JPS5879948U - イオン打込み装置 - Google Patents
イオン打込み装置Info
- Publication number
- JPS5879948U JPS5879948U JP17537081U JP17537081U JPS5879948U JP S5879948 U JPS5879948 U JP S5879948U JP 17537081 U JP17537081 U JP 17537081U JP 17537081 U JP17537081 U JP 17537081U JP S5879948 U JPS5879948 U JP S5879948U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- generating means
- field generating
- sample
- ion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図ａ、 ｂは従来のイオン打込み装置を説明する
ための構成図、第２図ａ −ｃは本考案の原理を説明す
るための波形図、第３図は本考案に基づくイオン打込み
装置の質量分離器を説明するための構成図、第４図は本
考案による別の実施例を説明するための構成図である。 １・・・イオン源、２，１１・・・質量分離器、３・・
・打込みイオンビーム、４・・・試料、５・・・直流磁
界発生コイル、６・・・基本正弦波磁界発生コイル、７
・・・高調波正弦波磁界発生コイル、８・・・磁石、９
・・・トランス、１０．１０’・・・電源。
ための構成図、第２図ａ −ｃは本考案の原理を説明す
るための波形図、第３図は本考案に基づくイオン打込み
装置の質量分離器を説明するための構成図、第４図は本
考案による別の実施例を説明するための構成図である。 １・・・イオン源、２，１１・・・質量分離器、３・・
・打込みイオンビーム、４・・・試料、５・・・直流磁
界発生コイル、６・・・基本正弦波磁界発生コイル、７
・・・高調波正弦波磁界発生コイル、８・・・磁石、９
・・・トランス、１０．１０’・・・電源。
Claims (1)
- イオンビームを取り出し得るイオン源と、上記イオンビ
ームを照射することによってイオンを打込むための試料
、上記イオン源と上記試料との間に設けられ、かつ、上
記試料にイオンを打込むため上記イオンビームを偏向・
走査する交流磁界発生手段とを備え、上記交流磁界発生
手段が基本周波数の第１の正弦波磁界発生手段と、上記
第１の正弦波磁界発生手段による正弦波磁界と重畳して
実質的に三角波形状の磁界を形成するだめの高調波磁界
を発生し得る少なくとも第２の正弦波磁界発生手段とか
ら構成されてなることを特徴とするイオン打込み装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17537081U JPS5879948U (ja) | 1981-11-27 | 1981-11-27 | イオン打込み装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17537081U JPS5879948U (ja) | 1981-11-27 | 1981-11-27 | イオン打込み装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5879948U true JPS5879948U (ja) | 1983-05-30 |
| JPH0336027Y2 JPH0336027Y2 (ja) | 1991-07-31 |
Family
ID=29967705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17537081U Granted JPS5879948U (ja) | 1981-11-27 | 1981-11-27 | イオン打込み装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5879948U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018005978A (ja) * | 2016-06-27 | 2018-01-11 | アールエムテック株式会社 | ガスクラスタービーム装置 |
-
1981
- 1981-11-27 JP JP17537081U patent/JPS5879948U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018005978A (ja) * | 2016-06-27 | 2018-01-11 | アールエムテック株式会社 | ガスクラスタービーム装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0336027Y2 (ja) | 1991-07-31 |
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