JPS5887830A - ウエハ−製造方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発［１月はウェハー重すへ装置Ｍ’にｌｌ１１１す
る。プらに詳しくは、この発明け、インテ・７　）から
切り出プれたウェハーを除去する′＃Ｖ）のチャックア
センブリに関する。をら（！こ、この発１１１１ｉ１’
、、インゴットからウェハーを除去十−よび回収する方
法ｖＣ関する。

周知のよう（て、結晶体等のインゴットから正確にウェ
ハーを製造する装置ｄには各ｔ１１−・・）ものがある
。

一般ニ、Ｋ凸体としてはシリコンやゲルマニウム等があ
り、と汎、らけ、半碑体産業で使用埒ね、るものであ４
）。半導体等に１史川する場合、ｈ’ｌ晶体孔体切り出
６れだウェハーは、精度が高く表［（１］が滑かでなく
てはならない。

現在葉でに、円筒形などの結晶体を切断して、薄い板状
のウェハーに形成するため：ｌこ、数多くの装置が考＃
芒ｒしてきた。これらの切断装置ｕの多くは、環状の部
材ケ使用し、その環状部材ＫＮ形の開口部を設け、での
開口部のＮ株部に刃をノ１？成したものである。こうし
た切１折帥竹で０−ｒ、結晶体は刃の内側に配役さり、
１４．孔体を（′ＩＪ状部４９イに対し７て動作づせる
か、逆にｆ管状）’＋＋　Ｘ相を力に対し７て動作をせ
るかし７て、ウェハーを切り出１７ている。しかし、バ
ーの取り扱いは常に憎碩できるというものではなかった
。例えば、米Ｉ困１時許第３，５７７，８６１号に開示
プれている装置ｄ、結晶体を１１−直に配し、環状の切
断部伺を水平に配した型のものである。このような装置
に使用ぢれている回収装置は、結晶体下方に位；ｄする
躬１のり引部材と、切り出はすしたウェハーを収好保持
するた、りの切り「部材と、＃ｌ！ｆ晶体の而の外側の
環状部材上に設けらノ′し、第１の吸引部長からウェハ
ーを受←ｌ’　２）第２の吸引部（Ａを自する。しかし
、このような回収ｋ　ＩＡでは、多数の部材のタイミン
グを合わＶたり１１−１確に位置決めした役して、結晶
体かし）切り出−、−ＸノｌＪｃウェハーの回収や、ウ
ェハーを第１の１般引ｉｉｌ’、Ｉ７１から’ｉ＋ｔ２
の吸引部材へ４′１す１５へ作を効果的に行なう必す′
、”かある。

その他に、結晶体を水）１乙に配１７、ｌψ状の切断部
祠を垂１頁にＮ’ｌｒ！、し＝にノ（すの装置もｈ　）
）。との９ｂ合の回収装置（−Ｉ′、１υψ引部本（を
有（７、この＋１．Ｑ中部材・仏すず切り出ジＦ）だウ
ェハーをグリッツ°し７、り、′いでこのウェハーをス
ライドＪ７　ｆ／４７Ｗ　ｌ、、ことかＣ，ウェハーは
コンベアｔ＝　［？ｉ’ｔり落′［、て、装置の外へ移
送ハ１するという椿のである。［２かし７、と（／、１
１４合、ウェハーは移送中に損傷を守は易い。

その他ＶＣ１環状の切断部イ；（全中空のシャフト上に
西、ルして、切り出芒りたつエバーをこのシャフト内を
通して除去できるようにしたル々１に１もある。しかし
、このような方法では、装置自体が煩雑ＩＡ’−なると
共に、装置が大きくなるため多くのスペースを必要とす
る。

従って、この開明の目的はインゴットから切り出きれた
ウェハーを比較的１１１１車なり法で回収することがで
きる装置ｋを提供することである。

この発明の別の目的に［、内１１１１１　［Ｊし成した
ボアの周縁に刃を角する回転式の切ｌＩ；＋７ブレード
を［史用して、結晶体からウェハーを切り出し、かつ、
前記ボアから切り出し２ケウエハーを守去すること−／
バできる装置を提供１−乙ことでル）る。

この発明のＱｌｌの目的に１．ウェハーＪ　Ａ　＝４ニ
ー竹を小ノリ化することて、ちる。

この発明のＶｉｌｌの目的＋−１、より経済：’Ｆ１に
結晶体からウェハーを切り出（−７するこμ−Ｖ；てき
る装着を提供することである。

この発明の別の目的汀、短時間で結晶体からウェハーを
切り出すことがでざる装置を虎供することである。

この発・４）１の別の目的は、コンベアのピックアップ
に容易Ｖ？ｌ取り付けｉ」能なウェハー製１１ζ装置Ｃ
を提供することである。

この発明の別の目的ｒ［，１史用し↓ｂく配置された各
種の作柴装瞳を、−人のオペレータが操作できるウーハ
−ｙｙ　ａ　’％置を提供することである。

要約すると、この究明υ；１、ボアとこのボアの周縁に
形成でれインゴットからウェハーを切り出すための刃Ｊ
を冶する回転式の切ＩＩ→ｒブレードと、切り出づれた
ウェハーとイイｆ）するヘッド呑・ず−１するチャック
アセンブリと、前記切１ト！ｒブレードの片（）Ｉｌｌ
の静止ｆｉｌ　ｌ＊と切貯ブレードの反対４１１１のウ
エノ１−保持イ：ｙ　を鱒との…１でＡｉｌ記ヘッドを
１０１曇ＫＪ１≦ｌトるための装置４と九ら成るウェハ
ーｆｆ１ｌＪ浩装置〆１千あ２）。

この全曲のウェハー＋ｙＩＩ造装置Ｖ、ｔ−ｔ、切断ブ
レードのボア内（（インゴットを垂直に小１１シ込〕入
、切断ブレードとインゴットとの相対１（）１作りでよ
って、インゴットからウェハーを切り出バー欧る（４）
島が含！うれる。

け チャックアセンツブりまた、ヘッドに１古１宇１７、か
つヘッドから延出ネ、ヒて設けたアームと、このアーム
を取り付けたアームアセンブリとをイ］−する。

さらに１アームアセンブリはスライド上に同舗可ｎ兵に
月マリイ附けられているので、嶋１のＩｌｌ山の回りを
回動することトゴＴ−きに）。このスライドは、第１の
軸に垂！ｉｔ′な第２の貼１・（Ｃそつて、支持体上に
ＩＹ！１・ｈ＋＋句能に取りイー、１けられている。こ
の支持体に［、回動軸とスライドを某内する・紬とに一
す（ｌｌｉＬ７？第６の軸にそって動作う゛る。例え１
・了、水平面内にＰＩｌｌ−！されたインゴットと、辛
直面内ＶＣ削７８れた切断ブレードと共に、支持体は支
持体ガイドにそって４！Ｇ　Ｉｕ商内を動作できるよう
にｌｌｖり付けらｎる。スライドは、適当な往匈装賄ｐ
（７よって予め設定１２かスト（１−り（てわたって巾
ハ４″１″７”Ａ、アームア七ンブリ１ｄ１１丙当な装
置によって水平軸の回りを１ｒｌｌ　Ｉ（１１可能であ
る。

アームアセンブリのアームけ、アームアセンブリから！
飛出する直線部と、ヘッドをハＶり灼けた曲げ部とから
成る。ここで、曲は部！／ＣＴＪｉね付けだヘッドは直
線部に対して偏心プぞである。このような小成にしたこ
とによって、切り出埒Ｊ′１．たウェハーを回収する場
合に、ヘッドを切：ｊＪ１ブレードのボア内に１ｒ’ｆ
ｖ　して、ウェハーを回収したらヘッドを元に戻すこと
が鴇能である。この場合、プログラム装置が設けである
ので、支持体、スライドおよびアームアセンブリを次々
と動作びせることかできる。

この発ｕｉ＋　ｒ土、さらに、インゴットからウェハー
を回収して除去する力ｔノξをＩｌｂ　イ＋Ｌイ゛るも
のである。

この方法は、内伺ｊに力をイＪする回転、改の切を本ｇ
ブレードのボア内にインゴットを設置ｉ！する段階と、
切１ｉ１１ブレードをインゴットに対してＩ’ｉ′＋７
方向に・ｉｌｌか１７でインゴットの一１淘プハらウェ
ハー４・切り出す段階ト、チャックアセンツブりのヘッ
ドをｔ２１１！斤フ゛レードの片側の篩ＩＦ付装からボ
ア６・涌して切！！１「ブレードの対向（Ｎｉの保持位
置に移し２てウェハーと対［１１）ジせる段階と、この
保持位＋ｌｆ　ｉ／ｌ−、おいて１：Ｊｌり吊上Ｉ］、
　ｆｒ−ウェハーをヘッドｌ（保持づ［トる段階とから
成る。をらに、この方法にけ、保持式れにウェハー１：
＞　、１：　ヒヘソドを切１ｐ１ブレードのボアを１Ｉ
ｆＩシて保ト、５位；爵から静止位置へｌ’Ｊ％す段階
と、ウェハーを連搬存器内に搬送するために静止位置ｐ
（おい−Ｃヘッドからウェハーを取りｅまずす↓−ゾ階
とか含まｔ［ゐ。

この発明に関して、ｎｉＪ　ｉｔ己り、　ｆｃ　Ｊ：う
なト１的や利点たｉｔ＋ｍな説明（（よって明らかにな
るであろう。

次にこの発明の一実施（ｆｆｉｉをＩｇｌ　＋Ｍ＋に従
って説明する。第１図はウェハー製造装置であり、この
ウェハー姿ａ装置ｄ１０は、インゴット送り装置１１．
切Ｓ 断ヘッド１２．ウェハー回収装置箒、移送コンベア１４
、制（財）装＠１５およびテーブル１６より代る。

第１図において、インゴット送り装置１１は、ブラケッ
トすなわち１間部１７を有し、このブラケット１７が、
切１顎ヘッド１２に対し７て１揮心濾せて、テーブル１
６トに設置これる。をらに、このインゴット送り装置１
１けインゴット収納箱１８を有し７、このインゴット収
納箱１８がブラケット１７に対［７て片持支持をね２る
と共に、切４（ｊ「ヘッド１２と一列に並Ｉｉ＃≦ｈる
。インゴット収納箱１８（Ｃは、インゴット１９を切断
するために、このインゴット１９を望１作はせたり位置
ａ整Ｌ７たすする従来の装置がＧ瞬ネｔ１ている。図示
したように、インゴット１９け円柱状の結晶体２０であ
り、この結晶体２０が従来通り取付は梁２１上に配設δ
ねる。

例えば、結晶体２０はシリコンで形成場れ、取伺は梁２
１はグツファイトで形成ぴれる。また、結晶体２０は別
の形状であってイ、よい。

第８図を参照すると、切１ｉｆ（ヘッド１２は従来通り
の構成で、回転式の切断ブレード２２を有する。

この切ｒ’：（ブレード２２にはボア２３が形成され。

このボア２６の周縁に刃２４が１１４成される。切断ヘ
ッド１２には、また、結晶体２００面にネ１する垂１６
而内で切断ブレード２？を・ｆｉす作をせる装置（図示
せず）か投げである。第１［）図１Ｃ示しｆ−よう１て
、切断ブレード２２に１って、牡へ箱体２０からディス
〃状のウェハー２５充切り出さｌする。

第　１　図　１．−　Ｊ二　乙ドが）８１文１を参１イ
イ・すＺ）＾　、　ウ　エ　バーＩ川収装置１３はチャ
ックアセンブリ２６および駆動伴青２Ｂを有する。この
チャックアセンブリ２６は、結晶体２０−７．ら切り出
づね、たウェハー（図示伊ず）と係合す／）ヘッド２７
をＨする。また、駆＠装置２８は、切［０テブレード２
２の片（＋１１１の静止位置（図示）と、切断ブレード
の片４＋１１１のりノり出ネれたウェハーを保持する１
１−めの保持位：Ｒ（ｌ］　７Ｔ＜ぜず）との間で、ヘ
ッド２７を切作芒せるためのものである。

第８図全参照すると、ヘッド２７はブロック状に徊成さ
：紅、その片面にはａ数のノズル２９が配設芒れる。こ
のノズル２９を介して吸引することによって、切り出し
たウェハーをヘッド２７に保持することができる。例え
ば、ノズル２９は各列それそｈ３個で６列に配設をれる
。

ヘッド２７を駆ＩｆＩＪ　ａせる装４　ｒｒ、ｉｔｆ　
＆４部５１と曲げ部３２とブハら成るアーム３１］を有
する。ヘッド２７ば、直線部に対して偏心した状態で、
曲げ部３２　＋ｃ　１１ｖり付けられる。プらに、アー
ム６０にはボア７１１１形Ｓ　Ａ九る。このボアは、ノ
ズル２９を設けたアーム６０の一端と、アーム３０の他
端の１汀線部６１とを１通する。このＩＫ線部５１には
差し込み部６３ガ形成ちれ、町憂、性のチューブ（図示
せず）を介し７て、適当な掴空〕頒（図、Ｅせず）と連
結びれる。（ズ）不したようＶこ、アーム３０はアーム
アセンブリ６４に固定３れ、このアームアセンブリ６４
が、水平軸６５０回りに凹−可能に取り付けられる。

第２１図、第６図および第８図をβＨすると、アームア
センブリ６４は、綱りを形成したブロック６６を有し、
アーム３　（］はクランプボルト６６′によってこのブ
ロック６６に固定ｐ　ｆする。ブロック３６は指示板６
７と接合さｆＬ、この指示板３７が螺子（図示−亡ず）
によって、アーＪ・回［１０Ｊブ１１ツク６８に取り付
けられる。ブト１ツク６６け、ハらに５点支持用の層り
上め付のドウエルビンへ６′（第３１図・７１′その一
つを示す）を有ｊ２、そｈそ１ｈ、のドウエルピン３６
’ｉ（を露出［７ていて、］８９示４〜３７内の３個の
半径方向のスロット（図示ｕ−Ｉｉ′）の一つの内部に
突ａ：Ｉ　ｔ、、フ１１ッＩ　３６　（７）　ｔｃｌ　
ｉｉ・Ｑ　−／６　／１．’　メラ４１Ｚ−＋。

指示板３７１［、づらに弓形スロット為９（第２１図）
を有し７、ブロック３６内に固定τＸれたビン４０がと
の弓屑スｌＩット内をスライドす／−０ＴＸらに、ブロ
ック３６．指示板３７およびアーＪ、回１°ｉｌｌブ１
１ツク６８のそれぞれ（ｒ（形成したボア内にボルト４
２を通し、このボルト４２にナツト４３およびワソンヤ
４４を締着することによって、ブロック６６が指示板６
７およびアーム！！−１ＪｖＪブロック３８１ＣＩＡｌ
される。ポルｌ−４２ＶＣは、ちらに手動アーム４１が
固定され、ブロック６６およびアーム３０を回動させる
ことかで・きる。すなわち、ブロック６６およびアーム
３０を、指示板６７に対して２０゜回動烙せて、切断ブ
レード２２の而から離すことがでさる撲ので、保守が容
易である。こり回動位置では、ドウエルビン６６′は指
示板６７上に載置をれる。

アームＦｌｌ々ｈ〕゛ロック３８の上婢にけ、図のよう
に即１りがｈネ造してあり、ボルト４５′（第２図）Ｖ
Ｃよって、水平軸３５（第９図）上に配股杯れたロッド
４５ＩＣ固定１灯る。寸た、アーム回動ブロック６８と
ロッド４５の間１ては市４１受スリーブ６８′が固定情
れ、アーム回動ブロック３８およびロッド４５を１川転
させることができろ。

第２図訃よび第３図を参照すると、アームアセンブリ６
４は、スライド４６内のロッド４５を介して回動可能に
取り付けられている。このスライド４６は一対の従属レ
ッグ４７および連結片４８を有し、この従属レッグ４７
内にロッド４５が固定ちれ、連結片４８によって両従属
レッグ４７が連結される。連結片４８にｔｉｔ、ま／ζ
、一対のボア４９が形成され、それぞれのボア４９内に
は、水平軸５１．５１ａ（第２区１）上に配役き力、た
シャフト５０が軸支さオする。さらに、１１１１結片４
８の中央部には垂直方向にボア５２が形成はれるが、そ
の１的についてｒｉ後ｊボする。

第２図および第５図を溝照すＺ、と、スライド４６の逆
端レッグＡ７にけ、センサＩＩＶす１寸は用のブラケッ
ト５６が支持をれている。このブラケット５３にけ、端
子５５と４ｔに近接スイッチ５４．５４’がセり付けら
れる。

第２図およｒｇｊ７１５図を歩＋１１Ｘすると、シャフ
ト５０は、図のように、垂直軸にそって動作可能に取り
付けられた支持体５６に固定ｇ　ＪＴでいる。このシャ
フト５０にはスライド４６がスライド用能に取り付けら
れている。

支持体５６は一対のレッグ５７をイボし、このレッグ５
７は、このｋ　ｉｌのベースアセンブリＰに設けられた
一対の固定ちれた垂直ロッド５８にスツイド？Ｉ］能に
取り付けられている。をらに、水平の連結片５９（第７
図）にはその中央部に圭１江のボア６０が形成芒れ、ま
た、この連結片５９によって２木のレッグ５７がイ４１
互Ｋ　ｌ：ｆ、！　Ａ”ｒ　ａれる。このボア６０のト
端にはシ為３図のように螺子が形成１−７であるが、そ
の目的については後述する。

支持体５６け、ヰた、ｉ＋Ｊ（結片５９にボルトで固定
し７たブロック６１を支持している。このプ１１ワク６
１は甲３図に示すように水平に西１１設さ）］ると共に
、２個の従属部６２を・Ｕｌす為。この従属部６２にけ
、ボア６３が形時、づれ、このボア６３内にブツシュ６
４（りｆ２図）を介［７て−ｆ−＋ｎ、−Ｐれのシャフ
ト５０が捕肴式えしる。メらに、ブロック６１の中央部
イは細長い形状のボア６１’　（Ｆｉ　５図）がｆｌ／
Ｓ悼れる。

第２図に不すよう１で、ブツシュ６４　ｉ＋；ｒ・Ｉ、
１．（子６５によってレッグ５７の下端に固定坏才１．
ている。このブツシュ６４にはマグネット６６が支持さ
れてい＾か、ヤの目的については後述する。

第６図および第８図を参Ｉｆ（（−７−４）と、支持体
５６を作動さ−にるために、この装置のベースアセンブ
リＦにモーター６７等の装備が取り付けてあり、このモ
ーター６７等によって、☆：持体５６Ｇ）ポア６０内Ｖ
？Ｘ喝゛分、≦れた′鴫子ｆ・１シヤフト６８が追・１
べＩｔＩＩｌされる。従って、ｊ（■手付シャフト６８
が凹１１ｉ！＋すると、支持体５６はこの・螺子１＼ｊ
シャフト６８のｌ目］勅方向に応じ′て、上下１ｉｉ１
１を行なう。

ψ２図および第６図を々照すン〕と、スライド４６はブ
リッジ１６７を支持ｊ７てい／１゜このブリッジ１６７
は支持体５６のブロック６１１ｆこｂｉ通ばれる。

：＋た、このブリッジ１６７にはボア１６７′が形喫さ
れる。フ゛リッジ１６７の一ト面に一＆１　、叡らに、
フ゛ロック６９が支持さ−Ｆ］る。とのプ１１ワク６９
には、２本の′醜子７０′（第５図）　（ｒｒよって、
（１字形のエアシリンダベース７０がｊ、ｌｄ定Ａ〕′
する。７℃らに、エアシリンダベース７０の水１ド輔上
（・４−１−１回＋ｌｉ／１ピン７１が固着さ）−１、
この回動ピン７１＋に０１Ｕ字形のフランツ”フ゛ロッ
ク７２が１川ｄ１力＋１１能Ｖこ１［ンリト１　ｖ−ｉ
られている。弔６図に／Ｊ＜−ｆように、エアシリンダ
７６けクランプブロック７２によって、エアシリンダベ
ース７　Ｑ　ＶＣ固定ヒｊシ、回動ビン７１の回り全回
動できるよつにしてａ・）る。このエアシリンダ７６は
ロッド７４を自する。このロッド７４はブロック６９に
形成したボア７０′、ブリッジ１６７に形成したボア１
６７′、連結片５９に形成したボア６１′およびスライ
ド４６に水成したボア５２を通って、ジツイント７５に
よってアームアセンブリ６４と係合する。第８図にボす
、Ｌうに、ジヨイント７５マ は枦つンテイング３８′によってアームｌ？ｌ　ｆｉ＋
１ブロック３日に固定−ｆｉ−ｋする。このマウンティ
ング６８′はアームｔｅｌ動ブ１１ワク３８に固定ジれ
ているが、その固定位置はロッド４５の面トの叫間した
位置である。エアシリンダ７６は、このｔうにアームア
センブリ６４をロッド４５の水平ＩＩ＋、１１６５の回
りに１川イｔ１をせ２）ための装置である。エアシリン
ダ７６の端部には、差し込み部７６′が配設芒れ、この
差し込み部７６′と圧縮空気ｎ、ｒｘ　（１＊ｌ示才ず
）とは、エアホース７６′を介して西結されろ。エアシ
リンダ７３が作動すると、第２図に不すＪ二うＶ（、ロ
ッド７４は下方へ押しｌ’＆すらｔに、同時に、エアシ
リンダ７６は同ψＤピン７１上で回・、Ｉす（７、ロッ
ド７４Ｖｉ。

スライド４６内Ｑて形成″ＣＳれたボア（５２内で揺動
する。

第、６ンＩおよｒ）ニゲ５図を参照す４）と、調節装置
的７６が設けられ、こノしによって、た＃、’ｒ体５６
のシャフト５０にそってスフイド／１６を＊；フ、ｊｌ
　Ｎ百−トること−ができる。

調節装置７６目プ１゛１ツクフロント７７を有シ、この
ブロックフロント７７　ｖｃ　２［ピン７９によってプ
レート７Ｂがニー４宇さ１１ている。ブ１１ツクフロン
ト７７ベブ１１ンクろ１にボルリド本帝Ｖ）１（よって
・ｔ１結芒れ、ｒトイてけ、Ｖ検体５６　ＶＣｉ＋ｌｆ
結−、−；　Ｊｌ、　；４）。第５図１１こ爪すように
、ブ１１ツク６１にη−１小情なステップｌ’ｌ　ｎ　
カ＠成してあり、このステップ８ｎ内にブロックフロン
ト７７が受谷丁１：ＩＬる。Ａらに、空慢（シリンタ゛
８１１１７ｔビスｉ・ンＩＩソド８２を・白す矛）。こ
のピストンロッド弓２はＣ１，’ｉ索８６．ワッシャ８
４おヨｒ〆ナソト８５　ＶＣよって、ブロックフロント
７７の溝部に固定感ｎな。エアシリンダ８１は外面に螺
子を刻んだステムを有する。このステムをブロック６９
のクランプ６９′に通してナツト８６で締着することに
よって、エアシリンダ８１はブロック６９に固定１几る
。

芒ら−て、第５１図に示すようＶＣ、エアシリンダ８１
はｖ８１′を介して、圧縮空気源（図示ゼず）に連結さ
れているので、作動芒せると、エアシリンダ８１はブロ
ックフロント７７から遼ざかる方向へ動く。同様に、エ
アシリンダ８１に固定なれたブロック６９．ブリッジ１
６７およびスライド４６は、ブロックフロント７７およ
び支持体５６に対し７て水平に動く。

調節装置７６は、ｔ−た、ブラケットアセンブリ８７を
有する。このブラケットアセンブリ８７は螺子８　ＦＩ
　ＶＣよって、ブロック６９（ｃ固定されると共に、エ
アシリンダ８１０ストローク調節用に設定したマイクロ
メータアセンブリ８９に連結さｊ］。

る。図示したよう（（、マイクロメータアセンブリ８９
はブロックフロント７７に・Ｍ定チｆＬだＵ字形のブラ
ケット９０と、ブラケット９０の一端にスワイド可能に
取りイ１けられ／こピン９１と、ビン９１転 に従来通りのｈ゛法で固定され九回奸ｉｊＪ能なスリー
ブ９２とを有する。ここで、スリーブ９２が同転すると
ピン９１が一定の直線部１ｋＩｌ　？＋打なう。さらに
、ドウエルピン９４によってスリーブ９２に連糸１イさ
れた駆動シャフト９３が、ブロックフロント７７　（第
３図）内に軸支Ａね、る。この駆動シャフト９ろけドウ
エルビン９４．チェーン９５および鵬区車ｈギヤ９６（
（よって膓１＜＊Ｉ＋する。１，１バ山１１ギー１９６
けシャフト９７に固定されている。このシャフト９７は
ブロックフロント７７に回転Ｆｉｌ　ＱヒＩ／ｊ　ｕｖ
リイ、１けられると共に、手（１１（ノブ９８ｈ′−固
定づノｉる。４１５図に示すように、手動ノブ９８１件
プレート７８の外側に位置し２、シャフト９７けカウン
タ９９に連結情れている。

第５図に不すように、マイク＋１メータアセンブリ８９
のピン２１けストッパ１０〔１と係合する。

このストッパ１　［１［１けブラケッＩ・１　ｎｊ　ｖ
Ｃ固定さオし、このブラケット１０１が哩子（図示せず
）によってブラケット８７に固定芒れる。

第２図および第６図を診照すると、ベースアセンブリリ
Ｆ’にはチューブ１０２がＪ１又り付けてあり、このチ
ューブ１０２内にこの装置直に必要な各種リードが涌坏
れる。チューブ１０２の上端はブラケット１０３内に固
定される。このブラケット１０６は垂１σ方向の移動上
限ストッパで−ｂす、ベースアセンブリＰに＃着されて
いる。チューブ１０２の下端は、ホルダ１ｎ４（第６図
）内に固定芒れる。

このホルダ１ｎ４にはモータ６７が収り付けられるト共
に、センサブラケット（１文１示すず）や移動下限スト
ッパとして作中するバンパ（１ス１示せず）も取り付け
ら力、る。ホルダ１ｎ４には、をらに、端子１０５も設
けられる。同様１で、ベースアセンブリＦＶＣも端子１
０６（ηＬ２図）が設けられる。

ウェハー卿造装置１０には、まｉ、各種の装置が取り付
Ｃ・−［られていて、各種の動作装置の位置を感知し、
正確なＩＩｊ７．現動作を行なわせることり≦できるよ
うにしである。すなわち、弔８図１に示すように、アー
ムアセンブリ６４のアーム回動ブロック３ＥＮＣＵマグ
ネツト１０７が、マウンティング６８′にはマグネット
１０８が設けら）Ｌる。マグネット１０７ｆｄ、第６図
に示すように、左側の近接スイッチ５４と協働し、アー
ムアセンブリ６４が静止すなわち下方に位置することを
′／Ｊクシ、一方、マグネット１０８は右側の近接スイ
ッチ５４′と協鋤し、アームアセンブリ６４が第４図に
ｉｊりすように完全に回動した位置にあるこノーを７１
りず。回（千に、レッグ５７に設けたマグネット６６は
モーターのホルダ１Ｏｄｌｃ取り付けた１１ｆ接スイツ
チ（１文：示せず）と＜ＶＳシ、、支持体５６が静山位
１岬すなりち下方にあることを示す。

パン＼パ（１閉示ぜず）　Ｉｄ・へ１１作部材のストッ
パと子１１０を使って固定して、アートアセンブリ、う
の四吋ＩＥ抽作のノ井りを制限している。

第６図を参照すると、ウェハーｒドシｉ８装冒１０を調
整して回収操作を行なう場合、スライド４６を動かし７
て、ストッパ１００をピン９１から腑隔する。ρ（いで
手動ノブ９８を回して、ウェハーの厚さを示すカウンタ
９９の日盛を必要な厚さ、例えば、０．０１５インチ（
０，０３８１）あるいは０１１１０インチ（０，０２５
ｆｆ）に合せる。さらに、スライド４６を静止位置ＶＣ
戻し、ストッパ１１］０をピン９１と接触させる。

第１１図（および第１８図を参照すると、ウェハー製造
装置１０を暗１作づせると、切断ブレード２２が結晶体
２０の切断を開始する。切断動作が進行して、切断の完
了位置に近（（＄４１１図）なると、アーム６０け第８
図の静止位置から、１「１１ψカして、ヘッド２７が切
断ブレード２２のボア２３内を通って切断ブレード２２
の反対側へ移る。同時に、スライド４６け等方へ動く。

従って、切断ブレード２２が回転を続けると、ヘッド２
７け第１２図および第１６図に示すように、横ｌＰ＋に
十外する。

この上昇後の位置においては、ヘッド２７け結晶体２０
から切り出されるウェハーから時間している。その後、
ヘッド２７を所定の１［ｉ屑たけウェハー側に動かされ
、ノズル２９とウェハー２５が離間された状態となる（
第１４図）。この時、リミットスイッチ（図示せず）が
作動して真空となシ、ウェハー２５がグリップネれる。

しかし、この時点では、取り付は梁２１は切断されてい
ない。切断ブレード２２が回転を続けると、ウェハー２
５は完全に切り出いれる。次いで、ヘッド２７は第１５
図に示すように、後方に移動して結晶体２０から射れ、
ウェハー２５を結晶体２０から離す。

それと同時に、結晶体２０けバンクオフ槻摺（図示せず
）によって、切断ブレード２２から離される。次に、第
１６図およびヅ゛ハ１７図に示すように、ヘッド２７１
−ｉ垂直に降下し、ウェハー２５は切断ブレード′ノ２
のボア２３の面内に位置する。次に、アーム５０が再度
回動して、ヘッド２７が静止位置（第１８図）に戻され
る。この位置では、ウェハー２５は移送コンベア１４上
に位ＩＮする。ここでアーム６０に対する吸引状磨力ｉ
解除嘆れ、ウェハー２５は移送コンベア１４上に落下す
る。以後は、切断ブレード２２がスタート位置に層り、
切断操作が繰り返される。

第１図ｌｌＩＣ承すように、（多送コンベア１４には、
適当なカセットホルダ１１１が取り付けであるので、こ
の中に切り出１れた媛数のウェハー２５を次々に喧ねで
、使用や運搬に供することができる。

ウェハーが回収されると、エアシリンダ８１が作動して
、スライド４６がプレート７８から離ちれると共に、エ
アシリンダ７３も作匍１して、アームアセンブリ６４を
徂４図に示す位置に１ｌ−Ｉ′ｌ舗させる。この時、エ
アシリンダ７３は回・助ピン７１０回力に山１動じてμ
ｍ度が変わる。ｙＡ′に、モーター６７が動作［７て、
支持体５６４−ト昇させる（々１，４図。

第１３網）。次いで、エアシリンダ８１の１１１１作が
絶たれ、スライド４６は支持体５６に苅［７て、例チば
第４図のように左方へ柊１１１Ｈする。この付置では、
ストッパ１００がマイクロメータアセンブリ８９のピン
９１側へ移動する（身’　５１＊ｌ　、ψ１４図Ｉこの
保持位置において、ヘッド２７に畷引力が付与されるの
で、このヘッド２７のノズル２９に対して、切り出埒几
たウェハー２５１ｅ吸引床拉さｉする。例えば、直径４
インチ（１０，１６ａ）、革さｒ］、０１０ないし０．
０１５インチ（０，０２５ｆｆｌないし０．０３８ｆｆ
薄）のウェハー２５であれば、５ないし１０ポンド（２
，２７午 ないし４．５　？　Ｋｃａ　）以上の吸引力をその垂直
向に対し横方向に加えることによって、ヘッド２７にこ
ノウエバー２５を保持できる。こうして、ウェハー２５
はインゴット１９からＪ内当な間隔、たとえばｏ、ｏｉ
ｏインチ（０，０２５Ｃ■）、の間隔を楢するヘッド２
７へと移づれる。次いで、逆の工程が行なわれ、ウェハ
ー２５は切断ブレード２２のボア２６を通って、第１８
図１に示す静【にもｒ　＋ｙ１へと林智れる。

この発明は、切ね出をね、たウェハ〜を迅速かつ確実に
Ｉ−ｒ＋ｌ収可能なウェハー製造装置を提供する。

ネらに、この卒明け、オペレーター／、Ｋ　−１１，１
１１ｉｈから各種の動作Ｐｉ！４を噺柳、できるウェハ
ー製；告ト（：漬を提供する。

この発明はづらに、結晶体から明り出をれたウェハーを
回収し７て、次の工程に送るだめの４送コンベアにウェ
ハ〜を移す中−のヘッドを自するチャックアセンブリを
提供する。

切り出さ少したウェハーが切断ブレードのボアを通過す
ると、この切断ブレードＱま入の切１η「工程に決るこ
とができる。ウェハ〜が切断ブレードのボアを通過する
時間は比較的短かいので、切断ブレードは迅）Ｊ！Ｋｖ
ｃ決される。

このウェハーｊ棟造装置の支持体５６をゆっくジ垂直に
動かすことによって、ヘッド２７ノズル２９の端部を切
断することができる。この時、アームアセンブリ６４は
回Ｉａテれかつビン９１側へ移動キレルと共に、カウン
タは零位置に予め設定さオしている。ノズル２９を切断
することによって、ノズル端面とウェハーの面を完全１
（平行にすることができる。

鮒１図を歩照すると、例句１装置１５け各種の制ａ１１
ｓ　材や、プμグラム装置を有する。このプログラム装
置によって、支持体５６を往復弁動をせるためのモータ
ー６乙スライド４６を往復並動させるだめのエアシリン
ダ８１およびアームアセンブリ３４を回動１ゼるための
エアシリンダ７６の動作をプログラム孕れる。このプロ
グラム帥瞳は従来のものであるので、説明の必要１はな
い。

さらに、この装置の各種部材には、ｉ１境性のバンパを
設けて、動作部材を定位ＩＷ　’７′：出釣るだめのス
トッパとして使用することもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図に１この発明のウェハー製造装置の斜視図、第２
図はこの発明のウェハー叫造牌ｉｉイの一部の正面図、
第６図は静ｌ二位置におけるｊ）１．２１ンｌの４１１
ｊ而図、第４図附アームアセンブリを静１１−位１１イ
から回動づせ、スライドを後方に祥勅智Ｉ上、かつ支持
体を−Ｆ方に膓Ｉ肋をせて示し、た第３図の　似図、第
５図けη’２図の５−５線ｊｊｌｊ面図、第６図１ｒ：
ｊ　１呆持位碑から眉間した位置を承す第５図の荀似図
、ηｔ７図は第２ｍの７−７榎断ｎ’ｑ図、第８図１１
−この発明のチャックアセンブリの一部の斜ｔｉＪ図、
第９ＩツＩけ第８図の９−９狼断面図、枳１ｎ図は切断
工稈の終了時点付近における切断ブレードの位置を示す
謝９図の類似図、第１１図はめ１Ｆ位置から回ｔ１７１
１させ後方にスライドづせたチャックアセンブリのヘッ
ドの部分斜視図、＋ｉ＋１２図）；［結晶体と面する位
置まで上昇したヘッドの部分斜視図、第１６図は第１２
図の位置におけるヘッドの餞間図、小１４図はウェハー
保持位置においてウェハーかられずかに離間したヘッド
の側面図、第１５図は切ｐ出されたウェハーを回収した
後保持位置から後方へスライドするヘッドの側面図、第
１６１ｇ＋はこの発明の支持体内で下降するヘッドを示
す側面図、第１７図は回収し７たウェハーが切断ブレー
ドのボアに面する位置におけるチャックアセンブリのヘ
ッドの部分斜視図、第１８図は回収したウェハーを静止
位置に移＊Ｉ＋＃せた場合のチャックアセンブリのヘッ
ドの部分斜視図である。 １９・・・インゴット　　２２・・・切断ブレード？３
・・・ボ　ア　　　　２４・・・　刃２５・・・ウェハ
ー　　　２６・・・チャックアセンブリ２７・・・へｙ
ド　　　　２９・・−ノズル３ｎ・・・アーム　　　　
３１・・・［Ｍｉ部３２・・・曲げ部　　　　６３・・
・差し込み部３４・・・アームアセンブリ４５・・・ロ
ンド（第１の軸）４６・・・スライド　　　５０−・・
シャフト（第２の軸）５６・・・支持体　　　　　５８
・・−世直ロッド（第６の軸）６７・・・モーター　　
　６８・・・ｐ手付シャフト出願人　　　　　　シリコ
ン・テクノロジ―・コーポレーシＷン代　理　人　　升
海士岡田英彦

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　インゴットからウェハーを切シ出して回収す
   るウェハー製造方法であって、回転式の切断ブレードに
   形成てれその周縁に刃を亘するボア内にインゴットを殺
   青する工櫟と、前記インゴットの一つからウェハーを切
   り出すために前記切断ブレードを＃Ｉ記インゴットに対
   して横方向に動かす工租と、壬ヤソクアセンブリのヘッ
   ドを前記切断ブレードの片イ０１）の静止位置からボア
   を径て前記切断ブレードの対向＠１の矢持位賀へと回動
   をせてウェハーと対向をせる工程ど、ｉ前記保持位置に
   おいて切り出をれをウェハーを前記ヘッドに保持テる工
   程ノ、部紀保行したウェハーおよびヘッドを前記保持位
   置力１らボアを硲て＠記静止位置へと突す工程と、前記
   ヘッドからウェハーを除去する工程とから成ることを叫
   倣とするウェハー要義方法。
2. （２）　　ボアとインゴットからウェハーを切り出すた
   めにボアの周縁に形成ちれた刃とを有する回転式の切断
   ブレードと、インゴットから切り出ぢれたウエハーイ支
   持するだめのヘッドを有するチャックアセンブリと、目
   ’Ｑ　Ｍｒ！切断グレードの片側の静止位置と前記切断
   ブレードの苅向悔１に位置するウェハー保持位置との間
   で前記ヘッドを回動させる装置とから成ることを特徴と
   するウェハー製造装置。
3. （３）　　前記ヘッドを１目１＠を忙るための装置カベ
   支持体と、前言「１切断ブレードの棺方向に延出する垂
   直ロッドと、前記支持体を前記垂直ロッド（・でそつて
   往ｉ′Ｉ！運１ｖＪ−Ｊせるたぬの装置と、四イ１４ヘ
   ッドに）μｉ定ジれだアームと、前記アームガ固定なす
   ると共に＠記支持体に回動可能１で取り付けられたアー
   ムアセンブリと、ＭＥアームアセンブリを回ｔｉｌｌ　
   −、ｆ−＄て前記ヘッドを前記切断ブし・−ド内のボア
   に１ｒｊすための装置とからＦ戊ることを！１′イ依と
   する特許請求の範囲第２項ＫＬ！載のウェハー９造装ｍ
   　。
4. （４）　　前記ヘッドがその片面ＶＣＭ数のノズルを有
   し、前記アームＶ？−は前記ノズルと連通して延出する
   中空が形成δれると共に、ｔｉｉｌ　ｉｌ己中空と真空
   源とを１ｍ通式せるための蛙［２込み都が刀づ成孕れる
   ことを十′Ｆ徽とするｔＰ″ｒ計り端末の−１（１１囲
   第６」頁、１已ｔｌ戊のウェハー製造装置。
5. （５）　　前記ヘッドを回動さ−する／こめの装置ｅｔ
   が、をらに、前記アームアセンブリを回動可能シこ月■
   り付けたスライドと、前記切１゛すｉブレードＶＣ垂Ｉ
   Ｃ丁な［川内において＠記支持体にＩＩＶリイ、１ばら
   ”１１たシャフトと、前記スライドを１１１１記シヤフ
   ト上で予め１Ｎ定したストロークで住７η運＋ｊｔｒｊ
   メせる装置Ｊ・／ハらＲ’ｌン）こノ・を特柵とする歳
   ￥イト誼求のｌ）清囲第３１’ｌ’ｌ由ミ・！ｓすのウ
   ェハー製造装置。
6. （６）　　前記支持体を往復運＋＋ｊｌＩさ一１ｊ−７
   ）袋；ビｔの・ａツノ作、＠記スライドを７モ復庫−！
   １１１づ）上Ｚ）シーＩＨの１坊作および前記アームア
   センブリを１「１しｉｌ＋させる装；１・ｊｌの動作を
   プ１１グラムするためのブロクツム装置をプらに有する
   ことを（ｙ、　ＣＨｓ・とするｔ時♂１：詰」〈のＩＩ
   ′ｌ１７１１第５項ＦＦ！載第５エＦＦ！載ン造装百。
7. （７）　　ウェハー製造装置ｆ＆　Ｄ’ζ使用−ヲ−る
   た（′〕のチャックアセンブリであって、インゴットか
   し）切りｔ」１１〜たウェハーを取りにずし１１１陥ｖ
   Ｃ支ｔ＝ｉ’ｒすりためのヘットト、目１１記ヘッド（
   ／ｌｌ固定しかつこのヘッド４・）ら９１ε出ちせたア
   ームと、Ｉ］１Ｊ１ｊ己アームを爪アーム＋（ハ）だア
   ームアセンブリと、ｎ爲１の軸の回りに回動１ｌｌｌ能
   に前記アームアセンブリを散り伺けたスライドと、＠紀
   躬１の軸に坩直な第２の軸上で動作可能に前記スライド
   を取り付けた支も１体とから［戊り、ｐ’ｌＪ　ｉｆ己
   支持体がｎｉ前記橡ｔ、　２および＃１１の１軸に垂ｉ
   ｉＸ　ｆ＜　Ｗｉ、　３の軸にそ−）で動作ｉ［能であ
   ることを特ＦｒＹ　、Ｌ　−４−るチャックアセンブリ
   。
8. （８）　　前記アームが前記アームアセンブリから藉出
   する直線部と前記ｉｍＭ部から０１〔出する曲げ部とか
   ら咬り、前き「４曲げ部には前記直線部に対して偏心さ
   せて酊１記へラド４バ取り付けであることを特徴とする
   特許−、１求の範囲えへ７項記載のチャックアセンブリ
   。
9. （９）　　前記アームアセンブリを前記スライド上で凹
   動芒せる第１の装置と、前記スライドを１１１記支持体
   に対して往復連動させる第２の装置＾と、前記支持体を
   前記躬６の軸にそって往復連動芒」する第６の装置とを
   芒らに有することを特徴とする特許Ｍ１求の順囲褐７項
   記ホリのチャックアセンブリ。 ００　　前記第１の装ｆＭ、前記セーターおよび前記第
   ２の装置を次々に作’１ｆｌＪ　ａせるためのブロクツ
   ム装置をプらに有し、かつ、Ｆ＋ｉＪ記ｌ（’、　３の
   装置が１Ｉ１４記モーターと、前記セーター（ｆこ１１
   １し１〕Ｉｒ’ｉｌ能ｆ？Ｃ］’屯結されると共に前記
   支持体に１１１１合する・１１”べ子ｔ＝Ｉシャフトと
   を冶することを特徴とする特許□１０Ｉンの・（（・′
   ｌＩノド１端Ａ９丁貞記叔のチャックアセンブリ。