力Ｍｐとし
て前記第１および第２の累積加算器ｘ、ｘ、１ａｒ二そ
れぞれ送出されるものとなっている。
また、ＯＭＰ、２４の出力Ｘ”＜ＸＡ、ＯＭＰ２５の出
力Ｍ）Ｍｏ（カラｙり３０の内容と設定（ｉｉ Ｍ ｏ
とを比較した出力）およびＯＭＰ２ｇの出力Ｍ ＜ Ｍ
、ｍＩｎ （カウンタ゛３０の内容と設定値Ｍｍｉｎと
を比較した出力）が満足されたもの（論理積）は人ＮＤ
ゲート３７を介してエラー信号として出力される。さら
Ｃ二、ＯＭＰｊＪの出力Ｘ″（ＸＡ 、 ＯＭＰ ２
ｇの出力Ｍ≧Ｍｍ１ｍおよびＯＭＰ２７の出力Ｍ≦Ｍｍ
ａｘ（カウンタ３０の内容と設定値Ｍｍａｘとを比較し
た出力）が満足されたもの（論理積）はλＮＤ３Ｂを介
し制御出力Ｍｓとして前記一時記憶回路１５（二送出さ
れる。また、ＯＭＰ２７の出力Ｍ ） Ｍ ｍａｘの場
合は、マーク１の幅が大きすぎるのでエラー信号−とし
て出力される。そして、上記各エラー信号および制御出
力ＭｚはＯＲゲート１９を介してカウンタ２８．〜．３
０およびＦ・ＦＪＪに送出され、これ鴫：よりモーメン
ト計算領域決定回路８は初期状態に戻るものとなってい
る。
力Ｍ）Ｍｏ（カラｙり３０の内容と設定（ｉｉ Ｍ ｏ
とを比較した出力）およびＯＭＰ２ｇの出力Ｍ ＜ Ｍ
、ｍＩｎ （カウンタ゛３０の内容と設定値Ｍｍｉｎと
を比較した出力）が満足されたもの（論理積）は人ＮＤ
ゲート３７を介してエラー信号として出力される。さら
Ｃ二、ＯＭＰｊＪの出力Ｘ″（ＸＡ 、 ＯＭＰ ２
ｇの出力Ｍ≧Ｍｍ１ｍおよびＯＭＰ２７の出力Ｍ≦Ｍｍ
ａｘ（カウンタ３０の内容と設定値Ｍｍａｘとを比較し
た出力）が満足されたもの（論理積）はλＮＤ３Ｂを介
し制御出力Ｍｓとして前記一時記憶回路１５（二送出さ
れる。また、ＯＭＰ２７の出力Ｍ ） Ｍ ｍａｘの場
合は、マーク１の幅が大きすぎるのでエラー信号−とし
て出力される。そして、上記各エラー信号および制御出
力ＭｚはＯＲゲート１９を介してカウンタ２８．〜．３
０およびＦ・ＦＪＪに送出され、これ鴫：よりモーメン
ト計算領域決定回路８は初期状態に戻るものとなってい
る。
このよう（二構成された本装置の作用（二ついて９ｉ／
＆４図１ｍｌ〜（ｇｌを適時参照して説明する。
＆４図１ｍｌ〜（ｇｌを適時参照して説明する。
まず、第４図（１）（二示す如きマーク１を電子ビーム
２で走査したときＣ二得られるマーク信号は入／Ｄ５に
よりアナログ・デジタル変換され。
２で走査したときＣ二得られるマーク信号は入／Ｄ５に
よりアナログ・デジタル変換され。
この変換出力Ｘを同図１ｂｌ １＝示す如くなる。また
。
。
この変換出力Ｘを第１のＤＬ６により遅延させること（
二より第４図（ｃｌ ｇ”：、示す如き遅延出力Ｘ′が
得られる。したがって、減算器１の出力Ｘ −Ｘ′は第
４図（ｄｌ （：示す如くなる。この出力Ｘ−Ｘ′がモ
ーメント計算領域決定回路８に供給されると、該回路８
内のＯＭＰｊＪ（二より上記出力ｘ−ｘ’ と設定値Ｘ
ｏとが比較される。そして、ｘ−ｘ’≧Ｘｏとなるとき
、ＯＭＰ２１の出力が第４図（ｅｌ（二示す如く 「１
」となる、ＯＭＰ２１の出力が「１」となる期間、っま
りｘ ｘｌ≧Ｘｏとなる期間が設定値Ｇｏより短いと
エラーと判定され％モーメント計算領域決定回路Ｉは初
期状態に戻り次の信号に備える。ＯＭＰ’２１の出力が
「１」となる期間が設定値Ｇｏを越えると、モーメント
計算回路８円のＦ−Ｆ３１の非反転出力Ｑが−、４図げ
）（二示す如く「１」となり、これ（二よりマーク端と
判定される。
二より第４図（ｃｌ ｇ”：、示す如き遅延出力Ｘ′が
得られる。したがって、減算器１の出力Ｘ −Ｘ′は第
４図（ｄｌ （：示す如くなる。この出力Ｘ−Ｘ′がモ
ーメント計算領域決定回路８に供給されると、該回路８
内のＯＭＰｊＪ（二より上記出力ｘ−ｘ’ と設定値Ｘ
ｏとが比較される。そして、ｘ−ｘ’≧Ｘｏとなるとき
、ＯＭＰ２１の出力が第４図（ｅｌ（二示す如く 「１
」となる、ＯＭＰ２１の出力が「１」となる期間、っま
りｘ ｘｌ≧Ｘｏとなる期間が設定値Ｇｏより短いと
エラーと判定され％モーメント計算領域決定回路Ｉは初
期状態に戻り次の信号に備える。ＯＭＰ’２１の出力が
「１」となる期間が設定値Ｇｏを越えると、モーメント
計算回路８円のＦ−Ｆ３１の非反転出力Ｑが−、４図げ
）（二示す如く「１」となり、これ（二よりマーク端と
判定される。
一万、モーメント計算領域決定回路８には、前記変換出
力Ｘを＄２のＤＬ９を介して得られる第４図１ｇ１ （
＝示す如き遅延出力Ｘ′′が供給されている。そして、
Ｆ−Ｆ３１の非反転出力Ｑの立上り時点での遅延出力Ｘ
”の振幅値Ｘムがラッチ回路３２に一時記憶される。
力Ｘを＄２のＤＬ９を介して得られる第４図１ｇ１ （
＝示す如き遅延出力Ｘ′′が供給されている。そして、
Ｆ−Ｆ３１の非反転出力Ｑの立上り時点での遅延出力Ｘ
”の振幅値Ｘムがラッチ回路３２に一時記憶される。
そして、上記遅延出力Ｘ ”がＸ ”≧Ｘムとなる期間
Ｐ−Ｆ３１の非反転出力Ｑが「１」となり、この期間前
記制御出力Ｍｐが累積加算器１’ｌ、１４に送−出され
る。このため、累積加算器１１．１’４ではｘ Ｉｔ
＞ ｘム となる期間（＝おいてΣＸ″・Ａ′およびΣ
Ｘ″が計算される。そして、上記累積加算ΣＸ″ＩＡ’
、ΣＸ”が０ＰＵ１６にてΣＸ＃′・Ａ＃／ΣＸ″なる
演算処理され１次苺−メ゛ント、っまリマーク１の中心
位置が求められるととＣ；なる。
Ｐ−Ｆ３１の非反転出力Ｑが「１」となり、この期間前
記制御出力Ｍｐが累積加算器１’ｌ、１４に送−出され
る。このため、累積加算器１１．１’４ではｘ Ｉｔ
＞ ｘム となる期間（＝おいてΣＸ″・Ａ′およびΣ
Ｘ″が計算される。そして、上記累積加算ΣＸ″ＩＡ’
、ΣＸ”が０ＰＵ１６にてΣＸ＃′・Ａ＃／ΣＸ″なる
演算処理され１次苺−メ゛ント、っまリマーク１の中心
位置が求められるととＣ；なる。
かくして本装置によれば、マーク１の中心位置検出を、
マーク信号全体の情報を無駄なく利用して行うことがで
きる。このため、位置検出の高精度化をはかり得る。ま
た、１１ｔ子ビームの走査と同時（二各種演算を行うよ
う（ニジているので、位置検、出（二要する時間を短縮
化することができる。しかも、平均加算を行う必要がな
いため、そのためのメモリが不要となりコスト高を招く
こともない。
マーク信号全体の情報を無駄なく利用して行うことがで
きる。このため、位置検出の高精度化をはかり得る。ま
た、１１ｔ子ビームの走査と同時（二各種演算を行うよ
う（ニジているので、位置検、出（二要する時間を短縮
化することができる。しかも、平均加算を行う必要がな
いため、そのためのメモリが不要となりコスト高を招く
こともない。
なお、本発明は上述した実施例（＝限定されるものでは
ない。例えば、前記反射電子検出器の代６月二は、！−
りを電子ビームで走査したときに得られる吸収電子或い
は２次電子を検出するものを用いてもよい、さらに、電
子ビームの代りに光ビームを用いることも可能である。
ない。例えば、前記反射電子検出器の代６月二は、！−
りを電子ビームで走査したときに得られる吸収電子或い
は２次電子を検出するものを用いてもよい、さらに、電
子ビームの代りに光ビームを用いることも可能である。
ただし、この場合電子検出器の代る１二光検出器を用い
る必要がある。また、前記モーメント計算領域決定回路
の構成は、仕様に応じて適宜変東することができる。さ
ら（＝、前記遅延回路の各遅延定数および各設足値Ｘｏ
、Ｇｏ等は、仕様（二応じて適宜定めればよいのは勿論
のことである。
る必要がある。また、前記モーメント計算領域決定回路
の構成は、仕様に応じて適宜変東することができる。さ
ら（＝、前記遅延回路の各遅延定数および各設足値Ｘｏ
、Ｇｏ等は、仕様（二応じて適宜定めればよいのは勿論
のことである。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、檀々変形し
て実施することができる。
て実施することができる。
第１図は本発明の一実施例の概略構成を示すブロック図
１％２図は上記実施例（二係わる電子ビーム走査とマー
ク波形との関係を示す図、第３図は上記実施例のモーメ
ント計算領域決定回路の具体的回路Ｗｔ敗図、＊＆４図
（ａｌ −１ｇｌは上記実施例の作用を説明するための
図である。 １・・・マーク、２・・・電子ビーム％ ３・・・反射
電子検出器、４・・・マーク信号、５・・・アナログ・
デジタル・コンバータ（ム／Ｄ）、６，９．１３・・・
遅延回路（ＤＬ）、７・・・減算器％８・・・モーメン
２ト計算領域決定回路、１０・・・乗算器、１１゜１４
・・・累積加算器、１２・・・カウンタ、１５・・・一
時記憶回路％ １６・・・ＯＰＵ。 出−人代理人 弁理土鈴 圧式 彦
１％２図は上記実施例（二係わる電子ビーム走査とマー
ク波形との関係を示す図、第３図は上記実施例のモーメ
ント計算領域決定回路の具体的回路Ｗｔ敗図、＊＆４図
（ａｌ −１ｇｌは上記実施例の作用を説明するための
図である。 １・・・マーク、２・・・電子ビーム％ ３・・・反射
電子検出器、４・・・マーク信号、５・・・アナログ・
デジタル・コンバータ（ム／Ｄ）、６，９．１３・・・
遅延回路（ＤＬ）、７・・・減算器％８・・・モーメン
２ト計算領域決定回路、１０・・・乗算器、１１゜１４
・・・累積加算器、１２・・・カウンタ、１５・・・一
時記憶回路％ １６・・・ＯＰＵ。 出−人代理人 弁理土鈴 圧式 彦
Claims (1)
- 位置検出に供されるマークを電子ビームで走査し該走査
Ｃ二よる反射電子％２２次電子或は吸収電子を検出して
マーク信号を得る手段と、上記マーク信号から微分波形
を作り該微分波形を所定の奈幅閾値Ｘｏそスライスして
よ記歓分波形からノイズ成分を除去する手段と、上記−
値Ｘｏ以上の微分波形の時系列を所定の遅絖時系列−値
Ｇｏと比較し、上記微分波形の時系列が上記閾値Ｇｏ以
上となるとき該微分波形を一マーク端と判定する手段と
、上記マーク端の判定（二よりマーク端（；おける振幅
値より大きな前記！−り信号の振幅値と前記電子ビーム
の走査位置とから１次モーメントを算出して前記マーク
の中心位置を求める手段とを具備してなることを特徴と
するマーク位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56167551A JPS5868931A (ja) | 1981-10-20 | 1981-10-20 | マ−ク位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56167551A JPS5868931A (ja) | 1981-10-20 | 1981-10-20 | マ−ク位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5868931A true JPS5868931A (ja) | 1983-04-25 |
| JPS6233735B2 JPS6233735B2 (ja) | 1987-07-22 |
Family
ID=15851809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56167551A Granted JPS5868931A (ja) | 1981-10-20 | 1981-10-20 | マ−ク位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5868931A (ja) |
-
1981
- 1981-10-20 JP JP56167551A patent/JPS5868931A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6233735B2 (ja) | 1987-07-22 |
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