JPS5885132A - レンズのｍｔｆ測定装置 - Google Patents
レンズのｍｔｆ測定装置Info
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- JPS5885132A JPS5885132A JP18337581A JP18337581A JPS5885132A JP S5885132 A JPS5885132 A JP S5885132A JP 18337581 A JP18337581 A JP 18337581A JP 18337581 A JP18337581 A JP 18337581A JP S5885132 A JPS5885132 A JP S5885132A
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- Japan
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- lens
- slit
- mtf
- image
- slits
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0292—Testing optical properties of objectives by measuring the optical modulation transfer function
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
＋１１ 発明の分野
本発明はレンズのＭＴＦ （モジュレーション・トラン
スファー・ファンクション）測定装置ｔに関するもので
ある。当該測定装置によって測定される被検レンズとし
て通常のレンズの他、レンズアレイ、集束性光伝送体等
が包含される。
スファー・ファンクション）測定装置ｔに関するもので
ある。当該測定装置によって測定される被検レンズとし
て通常のレンズの他、レンズアレイ、集束性光伝送体等
が包含される。
（２） 従来技術
ＭＴＦによって、結像光学系の結像性能を総合的に評価
し得ることが知られ、種々のＭＴＦ測定方法が知られて
いる。その代表的なものを紹介すると次のように要約さ
れる。
し得ることが知られ、種々のＭＴＦ測定方法が知られて
いる。その代表的なものを紹介すると次のように要約さ
れる。
■ エツジ走査法
単−スリットの像をエツジ走査する方法で、被検レンズ
で投影されたスリットの線像をナイフェツジで走査し、
ホトマル（光電変換素子）で受光して線像を求め、ＯＴ
Ｆ （オプチカル・トランスファー・・ファンクション
）を算出する（特開昭４９−６５８４７号の第１図参照
）。
で投影されたスリットの線像をナイフェツジで走査し、
ホトマル（光電変換素子）で受光して線像を求め、ＯＴ
Ｆ （オプチカル・トランスファー・・ファンクション
）を算出する（特開昭４９−６５８４７号の第１図参照
）。
■ スリット走査法（＋１
スリットの像をスリットで走査し、ホトマルで受光して
線像を求めＯＴＦを算出する（特開昭４９−６５８４７
号の第２図参照）。
線像を求めＯＴＦを算出する（特開昭４９−６５８４７
号の第２図参照）。
■ スリット走査法（Ｉｌｌ
単一スリットの像を多重スリットで走査し、アダマール
変換して線像の強度分布を求め、フーリエ変換してＯＴ
Ｆを求めろ（特開昭４９−６５８４７号の第５図参照）
。
変換して線像の強度分布を求め、フーリエ変換してＯＴ
Ｆを求めろ（特開昭４９−６５８４７号の第５図参照）
。
■ コントラスト法
矩形波チャートを被検レンズで投影し、固体走査素子で
像のコントラストを求め、ＭＴＦを測定する（特開昭５
６−２５２６号参照）。
像のコントラストを求め、ＭＴＦを測定する（特開昭５
６−２５２６号参照）。
上述の各技術の中、■〜■の各技術はいずれもホトマル
で受光するため、線像の大きさは機械的走査で決定され
る。このため、Ｃ０Ｄ（ｃｈａｒｇｅＣｏｕｐｌｅｄ
Ｄｅｖｉｃｅ）等の固体走査素子を用いた場合に比べて
精度面で問題があり、機構も複雑になる。
で受光するため、線像の大きさは機械的走査で決定され
る。このため、Ｃ０Ｄ（ｃｈａｒｇｅＣｏｕｐｌｅｄ
Ｄｅｖｉｃｅ）等の固体走査素子を用いた場合に比べて
精度面で問題があり、機構も複雑になる。
又、上述の■の技術は固体走査素子で像のコントラスト
ＭＴＦ ノ空間周波数が矩形波チャートによって決定さ
れてしまうので、特定周波数のＭＴＦ ｌ，か測定でき
ない。さらに、：ｊ／トラストからＭＴＦを求める方法
は一般的に精度が悪いといわれている。
れてしまうので、特定周波数のＭＴＦ ｌ，か測定でき
ない。さらに、：ｊ／トラストからＭＴＦを求める方法
は一般的に精度が悪いといわれている。
以上の各技術の欠点を解決すべく次の技術すなわち、嘔
−スリットを被検レンズで投影してこの投影像の光強度
分布を固体走査素子で測定し、これをフーリエ変換して
ＭＴＦを算出する方法が提案されている。しかし、この
技術に関しても被検レンズに偏心があったり、被検レン
ズを測定器に装着する際に、取付時のガタ付きや偏心等
がある場合にはスリット像が固体走査素子の受光域上ふ
ら外れてしまい、そのための調整に時間がかかるという
問題がある。
−スリットを被検レンズで投影してこの投影像の光強度
分布を固体走査素子で測定し、これをフーリエ変換して
ＭＴＦを算出する方法が提案されている。しかし、この
技術に関しても被検レンズに偏心があったり、被検レン
ズを測定器に装着する際に、取付時のガタ付きや偏心等
がある場合にはスリット像が固体走査素子の受光域上ふ
ら外れてしまい、そのための調整に時間がかかるという
問題がある。
（３） 発明の目的
本発明は上述の従来技術における問題点に着目してなさ
れたもので、特に、上記提案技術における問題点である
ところの、スリット像が固体走査素子の受光域上から外
れてしまう点に関し、そのような事態を生ずることがな
いレンズのＭＴＦ測定装置を提供することを目的とする
。
れたもので、特に、上記提案技術における問題点である
ところの、スリット像が固体走査素子の受光域上から外
れてしまう点に関し、そのような事態を生ずることがな
いレンズのＭＴＦ測定装置を提供することを目的とする
。
（４）発明の構成
本発明は、投影位置に配置されている受光素子と、物体
面におかれた線状の像を有していて、被検レンズにより
上記物体面上の線状の像を受光素子上に投影し、受光素
子で検知された光情報をツーＩＪ ＆変換して被検レン
ズのＭＴＦを測定するＭＴＦ測定装置において、 物体面上の線状の像が複数であり、且つ、各々の間隔が
当該線状の像の巾よりも大きい配置関係で設定されてい
ることを特徴とする。
面におかれた線状の像を有していて、被検レンズにより
上記物体面上の線状の像を受光素子上に投影し、受光素
子で検知された光情報をツーＩＪ ＆変換して被検レン
ズのＭＴＦを測定するＭＴＦ測定装置において、 物体面上の線状の像が複数であり、且つ、各々の間隔が
当該線状の像の巾よりも大きい配置関係で設定されてい
ることを特徴とする。
（５）実施例
先ず、第１図を参照しながら本発明に係ろＭＴＦ測定の
原理を説明する。
原理を説明する。
図において、被検レンズ１の物体面に設置された矩形の
スリット２は、図示を省略した照明装置により照明され
る。照明されたスリット２は被検レンズ１で拡大されて
像面に投影される。
スリット２は、図示を省略した照明装置により照明され
る。照明されたスリット２は被検レンズ１で拡大されて
像面に投影される。
像面には固体走査素子例えばｃＣＤ ５が配置されてい
る。このＣＣＤ ５の各受光エレメントの配列方向はス
リット２の像２′長手方向と直交する関係で配置されて
いる。ＣＣＤ ５で受光された像を線像と称する。この
線像の強度分布をフーリエ変換すればＭＴＦを得ること
ができる。
る。このＣＣＤ ５の各受光エレメントの配列方向はス
リット２の像２′長手方向と直交する関係で配置されて
いる。ＣＣＤ ５で受光された像を線像と称する。この
線像の強度分布をフーリエ変換すればＭＴＦを得ること
ができる。
第２図に、本発明に係るレンズのＭＴＦ測定装置の例を
示す。図において、チャート枠４に取付けられた第５図
に示す様な多重スリン）Ｓは、ランプ５と光ファイバー
束６等からなる照明装置によってほぼ均一に照明される
。被検レンズ１は回転機能を有するレンズ取付台７に取
付けられ、レンズロックボタン８０で固定されている。
示す。図において、チャート枠４に取付けられた第５図
に示す様な多重スリン）Ｓは、ランプ５と光ファイバー
束６等からなる照明装置によってほぼ均一に照明される
。被検レンズ１は回転機能を有するレンズ取付台７に取
付けられ、レンズロックボタン８０で固定されている。
上記照明装置より出射されてから多重スリット及び被検
レンズ１を透過した光は本体上部に設置しである、２枚
で１組をなす２組のミラーＭ，’，Ｍ２により反射され
て各組のミラーに対応す々受光器８ａ ＋ ｓｂ， ８
ｃ上に結像される。これらのミラーＭ１．Ｍ２は装置を
コンパクト化する意義を有する。
レンズ１を透過した光は本体上部に設置しである、２枚
で１組をなす２組のミラーＭ，’，Ｍ２により反射され
て各組のミラーに対応す々受光器８ａ ＋ ｓｂ， ８
ｃ上に結像される。これらのミラーＭ１．Ｍ２は装置を
コンパクト化する意義を有する。
多重スリン）Ｓは、第３図に示すように、遮光性のフィ
ルム上に互いに５本の矩形かつ線状のスリットを平行に
５本配列して一単位の多重スリットを構成し、さらにそ
の下方に、上記一単位の多重スリットと直交する関係に
て、上記スリットと同一形状のスリットを平行に５本配
列して構成されている。
ルム上に互いに５本の矩形かつ線状のスリットを平行に
５本配列して一単位の多重スリットを構成し、さらにそ
の下方に、上記一単位の多重スリットと直交する関係に
て、上記スリットと同一形状のスリットを平行に５本配
列して構成されている。
上記合計６本のスリットからなるグループが３グループ
形成されてチャートをなしている。
形成されてチャートをなしている。
このように、上記各グループにおいて直交する関係で一
単位５本ずつのスリットがあるので、各受光器” ’
＋ ８ ｂ １８ ｃの受光窓９ａ、 ９ｂ、 ９ｃの
下方にも、互いに直交する関係をもって２つで一対のＣ
ＯＤが配置されている。従って、第２図の実施例工は５
ケ所に一対ずつＣＯＤか配置されているので合計６個の
ＣＯＤが用いられていることになる。なお、レンズ取付
台７は回転できるようになっているため、被検レンズ１
の光軸に対してはあらゆる角度でＭＴＦが測定できるよ
うになっている。しかし、その像高に関しては当該実施
例では５ケ所のみである。測定像高のポイントを多くし
たい場合は、スリットの位置を多くし、それに対応した
位置にＣＯＤを配置した構成とすればよい。第２図にお
いて受光窓９ａ、 ９ｂ、 ９ｃの近傍にある白色スク
リーンＳｃは目視でピントを確認するための手段として
設けられている。すなわち、当該白色スクリーンＳｃ部
に、チャート枠４に設けられた多重スリットに隣接して
解像力テスト用チャート（図示されず）を配置しておく
のである。
単位５本ずつのスリットがあるので、各受光器” ’
＋ ８ ｂ １８ ｃの受光窓９ａ、 ９ｂ、 ９ｃの
下方にも、互いに直交する関係をもって２つで一対のＣ
ＯＤが配置されている。従って、第２図の実施例工は５
ケ所に一対ずつＣＯＤか配置されているので合計６個の
ＣＯＤが用いられていることになる。なお、レンズ取付
台７は回転できるようになっているため、被検レンズ１
の光軸に対してはあらゆる角度でＭＴＦが測定できるよ
うになっている。しかし、その像高に関しては当該実施
例では５ケ所のみである。測定像高のポイントを多くし
たい場合は、スリットの位置を多くし、それに対応した
位置にＣＯＤを配置した構成とすればよい。第２図にお
いて受光窓９ａ、 ９ｂ、 ９ｃの近傍にある白色スク
リーンＳｃは目視でピントを確認するための手段として
設けられている。すなわち、当該白色スクリーンＳｃ部
に、チャート枠４に設けられた多重スリットに隣接して
解像力テスト用チャート（図示されず）を配置しておく
のである。
従って、多重スリット像がＣＣＤ上に投影されると同時
に、上記解像力テスト用チャートの像が白色スクリーン
Ｓｃ上に投影される。従って、ＣＣＤの受光面と白色ス
クリーンＳｃは光学的に等しい平面上になければならな
い。
に、上記解像力テスト用チャートの像が白色スクリーン
Ｓｃ上に投影される。従って、ＣＣＤの受光面と白色ス
クリーンＳｃは光学的に等しい平面上になければならな
い。
もし、チャート枠４上のスリットが第５図に示される多
重スリットでなくて、単一のスリットの場合に、レンズ
の偏心或いはレンズ取付台７と被検レンズマウント相互
間の偏心があると、スリット像がＣＣＤ上に投影されず
、従ってこれを調整するための時間がかかる。このこと
は前記従来技術の順で述べた通りである。例えば実施例
の如く１投影倍率が約５０倍であるとすれば僅かな偏心
でもその量が拡大されるので、スリット像がＣ［Ｊから
外れてしまい測定を不能にしてしまう。
重スリットでなくて、単一のスリットの場合に、レンズ
の偏心或いはレンズ取付台７と被検レンズマウント相互
間の偏心があると、スリット像がＣＣＤ上に投影されず
、従ってこれを調整するための時間がかかる。このこと
は前記従来技術の順で述べた通りである。例えば実施例
の如く１投影倍率が約５０倍であるとすれば僅かな偏心
でもその量が拡大されるので、スリット像がＣ［Ｊから
外れてしまい測定を不能にしてしまう。
これを解決するため、本発明では、第５図に示されるよ
うな多重スリットを採用したのである。
うな多重スリットを採用したのである。
本来、ノイズのない線像を得るためには無限に長い空間
にスリットがなければならないが、測定上支障を生じな
い範囲内でのノイズを許すとすれば、スリットの巾に比
べて長い空間であれば問題ない゛ことが確認されている
。
にスリットがなければならないが、測定上支障を生じな
い範囲内でのノイズを許すとすれば、スリットの巾に比
べて長い空間であれば問題ない゛ことが確認されている
。
具体例で説明すると、ＣＣＤの大きさは約２６・ｌであ
る。従って、スリット像がずれても、必ずこの２６＋ｍ
の間にスリット像がくる条件は、投影されたスリット間
隔が２６証以下にあることである。とこわが２６闘では
ＣＣＤの一端部又は他端部にスリット像がくる可能性も
あり、この場合、線像を受光検知することが不可能な状
態となる。
る。従って、スリット像がずれても、必ずこの２６＋ｍ
の間にスリット像がくる条件は、投影されたスリット間
隔が２６証以下にあることである。とこわが２６闘では
ＣＣＤの一端部又は他端部にスリット像がくる可能性も
あり、この場合、線像を受光検知することが不可能な状
態となる。
そこで、ＣＣＤ上にスリット像がくるためには２６胴の
９０％以下におさえる必要がある。
９０％以下におさえる必要がある。
又、スリット間隔の最小長さは、隣りのスリットによる
影響が出ない範囲で決定されることが必要である。本発
明者は例えば、スリットの巾を１０μｍとすると測定値
に影響の出ない間隔は約Ｑ、１ｗｒＩ以上離れているこ
とが必要である乙とを見出した。゛従って、スリット間
隔はスリット巾の１０倍は必要であるといえる。
影響が出ない範囲で決定されることが必要である。本発
明者は例えば、スリットの巾を１０μｍとすると測定値
に影響の出ない間隔は約Ｑ、１ｗｒＩ以上離れているこ
とが必要である乙とを見出した。゛従って、スリット間
隔はスリット巾の１０倍は必要であるといえる。
第５図に示した如き多重スリットを用いると、ＣＣＤ上
に複数のスリット像が投影され、被検レンズ自体の偏心
或いは被検レンズ装着時の偏心等があったとしても、直
交する関係に配置された各ＣＣＤ上に少なくとも１個ず
つの線像を得ることができる。
に複数のスリット像が投影され、被検レンズ自体の偏心
或いは被検レンズ装着時の偏心等があったとしても、直
交する関係に配置された各ＣＣＤ上に少なくとも１個ず
つの線像を得ることができる。
なお、ＣＣＤ上に複数のスリットが投影されるため、余
分な情報を排除して１つのＣＯＤに対して１つの線像の
みをサンプリングする必要があり、これを電気的に処理
すべく、第４図に示されるようなブロックダイヤグラム
の構成を有する演算装置が併用される。図において、各
ＣＯＤからの信号は、それぞれに対応しているサンプリ
ング回路に入力され、１つの線像強度分布が取り出され
る。次いで、各サンプリング回路の出力はマルチプレク
サ−ＭＰＸで順次選択されて次の処理回路へ送られる。
分な情報を排除して１つのＣＯＤに対して１つの線像の
みをサンプリングする必要があり、これを電気的に処理
すべく、第４図に示されるようなブロックダイヤグラム
の構成を有する演算装置が併用される。図において、各
ＣＯＤからの信号は、それぞれに対応しているサンプリ
ング回路に入力され、１つの線像強度分布が取り出され
る。次いで、各サンプリング回路の出力はマルチプレク
サ−ＭＰＸで順次選択されて次の処理回路へ送られる。
つまり、Ａ／Ｄ変換器でＶＤ変換され、高速フーリエ変
換器ＦＦＴで高速フーリエ変換され、演算回路でさらに
処理されて表示部にデータが表示されるのである。
換器ＦＦＴで高速フーリエ変換され、演算回路でさらに
処理されて表示部にデータが表示されるのである。
（６） 発明の作用効果
本発明によれば、多重スリットを用いることによりＣＣ
Ｄ上にノイズの少ない線像を確実に得られ、これにより
、被検レンズを装着した時の位置調整が不要となり、又
、偏心していてもそのための光軸調整が不要であるので
ＭＴＦ測定の作業性を向上させることができる。
Ｄ上にノイズの少ない線像を確実に得られ、これにより
、被検レンズを装着した時の位置調整が不要となり、又
、偏心していてもそのための光軸調整が不要であるので
ＭＴＦ測定の作業性を向上させることができる。
なお、ＯＴＦとＭＴＦに関しては、位相のずれまで考慮
したものがＯＴＦである。ＯＴＦは負の［直もとるが、
ＭＴＦは全て正（ＯＴＦの絶対値）として表わされる。
したものがＯＴＦである。ＯＴＦは負の［直もとるが、
ＭＴＦは全て正（ＯＴＦの絶対値）として表わされる。
本発明においてもＯＴＦの測定は理論的に可能であるが
、実際上はＭＴＦ測定器の４でＯＴＦ測定器はあまりな
い。このような事情から本発明の対象はＭＴＦに限定し
たが、上記した通りＯＴＦにも適用できることはいうま
でもない。
、実際上はＭＴＦ測定器の４でＯＴＦ測定器はあまりな
い。このような事情から本発明の対象はＭＴＦに限定し
たが、上記した通りＯＴＦにも適用できることはいうま
でもない。
第１図は本発明に係るＭＴＦ ：ａｌｌ詰装置原理を説
明した図、第２図は本発明に係るＭＴＦ測定装置の一例
を示す斜視図、第５図は物体面上の線状の像を例示した
図、第４図は演算装置のブロックダイヤグラムである。 Ｓ・・・（物体面上の線状の像の一例としての）多重
ス リ ッ ト 。
明した図、第２図は本発明に係るＭＴＦ測定装置の一例
を示す斜視図、第５図は物体面上の線状の像を例示した
図、第４図は演算装置のブロックダイヤグラムである。 Ｓ・・・（物体面上の線状の像の一例としての）多重
ス リ ッ ト 。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 投影位置に配置されている受光素子と、物体面にお
かれた線状の像を有していて、被検レンズにより上記物
体面上の線状・の像を受光素子上に投影し、受光素子で
検知された光情報をフーリエ変換して被検レンズのＭＴ
Ｆを測定するＭＴＦ測定装置において、 物体面上の線状の像が複数であり、且つ、各々の間隔が
当該線状の像の巾よりも大きい配置関係で設定されてい
ることを特徴とするレンズのＭＴＦ測定装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載の線像は、矩形のスリッ
トであることを特徴とするレンズのＭＴＦ測定装置。 ３、 特許請求の範囲第２項記載の各スリットは、それ
ら相互の間隔が、被検レンズにより受光素子上に投影さ
れた際に受光素子の長手方向の長さの０．９倍より小さ
く、スリット巾の１０倍以上となる寸法値に設定されて
いることを特徴とする、レンズのＭＴＦ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18337581A JPS5885132A (ja) | 1981-11-16 | 1981-11-16 | レンズのｍｔｆ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18337581A JPS5885132A (ja) | 1981-11-16 | 1981-11-16 | レンズのｍｔｆ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5885132A true JPS5885132A (ja) | 1983-05-21 |
Family
ID=16134665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18337581A Pending JPS5885132A (ja) | 1981-11-16 | 1981-11-16 | レンズのｍｔｆ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5885132A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20180136079A1 (en) * | 2015-05-13 | 2018-05-17 | Trioptics Gmbh | Device for measuring an imaging property of an optical system |
-
1981
- 1981-11-16 JP JP18337581A patent/JPS5885132A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20180136079A1 (en) * | 2015-05-13 | 2018-05-17 | Trioptics Gmbh | Device for measuring an imaging property of an optical system |
| US10386267B2 (en) * | 2015-05-13 | 2019-08-20 | Trioptics Gmbh | Device for measuring an imaging property of an optical system |
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