JPS5870106A - エツジ位置検出装置 - Google Patents
エツジ位置検出装置Info
- Publication number
- JPS5870106A JPS5870106A JP16916481A JP16916481A JPS5870106A JP S5870106 A JPS5870106 A JP S5870106A JP 16916481 A JP16916481 A JP 16916481A JP 16916481 A JP16916481 A JP 16916481A JP S5870106 A JPS5870106 A JP S5870106A
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- Japan
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- transducer
- electrodes
- edge position
- photocurrent
- plate
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/028—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring lateral position of a boundary of the object
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発鳴はエツジ位置検出装置Ｋｌｌし、工業計ＩＩＩＫ
お−て比較的広範囲に板状体の周縁位置を光学的に検出
する際に用−て有用なものである。
お−て比較的広範囲に板状体の周縁位置を光学的に検出
する際に用−て有用なものである。
半導体の製造工程におｉてウニ八を製造装置間で移送す
る１ＩＫＦｉ、ウニ６周辺上にある切欠部で４るオリエ
ンテーションフラットを同一角度に整列させ、所定の位
置に位置決め１行なう際にその周縁の形状を検出するエ
ツジ位置検出装置が必要となってくる。第ｉａｈ従来技
術に係るこの種のエツジ位置検出装ｆを示す原理図テア
ル。ＭＩＩＫＴｈ−て、ｌは電荷結金嵩子イメージ竜ン
ｆ（以下００Ｄイメージセンすと略称する）、雪はＣＯ
Ｄイメージ竜ンサンナ駆動回路クーツクｔｌ？１振させ
ＯＯＤイメージ七ノ？１内のレジスタ員びフォトシラン
スフアゲート管制御してこのＣＯＤイメージセンナｌを
駆動する。３はＷｔ李１／１１り処理−路、番は針数回
路、５は光源である。
る１ＩＫＦｉ、ウニ６周辺上にある切欠部で４るオリエ
ンテーションフラットを同一角度に整列させ、所定の位
置に位置決め１行なう際にその周縁の形状を検出するエ
ツジ位置検出装置が必要となってくる。第ｉａｈ従来技
術に係るこの種のエツジ位置検出装ｆを示す原理図テア
ル。ＭＩＩＫＴｈ−て、ｌは電荷結金嵩子イメージ竜ン
ｆ（以下００Ｄイメージセンすと略称する）、雪はＣＯ
Ｄイメージ竜ンサンナ駆動回路クーツクｔｌ？１振させ
ＯＯＤイメージ七ノ？１内のレジスタ員びフォトシラン
スフアゲート管制御してこのＣＯＤイメージセンナｌを
駆動する。３はＷｔ李１／１１り処理−路、番は針数回
路、５は光源である。
かかるエツジ位置検出装置では板状体６０周縁位置Ｘは
、＊２ｍｂ）Ｋ示すシフトパルスからの同図６））Ｋ示
すａｏｎイメージ七ノー？−１の出力波形の立上）まて
のカウント数葺として知るヒとがてきる。即ち、計数（
ハ）路番でカウントされた菫よ金屑縁位置ｘｔ求めてｉ
る。
、＊２ｍｂ）Ｋ示すシフトパルスからの同図６））Ｋ示
すａｏｎイメージ七ノー？−１の出力波形の立上）まて
のカウント数葺として知るヒとがてきる。即ち、計数（
ハ）路番でカウントされた菫よ金屑縁位置ｘｔ求めてｉ
る。
ところがかかるエツジ位置検出装置ては、ＯＯＤイメー
ジセンナ五を駆動させる九めにり四ツク斃績回路、タイ
ンンダコント■−ラ等の複雑す周辺回路が必要となるピ
か）でなく、ＯＯＤイメージセンサｌｉｊ多数の小さな
光電変換素子から構成されているので、分解能は前記光
電素子の大きさに依存し、特に広範囲で区分解能を得る
Ｋは構造及び製造が複雑となり価格が高騰するという欠
点もある。
ジセンナ五を駆動させる九めにり四ツク斃績回路、タイ
ンンダコント■−ラ等の複雑す周辺回路が必要となるピ
か）でなく、ＯＯＤイメージセンサｌｉｊ多数の小さな
光電変換素子から構成されているので、分解能は前記光
電素子の大きさに依存し、特に広範囲で区分解能を得る
Ｋは構造及び製造が複雑となり価格が高騰するという欠
点もある。
本発明は、上記従来技術の欠点［＠み、比較的広い範囲
で経済的に且つ簡単な周辺回路によ〕板状体の周辺位置
音検出し得るエツジ位置検出素子を提供することを目的
とする。かかる目的管達威する本発明は、位置検出素子
としてその両端に信号取シ出し用の電極【投打た光電流
変換素子を用い一両電極に発生する電流の和を出力する
点をその技術思想の基礎とするものであるＯ 以下本発明の実施例を図面に基づき詳細に説明する。な
お従来技術と同一部分に扛同一番号會付し重複する設明
は省略する。第３図に示すように、バイアス電源９によ
）バイアスされているＰＨＩ！合型の光電流変換素子７
の両１１１ＩＫは電＊＊！Ｉ出し用の電極ａ、ｂが配設
してあり、両電極ａ、ｂＫ発生する電流の和を出方信号
・として送出するようになっている。この出力信号・は
電流増幅回路８で増幅され出方電圧ｅ・として送出され
る。このとき電流増幅回路８＃ｉ最このとき板状体６は
光電流変換素子７と光源５とｔ）ＭＫ占位せしめられる
。
で経済的に且つ簡単な周辺回路によ〕板状体の周辺位置
音検出し得るエツジ位置検出素子を提供することを目的
とする。かかる目的管達威する本発明は、位置検出素子
としてその両端に信号取シ出し用の電極【投打た光電流
変換素子を用い一両電極に発生する電流の和を出力する
点をその技術思想の基礎とするものであるＯ 以下本発明の実施例を図面に基づき詳細に説明する。な
お従来技術と同一部分に扛同一番号會付し重複する設明
は省略する。第３図に示すように、バイアス電源９によ
）バイアスされているＰＨＩ！合型の光電流変換素子７
の両１１１ＩＫは電＊＊！Ｉ出し用の電極ａ、ｂが配設
してあり、両電極ａ、ｂＫ発生する電流の和を出方信号
・として送出するようになっている。この出力信号・は
電流増幅回路８で増幅され出方電圧ｅ・として送出され
る。このとき電流増幅回路８＃ｉ最このとき板状体６は
光電流変換素子７と光源５とｔ）ＭＫ占位せしめられる
。
かかるエツジ位置検出装置では出力電圧・・は、＃Ｉ４
図に示すように、板状体ｓｏｉｇｉ縁の位置Ｘに比例す
る。したがって出力電圧ｅＩを調定すること（よシ周綴
位置ｘｔ求めることができる。
図に示すように、板状体ｓｏｉｇｉ縁の位置Ｘに比例す
る。したがって出力電圧ｅＩを調定すること（よシ周綴
位置ｘｔ求めることができる。
ζＯとき出力電圧・・が周縁位置Ｘに比例する理由は次
Ｏｍ夛である。即ち、第５図に示すように、光電流変換
素子７上の周縁位置Ｘの微少長さａｘＫ入射し友光によ
）電１ｉａ＊ ｂに発生する電ｇａＸ＆、ａより＃ｉ夫
々次式で表わされる。
Ｏｍ夛である。即ち、第５図に示すように、光電流変換
素子７上の周縁位置Ｘの微少長さａｘＫ入射し友光によ
）電１ｉａ＊ ｂに発生する電ｇａＸ＆、ａより＃ｉ夫
々次式で表わされる。
Ｒｂ
”ａ ” Ｉａｚ ｍ ｅ ＠ （
１）Ｒａ中Ｒｂ ここでＩは単位面積当りに生ずる光起電流、−は電極亀
から周縁位置Ｘオての光電変換素子丁の表面内部抵抗、
Ｒｂは電極１かも周縁位置ｘｔでの光電流変換素子７０
表面内部抵抗である。
１）Ｒａ中Ｒｂ ここでＩは単位面積当りに生ずる光起電流、−は電極亀
から周縁位置Ｘオての光電変換素子丁の表面内部抵抗、
Ｒｂは電極１かも周縁位置ｘｔでの光電流変換素子７０
表面内部抵抗である。
このとき光電流変換素子アの電極ａ、ｂ間の抵抗社均−
な分布を保っているので、各電極ａ。
な分布を保っているので、各電極ａ。
ｂから＊ｂ出される電流は、電極ａ、ｂ間の長さＬ及び
！で表わせば次式の通プとなる。
！で表わせば次式の通プとなる。
ｄＩｂ冨−ＩｄＸ ・・・（４）したがって
、電極ａ、ｂ間で照度が均一な光が当っている場合には
、各電極ａ、ｂでの出力電流工ａ、より ｔｉ（３）
式及び（４）式を夫々積分して次式で表わされる。
、電極ａ、ｂ間で照度が均一な光が当っている場合には
、各電極ａ、ｂでの出力電流工ａ、より ｔｉ（３）
式及び（４）式を夫々積分して次式で表わされる。
ｘ−ｘ
ｘａ；−同一−−ｌ ・０（５）８
ｘｌ、舅−工 ・４１拳（６）・
こむで両電極ａ、ｂの出力電流工ａ ＊ Ｘｂ の和
ｔとれば（５）式及び（６）式よシ出力電Ｒｘ・はｘＸ
とな）、シたがって内部抵抗の影響のない周縁位置ｘＫ
比例する電流となる。かくて内部抵抗が均一な光電流変
換素子？’を用いて、両端の電極ａ。
こむで両電極ａ、ｂの出力電流工ａ ＊ Ｘｂ の和
ｔとれば（５）式及び（６）式よシ出力電Ｒｘ・はｘＸ
とな）、シたがって内部抵抗の影響のない周縁位置ｘＫ
比例する電流となる。かくて内部抵抗が均一な光電流変
換素子？’を用いて、両端の電極ａ。
ｂから、出力電流Ｘ＆ ｅ ”１） を職り出し、そ
の和を電流増幅°回路８に入力するととにより、内部抵
抗の影響なしに、板状体６０周縁位置ｘＫ比例する出力
電圧ｅ＠ ｔ １１１ り出すことがてきる。
の和を電流増幅°回路８に入力するととにより、内部抵
抗の影響なしに、板状体６０周縁位置ｘＫ比例する出力
電圧ｅ＠ ｔ １１１ り出すことがてきる。
以上、実施例とともに具体的に説明したように、本発明
によれｄ両１８に２つの電流取り出し用の電極のある光
電流変換素子管用いることにより、簡単な周辺回路で、
低価格で広範１１に亘り板状体の周縁位置を高精度に検
出することができる。また、光電流変換素子上に不感帯
がなく、連続した位置信号が得られるので、微積分信号
も、容易Ｋ１１ｉシ出せる。
によれｄ両１８に２つの電流取り出し用の電極のある光
電流変換素子管用いることにより、簡単な周辺回路で、
低価格で広範１１に亘り板状体の周縁位置を高精度に検
出することができる。また、光電流変換素子上に不感帯
がなく、連続した位置信号が得られるので、微積分信号
も、容易Ｋ１１ｉシ出せる。
＃Ｉ１図は従来技術に係るエツジ位置検出装置を示す原
理図、第２９伝）、（ｂ）ｔ！その検出方法を説−する
ための信号の波形図、第３図は本発明の実施ｆ！ｌを示
す基本構成図、第４図は本発明の実施例に用ｉるＰＮ接
合型光電流変換素子の出力例を示す特性図、ｔＲ５図は
上記実施例の出方が線形となることを説明するための原
理図である・ 図 藺 中、 ｓＦｉ光源、 ６は板状体、 ？Ｆｉ光電流変換素子である。 特許出願人 代 理 人 弁理士光石士部 （他１名） 第１図 第２図
理図、第２９伝）、（ｂ）ｔ！その検出方法を説−する
ための信号の波形図、第３図は本発明の実施ｆ！ｌを示
す基本構成図、第４図は本発明の実施例に用ｉるＰＮ接
合型光電流変換素子の出力例を示す特性図、ｔＲ５図は
上記実施例の出方が線形となることを説明するための原
理図である・ 図 藺 中、 ｓＦｉ光源、 ６は板状体、 ？Ｆｉ光電流変換素子である。 特許出願人 代 理 人 弁理士光石士部 （他１名） 第１図 第２図
Claims (1)
- 両端Ｋｔｌ！取出し用の電極管有しこの両端の電極に発
生する電流の和を出力信号として送出する光電流変換素
子と、この光電流変換素子の上方に占位しそ０面に照度
が均一な光ｔｗＡ射する光源とを有すること全特徴とす
るエツジ位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16916481A JPS5870106A (ja) | 1981-10-22 | 1981-10-22 | エツジ位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16916481A JPS5870106A (ja) | 1981-10-22 | 1981-10-22 | エツジ位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5870106A true JPS5870106A (ja) | 1983-04-26 |
| JPH0427481B2 JPH0427481B2 (ja) | 1992-05-12 |
Family
ID=15881449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16916481A Granted JPS5870106A (ja) | 1981-10-22 | 1981-10-22 | エツジ位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5870106A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03210421A (ja) * | 1990-01-12 | 1991-09-13 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 位置検出装置 |
-
1981
- 1981-10-22 JP JP16916481A patent/JPS5870106A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03210421A (ja) * | 1990-01-12 | 1991-09-13 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 位置検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0427481B2 (ja) | 1992-05-12 |
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