JPS5886509U - 表面検査装置 - Google Patents

表面検査装置

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Publication number
JPS5886509U
JPS5886509U JP18127581U JP18127581U JPS5886509U JP S5886509 U JPS5886509 U JP S5886509U JP 18127581 U JP18127581 U JP 18127581U JP 18127581 U JP18127581 U JP 18127581U JP S5886509 U JPS5886509 U JP S5886509U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens system
light source
convergent lens
source device
point
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP18127581U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6316964Y2 (ja
Inventor
実 勝山
公一 釘宮
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP18127581U priority Critical patent/JPS5886509U/ja
Publication of JPS5886509U publication Critical patent/JPS5886509U/ja
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Publication of JPS6316964Y2 publication Critical patent/JPS6316964Y2/ja
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の基本構成の概略図、第２図は試料面
の拡大断面図、第３図は試料面上の凹部に光線を与えた
時の光線の状態を示す試料の断面図、第４図および第６
図はこの考案の一実施例の概略図、第６図は第５図の装
置で得られた試料表面の映像図、第７図は試料表面をタ
リステップにより実測した試料の部分拡大断面図である
。 １・・・反射面を有する試料面、２・・・レンズ系、１
２・・・点光源、１３・・・集光レンズ系、１４・・・
点光源の実像、１５・・・集光レンズ系、１６・・・テ
レビカメラ。 第３図 し、Ｊ 第４図

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）反射性試料面の前方に配置された収束レンズ系と
    、この収束レンズ系の前記反射性試料面の反対側に配置
    されてその焦点距離よりも収束レンズ系に接近して位置
    する点光源装置と、この点光源装置の光線が前記収束レ
    ンズ系を通して前記反射性試料面を入射しかつ反射した
    反射光を結像検出する手段とを備えた表面検査装置。
  2. （２）前記点光源装置はその実像点を前記収束レンズ系
    の焦点距離よりも収束レンズ系に接近した位置に形成さ
    せる集光レンズ系を有し、かつ前記反射光は前記点光源
    装置の光軸上に結像する実用新案登録請求の範囲第（１
    ）項記載の表面検査装置。
JP18127581U 1981-12-04 1981-12-04 表面検査装置 Granted JPS5886509U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18127581U JPS5886509U (ja) 1981-12-04 1981-12-04 表面検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18127581U JPS5886509U (ja) 1981-12-04 1981-12-04 表面検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5886509U true JPS5886509U (ja) 1983-06-11
JPS6316964Y2 JPS6316964Y2 (ja) 1988-05-13

Family

ID=29978606

Family Applications (1)

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JP18127581U Granted JPS5886509U (ja) 1981-12-04 1981-12-04 表面検査装置

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JP (1) JPS5886509U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020521143A (ja) * 2017-05-24 2020-07-16 サントル ナシオナル ドゥ ラ ルシェルシェ シアンティフィクＣｅｎｔｒｅ Ｎａｔｉｏｎａｌ Ｄｅ Ｌａ Ｒｅｃｈｅｒｃｈｅ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｑｕｅ 反射面の曲率を測定する方法及び関連する光学デバイス

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020521143A (ja) * 2017-05-24 2020-07-16 サントル ナシオナル ドゥ ラ ルシェルシェ シアンティフィクＣｅｎｔｒｅ Ｎａｔｉｏｎａｌ Ｄｅ Ｌａ Ｒｅｃｈｅｒｃｈｅ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｑｕｅ 反射面の曲率を測定する方法及び関連する光学デバイス

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Publication number Publication date
JPS6316964Y2 (ja) 1988-05-13

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