JPH0333415Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は半導体材料として使用されるシリコン
等のインゴツトをウエフア状に切断するスライシ
ングマシンにおけるドレツシング装置に関する。

〔従来の技術〕

上記スライシングマシンにおけるインゴツトの
切断用カツタとしては一般に内周にダイヤモンド
粒子を含有するバインダを添着した内刃形カツタ
が使用されている。このカツタにより多数のウエ
フアを切断したとき目詰りを生じ、このため定期
的にドレツシングする必要がある。このドレツシ
ングの方法としては、作業者の手作業による方法
と機械的による方法がある。前者は相当の熟練を
要し、一般的には後者の方法が採られている。こ
の方法はドレス棒を上記目詰りを生じたカツタに
より切断し、これにより、いわゆる目立てを行う
手段が採られている。その１例を第６図に示す。
７０は割出し台でありインゴツトＷの下部に取付
けたダミーＤの形状に沿つた案内溝７１を有し、
適所にダミーＤを挾持する２個の爪片７３ａ，７
３ｂを備えたインゴツトホルダ７３を備え、イン
ゴツトホルダ７３を螺軸７４の回動により紙面と
直交して移行させ、上部にはクランプ機構７５を
設ける。そしてインゴツトＷの送り出しに際して
はクランプ機構７５のクランプを弛め螺軸７４の
回動によりインゴツトＷを所定量送り出し、クラ
ンプ機構７５により締結し、カツタＣにより切断
する。ただしカツタＣは内刃形であり、図はその
内周のみを鎖線で示す。

上記カツタＣに対するドレツシング装置８０
は、上記クランプ機構７５のシリンダ７６を取付
ける支柱７７の内面に凹溝７８を設け、これに取
付けてなるもので、ドレツシング装置８０は該凹
溝７８に固定ブロツク８１を取付け、これにスラ
イドバー８２，８３及び送りねじ８４を取付け
る。８５はスライドブロツクであり、スライドバ
ー８２，８３を貫通し、送りねじ８４の先端を回
動自在に止着し、このスライドブロツク８５には
ドレス棒８６を取付ける。

ドレツシングに際しては送りねじ８４を手動に
て回動し、スライドブロツク８５と共にドレス棒
８６を送り出し、カツタＣにより切断し、れによ
り目詰りを除去する。

〔考案が解決しようとする問題点〕

上記ドレス棒８６の送り出しは送りねじ８４を
手動にて回動して行うため送り出し量が一定しな
い。また１回のドレツシングに際しては通常２〜
４回の切り落しを行うもので、１回の切り落し量
は可及的に少量が好ましく、例えばウエフアの厚
さ（例えば１mm程度）でよいが、安全をみてこれ
より若干多量に送り出しを行うのが通例である。

従つてドレス棒を無駄に消費し、かつ送り出し
は手作業であるため時間の浪費も大である。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案はかかる点に鑑み、インゴツトの送り出
し機構を利用してドレス棒を所定長さづつ自動的
に送り出すことを目的とし、その特徴とするとこ
ろはインゴツトを挾持するインゴツトホルダと、
インゴツトホルダを所定量づつ順次移送する送り
部材とを備え、インゴツトホルダは挾持用の相対
して開閉する爪片を備え、両爪片間にはインゴツ
トに取付けられるダミーを嵌入する切込み部と棒
状のドレス部材挿入用空洞を形成し、両爪片は空
洞に挿入されるドレス部材を切込み部に位置する
ダミーに対する挾持よりも優先して挾持すべく切
込み部と空洞との相互関係寸法を選択したことに
ある。

〔作用〕

ドレス部材を空洞中に差込むことにより開閉爪
片は優先してドレス部材を挾持し、ダミーは挾持
しない。従つて送り部材によるインゴツトホルダ
の前進は、インゴツトを送り出すことがなく、ド
レス部材のみを所定量ずつ送り出す。

このドレス作業時、インゴツトはクランプ機構
のシリンダーにより割出し台へ押しつけられ動か
ないように保持されている。

〔実施例〕

第１図乃至第５図は本考案の実施例を示す。ス
ライシングマシン１は周知の如くインゴツトＷを
載置し所定量ずつ繰出す割出し機構２と、インゴ
ツトＷを締結するクランプ機構３を備える。クラ
ンプ機構３は支柱４に取付けられるシリンダ５
と、このシリンダ５により押し下げられるクラン
プ爪６とからなる。７は弾性材料よりなるクツシ
ヨンである。またＣは内刃形カツタである。

上記割出し機構２は、インゴツトＷに取付けた
ダミーＤを支承する割出し台１０を備え、割出し
台上面にはダミーを嵌合し前後進を案内する案内
レール１１を取付ける。また割出し台１０は一部
を切欠してインゴツトＷを把持するためのインゴ
ツトホルダ１２を配備し、インゴツトホルダ１２
は送り部材１３に連結されている。

インゴツトホルダ１２は、対をなす開閉爪１
４，１５を備え、一方の爪１４は固定爪、他方を
揺動爪１５とし、固定爪１４は側板１６に取付け
た軌条１７に嵌合するシユー１８を備え、前後の
両側にはフランジ１９，２０を取付ける。この両
フランジ１９，２０間には他方の揺動爪１５を貫
通する支軸２１を取付け、爪１５を揺動自在に支
持し、両爪１４，１５の上部にはダミーＤを嵌合
する切込み部２２を形成する。揺動爪５には油圧
シリンダ２３を備え、ピストンロツド２４の先端
は固定爪１４に対向し、油圧シリンダ２３の作動
により上部の切込み部２２の間隔をせばめ、ダミ
ーＤを挾持する。２５は復元用ばねである。

送り部材１３はステツピングモータ３０と、こ
のモータ３０により減速機３１を介して駆動され
る螺軸３２及び螺筒３３とからなる。螺筒３３は
固定爪１４に取付けられ、ステツピングモータ３
０の駆動によりインゴツトホルダ１２を切断する
ウエフアの厚みと同じ所定量ずつ移行する。そし
て割出し台１０の切欠最先端部へインゴツトホル
ダー１２が到達すると開閉爪１４，１５を開いて
後退し、再び上記動作を繰返す。

本考案のドレツシング装置４０は上記インゴツ
トホルダ１２に棒状のドレス部材４５を嵌挿する
空洞４１を両爪１４，１５間に、かつ上記切込み
部２２の下方に位置して設けてなる。４２は必要
により設けるストツパであり、ドレス部材４５の
挿入位置を決定するようにしたものである。

ドレス部材４５はドレス棒４７をホルダ４６に
挿入固着してなるもので、上記空洞４１は左右の
爪１４，１５によりホルダ４６を挾持したとき、
揺動爪１５は移行を規制されて切込み部２２にお
けるダミーＤの挾持位置まで移行せず、即ちドレ
ス部材４５を優先して挾持する寸法としたもので
ある。

なお図中、５０はインゴツト揺動機構であり、
前記側板１６を取付ける揺動板５１を受台５２の
垂直部５２ａに取付け、また受台水平部５２ｂは
基台５３に取付け、かつ揺動板５１はカツタＣに
よるダミーＤの切り落し点を中心として上下方向
に揺動可能に、また水平部５２ｂは上記落し点を
通る垂直線を中心に水平方向に揺動可能に取付け
たもので、方向性を有するインゴツトＷに対する
切断角度を調整するようにしたものである。５４
は垂直方向操作ハンドル、５５は水平方向操作ハ
ンドルである。

上記構成において、多数のウエフアを切断して
目詰りが発生しカツタＣに対するドレツシングを
行うに際しては、クランプ機構３によりインゴツ
トＷを押圧して割出し台１０上に保持した状態で
インゴツトホルダ１２の両爪１４，１５を開く。
ついで空洞４１中にドレス部材４５を挿入し、シ
リンダ２３を作動して揺動爪１５を回動し、ドレ
ス部材４５を挾持する（第５図ａ）。しかる後送
り部材１３によりインゴツトホルダ１２を介して
ドレス部材４５を所定量ずつ送り出す。このとき
インゴツトＷはインゴツトホルダ１２で挾持され
ておらず、従つて送り出されることはない。

またドレス部材４５は送り部材１３によりウエ
フアの切出し量と同じ量だけ繰出されるから、１
回の送り出し量は常に一定であり、かつウエフア
の切出し量で僅小であり、ドレス棒４７を経済的
に使用することができる。

カツタＣに対するドレツシング作業はインゴツ
トの切断方向と逆方向に行われると共にドレツシ
ング作業完了後ドレス部材４５を空洞４１から取
り出し、ウエフア切断の正規作業に入る。即ちイ
ンゴツトホルダ１２の両爪１４，１５がダミーＤ
を挾持し、所定量の送り作用を行うものである。

〔考案の効果〕

本考案によるときは、ドレス部材をインゴツト
ホルダに挾持させるようにしたから、従来の如き
特別の機構を必要とせず構造簡単である。しかも
ドレス部材の取付時にはインゴツトは挾持されな
いから、従来の送り部材を利用して一定の僅小送
りを自動的に行うことができる等の効果を有す
る。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第５図は本考案の実施例に関し、第
１図は一部を切欠して示す割出し機構の正面図、
第２図は第１図における−線に沿う断面図、
第３図は第２図における−線に沿う断面図、
第４図はドレス部材の正面図、第５図な作動説明
図で、同図ａはドレス部材を挾持する状態を、ま
た同図ｂはドレス部材を省いたダミーの把持状態
を示すものであり、第６図は従来のドレツシング
装置の説明図である。 １はスライシングマシン、１２はインゴツトホ
ルダ、１３は送り部材、１４は固定爪、１５は揺
動爪、２２は切込み部、４０はドレツシング装
置、４１は空洞、４５はドレス部材、Ｃはカツ
タ、Ｄはダミー、Ｗはインゴツトである。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. インゴツトを挾持するインゴツトホルダと、イ
   ンゴツトホルダを所定量づつ順次移送する送り部
   材とを備え、インゴツトホルダは挾持用の相対し
   て開閉する爪片を備え、両爪片間にはインゴツト
   に取付けられるダミーを嵌入する切込み部と棒状
   のドレス部材挿入用空洞を形成し、両爪片は空洞
   に挿入されるドレス部材を切込み部に位置するダ
   ミーに対する挾持よりも優先して挾持すべく切込
   み部と空洞との相互関係寸法を選択したことを特
   徴とするスライシングマシンにおけるドレツシン
   グ装置。