JPS58833Y2 - 電子式差圧伝送器 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は一対の受圧要素を介して導かれる圧力の差を静
電容量変化に変換して測定する電子式差圧伝送器の構造
に関するものである。

第１図は一対の受圧要素で受けた圧力の差を、静電容量
に変換して測定する、差圧伝送器の従来側の構造を示し
た縦断面図である。

即ち、差圧伝送器の本体１の内部には円筒状の中空室が
形成され、その外部には一対の受圧要素２ａ、２ｂが固
定されている。

また、本体１には、導接性の弾性体よりなるダイアフラ
ム３が中空室の周縁部で１定され、このダイアフラムは
前記中空室を２個の受圧室４ ａ 、４ ｂに分離して
いる。

ダイアフラム３の両側にば、絶縁体よりなり、ダイアフ
ラムに対向する面が凹面状に加工されその面に箔状の固
定電極５ ａ 、５ ｂが形成された固定部材６ａ、６
ｂが、夫々受圧室４ ａ 、４ ｂ内に配置されている
。

さらに本体及び固定部材には、貫通孔７ａ。７ｂが形成
され、前記受圧要素より前記受圧室に至る圧力伝達経路
に封入液が充填されている。

この差圧伝送器はかかる構成により、受圧要素２ ａ
、２ ｂで受けた圧力は受圧室４ ａ 、４ ｂに導か
れ、その圧力の差に応じてダイアフラム３が歪み、ダイ
アフラム３と固定電極５ａ、５ｂとの間の静電容量変化
に変換される。

この静電容量変化により受圧要素が受けた圧力の差を測
定することができる。

しかしこの静電容量変化は固定電極５ａ、５ｂとダイア
フラム３の歪みによる変位との積分値に比例した値とな
るため、外周付近での静電容量変化に対する効果が十分
に表われない欠点があった。

本考案の目的はダイアフラムの変位を有効に静電容量に
変換する構成の差圧伝送器、言い換えればダイアフラム
の単位面積当りの静電容量変化を大きくする構成の差圧
伝送器を実現することにある。

また、測定範囲を越える圧力の差を受けた場合のダイア
フラムの保護機構をあわせ持つ構成の差圧伝送器を実現
することにある。

以下本考案の一実施例を、第２図の縦断面図に基いて説
明する。

１１は差圧伝送器の本体で、その外部には一対の受圧要
素１２ａ、１２ｂが固定され、その内部に円筒状の中空
室が形成されている。

この中空室中央内周壁には断面略Ｖ字形をした■形切欠
き溝１９が形成され、この切欠き溝の底部において、一
枚の導電性の弾性体よりなるダイアフラム１３の周縁部
が固定されている。

このダイアフラム１３により中空室は２つの受圧室１４
ａ 、１４ ｂに分離され、このダイアフラム１３の
両側には導電性の材質よりなるテ゛イスク状の移動電極
１８ ａ１８ｂが取付けられている。

この移動電極１８ ａ 、１８ｂは一方の面が円形平面
をなし、その裏面には中心付近に前記一方の面と平行で
ダイアフラム１３に取付けられる面が形成されており、
その面の周囲は夫々フレア状の曲面に加工されている。

また、受圧室１４ ａ 、１４ ｂ内には、夫々移動電
極に対向する面が平面をなし、その平面に箔状の固定電
極１５ ａ 、１５ ｂが形成されてなる固定部材１６
ａ、１６ｂが前記移動電極の表面と平行に対向配置され
ている。

さらに本体１１及び固定部材１６ ａ 、１６ ｂには
、貫通孔１７ａ、１７ｂが形成され、前記受圧要素より
前記受圧室に至る圧力伝達経路に封入液が充填されてい
る。

かかる構成により、受圧要素１２ ａ 、１２ ｂで受
けた圧力は受圧室１４ ａ 、１４ ｂに導かれ、その
圧力差に応じてダイアフラム１３が歪み、移動電極１８
ａ。

１８ｂも移動する。

この時、移動電極１８ ａ 、１８ ｂの取付側裏面は
、前述の如くフレア状に加工された曲面を有するため、
ダイアフラム１３と移動電極１８ ａ 、１８ ｂは触
れ合うことなく移動する。

さらに、圧力の差が測定範囲を越えたものである場合は
、第３図（第２図と同一要素には同一符号を付しである
）の縦断面図に示す如り、一方の移動電極が固定電極に
当る。

ダイアフラムは前記の中空室内周壁に形成されたＶ形の
切欠き溝１９の一方の面と、一方の移動電極のフレア状
に加工された曲面に沿って歪む。

このようにしてダイアフラム１３の歪みが制限され、過
大な圧力の差によるダイアフラムの破損が保護される。

また、固定電極１５ ａ 、１５ ｂと移動電極１８
ａ 、１８ｂの対向面とは互いに平行であるため、ダイ
アフラムの微小な動きに対して静電容量変化を大きくす
ることが可能となり、圧力の差を高精度に測定すること
ができるようになった。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の電子式差圧伝送器の縦断面図、第２図は
本考案−実施例の電子式差圧伝送の縦断面図、第３図は
第２図に於ける電子式差圧伝送器の測定範囲を越えた圧
力の差が加わった時の縦断面図を示す。 １１：本体、１３：ダイアフラム、１５ａ、１５ｂ：固
定電極、１８ａ、１８ｂ：移動電極、１９：■形切欠き
溝。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 一対の受圧要素を介して導かれる圧力の差を静電容量変
   化に変換して測定する電子式差圧伝送器において、円筒
   状の中空室を有する本体と、上記中空室中央内周壁に形
   成された■形切欠き溝と、この切欠き溝の底部にその周
   縁部が固定され上記中空室を２個の受圧室に分離する導
   電性の弾性体よりなるダイアフラムと、上記圧力を夫々
   上記２個の受圧室に導くために上記本体に形成された一
   対の貫通孔と、上記ダイアフラムの両側に取付けられ取
   付側裏面が夫々フレア状に加工された導電性のディスク
   状移動電極と、これら移動電極の表面に対向して上記受
   圧室内に夫々配置された一対の導電性の固定電極と、上
   記受圧要素より上記受圧室に至る圧力伝達経路に充填さ
   れた封入液とよりなる電子式差圧伝送器。