JPS587584Y2 - ソウサデンシケンビキヨウトウヨウシリヨウソウチ - Google Patents
ソウサデンシケンビキヨウトウヨウシリヨウソウチInfo
- Publication number
- JPS587584Y2 JPS587584Y2 JP1974040439U JP4043974U JPS587584Y2 JP S587584 Y2 JPS587584 Y2 JP S587584Y2 JP 1974040439 U JP1974040439 U JP 1974040439U JP 4043974 U JP4043974 U JP 4043974U JP S587584 Y2 JPS587584 Y2 JP S587584Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- movable body
- attached
- optical axis
- needle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は走査電子顕微鏡等において例えば昆虫等の試料
を突刺すことにより保持可能となした試料装置に関する
ものである。
を突刺すことにより保持可能となした試料装置に関する
ものである。
従来走査電子顕微鏡等において昆虫等を観察する場合、
この昆虫の保持は接着剤又は接着テープ等にて試料ホル
ダーに貼付けるため、貼付部分の反対側の部分（例えば
腹を貼付けたときは背）しか観察ができない不都合を有
しており、しかも保持に手間を費やす。
この昆虫の保持は接着剤又は接着テープ等にて試料ホル
ダーに貼付けるため、貼付部分の反対側の部分（例えば
腹を貼付けたときは背）しか観察ができない不都合を有
しており、しかも保持に手間を費やす。
本考案は斯様な不都合を補うことを目的とするもので、
以下第１図及び第２図に示された実施例に基づき説明す
る。
以下第１図及び第２図に示された実施例に基づき説明す
る。
図において１は走査電子顕微鏡の最終段集束レンズ、２
は該集束レンズの下方に設けられた試料室、３は該試料
室の側壁に回転可能に嵌合された傾斜体で、この傾斜体
はその回転中心が光軸と直交するようにおかれており、
又該傾斜体の中央部には第１の移動体４が第１図中紙面
に対して垂直方向に移動可能に設置しである。
は該集束レンズの下方に設けられた試料室、３は該試料
室の側壁に回転可能に嵌合された傾斜体で、この傾斜体
はその回転中心が光軸と直交するようにおかれており、
又該傾斜体の中央部には第１の移動体４が第１図中紙面
に対して垂直方向に移動可能に設置しである。
該移動体はテコ体５を介してマイクロメーターヘッド６
からなる第１の駆動手段により移動され、又この移動体
はスプリング７により常にテコ体５側に押圧されている
。
からなる第１の駆動手段により移動され、又この移動体
はスプリング７により常にテコ体５側に押圧されている
。
前記テコ体５及びマイクロメーターヘッド６は傾斜体３
に固定された蓋体８は夫々取付けられている。
に固定された蓋体８は夫々取付けられている。
９ａ及び９ｂは前記移動体の移動を案内するために設け
られた案内板で、ビス１０ ａ ｊＯｂを介して傾斜体
３に取付けられている。
られた案内板で、ビス１０ ａ ｊＯｂを介して傾斜体
３に取付けられている。
１１は前記第１の移動体４内に移動可能に挿入された第
２の移動体で、該第２の移動体は光軸と直交した平面内
において前記第１の移動体４の移動方向と直交する方向
に移動される。
２の移動体で、該第２の移動体は光軸と直交した平面内
において前記第１の移動体４の移動方向と直交する方向
に移動される。
該移動体１１は前記蓋体８に取付けられた例えばマイク
ロメーターヘッド１２からなる第２の駆動手段により移
動され、又この移動体はスプリング１３により常にマイ
クロメーターヘッド側に押圧されている。
ロメーターヘッド１２からなる第２の駆動手段により移
動され、又この移動体はスプリング１３により常にマイ
クロメーターヘッド側に押圧されている。
尚第２の移動体１１とマイクロメーターヘッド１２との
接続部は球と平面になしてあり、第１の移動体４の移動
に伴って、第２の移動体１１が移動した場合、この第２
の移動体はマイクロメーターヘッド１２に対して移動で
きるように構成しである。
接続部は球と平面になしてあり、第１の移動体４の移動
に伴って、第２の移動体１１が移動した場合、この第２
の移動体はマイクロメーターヘッド１２に対して移動で
きるように構成しである。
更に該第２の移動体の一端は前記試料室２内におかれ、
その先端に例えばビス１４にて試料ホルダー１５が着脱
可能に装着されており、該試料ホルダーには昆虫試料を
保持するための針状部材１６が取り付けである。
その先端に例えばビス１４にて試料ホルダー１５が着脱
可能に装着されており、該試料ホルダーには昆虫試料を
保持するための針状部材１６が取り付けである。
従って前記二つのマイクロメーターヘッド６及び１２を
夫々任意に調整することにより針状部材１６を光軸と直
交した平面内においては任意方向に移動させることがで
きる。
夫々任意に調整することにより針状部材１６を光軸と直
交した平面内においては任意方向に移動させることがで
きる。
１７は前記集束レンズにより細く集束された電子線が前
記試料上を走査することによりこの試料から発生する２
次電子又は反射電子を検出するための検出器で、前記試
料室２の側壁に取付けられている。
記試料上を走査することによりこの試料から発生する２
次電子又は反射電子を検出するための検出器で、前記試
料室２の側壁に取付けられている。
該検出器１７からの検出信号は増幅器を介して図示外の
ブラウン管等の表示装置に導入され、試料の走査像が得
られる。
ブラウン管等の表示装置に導入され、試料の走査像が得
られる。
尚第１の移動体４と第２の移動体１１との摺動部分には
キー及びキ・−溝（図示せず）等が設けてあって第２の
移動体１１の回転は阻止されている。
キー及びキ・−溝（図示せず）等が設けてあって第２の
移動体１１の回転は阻止されている。
而して今、例えば蟻等の昆虫試料を観察するには先ず第
２の移動体１１から試料ホルダー１５を受外し、エアー
ロック室（図示せず）を介してこの試料ホルダーを大気
中に取出す。
２の移動体１１から試料ホルダー１５を受外し、エアー
ロック室（図示せず）を介してこの試料ホルダーを大気
中に取出す。
次に第３図にその状態を示すように試料ホルダー１５の
針状部材１６に蟻１８を実利して保持し、これを凍結又
はその上に導電物質を真空蒸着した後、試料ホルダーを
再びエアーロック室を介して試料室内に挿入して第２の
移動体１１に装着する。
針状部材１６に蟻１８を実利して保持し、これを凍結又
はその上に導電物質を真空蒸着した後、試料ホルダーを
再びエアーロック室を介して試料室内に挿入して第２の
移動体１１に装着する。
この状態において蟻１８上に電子線を走査することによ
りその走査像を観察することができる。
りその走査像を観察することができる。
又傾斜体３を回転すると蟻１８が傾斜体の中心軸を中心
にして回動するため、蟻の任意な表面を観察することが
できる。
にして回動するため、蟻の任意な表面を観察することが
できる。
更に該傾斜体の回転は蟻１８を光軸に対して傾斜させる
為、傾斜した状態での走査像を観察することができる。
為、傾斜した状態での走査像を観察することができる。
以上の如く本考案は昆虫試料を針状部材にて実利して保
持しているため、試料を３６０°にわたって回動させる
ことができ、従来不可能であった例えば背と腹部の観察
が簡単に行え、且つ試料の保持は実利動作だけですむた
め、取扱いが非常に簡単になる等の効果を有し、実用性
大である。
持しているため、試料を３６０°にわたって回動させる
ことができ、従来不可能であった例えば背と腹部の観察
が簡単に行え、且つ試料の保持は実利動作だけですむた
め、取扱いが非常に簡単になる等の効果を有し、実用性
大である。
第１図は本考案の一実施例を示す縦断面図、第２図は第
１図のＡ−Ａ’断面図、第３図は本考案の動作説明であ
る。 図において１は走査電子顕微鏡の最終段集束レンズ、２
は試料室、３は傾斜体、４及び１１は第１及び第２の移
動体、５はテコ体、６及び１２はマイクロメーターヘッ
ド、７及び１３はスプリング、８は蓋体、９ａ及び９ｂ
は案内板、１５は試料ホルダー、１６は針状部材、１７
は検出器、１８は蟻である。
１図のＡ−Ａ’断面図、第３図は本考案の動作説明であ
る。 図において１は走査電子顕微鏡の最終段集束レンズ、２
は試料室、３は傾斜体、４及び１１は第１及び第２の移
動体、５はテコ体、６及び１２はマイクロメーターヘッ
ド、７及び１３はスプリング、８は蓋体、９ａ及び９ｂ
は案内板、１５は試料ホルダー、１６は針状部材、１７
は検出器、１８は蟻である。
Claims (1)
- 試料室に光軸と直交した軸を中心にして３６０°回転可
能に取り付けられた傾斜体と、試料を突刺すための針状
部材と、前記傾斜体に組み込まれ、且つ前記針状部材を
着脱可能に取り付けて試料を光軸と直交した平面内で移
動させるための移動体と、該移動体を駆動するための前
記傾斜体に取り付けられた駆動手段とからなる走査電子
顕微鏡等用試料装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1974040439U JPS587584Y2 (ja) | 1974-04-09 | 1974-04-09 | ソウサデンシケンビキヨウトウヨウシリヨウソウチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1974040439U JPS587584Y2 (ja) | 1974-04-09 | 1974-04-09 | ソウサデンシケンビキヨウトウヨウシリヨウソウチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS50137959U JPS50137959U (ja) | 1975-11-13 |
| JPS587584Y2 true JPS587584Y2 (ja) | 1983-02-09 |
Family
ID=28166070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1974040439U Expired JPS587584Y2 (ja) | 1974-04-09 | 1974-04-09 | ソウサデンシケンビキヨウトウヨウシリヨウソウチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS587584Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1116654A (ja) * | 1997-06-23 | 1999-01-22 | Harness Sogo Gijutsu Kenkyusho:Kk | ステアリングホイール取付部の回転接続装置 |
-
1974
- 1974-04-09 JP JP1974040439U patent/JPS587584Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS50137959U (ja) | 1975-11-13 |
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