JPS588135B2 - ペレットの移送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は微小部品の移送装置に関し、とくに半導体ペレ
ットボンデイングに際しペレットを移送する装置に関す
る。

トランジスタ半導体集積回路ＩＣ等の半導体装置の製造
においては半導体ペレットを金属タブ等に接続するペレ
ットボンデイング工程が必要である。

このペレットボンデイングはウエハより分割されたペレ
ットを個々に真空吸着具で吸着し、金属タブ上に移送し
てこれに直接接続する方法がとられており、この際ペレ
ットを一個接続する毎につぎのペレットを供給するため
の位置合せが手動ないしは自動により行なわれる。

自社特許出願である昭和４７年１２月６日出願の特願昭
４７−１２１５８１があり、この自社の先願の微小部品
の移送装置は第１図に示すように一旦ペレットを別のあ
る位置におき、それを位置合せ装置２により位置合せを
したのち、ペレットを別の真空吸着具３で吸着して金属
タブ４に接続する構造のものである。

このような従来の移送装置の構造にあっては、前記真空
吸着具３の移動は一つの円弧上に沿って行なわれるため
真空吸着具３、位置決め装置２のヘッドの位置調整をす
る際にペレット１の角度が最初と接続後とでは異なり、
したがって回転角度を正確に調整することが難しくさら
には、分割されたペレット１と位置決め装置２間の距離
が長いためにインデックス・タイムが長くなりペレット
の移送処理能力が小さいなどの不都合を生じている。

本発明は以上のような従来の不都合を解消するものであ
って、その目的とするところはペレットを移送する際ペ
レットの回転方向のずれのない構造の移送装置を提供す
るにある。

また他の目的はペレットの移送距離を短かくすることの
できる構造の移送装置を提供するにある。

このような目的を達成するための本発明の基本的な構成
は、ペレットを移送するための複数の真空吸着具が差動
するようにした構造であって、以下図面に示す実施例に
より本発明を詳細に説明する。

第２図は本発明による微小部品の移送装置の一部を省略
した斜視図である。

同図において本発明による移送装置１０は×方向に同時
に往復する二つの真空吸着具１１，１２が並設されてい
る。

そして前記真空吸着具１１，１２はそれぞれアーム１３
，１４と一体化されており、これらのアーム１３，１４
はほぼ水平な方向に延長されている。

また前記アーム１３，１４の自由端１３ａ，１４ａは駆
動源（図示せず）に連絡された回転方向に俯仰動作する
係合部材１５と当接され、かつ前記自由端１３ａ，１４
ａに近い前記アーム１３，１４上の位置には、アーム１
３，１４を支持する支持部材１６，１７が嵌挿固着され
て、これらの支持部材１６，１７は前記アーム１３．１
４の延長方向に対して直角をなす方向に延長された支軸
１８により枢支されている。

また前記支軸１８の端部１８ａ，１８ｂはブリフジ形に
成形された枠１９と固着され、この枠１９により前記ア
ーム１３，１４および真空吸着具１１，１２を含む機構
が支持されている。

さらに前記枠１９にはその張出部２０に一端を支持され
たストツパ２１，２２が設けられており、これらのスト
ツパ２１，２２の自由端２１ａ，２２ａはそれぞれ前記
アーム１３，１４の前記支持部材１６，１７と前記自由
端１３ａ，１４ａとのほぼ中間位置に対応するよう設け
られしかもその延長方向は前記アーム１３，１４の延長
方向に対してほぼ直角をなす方向に延長されている。

このストツパ２１，２２はその突出長さを自在長に調節
できる構造であって通常の場合その自由端２１ａ，２２
ａと前記アーム１３，１４間には所定の間隙をもつよう
に配設されている。

さらに、前記アーム１３，１４は前記ストツパ２１，２
２に近接して設けられた引張ばね２３，２４により、そ
の自由端１３ａ，１４ａ側が常にストツパ２１，２２方
向に引き付けられている。

また、移送装置１０のアーム１３，１４の下方にはその
延長方向に沿って分割されたペレット２７を載置する台
２３、その台２８に近接した前記枠１９寄りに配設され
た位置決め装置２９それに前記位置決め装置２９に近接
し、かつ前記枠１９より内側に設けられた金属タブ３０
がそれぞれ配設されている。

ここで、前記真空吸着具１１，１２が取付けられた前記
アーム１３，１４の長さの関係すなわち支点２５，２６
より前記真空吸着具１１，１２に至る距離は第３図ａに
示すように、たとえば支点２５より真空吸着具１１まで
の距離を１５０（ｍｍ）とした場合、支点２６より真空
吸着具１２までの距離は２２５（ｍｍ）、またその際の
真空吸着具１１，１２のリフト差は真空吸着具１１が３
（ｍｍ）の場合真空吸着具１２は４５（ｍｍ）となる。

これに対して、第３図ｂに示すように支点２５が７５（
ｍｍ）もとの位置よりも移動した場合には、真空吸着具
１１が６（ｍｍ）のリフト差となり、また真空吸着具１
２が９（ｍｍ）のリフト差になる。

そこで差動操作により前記真空吸着具１１を４．５（ｍ
ｍ）のリフト差におさえることにより前記真空吸着具１
２のリフト差（９ｍｍ）に対して位置決め装置２９と台
２８の位置では９（ｍｍ）−４．５（ｍｍ）＝４．５（
ｍｍ）のリフト差がでてくる。

したがって、このリフト差を利用して位置決め装置２９
の下方に前記台２８を一部重なり合った状態に配設する
ことができる。

これらのことから、真空吸着具のストロークを大幅に短
かくすることが可能になり、装置全体をコンパクトにま
とめることができる。

また、単位当りの作業時間が短縮され、作業能率が高め
られる効果が得られる。

また吸着具１１，１２とも同一方向に移動するため、位
置決め装置２９で位置決めされたペレットは角度ずれを
生じることなく金属タブ３０上に位置されてペレット付
けされる。

したがって従来のようにペレットの角度ずれの問題はな
くなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の微小部品の移送装置の平面図、第２図は
本発明による微小部品の移送装置の一部を省略した斜視
図、第３図ａ，ｂは本発明の微小部品の移送装置の状態
説明図である。 １・・・・・・ペレット、２・・・・・・位置決め装置
、３・・・・・・真空吸着具、４・・・・・・金属タブ
、１０・・・・・・移送装置、１１・・・・・・真空吸
着具、１２・・・・・・真空吸着具、１３・・・・・・
アーム、１３ａ・・・・・・自由端、１４・・・・・・
アーム、１４ａ・・・・・自由端、１５・・・・・・係
合部材、１６・・・・・・支持部材、１７・・・・・・
支持部材、１８・・・・・・支軸、１８ａ・・・・・・
端部、１８ｂ・・・・・・端部、１９・・・・・・枠、
２０・・・・・・張出部、２１・・・・・・ストツパ、
２１ａ・・・・・・自由端、２２・・・・・・ストツパ
、２２ａ・・・・・・自由端、２３・・・・・・引張ば
ね、２４・・・・・・引張ばね、２５・・・・・・支点
、２６・・・・・・支点、２７・・・・・・ペレット、
２８・・・・・・台、２９・・・・・・位置決め装置、
３０・・・・・・金属タブ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ウエハから分割された４角形状のペレットを個々に
   真空吸着具により吸着し移送させてペレット位置調整部
   にペレットを載置するものであって、上下動及び直線上
   を往復動するものである第１の真空吸着具と、ペレット
   位置調整部のべレソトを先端Ｖ字形状の部材を用いてＸ
   Ｙ方向に移動させることにより所定の位置にペレットを
   位置決めする位置決め装置と、所定の位置に位置決めさ
   れたペレットを第２の真空吸着具により吸着し移送させ
   て基板の所定のペレット取り付け部にペレットを対応さ
   せ前記基板にペレットを接続するものであって、上下動
   及び往復動するものである第２の真空吸着具とを有し、
   第１の真空吸着具と第２の真空吸着具は差動できるよう
   に構成されていることを特徴とするペレットの移送装置
   。