JPS5872610U - フイルムの厚み測定装置 - Google Patents
フイルムの厚み測定装置Info
- Publication number
- JPS5872610U JPS5872610U JP16776281U JP16776281U JPS5872610U JP S5872610 U JPS5872610 U JP S5872610U JP 16776281 U JP16776281 U JP 16776281U JP 16776281 U JP16776281 U JP 16776281U JP S5872610 U JPS5872610 U JP S5872610U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film thickness
- measuring device
- thickness measuring
- film
- received light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、本考案の一実施例に係るフィルム厚み測定装
置の模式図、第２図は、本考案装置の要部を説明するた
めの、第１図の鎖線部分に係る拡大模式図である。 １・・・光源部、２，４・・・光ファイバー、３・・・
検出部。
置の模式図、第２図は、本考案装置の要部を説明するた
めの、第１図の鎖線部分に係る拡大模式図である。 １・・・光源部、２，４・・・光ファイバー、３・・・
検出部。
Claims (2)
- （１）厚みを測定されるフィルムを介さないときの、波
長に対する受光強度Ｂ（λ）と、フィルムを介するとき
の光学的干渉現象に応答する、波長に対する受光強度Ｆ
（入）とを測定する手段と、測定された前記の両方の受
光強度に基づいてフィルムの厚み被測定点における光の
変調信号Ａ（入）を計測する手段とを含み、前記変調度
Ａ（λ）に基づいてフィルムの厚みを測定するようにし
たことを特徴とする、フィルムの厚み測定装置。 - （２）前記実用新案登録請求の範囲第１項に記載のフィ
ルムの厚み測定装置において、前記変調信号Ａ（λ）は
Ｆ（λ）／Ｂ（λ）で与えられる関数であることを特徴
とする、フィルムの厚み測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16776281U JPS5872610U (ja) | 1981-11-10 | 1981-11-10 | フイルムの厚み測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16776281U JPS5872610U (ja) | 1981-11-10 | 1981-11-10 | フイルムの厚み測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5872610U true JPS5872610U (ja) | 1983-05-17 |
Family
ID=29959830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16776281U Pending JPS5872610U (ja) | 1981-11-10 | 1981-11-10 | フイルムの厚み測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5872610U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2026069603A1 (ja) * | 2024-09-27 | 2026-04-02 | 株式会社日立ハイテク | 光学検査装置及びその制御方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53119076A (en) * | 1977-03-26 | 1978-10-18 | Ritsuo Hasumi | Optical thicknessmeter for transparent film |
-
1981
- 1981-11-10 JP JP16776281U patent/JPS5872610U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53119076A (en) * | 1977-03-26 | 1978-10-18 | Ritsuo Hasumi | Optical thicknessmeter for transparent film |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2026069603A1 (ja) * | 2024-09-27 | 2026-04-02 | 株式会社日立ハイテク | 光学検査装置及びその制御方法 |
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