JPS5872023A - パラメ−タ測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は全体として、一定の分解能に対して確度が高い
圧力測定装置に関するものであり、更に詳しくいえば閉
ループ装置内に水晶容量型圧カドランスデューサを利用
するそのよう々圧力測定装置に関するものである。

圧力測定の分野においては、圧力を電気信号へ変換する
多くの装置が仰られている。それらの圧カドランスデュ
ーサ装置は、トランスデユーサの電気的特性を圧力の変
化で変調する感圧素子を一般に含む。電気的特性、たと
えば、ｔ（（接値、インダクタンス、容量またはそれら
に類似するパラメータの変化は、その後で電気回路によ
り少刺され、測定された圧力の関数として発生する。

１つの特に有利な絶対圧測定装置が、本願出願人が米国
特許を受ける権利を有する１９８０年５月２７日付の未
決の米国特許出願第１５３１２９号に開示されている。

この米国特許出願には、閉ループ帰還装置ｇを含んでデ
ジタル出力を発生する高確度の圧力測定装置が開示され
ている。この圧力測定装置は絶対圧検出トランスデユー
サ・カプセルの中に含まれる感圧コンデンサと安定な基
準コンデンサを有する。

感圧コンデンサと基準コンデンサはイ）シ相が互いに１
８０度異０る正弦波信号により励振される。カプセルの
出力端子は加算点に接続され、それにより被測定圧の変
化に比例する入力信号を発生する。

加算点は入力信号と帰還信号の差として誤差信号を発生
する。その後でその誤差信号は増幅され、適切なフィル
タと積分器により処理されて、負帰還ループ内の同様な
帰還トランスデユーサ・カプセルを励振する出力を加算
点の別の入力端子へ与える。帰還トランスデユーサ・カ
プセルからの出力電流すなわち帰還信号は、誤差信号を
零にするため、すなわち、入力信号を平衡させるために
用いられるから、その帰還信号は加算点の出力が零の時
に検出された圧力の値を表す。

また、加算点の出力を零にするために必要な帰還信号の
個別の増加分の数を直接に測定するためにデジタル・カ
ウンタを帰還ループは含む。したがって、そのカウンタ
のデジタル出力は希望の圧力測定値に正比例する。この
装置は１つの絶対圧測定において非常に有利である。

特に有利な差圧測定装置が、本願出願人が米国特許を受
ける権利を有する１９８１年３月１６日付の未決の米国
特許出願第２４４１８４号に開示されている。

この米国特許出願には、閉ループ帰還装置を含んでデジ
タル出力を発生する高確度の圧力測定装置が開示されて
いる。この装ｆは１つの絶対圧の変化を測定する感圧コ
ンデンサを有する第１の水晶容量型カプセルと、別の絶
対圧の変化を測定する感圧コンデンサを有する第２の水
晶容量型カプセルと、一方のカプセルに同相の電圧を与
え、他方のカプセルに前記電圧とは位相が１８０度異０
る電圧を与える交流励振電圧源と、誤差（Ｎ号が形成さ
れるようにそれらのカプセルの出力を加え合わせるため
の装置とを有する。この測定装置は乗算器を更に含む。

この乗算器の出力は、加算点の別の入力端子へ閉ループ
状に接続されている帰還コンデンサを励振するために用
いられる。この乗算器の利得は、誤差信号を時間積分す
る積分器の出力の大きさにより制御される。したがって
、積分器の出力は、零にされた誤差信号を発生するため
に求められる励振レベルの関数であり、したがって加え
られる差圧の関数である。

更に別の有利な圧力測定装置が、本願出願人が米国特許
を受ける権利を有する１９８１年７月６日付の未決の米
国特許出願第２８０５７８号に開示されている。

この米国特許出願には閉ループ帰還装置を含んでデジタ
ル出力を発生する高確度の圧力比測定装置が開示されて
いる。なるべく、２個または３個の水晶容量型圧カドラ
ンスデューサをインピーダンスを構成するように配置し
、圧力の比または圧力差の比に比例する誤差信号を発生
するようにする。その誤差信号は前記米国特許出願＠２
４４１８４号と第１５３１２９号において記述されてい
る閉ループに類似する閉ループによりデジタル数に変換
される。この変換は誤差信号を零にすることにより行わ
れ、その誤差信号が零になった時にはデジタル数は被測
定パラメータに比例する。

更に、前記米国特許出願第１５３１２９号と第２４４１
８４号には、絶対圧または差圧の関数として積分器のデ
ジタル・カウントを圧縮することによりその測定装置の
測定確度を高くする技術が記載されている。この測定装
置の分解能を高くするコトなしに圧力測定の全範囲にわ
たっである点誤差の一定割合を得ることができるように
、この技術は測定確度を高くする。この技術は絶対圧測
定装置において極めて有利であり、かつ差１１三測定装
置において非常に有用である。

しかし、前記差圧測定装置、圧力比測定装置および差圧
比測定装置ではパラメータが最小値と最大値の間で変化
し得るばかりでなく、最小値と最大値の間の範囲が共通
モード圧に関して変り得る。

これに関連して、共通モード圧は差圧と、汀二力比また
は差圧比の成分であると定義される。共通モード圧の上
昇により測定確度を高くすることにそれらの圧力パラメ
ータの範囲にとって一般的ではない。

この問題を特定の用途に関連させるために、それらの種
類の圧力パラメータを利用してガスタービン０エンジン
の制御変量を計算するガスタービン・エンジンの制御を
例として説明する。たとえば、被測定圧をガスタービン
・エンジンの全入力圧Ｐｔ　および静入力圧Ｐｓ　とす
ると、差圧（ｐｔ−Ｐｓ）はエンジンへ供給される空気
量を示すことになる。また、差圧比（Ｐｔ−Ｐｓ）／Ｐ
ｔはエンジンが経験するマツハ数を示す。被測定圧がガ
スタービン・エンジン全入力圧ｐｔ　と排気圧Ｐｅだと
すると、圧力比Ｐ　ｔ　／Ｐ　ｅが定義によりエンジン
圧力比（ＥＤＲ）　　となる。

空気量、マツハ数と、ＥＰＲとに対するパラメータの前
記計算においては、パラメータの最小値と最大値間の範
囲は−に昇する共通モード圧の関数として一般に拡大す
ることが実際のエンジンにおいて知られている。空気量
〜ツバ数の場合には、その範囲は共通モード圧ｐｔの関
数として拡大し、ＥＰＲの場合にはその範囲は共通モー
ド圧Ｐｃ　の関数として拡大する。

測定装置がそれらの変化する範囲にわたって圧力パラメ
ータに対する百分率確度を高く維持するためには、非常
に多くのデジタル・ビット数を有する非常に高い分解能
の測定装置を必要とすることになることは明らかである
。したがって、測定装置で用いるビット数を減少し、１
−かも測定装置に対する分解能の要求を一定にして、あ
る特定の共通モード圧における範囲の一定の百分率とし
て高い測定確度を維持できることが極めて望ましい。

したがって、本発明は、ある変化する範囲にわたって百
分率確度と分解能が一定である圧力測定装置を提供する
ものである。この装置は圧力パラメータ測定ループと、
共通モード信号圧力測定ループと、被測定圧パラメータ
と共通モード圧の関数として被測定圧パラメータを出力
する較正器とを含む。

共通モード圧を測定することにより、圧力パラメータが
変化するその特定の範Ｈについて較正器は知らされる。

そうすると、その測定装置′は特定の各共通モード圧に
おける各範囲に対してその装置において利用できる最大
の一定分解能を使用できる。この技術により、この測定
装置ａは、高い範囲における装置の分解能を高くするこ
とと、ビット数を多くする必要なしに、共通モード圧の
下端部における範囲内で測定確度を高くできる。これに
より、少いビット数で、圧力パラメータの全範囲にわた
って一定百分率の点確度を生ずる測定装置が得られる。

２０一 本発明の第１の好適な実施例においては、圧力パラメー
タ測定ループは少くとも２個の水晶容量型圧カドランス
デューサを含む閉ループ差圧測定装置を有する。この実
施例は、共通モード圧力測定ループとして、少くとも１
個の水晶容量型圧力圧カドランスデューサを有する閉ル
ープ絶対圧測定装置を含む。この実施例の較正器は圧力
パラメータ測定ループと共通モード圧力圧力測定ループ
から入力を受けて、差圧および共通モード圧力との関数
として測定信号を出力する。

本発明の第２の好適な実施例においては、圧力パラメー
タ測定ループは、少くとも２個の水晶容量型圧カドラン
スデューサを有する閉ループ圧力比測定装置を含む。本
発明の第３の好適な実施例においては、圧力パラメータ
測定ループは、少くとも３個の水晶容量型圧カドランス
デューサを有する閉ループ差圧比測定装置を含む。

本発明の第１．第２および第３の実施例の第２の構成例
は帰還ループとして構成される、少くとも１個の水晶容
量型圧カドランスデューサを有する閉ループ絶対圧測定
装置を含む。これにより、このループのデジタル脅カウ
ントを圧力の関数として圧縮する感圧帰還何月が得られ
る。このようにして、共通モード圧力の測定確１ｘＶは
畠くなり、したがって装置全体の測定確度力線゛６くな
る。同様にして、第１の実施例の第１の構成例ｉ１、同
じ理由から、閉ループ差圧ｉ１１＋１定装置１ｔの帰還
ループ中に水晶容量型圧力トランスデューザを史に言む
。

本発明のＷＪｌ、第２および第：３の実ＩＪｉｌｒ例の
第３の構成例は入力信号と帰還信号を１１−カパラメー
タ測定ループと共通モード圧力ループとの間でスイッチ
ングするための要素を含む。この第３の構成例は、ある
特定のパラメータを測定するようになっている入力イン
ピーダンス回路網へスイッチングすることにより圧力パ
ラメータを測定し、帰還信号をそのループの帰還インピ
ーダンス回路網へスイッチングすることにより圧力パラ
メータ測定値を零にする。それから共通モード圧力を測
定するようになっている入力インピーダンス回路網へス
イッチングすることにより共通モード圧力を測定し、次
に帰還信号をそのループの帰還インピーダンス回路網へ
スイッチングすることにより共通モード圧力測定ループ
を零にすることにより、共通モード圧力が測定される。

この第３の構成例により測定装置の多くの共通集子が多
重化され、その結果として使用素子の数が減少し、回路
構成が簡単になる。

以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

まず第１図を参照する。この図には通常のターボファン
型ガスタービン・エンジン１０が示されている。

このエンジン１０は２台の細流屋圧縮機１１．１３を有
する。それらの圧縮機１１．１３　はそれらにそれぞれ
とりつけられているタービン１５．１７により駆動され
る。それらのタービンは燃焼する空気／燃料混合気の膨
張により回転させられる。その混合気は、圧縮機１１．
１３からの圧縮空気と燃料リング２１からの燃料を受け
る燃焼室１９の中で燃焼される。この種の反作用エンジ
ンにおいては、タービン駆動に費やされなかったエネル
ギーはノズルから放出されて推力を生ずる。着た、低圧
圧縮機１１、またはファン部分、に吸い込捷れる空気は
、ノズルに達する前の排気に混合するために燃焼部の周
囲に分流される。

通常、この種のエンジンを制御するのに用いて有用な測
定すべき圧力がいくつかある。その圧力には周囲圧Ｐｏ
　　と、全入力圧Ｐｔと、人力静圧Ｐｓと、エンジン排
気圧Ｐｅ　と、圧縮機圧１）とがある。

エンジン１０においてそれらの圧力を利用できる種々の
場所が図のエンジン１０にｊＶＡ点で示されている。ガ
スタービン・エンジンを制ｆ卸するのにエンジンのその
他の圧力を使用することもできることが知られており、
先に挙げた圧力は単なる例示である。

本発明は電気信号を発生して、その１に気信号を全体的
に示されている制御装置１４へ与える圧力測定装置１２
に関するものである。その電気信号はなるべくデジタル
信号とする。その電気信号は、本発明の選択した実施例
に応じてチャンバ１８と２０の圧力（Ｐａ、Ｐｂ）に対
応する圧力比Ｐａ／Ｐｂ。

差圧Ｐａ−Ｐｂまたは差圧比（Ｐａ　−Ｐｂ　）／Ｐｂ
を表す。それらの圧力のいずれも適当な導管を通じてチ
ャンバ１８．２０のいずれかへ伝えられて、それらの圧
力パラメータを発生できる。この圧力測定装置は制御装
置１４からの要求信号ＲＥＱに応答して電流信号Ｉｐ　
、　ｉ　ｆを選択している圧力パラメータ′＼変換する
。電流化−力Ｉｐ　、　Ｉｆ　はチャンバ１Ｂ、２０に
名゛−まれている１つ葦たはそれ以上の圧カドランスデ
ューサの入力インピーダンス回路網と帰還インピーダン
ス回路網から発生される。

本発明の実施例のうちのどの構成例が選択されでいるか
に応じて、電流信号Ｉｆ　が帰還信号ｆａに応答する。

したがって、制御装置１４への入力に対して多くの望ま
しいエンジン制御パラメータを直接計算できる。それら
には空気量、マツノ・数、ＥＰＲが含せれる。

それらの圧力パラメータは、制御装置１４へ送られると
、−膜化されている制御法則により働きかけられる。発
生できるエンジン制御信号の全てを含めるわけではない
が、典型的な制御信号は低圧圧縮機の案内羽根の位置を
示す信号Ｉｇ　と、エンジンへ供給される燃料の流量を
示す信号Ｗｆと、バイパス流ノズルの位置を示す信号Ｂ
ｆ　と、ノズルの面積を示す信号Ｎａとである。従来は
、他の多くのエンジン制御変量は圧力パラメータから、
そのパラメータ単独で、寸たは他のエンジン動作パラメ
ータＸとの組合せで、このようにして計算できた。

次に、本発明に従って作られｌζ高確度圧力パラメータ
０１１ｊ定装館１４の第１の実施例を、第２図を診照し
て詳しく説明する。ここでは、パラメータ測定素子とし
て感圧水晶容量型圧カドランスデューサを用いる圧力測
定装置を例として本発明を説明することにする。

この装置はある周波数およびある振幅の交流励振信号Ｖ
ｒ　、−Ｖｒを発生する周波数発生器２４を含む。それ
らの励振信号Ｖｒ　、−Ｖｒはなるべく同じ周波数およ
び同じ振幅にするが、位相は逆にする３、それらの信号
は、たとえば、２次巻線のセンター−タップが接地され
ているトランスの１次巻線に接続される正弦波発生器に
より発生できる。

そのような回路構成により、２次巻線のセンターされ、
２次巻線のセンター・タッグと他方の端子の間に励振信
号−Ｖｒが発生される。

励振信号Ｖｒ　、−Ｖｒは第１の感圧カプセル１６と、
第２の感圧カプセル２２と、Ｍ３の感圧カプセル２６と
に与えられる。感圧カプセル１６は感圧コンデンサＣａ
ａ　を含み、感圧カプセル２２は感圧コンデンサｅｓｃ
を含み、感圧カプセル２６は感圧コンデンサＣａｂを含
む。各感圧カプセルはなるべく水晶容蓋型圧カドランス
デューサで構成する。この種の容量型圧カドランスデュ
ーサが本願出願人が％許権を所有している米国特杵第３
８５８０９７号に詳しく開示されている。各感圧カプセ
ルはこの圧力測定装置のチャンバ１８，２Ｑの一方の内
部に配置される。それらのチャンバは圧力Ｐａ、Ｐｂ　
をそれぞれ伝える。とくに、この実施例では感圧カプセ
ル１６　、２２がチャンバ１８の内部に配置され、感圧
カプセル２６がチャンバ２０の内部に配置される。チャ
ンバ１８．２０内の圧力にそれらの感圧カプセルをさら
すために従来の装着技術が利用される。したがって、感
圧カプセル１６．２２は圧力Ｐａ　にさらされ、感圧カ
プセル２４は圧力１）ｂにさらされる。

感圧コンデンサＣｓａは、励振信号Ｖｒ　　を与えられ
ると、その容量に比例する電流Ｉｐａ　を生ずる。同様
に、コンデンサＣａｂは、励振イ１）号−Ｖｒを与えら
れると、その容量に比例する電流Ｉｐｂを生じ、コンデ
ンサＣｓｃは、励振信号Ｖｒを与えられると、その容量
に比例する電流Ｉｐｃを生ずる。圧力Ｐａ、Ｐｂ　が変
化するとそれらのコンデンサの容量が変化するから、そ
れらの電流Ｉｐａ　。

Ｉｐｂ、　Ｉｐｃ　は圧力変化に比例して変化すること
は明らかである。

次に、電流Ｉｐａ、Ｉｐｂ　は加算点２８で組合わされ
る。しかし、感圧コンデンサＣｓ＋ａと　Ｃｓｂへは位
相が互いに１８０度異０る励振信号が与えられるから、
加算点２８の出力は（Ｉｐａ−１ｐｂ）とＩｆｄ　Ｏ差
である交流誤差信号である。ここで、電流Ｉｆｄが零で
あると仮定すると、誤差電流Ｉｅｄは差圧Ｐ　ａ　−Ｐ
　ｂに比例する。この圧力バラ−２９−１＾ｐ メータすなわち差圧Ｐａ−Ｐｂは第１の実施例により測
定されるパラメータである。

誤差電流Ｉｅｄは帰還ループ３０へ与えられる。

この帰還ループ３０は誤差電流Ｉｅｄ　を積分して第１
のデジタル数Ｎｌ　を形成する。積分動作中にそのデジ
タル数Ｎ１はレジスタすなわちラッチ３２へ帰還される
。このレジスタ３２の出力端子は乗算アナログ−デジタ
ル変換器（ＭＤＡＣ）へ接続される。このＭＤＡＣ３４
へは励振信号−Ｖｒ　も与えられる。その励振信号−Ｖ
ｒはそのＭＤＡＣ３４の公称出力である。レジスタ内の
デジタル数はＭＤＡＣ３４の利得を変化させて、変化す
る帰還信号ｆａｌ　　を固定基準コンデンサＣｆｄへ与
える。この帰還信号ｆｓｌは励振信号−Ｖｒ　　と周波
数および位相が同じであるが、その振幅はデジタル数Ｎ
１の関数として変化する。したがって、コンデンサＣｆ
ｄの出力である帰還電流Ｉｆｄは帰還信号の振幅の関数
であり、したがってデジタルＮ１の関数である。

動作時には、帰還ループ３０はデジタル数Ｎ１−３０＝ を増加または減少させて、誤差電流Ｉｅｄを零にするの
に十分な帰還電流Ｉｆｄ　　を与える。誤差電流が零に
されると、デジタル数Ｎ１が差圧Ｐａ　−ｐｂを表すこ
とになる。この測定装置Ｈのこの部分は前記米国％許出
願第２８０５７８号に開示されている装置に類似する圧
力パラメータ測定ループとして動作する。同様に、圧力
Ｐａを表すＴ（℃流Ｉｐｃは別の加算点３６へ与えられ
る。この加算点３６は電流Ｉｐｃ　と帰還電流Ｉｆａ　
との差をとって誤差電流Ｉｅａを生ずる。帰還電流Ｉｆ
ａが零であると仮定すると、誤差電流Ｉｅａ　ｔｄ絶対
圧Ｐａに比例することになる。第２の帰還ループ３８が
入力として誤差電流Ｉｅａを受け、その誤差電流を積分
してデジタル数Ｎ１を形成する。そのデジタル数はレジ
スタ４０へ帰還される。このレジスタ４０は第２の乗算
デジタル−アナログ変換器（ＭＤＡＣ）４２へ接続され
る。このＭＤＡ、Ｃ４２の別の入力端子へ励振信号−Ｖ
ｒ　が与えられる３、この信号−Ｖｒ　ｉｌその公称出
力である。ＭＤＡＣ４２はデジタル数Ｎ１に比例する第
２の帰還信号ｆｓ２を発生する。その信号ｆｓ２はコン
デンサＣｆａへ与えられる。第１の帰還ループと同様に
、誤差電流Ｉｆａ　　すなわちコンデンサＣｆａの出力
は第２の帰還信号ｌ８２シたがってデジタル数Ｎ２　の
関数である。

第２の帰還ループ３８の動作は帰還ループ３０の動作に
類似し、誤差電流Ｉｅａが積分されてデジタル数Ｎ２を
増加または減少して、ループを零にする帰還電流Ｉｆａ
　を発生する。誤差電流Ｉｆａが零である時は、デジタ
ル数Ｎ２は絶対圧Ｐａに比例する。この測定装置のこの
部分は、前記米国性￥１出願第１５３１２９号に開示さ
れている装置に類似する共通モード圧力測定ループとし
て動作する。

デジタル数Ｎｌ　、　Ｎ２は形成されてから較正器４６
へ送られる。この較正器４６には差圧Ｐａ　−ｐｂＯ値
がＮｌ　、Ｎ２および温度信号Ｔの関数として格納され
る。その温度信号Ｔはチャンバ１８゜２０の一方または
両方に物理的に近接して配置される温度センサ４４によ
り発生される。温度信号Ｔは較正器４６へ送るために帰
還ループ３０と第２の帰還ループ３８のいずれにも入力
できる。較正器４６は、後で詳しく説明するように、差
圧Ｐａ−Ｐｂの測定確度を高くするために２つのデジタ
ル数Ｎｌ、Ｎ２を用い、それから温度信号Ｔに関して較
正するために差圧Ｐａ　−Ｐｂ　　を示す信号を発生す
る。

この装置の毀正過程と測定過程はシーケンサ４８の制御
の下に行われる。この分野でよく仰られているように、
このシーケンサはプログラム内蔵装置とすることができ
、回路またはソフトウェアに内蔵されているプログラム
は帰還ループ３０，３８と、レジスタ３２．４０と、較
正器４６とに動作順序指令を与える。

次に、第１４．１５．１６図を参照してｌ１６）還ルー
プの動作と制御を詳しく説明するそれらの図には誤差電
流Ｉｃ、ａ、　Ｉｅｄ　　をデジタル数Ｎｌ、Ｎ２へ変
換する方法と、それらのデジタル数を較正器４６へ送る
方法が示されている。第１４．１５図はシーケンサ・プ
ログラムを記述する装置流れ図であり、第１６図は帰還
ループ３０または第２の帰還ループ３８のブロック図で
ある。したがって、そのループの動作は帰還ループ３０
について行うことにする。

次に第６図を参照して、帰還ループ３０が誤差信号Ｉｅ
ｄをデジタル数Ｎ１へ変換する。この変換を行うために
、その誤差電流Ｉｅｄが加算点２８から電流−電圧増幅
器１８０へ送られ、そこで利得に１が乗ぜられる。その
後で、誤差の大きさを表す交流電圧の振幅が後調器・フ
ィルタ１８２へ与えられる。この復調器・フィルタ１８
２　の別の入力端子へは交流励振信号発生器２４から励
振信号Ｖｒが与えられる。電流−電圧増幅器１８０から
の誤差電圧出力は復調およびろ波されて、振幅が誤差信
号に比例する直流電圧となる。この直流電圧は位相補償
器１８４を介して多重化アナログ−デジタル変換器（Ａ
／Ｄ）１８Ｂの１つのボートへ与えられる。このＡ／Ｄ
変換器１８８の第２のボートへは温度センサ４４から温
度信号Ｔが与えられる。この温度信号Ｔは利得かに３の
増幅器１８６　により増幅されてからＡ／Ｄ変換器１８
８へ与えられる。

Ａ／Ｄ変換器１８８はそのボートへ与えられるアナログ
信号をデジタル数へ変換Ｌ　、そのデジタル数は、破線
で囲まれているブロック１９６の一部として示されてい
るデジタル処理装置、なるべくマイクロプロセッサとす
る、へ与えることができる。ブロック１９６は制御装置
１４の一部として含ませることもできれば、独立した装
置とすることもできる。デジタル数はシーケンサ４８の
制御の下に入力ボート１９０　奮介してブロック１９６
へ入力される。

後で詳しく説明するように、較正マツピング・ルーチン
により圧力パラメータを決定するためには、誤差と温度
を表す２柚類のデジタル信号が必要である。デジタル誤
差４Ｆ、号は誤差１１１号の符号と大きさについての情
報を含む。誤差の符号は、この測定装置を平衡させるた
めに帰還電流Ｉｆｄ　　を変えねばならない向きを示し
、誤差の大きさはこの測定装置を平衡させるために必＃
な帰還電流の変化量を示す。このデジタル誤差信号はこ
の測定装置の設計分解能に必要庁任意のビット長にでき
る。デジタル温度信号は一般に任意のビット長にでき、
周囲温度の大きさについての情報を含む。

入力ボート１９０け、比利得かに２であるデジタル積分
器１９４へも接続される。このデジタル積分器１９４は
内部プロセッサ・レジスタとして構成でき、その利得は
そのレジスタの内容の増分の大きさと頻度でろる。また
、入カポ−）　１９０はデジタル温度信号Ｔを較正器４
６へ送る。デジタル積分器１９４の出力であるデジタル
数Ｎ１が、シーケンサ４８の監視の下にレジスタ３２に
より出力ボート１９２を介して加算点へ帰還される。

以上説明したハードウェアを制御する過程を示す流れ図
が第１４．１５図に示されている。この流れ図は、被測
定パラメータをデジタル数に変換し、その後でそれらの
デジタル数を較正して希望の圧力パラメータを出力する
ためにシーケンサ４８に内蔵されているプログラムにお
ける機能過程を表すものである。このプログラムは主燃
料制御プログラムの一部とすることができ、その場合に
はそのプログラムはサブルーチンと呼ばれる。また、そ
のプログラムは別の独立したブロックとすることもでき
る。その場合には結果は、前記のように制御装置１４へ
面接出力される。

このプロセス過程の順序はプログラムをスタートさせる
要求信号をブロック１６６が受けた時に開始される。こ
の要求信号に応じてプログラムはブロック１６８へ進み
、そこでＮ１を劇界するためにプログラムはサブルーチ
ン１ループ零」を呼出す。第１４図に示されているサブ
ルーチン１ループ零」け、ブロック１５０を通じて入力
されてから、ブロック１５２に示されているように誤差
デジタル数へ変換すべきことをＡ／Ｄ変換器１８８へ合
図することにより行われる。このＡ／Ｄ変換の後で、Ａ
／Ｄ変換器１８８の出力を処理装置デジタル積分器１９
４　の内部レジスタに格納するために、そのＡ、／Ｄ変
換器１８８の出力は入力ボート１９０　を介して送られ
る。

その後で、ある大きさと、ある符号を有する誤差電流が
プロセス過程１５４，１５６の間に試験される。誤差信
号の大きさが零に等しいが否かを決定するＡ−めにブロ
ック１５４においてその誤差信号がまず試験される。も
し等しくないとすると、デジタル数ＮＩ　Ｆｉ＝ｘ差信
号Ｉｅｄをまだ示しておらｒ１圧力測定ループがまだ安
定していないことになる。したがって、デジタル数Ｎｌ
　をどの向きに増加させねばならないかの指示を見つけ
なければならない。

ブロック１５６で行われる試験はこの指示を与えるもの
である。誤差信号が正であると、誤差電流ｆｅｄが帰還
電流ｉｆｄより大きいから、積分器５０がブロック１６
０における過程で増加させられて帰還電流を増加する。

誤差信号が負であれば、誤差電流ｌｅｄは帰還電流Ｉｆ
ｄ　より小さく、デジタル積分器１９４の内容はブロッ
ク１５８において減少させられて帰還電流を減少させる
。ブロック１５８または１６０における過程が終ってか
ら、新しいデジタル数Ｎ１が過程１５９０間に出力ボー
ト１９２　を介してレジスタ３２へ出力される。その後
で、デジタル数Ｎ１　は帰還されて、ＭＤＡＣ３４とあ
る特定の帰還インピーダンス回路網、この構成例ではコ
ンデンサＣｆｄ、を介して、ループを零にする向きに誤
差電流を変化させる。

このプロセスは、デジタル数Ｎ１が出力された後で、ブ
ロック１５２からブロック１５９へ飛越すことにより続
行される。

デジタル積分器１９４の積分速度はプログラム実行時間
と、各パスの後で格納される積分器に加えられる増分の
大きさとの関数である。シーケンサはそれらの変量のい
ずれかを変身ることができるから、積分速度を可変にで
きる。たとえば、ループの安定時間を短くしたい時に１
１可変積分速度は有利である。その場合には、前記米国
特許出願第１５３１２９号に開示されているように、積
分速度は、誤差電流が大きい時には速くなり、誤差電流
が平衡点近くの小さい値の時は遅くなる。

プログラムは、誤差電流Ｉｅｄが零になるまで、このよ
うにして帰還電流Ｉｆｄ　を増大させることによりこの
帰還電流Ｉｆｄを変化し続ける。誤差電流Ｉｅｄが零に
なると、動作はブロック１５４における試験からブロッ
ク１６２へ流れる。それからシーケンサはブロック１６
４　を通って第５図のブロック１６８へ戻る。それから
プログラムは入力パラメータを零ループ・サブルーチン
へ変え、帰還ループ３８において同じやり方でデジタル
数Ｎ２を計算する。したがって、帰還電流Ｉｆａ　　に
より誤差電流Ｉｅａにより誤差電流Ｉｅａを零にするた
めに、このループは誤差電流Ｉｅａを入力してデジタル
数Ｎ２を増加させる。サブルーチンがブロック１７０へ
再び戻された後で、帰還ループ３０または３８に含捷れ
ているＡ／Ｄ変換器４６へ、温度センサ２８の出力をデ
ジタル数へ変換することを合図する。そうするとデジタ
ル形式の温度信号Ｔが入力ボート４８へ人力されて格納
される。この一連の動作におけるこの過程はブロック１
７２　として示されている。そうすると、この測定装置
は較正サイクルを開始し、この較正サイクルにおいては
Ｎｌ、Ｎ２．Ｔの格納されている値が過程１７４０間に
読出され、それに対応する圧力パラメータ値がブロック
１７６により行われる計譜−から見出される。

この計算過程は２種類の方法のうちの１つにより行うこ
とができる。第１の方法においては、デジタル数Ｎｌ、
Ｎ２の値と、圧力パラメータの値と、温度Ｔの値の調査
表が実験により構成される。

最初の較正が、この測定装置を既知の圧力差と温度にさ
らし、各点ごとに発生されたデジタル数Ｎｌ、Ｎ２を記
録することにより、形成される。

各点は読出し専用メモリ（ＲＯＭ）のような記憶装置内
に置かれて調査表を形成する。この調査表は、ガスター
ビン中エンジンの運転中にＮｌ　、　Ｎ２　。

Ｔの測定された値に対応する圧力パラメータを見出すた
めに使用できる。必要があれば、２つの実験点の間の圧
力パラメータを求めるために補間ルーチンを使用できる
。

別の方法は、既知の圧力パラメータと温度に対する実験
的な較正データから、変量Ｎｌ　、　Ｎ２　、Ｔの関数
として圧力パラメータについての式を得ることである。

次に、未知パラメータの指示を得るために、ソフトウェ
ア・ループにおいてこの式を実行して、被測定変量Ｎｌ
　、Ｎ２　、Ｔ　を未知パラメータを表すものへ変換で
きる。その後で、過程１７８の間に圧力パラメータと、
差圧Ｐａ−Ｐｂが出力されて制御装置１４により直接使
用され、または太キ斤プログラムすなわち大型の処理装
置で用いられる。

本発明の好適な実施例を示すために、帰還ループのデジ
タル・ソフトウェア構成について説明したが、前記米国
特許出願第１５３１２９号に示されている帰還回路を前
記したようにして使用できることは当業者には明らかで
あろう。その場合には、上記米国特許出願の第４図に素
子１４　、１６，２６．２８として示されている帰還回
路を、誤差電流Ｉｅｄ　を得て、その電流を帰還信号−
Ｖｒｆ（Ｎ）へ変換するために容易にデジタル・ループ
の代りに用いることができる。更に、この装置のループ
は児全にアナログ技術で構成することもできる。その場
合には、希望のパラメータを表すアナログ出力信号を出
力するために、ループはアナログ増幅部と、アナログ復
調部と、アナログ積分部を含む。

この帰還ループは、ループを零にするために出力信号に
より制御されるアナログ乗算器を更に利用する。

したがって、この測定装置は、被す１１定圧力パラメー
タ、この場合には差圧（Ｐａ−Ｐｂ）、を表すデジタル
数Ｎ１を発生する第１の測定装置すなわち圧力パラメー
タ測定ループと、被測定パラメータの成分の１つ、すな
わち、共通モード圧ｐｎ、を表すデジタル数Ｎ２を発生
する第２の６１１１定装置すなわら共通モード圧測定ル
ープとを有する。

本発明の測定装置の利点をもつと明らかに示すために第
１１図を参照する。第１１図は一般化した圧力パラメー
タＰｍの範囲要求と共通モード圧力Ｐｃｍ　　との関係
を示すグラフである。この特別な場合においては、圧力
パラメータＰｒｎは差圧Ｐａ−Ｐｂであり、共通モード
圧はＰａである。この場合における要求は、ガスタービ
ン会エンジンの運転中に被測定物理変量がとることがで
きる実際の値から得られｆｃ。差圧範囲すなわち、Ｐａ
とｐｂの最大の差、は絶対圧ＰａがＰａ　（Ｍｉ　ｎ　
）からＰａ（Ｍａｙ）ｔで上昇するにつれて大きくなる
ことがわかる。したがって、差圧測定の確度を、各範囲
の所定の百分率として、維持すべきものとすると、全絶
対圧範囲にわたって要求される分解能にかなりの違いが
ある。点確度の一定百分率に対する最初の分解能要求は
、測定すべきＰａ（Ｍｉｎ）における差範囲の最小増分
により法定される。通常は、分解能が一定の装置の場合
には、Ｐａ（Ｍａｘ）における差圧測定のためには分解
能が高すぎて、多数のビットを有するデジタル装置を必
要とする。

この測定装置は必要とするビット数を減少して、しかも
点確度の一定百分率を維持する仁とが極めて望ましい。

本発明に従って、範囲と確度とに対する要求は、分解能
が一定で、ビット数の少い装置により満される。本発明
は、絶対（共通モード）圧を測定することによシこの利
点を得るものである。その絶対圧において差圧が測定さ
れる。この情報は要求のグラフから圧力パラメータの範
囲を定める。それから、Ｎ１カウントの関数としてのＰ
ａ　−Ｐｂの較正はＮ２カウントの較正に区分される。

ごのＮ２カウントの較正の場合には、分解能のために利
用できる最大数のデジタル・ビットを全て使用する。そ
のために、装置のビット長を大きくすることなしに、狭
い範囲における確度が高くなる。

次に、そのような較正スケジュールが示されている第１
２図を参照する。Ｐａ（Ｎｕｎ、）における差圧範囲は
カーブ２００に沿って較正され、Ｐａ（Ｍａｘ）におけ
る差圧範囲はカーブ２０２　に沿って較正される。Ｐａ
（Ｍｉｎ）とｐａ（Ｍａｘ）　　の間の中間差圧範囲に
対しては、任意の数の同様な較正を、破線較正カーブ２
０４，２０６により示されているようにして行うことが
できる。指定された絶対圧に関連する各差圧範囲が同じ
数の増分、Ｎｍａｘ−、に分割されていることが明らか
である。

共通モード圧Ｐａの関数として変化するのは、範囲の大
きさ上における増分の分布である。この較正のために、
分解能は一定であるから、差圧範囲の百分率としての確
度が種々の範囲に対しては同じである。なるべくなら、
これは較正器４６に格納されている較正である。

同様に、第１３図はデジタル数Ｎ１の関数としての差圧
範囲の較正を示すものである。Ｐａ（Ｍｉｎ）における
差圧範囲はカーブ２１０に沿って較正される。第１２図
に示されている場合と同様に、Ｐａ（Ｍｉｎ）　　とＰ
ａ（Ｍａｘ）　　の間の中間差圧範囲は、破線カーブ２
１２．２１４　　として示されている任意の数のカーブ
Ｎ２により較正される。第１３図と第１２図に示されて
いる較正差異は各較正カーブの形である。第１３図の各
較正カーブ２０８〜２１４は小さな差圧における勾配が
急であり、測定されるパラメータが大きくなるにつれて
その勾配はゆるやかになる。この点については後で第５
図を参照して詳しく説明する。図に示されているスケジ
ュールに対する第４の次元として、較正回路は圧力パラ
メータを温度信号に関して更に変化する。このスケジュ
ール上におけるこの第４０次元は、パラメータとデジタ
ル数Ｎｌ、Ｎ２により形成される３次元のグラフすなわ
ち表面の間の関係を一層明らかに指摘できるようにする
ために、第１２．１３図からは無くされている（各スケ
ジュールは一定の公称Ｔに示されている）。したがって
、第１２．１３図からのスケジュールも、パラメータ自
体か温度により変化するから、温度に関して変化するこ
とが理解される。

第３図は本発明の第２の実施例を示す。この実施例では
、被測定パラメータは圧力比Ｐ　ａ　／Ｐ　ｂであって
、絶対圧すなわち共通モード圧ｐａに関して測定される
。説明を容易にするために、同じ素子には第２図に用い
たのと同じ参照番号をつけである。この実施例に含１れ
ている共通モード圧力測定ループは、第１の実施例につ
いて説明した測定ループと同じであり、素子２２，２４
，３６゜３Ｂ、４０，４２．Ｃｆａ　を有する１、それ
らの素子はシーケンサ４８の指令の下に前記したように
動作し、誤差電流Ｉｅａを零にし、それからデジタル数
Ｎ２を発生する。したがって、この共通モード圧測定ル
ープは共通モード圧Ｐａ　を表すデジタル数Ｎ２を発生
する。

しかし、とのｆ：置でね、圧力パラメータ測定ループは
差圧パラメータを測定するように変更される。

これに関して、チャンバ２０の中に配置されているカプ
セル２６は、差圧検出コンデンサＣｇｄ　　を含む別の
カプセル５０に置き換えられている。この実施例では、
感圧コンデンサＣ３ｄは先に説明した実施例の固定基準
コンデンサＣｆｄ　０代りに用いられ帰還信号ｆｓｌが
与えられる。図示の回路では、帰還電流Ｉｆｒは帰還信
号ｆｓｌの振幅と、圧力ｐｂにより変化するコンデンサ
Ｃｓｄ　　の容量とに比例する。

この圧力パラメータ測定ループの定常状態（誤差信号Ｉ
ｆｒが零）における伝達関数はＸ　ｆ／Ｘｍである。こ
こに、Ｘｆは帰還ループのりアクタンスすなわちインピ
ーダンス部であり、−は側近部分のりアクタンスすなわ
ちインピーダンス部である。したがって、デジタル数Ｎ
ｌ　ｆ−シＣｓａ／Ｃ８ｄに比例し、かつＣｓａはＰａ
とともに変化し、Ｃｓｄがｐｂ　　とともに変化するか
ら、Ｎ１けＰａ／Ｐｂ　Ｎｍａｘに比例する。

したがって、この実施例の圧力パラメータ測定ループは
、前記米国特許出願第２４４１８４号に示されているや
り方で圧力比Ｐ　ａ　／’Ｐ　ｂを計算する。

この圧力比はデジタル数Ｎ１　として較正器４６へ与え
られ、デジタル数Ｎ２が絶対圧Ｐａを表すものとして更
に与えられる。較正器４６は第１２図に示されている較
正スケジュールを格納する。その後て、較正器４６は、
第２図を・参照して説明した一連の動作により、比Ｐ　
ａ　／　Ｐ　ｂを示す信号をＮｌ、Ｎ２．Ｔの関数とし
て出力する。

次に、本発明の第３の実施例が示されている第４図を参
照する。第４図には差圧力比Ｐ　ａ　−Ｐｂ／Ｐａを計
算する圧力測定装置が示されている。この実施例に含ま
れている共通モード圧力測定ループは、第１図の実施例
について説明したループと同じものであって、素子２２
，２４，３６，３８，４０．４２とＣｆａを有すること
が容易にわかる。それらの素子はシーケンサ４８の指令
の下に前記したように動作して誤差電流Ｉｅａを零にし
、それからデジタル数Ｎ２を得る。このデジタル数Ｎ２
は共通モード圧Ｐａを表す。

しかし、この装置では圧力パラメータ測定ループは差パ
ラメータを測定するように変えられている。この実施例
においては、カプセル２６が圧力チャンバ２０の中に再
び入れられ、励振信号−Ｖｒにより励振される。カプセ
ル２６の出力は加算点２８−＼与えられる。この加算点
へは圧力ｐｂ　に比例する’ａ流Ｉｐｂ　も与えられる
。前記２つの実施例と同様に、定常状態においてはこの
圧力パラメータ測定ループの伝達関数はＸ　ｆ　、／Ｘ
ｍ　である。

したがって、Ｎ１は（Ｃｓａ　−Ｃａｂ）／　Ｃｓｄ　
（Ｍａｘ）に比例する。ＣｓａはＰａ　により変り、Ｃ
ｓｂ　とＣｓｄはｐｂにより変るからＮ】は（Ｐａ−Ｐ
ｂ）／ｐｂに比例する。

この圧力パラメータ測定ループは差圧比Ｐａ　−Ｐ　ｂ
　／Ｐ　ｂに比例するデジタル数Ｎ１を発生し、その数
Ｎｌを較正器４６−＼与える。この較正器４６は第１２
図に示されている較正スケジュールを格納する。較正器
４６は共通モード圧力測定ループからデジタル数Ｎ２を
更に受け、シーケンサ４８の制御の下に、差圧比（Ｐａ
　−Ｐｂ　）／Ｐｂを示す測定信号を、第２図を参照し
て説明した事象の順序により、Ｎｌ、Ｎ２．Ｔの関数と
して出力する。

次に、第５図を参照して第２図に示されている本発明の
第１の実施例の第２の構成例を説明する。第５図には圧
力パラメータ測定ループにおいて固定帰還コげンザＣｆ
ｄの代ｐに容量型」・ランスデューサ・カプセル５２が
用いられ、共通モード圧力測定ループにおいて固定基準
コンデンサＣｆａの代りに容量型トランスデユーサ・カ
プセル５４が用いられている装置を示す。カプセル５２
は感圧コンデンサＣｓｄと、圧力をあまり感知しないコ
ンデンサＣｒｄとを有する。感圧コンデンサＣｓｄへは
帰還信号ｆａｌが与えられコンデンサＣｒｄへは反転増
幅５６により反転された帰還信号ｆｓｌが与えられる。

したがって、帰還電流Ｉｆｄに」帰還信号ｆｓｌの振幅
と、コンデンサＣ８ｄ　とＣｒｄ　　の容量の差Ｃｓｄ
　−Ｃｒｄ　　に比例する。この容量差は圧力ｐｂに依
存する。その理由は、カプセル５２が圧カチャンパ２０
の中に配置され、かつ可変コンデンサＣｏｄを含んでい
るからである。第２図に示す第１の実施例においてそう
であったように、この構成例の圧力パラメータ測定ルー
プは差圧Ｐａ−Ｐｂに比例するデジタル数Ｎ１を生ずる
。しかし、この差圧は帰還コンデンサの容量差Ｃ５ｄ−
Ｃｒｄ　　により分割されて、前記米国特許出願第２４
４１８４号に開示されているように、より多くのデジタ
ル数を低い差圧範囲に圧縮する。

トランスデユーサ・カプセル５４は感圧コンデンサＣｆ
ｃ　と、圧力をあまり感じないコンデンサＣｒｃ　とを
有し、それらのコンデンサの出力は組合わされて帰還電
流Ｉｆａを生ずる。コンデンサＣｆｃへは帰還信号Ｉｆ
ａが与えられ、圧力を感じないコンデンサＣｒｃへはぞ
の信号Ｔｆａが反転増幅器５７を介して与えられる。し
たがって、帰還電流Ｉｆａは帰還信号ｆｓ２　　の振幅
と、コンデンサＣｆｃ　とＣｒｃの容量比Ｃｆｃ／Ｃｒ
ｃとの関数である。

この構成例の共通モード圧力測定ループ（トランスデユ
ーサ５４を有していることを除いて、第２図に示すルー
プと同じものである）は、容量差Ｃｆｃ　−Ｃｒｃによ
り修正された絶対圧の関数としてデジタル数Ｎ２を計算
する。絶対圧Ｐａを測定するために用いられるデジタル
数Ｎ２が低い方の圧力範囲に圧縮されるように、前８己
米１）ミ１％許出願第１５３１２９号に開示されている
ように、前記容量差は絶対圧Ｐａにより変化する１、こ
れにより絶対値測定の点角肛、Ｌ７たがって較正の全確
度を最適にする。

圧力パラメータ測定ルーズに感圧帰還項が含まれている
ために、パラメータの低い値においてより多くのデジタ
ル数Ｎ１を圧縮する。この構成例において較正器４６に
格納されている較正スケジュールは、パラメータの値が
小さい時に勾配が急であり、パラメータの値が大きい時
は勾配がゆるやかである状況を示す第１３図１ｆ（示さ
れているスケジュールである。

共通モード圧力測定ループは、感圧帰還項Ｃｆｃ−Ｃｒ
ｃ　を含んでいるために、第１３図に示されているスケ
ジュールの横軸に沿ってデジタル数Ｎ２を圧縮する機能
も果す。しかし、好適な方法は、デジタル数Ｎ２をＰａ
の関数として較正してから、第１２図１たけ第１３図に
示されているＰａによる較正を用いることである。した
がって、このスケジュールはＮｌさ、共通モード圧（Ｎ
２ではない−）と、Ｔとの関数として圧力パラメータを
格納する。

第１の実施例の場合と同様に、第１の実施例の第２の構
成例はデジタル数Ｎｌ、Ｎ２　　を較正器４６へ送り、
そのためにこの較正器４６（ｄ、第２図を参照して説明
した一連の事象により、Ｎｌ、Ｎ２゜Ｔの関数として差
圧Ｐａ−Ｐｃｂ　　を出力する。

第６図は第３図に示す本発明の圧力測定装置の第２の実
施例の第２の構成例を示すものである。

この第６図に示されている装置においては、固定帰還コ
ンデンサＣｆａの仕りに容量型トランスデユーサ・カプ
セル５４を用いている。第１の実施例の第２の構成例に
おける帰還カプセル５４の場合のように、帰還カプセル
５４は、第２の帰還信号ｆｓ２　　と、容１゛差Ｃｆｃ
−Ｃｒｃ　　との関数である帰還電流Ｉｆａ　を生ずる
。したがって、この装置の共通モード圧力測定ルーズは
、絶対圧Ｐａと、容量差Ｃｆｃ−Ｃｒｃ　との関数とし
てデジタル数Ｎ２を発生する。３前記米国特許出’ｉｍ
ｐ第１５３１２９月に開示されているように、これによ
り、絶対圧Ｑ％）の低い値の時にデジタル数Ｎ２が圧縮
される。

素子１６，２４．２Ｂ、３０，３２，３４．５０を有す
る圧力パラメータ測定ループは２，１３図に示されてい
るループと同じものであり、同じように動作する。した
がって、この構成例における圧力パラメータ測定ループ
は、Ｌトカ比Ｐ　ａ／ｆ’　ｂ　に比例するデジタルｉ
Ｎ１を生ずる。

したがって、第６図の装置コはデジタル数Ｎｌ。

Ｎ２を較正器４６へ送り、その較正器４６から圧力比ｐ
Ｈ／ＰＩＪ　が、第２図を参照して説、明した一連の動
作により、Ｎｌ　、　Ｎ２　、　’ＩＩ”の関数として
出力される。

第７図は第４図に示されている圧力測定装置の第３の実
施例の第２の構成例である。第１および第２の実施例の
第２の構成例の場合のように、共通モード測定ループは
固定帰還コンデンサＣｆａＯ代りに容量型トランスデユ
ーサ・カプセル５４を用いる。前記したように、これに
よりこの測定ループは、帰還信号ｆｓ２の振幅と、コン
デンサＣｆｃ、Ｃｒｃの容量差との関数として帰還電流
Ｉｆａ　を発生できる。したがって、帰還ループ３８に
より発生されるデジタル数Ｎ２け絶対圧Ｐａと、容量差
Ｃｆｃ−Ｃｒｃ　　とに比例する。

素子１６，２４，２６，２８，３２，３４゜５０を有す
る圧力パラメータ測定ループは第４図に示されているル
ープと同じものであって、同様に動作する。したがって
、この構成例の圧力パラメータ測定ループは、差圧比Ｐ
ａ　−Ｐｂ　／　Ｐｂに比例するデジタル数Ｎ１を生ず
る。

第７図の装置はデジタル数Ｎｌ、Ｎ２を較正器４６へ送
り、そこで差圧比（Ｐａ−Ｐｂ）／Ｐｂが、第２図を参
照して説明した一連の動作により、Ｎ１、Ｎ２の関数と
して発生される。

第５図に示す圧力測定装置の第１の実施例の第２の構成
例から、この装置で得ることができる確度で希望の出力
パラメータを発生するためには、５個の水晶容量型カプ
セルを設ける必猥があることがわかる。第８図は、第５
図に示す構成例が行う動作と同じ動作をたった２個のト
ランスデユーサを用いて行う圧力測定装置を示すもので
ある。

このように圧力トランスデユーサの数を減少することは
、第５図に示す装Ｒに用いられている必要な感圧コンデ
ンサを各圧力チャンバ用の１つのトランスデユーサに１
とめ、それらのコンデンサへ与える励振信号と帰還信号
をスイッチング回路網により正しく切り換えるようにす
ることによって達成される。このようにして、この帰還
ループは１つのループに丑で減少でき、圧力パラメータ
信号Ｎ１と共通モード圧力信号Ｎ２を１組の部品から発
生するために用いられる共通素子を多重化できる。

この構成例においては、容量型トランスデユーサ−カプ
セル５８は２個の感圧コンデンサＣｓａ。

Ｃｓｆ　　と、圧力をあまり感じないコンデンサＣｒｃ
とを含む。カプセル５８は圧力チャンバ１８の中に設け
られて圧力Ｐａを受ける。同様に、容量型トランスデユ
ーサ・カプセル６０は感圧コンデンサＣｓｂ、Ｃｓｄ　
　と圧力をあまり感じないコンデンサＣｒｄを含む。そ
れら２個のカプセルは、従来の装置が達成可能であった
高い確度で差圧パラメータを発生するために必要である
、同等の感圧コンデンサと基準コンデンサを含むことが
第５図から明らかである。

感圧コンデンサＣｓａは、差圧を表すデジタル数Ｎ１の
ための電流１ｐａ　をまず発生するために多重化され、
それからチャンバ１８からの絶対圧Ｐａのための電流Ｉ
ｐｃ　を発生するために用いられる。したがって、感圧
コンデンサＣｓａには励振信号Ｖｒが直接与えられ、感
圧コンデンサＣｓｂへは励振信号−Ｖｒ　が常閉スイッ
チ６２を介して与オられる。このように、この装置はコ
ンデンサＣｓａ　の容量すなわち圧力Ｐａ　　に比例す
る電流Ｉｐａ、　Ｉｐｃ　　と、コンデンサＣａｂの容
量すなわち圧力ｐｂ　　に比例する電流Ｉｐｂを生ずる
。

感圧コンデンサＣｆｄには帰還信号ｆ８が常閉スイッチ
６４を介して与えられ、基ｆＩｌ＆、コンデンサＣｒｄ
へはその帰還信号が反転増幅器６６を介して与えられる
。コンデンサＣｒｄ、　Ｃａｄ　の出力は組合わされて
、帰還信号ｆ８の振幅と、コンデンサの差等ｆｉｌｃｆ
ｄ　−Ｃｒｄ　とに比例する帰還１！流を形成する。同
様にして、感圧コンデンサＣｆｃへは帰還信号ｆａが常
開スイッチ６８を介して与えられ、基準コンデンサＣｒ
ｃ−＼はその信号〃−反反転幅器７０を介して反転され
て与えられる。コンデンサＣｒｃ、　Ｃｆｃの出力は組
合わされて゛電流Ｉｆａを形成し、その電流ね加算点７
２−・与えられる。

スイッチ６２，６４．６８の動作に応じて電流Ｉｐａ　
、　　Ｉｐｂ、　Ｉｆｄは誤差信号Ｉｅｄを生じ、電流
Ｉｐｃ　とＩｆａは誤差電流Ｉｅａを生ずる。誤差電流
ＩｅｄとＩｅａは電流−電圧増幅器７４へ与えられる。

この増幅器の出力端子は常閉スイッチ７６と常開スイッ
チ７８へ接続される。電流Ｉｅｄ　　は復調器・フィル
タ７８へ与えられる。この復調器・フィルタは増幅器Ｔ
４からの交流’ｒｔｒ、圧を１１流信号に変換する。こ
のＷ流信号は位相補償器８０へ与えられる。誤差電流Ｉ
ｅｄを表す直流信号電圧Ｖｅｄ　ｔｒＪ’、　Ａ／Ｄ変
換器８６の１つのボートへ与えられる。同様に、誤差′
電流Ｉｅａはスイッチ７８を介して復調器・フィルタ８
２−＼与えられ、この復調器・フィルタにより、誤差に
比例する振幅を有する直流電圧に変えられる。その誤差
電圧は位相補償器８４により位相補償されて電圧Ｖｅａ
　　となってからＡ／Ｄ変換器８６の第２のボートへ与
えられる。このＡ／’Ｄ変換器８６の第３のボートは、
温贋センサ９０からの温就信号Ｔを、利得かに２の電圧
増幅器８８を介して受ける。

Ａ／Ｄ変換器８６へ与えられたそれら３棟類の入力はデ
ジタル数Ｅａ、Ｅｄ、Ｔに変換されてから帰還ループ９
２へ与えられる。この帰還ループ９２は誤差信号Ｅａ　
ｒ　Ｅｄ　を積分してデジタル数Ｎｌ　、Ｎ２　’ｉレ
ジスタ９４へ与える。デジタル数Ｎｌ、Ｎ２はループ９
２内の較正ルーチンへも送られて、後で詳しく説明する
ように差圧Ｐａ　−Ｐｂを出力させる。デジタル数Ｎｌ
、Ｎ２はレジスタ９４へ与えられて、乗算デジタル−ア
ナログ変換器（ＭＤＡＣ）９６の利得を制御する。この
ＭＤＡＣは励振信号−Ｖｒ　の入力から帰還信号ｆ８を
発生し、レジスタ９４内のデジタル数に応じてその帰還
信号の振幅を変える。

動作時には、帰還ループ９２内の回路が第８図の装置を
制御して、第５図に示されている装置と同様に動作させ
る。この装置は圧力パラメータ測定ループを有し、この
ループにおいては、モード制御信号Ｓｍが零であるとス
イッチ６２，６４゜７６が閉じられ、スイッチ６８．７
８は開かれる。

モード制御信号は共通線を介してスイッチ６２゜６４．
６Ｂ、７６．７８の制御入力端子へ与えられる。零モー
ドでは、コンデンサＣｓａ、Ｃｓｂへそれぞれ与えられ
る励振信号Ｖｒ　、−Ｖｒは誤差電流信号Ｉｅｄ　　を
発生する。その信号は増幅器７１　　　　゛で増幅され
てからスイッチ７６と、復調器・フィルタ７８と、位相
補償器８０とを通って誤差電圧ＶｅｄになってＡ／Ｄ変
換器８６　の入力端子へ与えられ、デジタル数Ｅｄに変
えられる。そのデジタル数Ｅｄは帰還ループ９２でデジ
タル数Ｎ１に変えられる。このデジタル数Ｎ１から発生
された帰還信号ｆｓが常閉スイッチ６４を介してコンデ
ンサＣ＋ｓｄ　、　Ｃｒｄへ与えられて誤差電流Ｉｆｄ
　　となる。このようにして、第１のループすなわち測
定ループが零にされた時に、差圧（Ｐａ−Ｐｂ）に比例
するデジタル数Ｎ１が発生される。

それからモード信号が高レベルとなってスイッチ６２，
６４．７６を開き、スイッチ６８．７８を閉じる。この
動作モードにおいては、励振信号Ｖｒがコンデ／すＣ８
ａからｔ流Ｉｐａ　　を発生し、その電流を加算点７２
へ与える。誤差電流Ｉｅａは増幅器７４と、閉スィッチ
Ｔ８と、復調器８２と、位相補償器８４とを通って誤差
電圧Ｖｅａ　となってＡ／Ｄ変換器８６へ与えられる。

Ａ／Ｄ変換器８６はその誤差電圧をデジタル誤差数Ｅａ
に変換する。このデジタルｖＩＥａは帰還ループ９２に
より積分されてデジタル数Ｎ２になる。そのデジタル数
Ｎ２はレジスタ９４へ与えられる。そうするとそのレジ
スタ９４は帰還信号ｆ８を発生し、その信号ｆｓ　をい
まは閉じられているスイッチ６８を介してコンデンサＣ
ｆｃ、　Ｃｒｃへ与える。そのためにそれらのコンデン
サは共通モード圧力測定ループを零にする帰還電流を発
生する。このようにして、第５図を参照して説明（−た
よりにして、絶対圧Ｐａが発生される。デジタル数Ｎ１
とＮ２がひとたび形成されると、共通モード圧Ｐａの関
数としてのＰａ−Ｐｂ　の較正を、先に説明したのと類
似のやり方で行うことができる。

帰還ループ９２の動作を更に詳しくが１．明するために
、帰還ループ９２の詳しいブロック回路図が示されてい
る第１７図を参照する。この帰還ループは入力ボート２
３６を有するマイクロプロセッサを有することができる
。この人力ボート２３６はＡ／Ｄ変換器からのデジタル
数を比例利得かに４の積分器２３６　と、比例利得かに
５の積分器２３４と、較正器２４０へそれぞれ与える。

積分器２３６の出力Ｎ１はプロセッサの内部バスを介し
て較正器へ与えられるとともに、出カポ−）２３０へ与
エラれる。その出力ポートからレジスタ９４へ与えられ
る。同様に、積分器２３４の出力Ｎ２は較正器２４０　
と出力ポート２３０へ与えられる。データ１送の順序づ
けと、タイミング指定はプログラム内菫シーケンザ２３
８により制御される。このシーケンサはバス２４２を介
してポー）２３０゜２３２　と、積分器２３４．　２３
６　　と、較正器２４０と、レジスタ９４と、スイッチ
６２．６４，６８．１００に接続される。このシーケン
サ目モード信号Ｓｍを出力ポートまたは別の線を介して
与える。

シーケンサ２３８に格納されているプログラムは前記シ
ーケンサ・プログラムに類似している。

そのプログラム流れ図を第１８図に示す。要求信号ＲＥ
Ｑがプログラム・ブロック２４２に入って測定を開始さ
せる。次に、プログラムはモード信号を［０１にセット
することによりスイッチ６２゜６４を確実に閉じ、スイ
ッチ６８を確実に開く。

次に、プログラムは、Ｎ１を計算するために、ブロック
２４６において「零ループ１ルーチンを呼出す。これは
、デジタル数Ｎ１に比例する帰還電流Ｉｆｄが誤差電流
Ｉｃｄ　Ｋ等しくなるまで、積分器２３６においてその
帰還電流Ｉｆｄを変えることにより行われる。

Ｎ１が格納されｆｒ俵で、プログラムはモード信号を「
１」にすることによりスイッチ６２．６４を開き、スイ
ッチ６８を閉じる。これで、この測定装Ｖｔはデジタル
数Ｎ２を計算する用意ができたことになる。この計算は
、ブロック２５０において１−零ループ」１ブルーテン
を・呼出すことにより行われる。デジタル数Ｎ１とＮ２
が１ｌｆＪされると、プログラム過程２５２〜２５８は
、第１５図においてブロック１７２〜１７８で実行する
ために説明したプログラム過程と同１じである。

とのＭ２の実施例の第２の構成例においても、前記構成
例と同様に、第９図に示されているのに類似するスイッ
チング回路網を用いて使用素子の数を減少できる。この
図は回路素子数の減少を示すもので、圧力カプセル５８
がチャンバ１８の中に配置され、カプセル５０がチャン
バ２０の中に配置される。感圧コンデンサＣｓａに励振
信号Ｖｒが与えられ、感圧コンデンサＣｆｃ　　に常開
スイッチ６８を介して帰還信号が与えられる。基準コン
デンサＣｒｃ　　には帰還信号ｆｓが反転増幅器７０を
介して与えられる。感圧コンデンサＣ３，ζは容貫゛シ
たがって圧力ｐ　ａに比例するｔ流Ｉｐａを生ずるとと
もに、圧力Ｐａに比例する電ＭｆＩＩ）ｃを生ずる。コ
ンデンサＣｆｃ、　Ｃｒｃ　はコンデンサの容量差Ｃｆ
ｃ−Ｃｒｃ　　と、帰Ｒ偵号ｆ８の振幅とに比例する帰
還電流Ｉｆａを生ずる１゜ 感圧コンデンサＣｓｄに帰還信号ｆｓが常閉スイッチ６
２を介して力えられる。そのコンデンサはその容廿Ｃｓ
ｄ　　と、帰還信号ｆｓ　の振幅とに比例する帰還信号
Ｉｆｒを生ずる。モード制御信号Ｓｍはその状態計ｒｌ
Ｊ’ｆたはＦＯＪに変えることにより、スイッチ６２．
６８の２４電Ｋを制御する。

このモード制御信号Ｓｍが「０」であるとスイッチ６８
１（Ｊ°開かれ、スイッチ６２は閉じられる。信号Ｓｍ
か「１」の時はス・１ツテ６８は閉じられ、スイッチ６
２は開かれる。

したがって、この装Ｒは、２つのループを設けることに
より、絶対圧Ｐａ　の関数として圧力測定パラメータ比
Ｐ　ａ７’Ｐ　ｂ　　を生ずる。モード制御信号Ｓｍが
零でスイッチ６２が閉じられている時に圧力パラメータ
測定ループが動作させられる。このモードでは、電流Ｉ
ｐａから帰還電流Ｉｆｒを差し引くことにより誤差電流
Ｉｅｒが発生され、その電流Ｉｅｒは帰還ループ９２に
より積分され、零にされる。モード制御信号Ｓｍが１１
」であると、スイッチ６２が開かれ、スイッチ６８が閉
じられて、入力電流ｒｐｃ　とＩｆａの差である誤差電
流Ｉｅａを生ずる。この誤差電流■ｅａは、第８図を参
照して説明したようにして、共通モード圧力測定ループ
により零にされる。

次に第１０図を参照する。この図には、使用部品を少く
して、差圧比Ｐａ−Ｐｂ／Ｐｂ　　を絶対圧Ｐａの関数
として測定する圧力測定装置が示されている。この図に
示す圧力測定装置は、第７図に示されている本発明の第
３の実施例の第２の構成例と同様に動作する。圧力カプ
セル５８，１１０が圧力チャンバ２０．１８の中にそれ
ぞれ配置される。

圧力カプセル１１０は２個の感圧コンデンサＣｓｂ。

Ｃｓｄ　　を含む。それらのコンデンサは第１７図の圧
力チャンバ１８の中に配置されている２個のカプセルを
組合わせたものである。

感圧コンデンサＣｓａには励振信号Ｖｒが与えられ、感
圧コンデンサＣｆｃ　へは信号Ｖｒ　が常開スイッチ６
Ｂを介して与えられる。帰還信号ｆ８が常開スイッチ６
８と反転増幅器１０６を介して基準コンデンサＣｒｃへ
与えられる。感圧コンデンサＣａａはその容量に比例す
る電ｆｉＩｐａ、Ｉｐｃを生じ、コンデンサＣｆｃ　、
　Ｃｒｃはそれらのコンデンサの容−ｉ差Ｃｆｃ−Ｃｒ
ｃ　と帰還信号ｆ８の振幅とに比例する帰還電流Ｉｆａ
を生ずる。

コンデンサＣｓｂへは励振信号−Ｖｒ　が常閉スイッチ
６２を介して与えられ、コンデンサＣｓｄ　へは帰還信
号ｆｓ　が常閉スイッチ６４を介して与えられる。コン
デンサＣｓｂは電流Ｉ　ｐ　ｂをその容量の関数として
発生し、コンデンサＣｓｄ　　は帰還電流Ｉｆｄ　　を
その容量と、信号ｆ８　　との関数として生ずる。モー
ド制御信号Ｓｍが「０」の時にスイッチ４６２．６４　
　が閉じられ、かつスイッチ６８が開かれ、信号Ｓｍが
「１−１　の時にスイッチ６２゜６４が開かれ、かつス
イッチ６８が閉じられるように、モード制御信号Ｓｍは
スイッチ６２　、６４．６８を制御する。

第１０図に示す装ｆ０は２つの１ｌｌｌＩ定ループを含
み、そのうちの第１のループが、「１」で、ちるモード
制御信号により作動させられ、電３１ｔ　Ｉｐａ　、　
Ｉｐｂ　。

Ｉｆｄが誤差信号Ｉ　ｅｄｒ　　を発生して、それを帰
還ループ９２へ与える点で、この装置の動作は前記装置
の動作に類似する。帰還ループ９２は、誤差電流Ｉｅｄ
ｒが零にされた時に、差圧比（Ｐａ−Ｐｂ）／Ｐｂ　　
を表示デジタル数Ｎ１を生ずる。

次に、モード制御信号は「１」となってスイッチ６２．
６４を開き、スイッチ６８を閉じるから、電流Ｉｐｃ　
　と　Ｉｆａが加算点で加え合わされ、電流Ｉｅａを生
ずる。この電流Ｉｅａ　（ｄ帰還ループ９２で積分され
て零にされ、ループが零にされた時にｐａに比例するデ
ジタル数Ｎ２を形成する。

この装置に対して行う先に説明した較正により、圧力パ
ラメータ測定ループのデジタル数Ｎ１と、共通モード圧
力測定ループのデジタル数Ｎ２と、温度Ｔとの関数とし
て差圧比（Ｐａ　−Ｐｂ　）／Ｐｂ　を発生できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に従って作られた圧力パラメータ測定装
置を用いてガスタービン−エンジンを制御する装置のブ
ロック回路図、第２図は第１図に示されている圧力パラ
メータ測定装置の差圧を測定する第１の実施例のブロッ
ク回路図、第３図は第１図に示されている圧力パラメー
タ測定装置の圧力比を測定する第２の実施例のブロック
回路図、第４図は第１図に示されている圧力パラメータ
測定装置の差圧比を測定する第３の実施例のブロック回
路図、第５．６．７図はそれぞれ第２，３゜４図に示さ
れている第１．第２．および第３の実施例の第２の構成
例のブロック回路図、第８．９．１０図はそれぞれ第２
．３．４図に示されている第１．第２．および第３の実
施例の第３の構成例のブロック回路図、第１１図は共通
モード圧の関数として圧力パラメータの範囲要求を示す
グラフ、第１２図はデジタル斂と共通モード圧との関数
として圧力パラメータの較正スケジュールを示すグラフ
、第１３図はデジタル敬と共通モード圧との関数として
圧力パラメータの第２の較正スケジュールを示すグラフ
、第１４．１５図に第２〜７図に示されでいるシーケン
サに格納されているプログラムのシステム流れ図、第１
６図は第２〜７図に示されている帰還ループのブロック
回路図、第１７図は第８〜１０図に示されている帰吋ル
ープのブロック回路図、第１８図は第８〜１０図等±壺
−忰に示されているシーケンサに格納されているプログ
ラムのシステム流れ図である。 １２・・・・圧力測定製置、１４・・・・制御装置、１
６．２２．２６−〇・―感圧カプセル、１８．２０・・
・φ圧力チャンバ、２８．３０・・・・加算点、３０．
３８・・・・帰還ループ、３２．４０・・・・レジスタ
、３４，４２・・・・乗算Ｄ／Ａ変換器、　４４・・・
・温度センサ、４６・・・・較正器、４８・・φ・シー
ケンサ、７８．８２・・・・復調器フィルタ、８０．８
４・・・・位相補償器、８６・・・・Ａ／Ｄ変換淋９２
−書・中帰還ループ。 特許出願人　　　ザ・ペンデイツクス・コーポレーショ
ン 代理人　山川政樹（ほか１名） 一一＋、 ε　　　　　　　　　　　　　ε　　　　　εεＩ：Ｌ
ｃＬ　　　　　　　龜ユ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）複数のパラメータの組合せを示すパラメータ信号
   を発生する第１のパラメータ測定装置と、前記組合せの
   パラメータの１つを示す共通モード信号を発生する第２
   のパラメータ測定装置と、前記パラメータの組付せｔ示
   す測定信号を前記パラメータ信号と前記共通モード信号
   との関数として計算する要素と、を備えることを特徴と
   するパラメータ測定装置。 （２、特許請求の範囲第１項記載のパラメータ測定装置
   であって、前記パラメータ信号は差圧Ｐａ−Ｐｂを示し
   、Ｐａは１つの圧力パラメータ、Ｐｂは別の圧力パラメ
   ータであることを特徴とする）くラメータ測定装置。 （３）＠許請求の範囲第２項記載のパラメータ測定装置
   であって、前記共通モード信号は圧力パラメータＰａ　
   を示すことを特徴とするパラメータ測定装置。 （４）特許請求の範囲第１項記載のパラメータ測定装置
   であって、前記パラメータ信号は圧力比Ｐａ／ｐｂを示
   し、Ｐａは１つの圧力パラメータ、Ｐｂは別の圧力パラ
   メータであることを特徴とするパラメータ測定装置。 （５）特許請求の範囲第１項記載のパラメータ測定装置
   であって、共通モード信号は圧力パラメータＰａを示す
   ことを特徴とするパラメータ測定装置。 （６）％許請求の範囲第１項記載のパラメータ測定装置
   であって、前記パラメータ信号は差圧比（Ｐａ−Ｐｂ）
   ／Ｐｂを示し、Ｐａ１ｆ、１つの圧力パラメータ、ｐｂ
   は別の圧力パラメータであることを特徴とするパラメー
   タ測定装置。 （７）特許請求の範囲第６項記載のパラメータ測定装置
   であって、前記共通モード信号は圧力パラメータＰａを
   示すことを特徴とするパラメータ測定装置。 （８）特許請求の範囲第１項記載のパラメータ測定装置
   であって、前記測定信号は前記共通モード信号の各値に
   対して所定の範囲内で変化することを特徴とするパラメ
   ータ測定装置Ｌ （９）特許請求の範囲第１項記載のパラメータ測定装置
   であって、前記測定信号計算要素ｄ：パラメータ信号の
   最大範囲と最小範囲にわたって各測定信号範囲を較正す
   る要素と、測定信号の範囲を前記共通モード信号の関数
   として変える曹累とを含み、装置はパラメータ信号の分
   解能が一定であるのに測定信号の確度を高くすることを
   ％徴とするパラメータ測定装置。 （１０）特許請求の範囲第１項記載のパラメータ測定装
   置であって、前記第１のパラメータ測定装置は、入力信
   号と帰還信号との差として誤差信号を発生する要素と、
   誤差信号が零になるまで誤差信号の時間積分として帰還
   信号を変化する要素とを有する閉ループ装置であり、誤
   差信号の積分は入力信号に比例するものであって、パラ
   メータ信号であることを特徴とするパラメータ測定装置
   。 （１１）特許請求の範囲第１０項記載のパラメータ測定
   装置であって、入力インピーダンス回路網を形成する複
   数のパラメータ感知インピーダンスへ第１の基準信号を
   与えることにより前記入力信号が発生され、帰還インピ
   ーダンス回路網を形成する少くとも１つのインピーダン
   スへ前記第１の基準イぎ号と位相が１８０度異なる第２
   の基準信号を与えることにより前記帰還信号が発生され
   ることを特徴とするパラメータ測定装置。 （１２、特許請求の範囲第１１項記載のパラメータ測定
   装置にであって、前記入力インピーダンス回路網は、ｌ
   １ＬＩ記第１の基準化゛号を与えられ、第１の圧力に応
   答する第１の感圧コンデンサと、前記第１の基準信号と
   は位相が１８０度異なる信号を与えられ、第２の圧力に
   応答する第２の感圧コンデンサとを含み、それらのコン
   デンサの出力は組合わされて前記第１の圧力と前記第２
   の圧力の差に比例する電流として前記入力信号を形成し
   、前記帰還インピーダンス回路網はほぼ不変の帰還コン
   デンサを含み、この帰還コンデンサは前記第２の基準信
   号を与えられて、帰還コンデンサの値と前記第２の基準
   信号の振幅とに比例する電流として前記帰還信号を形成
   することを特徴とするパラメータ測定装置。 （１３）特許請求の範囲第１２項記載のパラメータ測定
   装置であって、前記入力インピーダンス回路網は、前記
   第１の基準信号を与えられ、第１の圧力に応答して、前
   記第１の圧力に比例する電流として前記入力信号を形成
   する第１の感圧コンデンサを含み、前記帰還インピーダ
   ンス回路網は前記第１の基準信号とは位相が１８０度異
   なる信号を与えられ、第２の圧力に応答して前記第２の
   圧力と前記第２の基準信号の振幅とに比例するｆｊｃ流
   として前記帰還信号全形成する第２の感圧コンデンサを
   含み、誤差信号は第１の圧力と第２の圧力の比に比例す
   ることを特徴とするパラメータ測定装置。 （１４）特許請求の範囲第１１項記載のパラメータ測定
   装置であって、前記入力インピーダンス回路網は、前記
   第１の基準信号を与えられ、第１の圧力に応答する第１
   の感圧コンデンサと、前記第１の基準信号とは位相が１
   ８０度異なる信号を与えられ、第２の圧力に応答する第
   ２の感圧コンデンサとを含み、それらのコンデンサの出
   力は組合わされて前記第１の圧力と前記第２の圧力の差
   に比例する電流として前記入力信号を形成し、前記帰還
   インピーダンス回路網は前記第１の基準信号とは位相が
   １８０度異なる信号を与えられ、第２の圧力に応答して
   前記第２の圧力と前記第２の基準信号の振幅とに比例す
   る電流として前記帰還信号を形成する第２の感圧コンデ
   ンサを含み、誤差信号は前記第１と第２の圧力の差に比
   例することを特徴とするパラメータ測定装置。 （１５）特許請求の範囲第１１項記載のパラメータ測定
   装置であって、前記入力インピーダンス回路網は、前記
   第１の基準信号を与えられ、第１の圧力に応答する第１
   の感圧コンデンサと、前記第１の基準信号とは位相が１
   ８０度異なる信号を与えられ、第２の圧力に応答する第
   ２の感圧コンデンサとを含み、それらのコンデンサの出
   力は組合わされて前記第１の圧力と前記第２の圧力の差
   に比例する電流として前記入力信号を形成し、前記帰還
   インピーダンス回路網は前記第１の基準信号とは位相が
   １８０度異なる信号を与えられ、第２の圧力に応答する
   第３の感圧コンデンサと、前記第２の帰還信号と位相が
   １８０度異なる信号が与えられる比較的に変化しない基
   準コンデンサとを含み、第３のコンデンサと基準コンデ
   ンサの出力は組合わされて、前記第３のコンデンサとり
   ｉＪ記基準コンデンザとの差に比例する電流として帰還
   信号を形成することを％徴とするパラメータ６１１１定
   装＋ｔ。 （１６）％ｆｆ晶求０範囲第１２項記載のノくラメータ
   測定装置であって、前６己第１のパラメータ測定装置は
   、第２の入力信号と第２の帰還・１＾号との差として誤
   差信号を発生する第２の要素と、第２の誤差信号が零に
   なるまで第２の誤差信号の時間積分として第２の帰還信
   号を変化する第２の要素とを有する閉ループ装置であり
   、第２の誤差信号の積分は入力信号に比例するものであ
   って、共通モード信号であることを特徴とするパラメー
   タ測定装置。 （１７）特許請求の範囲第１６項記載のパラメータ測定
   装置であって、前記第２の入力信り・は、前記第１の基
   準信号を第４の感圧コンデンサへ与えることにより発生
   され、この第４の感圧コンデンサは前記第１の圧力に応
   答して、前記第１の圧力に比例する電流として前記第２
   の入力信号を形成し、前記第２の帰還信号は、前記第３
   の基準信号をほぼ変化しない第２の帰還コンデンサへ与
   えることにより発生され、その第２の帰還コンデンサは
   その第２の帰還コンデンサの値と前記第３の基準信号の
   振幅とに比例する電流として前記第２の帰還信号を形成
   することを特徴とするパラメータ測定装＠。 （１８）％許請求の範囲第１６項記載のパラメータ測定
   装置であって、前記第２の入力信号は、前記第１の基準
   信号を第４の感圧コンデンサへ与えることにより発生き
   れ、この第４の感圧コンデンサは前記第１の圧力に応答
   して、前記第１の圧力に比例する電流として前記第２の
   入力信号を形成し、前記第２の帰還信号は、はぼ変化し
   ない第２の帰還コンデンサと第５のコンデンサの差に比
   例する電流として形成されるように、前記第３の基準信
   号を前記第２の帰還コンデンサへ与え、かつ前記第３の
   基準信号と位相が１８０度異なる信号を、前記第１の圧
   力に応答する第５の感圧コンデンサへ与えることにより
   発生されることを特徴とするパラメータ測定装置。 （１９）ｆｊ特許請求範囲第１３項記載のパラメータ測
   定装置であって、前記第１のパラメータ測定装置は、第
   ２の入力信号と第２の帰還信号との差として誤差信号を
   発生する第２の要素と、第２の誤差信号が零になるまで
   第２の誤差信号の時間積分として第２の帰還信号を変化
   する第２の要素とを有する閉ループ装置であり、第２の
   誤差イば号の積分は入力信号に比例するものであって、
   共通モード信号であることを特徴とするパラメータ測定
   装置。 （２、特許請求の範囲第１９項記載のパラメータ測定装
   置であって、前記第２の入力信号は、前記第１の基準信
   号を第４の感圧コンデンサへ与えることにより発生され
   、この第４の感圧コンデンサは前記第１の圧力に応答し
   て、前記第１の圧力に比例する電流として前記第２の入
   力信号を形成し、前記第２の帰還信号は、前記第３の基
   準信号をほぼ変化しない第２の帰還コンデンサへ与える
   ことにより発生され、その第２の帰還コンデンサはその
   第２の帰還コンデンサの値と前記第３の基準信号の振幅
   とに比例する電流として前記第２の帰還信号を形成する
   ことを特徴とするパラメータ測定装置。 （２、特許請求の範囲第１９項記載のパラメータ測定装
   置であって、前記第２の入力信号は、前記第１の基準信
   号を第４の感圧コンデンサへ与えることにより発生され
   、この第４の感圧コンデンサは前記第１の圧力に応答し
   て、前記第１の圧力に比例する電流として前記第２の入
   力信号を形成し、前記第２の帰還信号は、はぼ変化しな
   い第２の帰還コンデンサと第５のコンデンサの差に比例
   する電流として形成されるように、前記第３の基準信号
   を前記第２の帰還コンデンサへ与え、かつ前記第３の基
   準信号と位相が１８０度搦なる信号を、前記第１の子方
   に応答す不用５の感圧コンデンサへ与えることにより発
   生されることを特徴とするパラメータ測定装置。 （２、特許請求の範囲第１４項記載のパラメータ測定装
   置であって、前記第１のパラメータ測定装置は、第２の
   入力信号と第２の帰還信−号との差として誤差信号を発
   生する第２の要素と、第２の誤差信号が零になるまで第
   ２の誤差信号の時間積分として第２の帰還信号を変化す
   る第２の要素とを有する閉ループ装置であり、第２の＃
   ４差信号の積分は入力信号に比例するものであって、共
   通モード信号であることを特徴とするパラメータ測定装
   置ｔ。 （２３）４Ｉ許請求の範囲第２２項記載のパラメータ測
   定装置であって、前記第２の入力化′号は、前記第１の
   基準信号を第４の感圧コンデンザヘ力えることにより発
   生され、この第４の感圧コンデンサは前記第１の圧力に
   応答して、前記第１の圧力に比例する電流として前記第
   ２の入力信号を形成し、前記第２のヅ伶還信号は、前記
   第３の基準信号をほぼ変化しない第２の帰還コンデンサ
   へ与えることにより発生され、その第２の帰還コンデン
   サはその第２の帰還コンデンサの値と前記第３の基準信
   号の振幅とに比例する電流として前記第２の帰還信号を
   形成することを特徴とするパラメータ測定装置。 （２、特許請求の範囲第２２項記載のパラメータ測定装
   置であって、前記第２の入力信号は、前記第１の基準信
   号を第４の感圧コンデンサへ与えることにより発生され
   、この第４の感圧コンデンサは前記第１の圧力に応答し
   て、前記第１の圧力に比例する電流として前記第２の入
   力信号を形成し、前記第２の帰還信号は、はぼ変化しな
   い第２の帰還コンデンサと第５のコンデンサの差に比例
   する電流として形成されるように、前記第３の基準信号
   を前記第２の帰還コンデンサへ与え、かつ前記第３の基
   準信号と位相が１８０度異ｌ６信号を、前記第１の圧力
   に応答する第５の感圧コンデンサへ与えることにより発
   生されることを特徴とするパラメータ測定装置。 （２、特許請求の範囲第１５項記載のパラメータ測定装
   置であって、前記第１のパラメータ測定装置は、第２の
   入力信号と第２の帰還信号との差として誤差信号を発生
   され第２の要素と、第２の誤差信号が零になるまで第２
   の誤差信号の時間積分として第２の帰還信号を変化する
   第２の要素とを有する閉ループ装置であり、第２の誤差
   信号の積分は入力信号に比例するものであって、共通モ
   ード信号であることを特徴とするパラメータ測定装置、
   。 （２、特許請求の範囲第２５項記載のパラメータ測定装
   置であって、前記第２の入力信号り２、前記第１の基準
   信号を第４の感圧コンデンサへ与えることにより発生さ
   れ、この第４の感圧コンデンサは前記第１の圧力に応答
   して、前記第１の圧力に比例する電流として前記第２の
   入力（Ｈｆｌ全Ｊし成し、前記第２の帰還信号は、前記
   第３の基準１可号をほぼ変化しない第２の帰還コンデン
   サへ与えることにより発生され、その第２の帰還コンデ
   ンサはその第２の帰還コンデンサの値と前記第３の基準
   信号の振幅とに比例する電流として前記第２の帰還信号
   を形成することを特徴とするパラメータ測定装置。 （２、特許請求の範囲第２５項記載のパラメータ測定装
   置であって、前記第２の入力信号は、前記第１の基準信
   号を第４の感圧コンデンサへ与えることにより発生され
   、この第４の感圧コンデンサは前記第１の圧力に応答し
   て、前記第１の圧力に比例する電流として前記第２の入
   力信号を形成し、前記第２の帰還信号は、はぼ変化しな
   い第２の帰還コンデンサと第５のコンデンサの差に比例
   する電流として形成されるように、前記第３の基準信号
   を前記第２の帰還コンデンサへ与え、かつ前記第３の基
   準信号と位相が１８０度異ｌ６信号を、前記第１の圧力
   に応答する第５の感圧コンデンサへ与えることにより発
   生されることを特徴とするパラメータ測定装置。