JPS6056233A - 圧力センサユニツト - Google Patents
圧力センサユニツトInfo
- Publication number
- JPS6056233A JPS6056233A JP58164101A JP16410183A JPS6056233A JP S6056233 A JPS6056233 A JP S6056233A JP 58164101 A JP58164101 A JP 58164101A JP 16410183 A JP16410183 A JP 16410183A JP S6056233 A JPS6056233 A JP S6056233A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- hole
- electrode
- diaphragm
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、一般家庭用および工業用として利用できる圧
力センサユニｙトに関するものである。
力センサユニｙトに関するものである。
（従来例の構成とその問題点）
従来この種の圧力センサにおいては、第１図に示すよう
に、基台１に電極１′を設け、この電極１′に対向する
電極２′をダイヤフラム２に設け、電極丁と電極２′と
の間にはギヤ７フｏ３を形成していた。
に、基台１に電極１′を設け、この電極１′に対向する
電極２′をダイヤフラム２に設け、電極丁と電極２′と
の間にはギヤ７フｏ３を形成していた。
この場合容量Ｃは電極１’ 、 ２’間のギャップ３の
誘電率εに比例するので、基台１に形成した貫通孔４に
よりギャッフｏ３内を真空にし、真空にしたのちにシー
ル５により封止して負圧（−Ｐ）で使用していた。また
／−ル５で封止を行なわないで完全開放状態で使用する
場合には、はこりが入らないようにすると共に、温度が
高いと誘雷１率が変化して容量が変化するだめ、湿度が
一定な場所でしか使用できないなど使用環境が限定され
る問題があった・ また真空にせずにシール５で側止すると、温度変化で内
部の気体の体積が変化して、容量が変化するため、温度
の一定な場所でしか使用できないなど使用環境が限定さ
れる問題があった。
誘電率εに比例するので、基台１に形成した貫通孔４に
よりギャッフｏ３内を真空にし、真空にしたのちにシー
ル５により封止して負圧（−Ｐ）で使用していた。また
／−ル５で封止を行なわないで完全開放状態で使用する
場合には、はこりが入らないようにすると共に、温度が
高いと誘雷１率が変化して容量が変化するだめ、湿度が
一定な場所でしか使用できないなど使用環境が限定され
る問題があった・ また真空にせずにシール５で側止すると、温度変化で内
部の気体の体積が変化して、容量が変化するため、温度
の一定な場所でしか使用できないなど使用環境が限定さ
れる問題があった。
（発明の目的）
本発明の目的は、従来の問題点を解消し、環境が悪い条
件のもとでも使用できる圧力センザユニットを提供する
ことである。
件のもとでも使用できる圧力センザユニットを提供する
ことである。
（発明の構成）
本発明の圧力センサユニットは、一方の電極を有するダ
イヤフラムと、他方の電極を有する基台とをギャップを
介して対向させ、前記の電極の一方は、他方の電極との
間に２つのコンデンサが形成されるように２つに分割が
分離して設け、基台の一部には貫通孔を設けて、電極部
のギャップ０と外気とを連通させた圧力センサを形成し
、この圧力センサを外部圧力が印加できる枠体に収納１
−１圧力センサの貫通孔が外気と連通ずるように枠体に
通気孔をもうけ、圧力センサの貫通孔と枠体の通気孔と
を互いにずらしておくとともに、圧力センサの貫通孔の
外周部はバッキングを入れて外気としゃ断することによ
り、圧力に順応した機能を発揮するとともに、湿度、は
こりに強い圧力センサユニットを提供するものである。
イヤフラムと、他方の電極を有する基台とをギャップを
介して対向させ、前記の電極の一方は、他方の電極との
間に２つのコンデンサが形成されるように２つに分割が
分離して設け、基台の一部には貫通孔を設けて、電極部
のギャップ０と外気とを連通させた圧力センサを形成し
、この圧力センサを外部圧力が印加できる枠体に収納１
−１圧力センサの貫通孔が外気と連通ずるように枠体に
通気孔をもうけ、圧力センサの貫通孔と枠体の通気孔と
を互いにずらしておくとともに、圧力センサの貫通孔の
外周部はバッキングを入れて外気としゃ断することによ
り、圧力に順応した機能を発揮するとともに、湿度、は
こりに強い圧力センサユニットを提供するものである。
（実施例の説明）
本発明の一実施例を第２図および第３図に基づいて説明
する。
する。
第２図において６は基台で上表面の中央部には電極７を
、周縁部には補正用電極８を両者同心的に有し、かつ両
者間の間隙中に貫通孔９を設けている。１０はダイヤフ
ラムで電極７と対向する電極１１を表面に有している。
、周縁部には補正用電極８を両者同心的に有し、かつ両
者間の間隙中に貫通孔９を設けている。１０はダイヤフ
ラムで電極７と対向する電極１１を表面に有している。
１２は電極７，１１間にギヤング１３を形成するために
基板６とダイヤフラム１０との間に介在させるギャップ
調整用のガラスピーズ（厚さ約２００μｍ）である。な
お補正用電極８は、圧力センサ１４の組立時にガラスピ
ース１２の大きさのばらつきでギャップ１３が増減する
のを回路的に補正する機能を有している。この圧力セン
サ１４（上記各部品で構成したユニット）はダイヤフラ
ム１０に圧力Ｐが加わるど中央部のギャップ１３が小さ
くなり電極７，１１間の静電容量が増加する。
基板６とダイヤフラム１０との間に介在させるギャップ
調整用のガラスピーズ（厚さ約２００μｍ）である。な
お補正用電極８は、圧力センサ１４の組立時にガラスピ
ース１２の大きさのばらつきでギャップ１３が増減する
のを回路的に補正する機能を有している。この圧力セン
サ１４（上記各部品で構成したユニット）はダイヤフラ
ム１０に圧力Ｐが加わるど中央部のギャップ１３が小さ
くなり電極７，１１間の静電容量が増加する。
前記の圧力センサ１４を枠体に組込む場合、その構成は
、第３図（第２図の圧力センサ１４を逆さにしである）
に示すとおりで、１５は上部枠体、１６は下部枠体、１
７は上部枠体１５と圧力センサ１４のダイヤフラムｌＯ
との間に介在させだ／Ｆノキングで気密構成にしてダイ
ヤフラム１０に受圧できるようにしている。１８は圧力
センサ１４の基台６の貫通孔９の開口を囲むように圧力
センサ１４と下部枠体１６との間に介在させたＱ ＩＪ
ングである。１９は上部枠体１５と下部枠体１６とを圧
力センサ１４を収納して一体に続刊ける固定用ネノであ
り、２０は回路用のプリント基板、２１は下部枠体１６
の凹部にシリンド基板２０を収納したのち充填したモー
ルド拐である。なお貫通孔９と下部枠体１６の一部にも
うけた通気孔２２は中心をづらして設けてあり、通気孔
２２から直接貫通孔９は見えない。
、第３図（第２図の圧力センサ１４を逆さにしである）
に示すとおりで、１５は上部枠体、１６は下部枠体、１
７は上部枠体１５と圧力センサ１４のダイヤフラムｌＯ
との間に介在させだ／Ｆノキングで気密構成にしてダイ
ヤフラム１０に受圧できるようにしている。１８は圧力
センサ１４の基台６の貫通孔９の開口を囲むように圧力
センサ１４と下部枠体１６との間に介在させたＱ ＩＪ
ングである。１９は上部枠体１５と下部枠体１６とを圧
力センサ１４を収納して一体に続刊ける固定用ネノであ
り、２０は回路用のプリント基板、２１は下部枠体１６
の凹部にシリンド基板２０を収納したのち充填したモー
ルド拐である。なお貫通孔９と下部枠体１６の一部にも
うけた通気孔２２は中心をづらして設けてあり、通気孔
２２から直接貫通孔９は見えない。
いま圧力センザユニットに圧力Ｐが印加されると、その
圧力は圧力センサ１４のダイヤフラム１０に加わり、こ
のダイヤフラム１０は中央部が大きく変形して電極７，
１１間のギヤ、プ１３が小さくなって容量が増加する。
圧力は圧力センサ１４のダイヤフラム１０に加わり、こ
のダイヤフラム１０は中央部が大きく変形して電極７，
１１間のギヤ、プ１３が小さくなって容量が増加する。
圧力センサ１４の貫通孔９は外気と連通しているため、
温度、大気圧による影響を受けることなく正確な差圧Ｐ
を測定できる。
温度、大気圧による影響を受けることなく正確な差圧Ｐ
を測定できる。
なお湿気に対しては、圧力Ｐが印加される１１１．１１
から湿気が入ってきても・モノキング］７でソールして
いるだめ、導電部に湿気があたることはない。
から湿気が入ってきても・モノキング］７でソールして
いるだめ、導電部に湿気があたることはない。
また枠体の通気孔２２を通しての湿気の浸入については
枠体の通気孔２２は細長く、かつ圧力センサ１４の貫通
孔９と中心をずらして設けてあり、通気孔２２より直接
蒸気があたることもない。まだ圧力センサ１４の電極７
，１１間のギヤ、ン’１３は非常に小さくて、貫通孔９
の径も小さいだめ、圧力センサ１４の温度変化、大気圧
変化であっても内部の空気の膨張、収縮による湿気の浸
入は微量であり、湿度が少し上昇する程度である。
枠体の通気孔２２は細長く、かつ圧力センサ１４の貫通
孔９と中心をずらして設けてあり、通気孔２２より直接
蒸気があたることもない。まだ圧力センサ１４の電極７
，１１間のギヤ、ン’１３は非常に小さくて、貫通孔９
の径も小さいだめ、圧力センサ１４の温度変化、大気圧
変化であっても内部の空気の膨張、収縮による湿気の浸
入は微量であり、湿度が少し上昇する程度である。
ここで使用する圧力センサ１４は２個のコンデンサを形
成し、誘電率εの変化をキャンセルする。
成し、誘電率εの変化をキャンセルする。
すなわち、第２図の電極７と１１とで形成される一面積
、ｄ１＝距離）、同じく電極８と１１とで形成されるコ
ンデンサの容量をＣ２とするとＰが印加されるとダイヤ
フラム１ｏの中央部が大きくたわむ。このため回路にＣ
Ｉ／Ｃ２を検知するよ電率εをキャンセルすることがで
きる。このため、電極間の湿度が増加しても、誘電率が
変化しても問題なく使用することができる。
、ｄ１＝距離）、同じく電極８と１１とで形成されるコ
ンデンサの容量をＣ２とするとＰが印加されるとダイヤ
フラム１ｏの中央部が大きくたわむ。このため回路にＣ
Ｉ／Ｃ２を検知するよ電率εをキャンセルすることがで
きる。このため、電極間の湿度が増加しても、誘電率が
変化しても問題なく使用することができる。
まだ、ちりの多い所での使用についても枠体の通気孔２
２と、圧力センサ１４の貫通孔９の中心をずらすことに
より、直接ちりが圧力センサ１４の貫通孔９に入ってく
ることはない。
２と、圧力センサ１４の貫通孔９の中心をずらすことに
より、直接ちりが圧力センサ１４の貫通孔９に入ってく
ることはない。
なお電極の分離はダイヤスラム側が２つになっていても
、複数個あってもかまわない。
、複数個あってもかまわない。
（発明の効果）
本発明によれば、一方の電極を有するダイヤフラムと、
他方の電極を有し、かつ少なくとも片側の電極は２つに
分離し、貫通孔を有する基台とを間隔を設けて対向させ
て形成した圧力センサを、前記ダイヤフラムに外圧を印
加できる枠体に収納するとともに、この枠体に細い通気
孔を、圧力センサの貫通孔と中心をずらしてもうけ、貫
通孔の外周部はＯＩＪングや接着剤でンールすることに
より、圧力センサのリード部等導電部を例気と遮断でき
、湿気の影響、ちりの受けるととがなくなる効果がある
。
他方の電極を有し、かつ少なくとも片側の電極は２つに
分離し、貫通孔を有する基台とを間隔を設けて対向させ
て形成した圧力センサを、前記ダイヤフラムに外圧を印
加できる枠体に収納するとともに、この枠体に細い通気
孔を、圧力センサの貫通孔と中心をずらしてもうけ、貫
通孔の外周部はＯＩＪングや接着剤でンールすることに
より、圧力センサのリード部等導電部を例気と遮断でき
、湿気の影響、ちりの受けるととがなくなる効果がある
。
第１図は従来例の圧力センサの断面図、第２図は本発明
の一実施例における圧力センサで、（、）は縦断面図、
（ｂ）は基台の平面図、（ｃ）はダイアフラムを下から
みた平面図、第３図は同圧力センサを組立てだ圧力セン
サユニットの断面図で（ａ）は全体の縦断面図、（ｂ）
は一部所面図である。 ■・・・基台、１′・電極、２・ダイヤフラム、２′電
極、３・・・ギャップ、４・・貫通孔、５ ／−ル、６
・基台、７・・電極、８・・補止用電極、９・貫通孔、
１０・・ダイヤフラム、１１・・電極、１２ ガラスビ
ーズ、１３・ギヤ、ニア’、１４−・圧力セノサ、１５
・・・上部枠体、１６・・下部枠体、１７ ・・Ｆノキ
ング、１８・・０リング、１９ 固定用ネノ、２０・・
プリント基板、２１ モールド利、２２・通気孔。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第１図 第２図 （ｂｌ （ａ）
の一実施例における圧力センサで、（、）は縦断面図、
（ｂ）は基台の平面図、（ｃ）はダイアフラムを下から
みた平面図、第３図は同圧力センサを組立てだ圧力セン
サユニットの断面図で（ａ）は全体の縦断面図、（ｂ）
は一部所面図である。 ■・・・基台、１′・電極、２・ダイヤフラム、２′電
極、３・・・ギャップ、４・・貫通孔、５ ／−ル、６
・基台、７・・電極、８・・補止用電極、９・貫通孔、
１０・・ダイヤフラム、１１・・電極、１２ ガラスビ
ーズ、１３・ギヤ、ニア’、１４−・圧力セノサ、１５
・・・上部枠体、１６・・下部枠体、１７ ・・Ｆノキ
ング、１８・・０リング、１９ 固定用ネノ、２０・・
プリント基板、２１ モールド利、２２・通気孔。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第１図 第２図 （ｂｌ （ａ）
Claims (1)
- 一方の電極を有するダイヤフラムと、他方の電極を有し
かつ貫通孔を有する基台とを各電極が互いに対向する如
く間隔を設けて対向させ、しかも少なくともいずれが一
方の電極は２つ以上に分離することによって２つ以上の
コンデンサを形成した圧力センサを、前記ダイヤフラム
に外圧を印加できる枠体に収納するとともに、前記圧力
センサの貫通孔と外気とを連通させる通気孔を前記貫通
孔と中心をずらして枠体に設け、前記貫通孔の外にある
導電部を外気に対して遮蔽したことを特徴とする圧力セ
ンサユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58164101A JPS6056233A (ja) | 1983-09-08 | 1983-09-08 | 圧力センサユニツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58164101A JPS6056233A (ja) | 1983-09-08 | 1983-09-08 | 圧力センサユニツト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6056233A true JPS6056233A (ja) | 1985-04-01 |
Family
ID=15786779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58164101A Pending JPS6056233A (ja) | 1983-09-08 | 1983-09-08 | 圧力センサユニツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6056233A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5571970A (en) * | 1993-03-30 | 1996-11-05 | Honda Motor Co., Ltd. | Pressure sensor |
| JP2002107253A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-04-10 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
| US6591683B1 (en) | 2000-07-13 | 2003-07-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Pressure sensor |
| US6619130B1 (en) | 2000-07-31 | 2003-09-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Pressure sensor |
-
1983
- 1983-09-08 JP JP58164101A patent/JPS6056233A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5571970A (en) * | 1993-03-30 | 1996-11-05 | Honda Motor Co., Ltd. | Pressure sensor |
| US6591683B1 (en) | 2000-07-13 | 2003-07-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Pressure sensor |
| US6619130B1 (en) | 2000-07-31 | 2003-09-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Pressure sensor |
| JP2002107253A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-04-10 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
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