JPS5888829A - 磁気記録媒体およびその製造方法 - Google Patents

磁気記録媒体およびその製造方法

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JPS5888829A
JPS5888829A JP56187591A JP18759181A JPS5888829A JP S5888829 A JPS5888829 A JP S5888829A JP 56187591 A JP56187591 A JP 56187591A JP 18759181 A JP18759181 A JP 18759181A JP S5888829 A JPS5888829 A JP S5888829A
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Koichi Shinohara
紘一 篠原
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/84Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
    • G11B5/85Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition

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  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は磁気テープ、ディスク、カード等の磁気記録媒
体およびその製造方法に係わり、とりわけ、強磁性金属
層を磁気記録層とする媒体の改良とその媒体の製造方法
の提供を目的とする〇一般に磁気記録の分野で、短波長
記録に強磁性金属薄膜を磁気記録層として用いることの
有用性は良く知られている。
しかし、かかる媒体を実用レベルで利用する時に最も大
きな問題は、腐蝕、摩耗からいかに1強磁性層を保護す
るかである。
従来この種の問題は、湿式めっき法、蒸着法のいずれの
方法で得た1強磁性膜についても共通した課題で、各方
面で工夫がなされてきている。
基本的には1強磁性層の耐性の向上と、保護層による弱
点の補強である。
そこでGo −P、 Go −Ni −Pのめっき膜、
Cjo。
Co−Ni、Co−0r等の蒸着膜の保護−として多く
の種類の材料が提案されている。例えば、Ni・W合金
(特開昭51−43110号) 、 N1−B 合金(
特開昭52−2405号)、N1 合金層を熱処理によ
シ硬度をあげたもの(特開昭51−102606号)1
Miser合金(特開昭63−)3108号)等の合金
薄膜を保護層とするもの、酸化物炭化物(%開明50−
104602号) 、 5i−8i酸化物(特開昭52
−127203号)、磁性層との間にOr  を介して
の5i7Si酸化物(特開昭62−127204号)、
窒化ケイ素化合物(特開昭65−73931号)、Lt
の硼化物層(特開昭66−11626号)、飽和脂肪酸
の単分子層(特開昭50−7500号)、滑性液体層中
に酸化防止剤を含有させたものC特開昭51−2080
6号)等が提案されているが、これらに共通した難点は
、短波長記録に於けるスペーシ7グロスの制約から前記
保護層に厚みの制限がある点である。
又1.う一つの難点は、短波長記録に適合する基板の表
面(これは、ひいては蒸着層表面の特性にそのま\反映
する)が極めて平滑になることからくる摩擦係数の増大
である。
この二つの難点を補うものとしての保護層は。
民生用のVTRシステムに適合化させることを前提とし
た場合、前記提案では不充分であった。それは、相対速
度s m / z〜6m/!E程度の高速で回転する磁
気ヘッドとの摺動に各種の実使用環境下で長時間開えな
くてはならないからである。
本発明はかかる点に鑑みなされたもので、磁気記録媒体
の形態を問わず、耐蝕性、耐久性に優れた特性を示す保
護層を有する媒体を提供し、かつそれを製造する方法を
提供しようとするものである。本発明による磁気記録媒
体の最小限の構成要素は、非磁性基板と1強磁性金属層
とその表面に配した金属を含むフッ化カーボン系の重合
体から成る保護層である。その他、基板の背面に配した
例えば走行性を補助する層や、基板と強磁性層の中間に
配した非6性層等の有無は1本発明と直接的な関係を有
していないので、他の目的から自由に選択できる。従っ
て、製造方法についても、少なくとも強磁性金属層を蒸
着で得る工程と、フッ化カーボン系のモノマーから出発
してMo、W、Or、Co。
Ni 等の金属をターゲットとしプラズマ重合させる工
程とを有すること 特徴とし、媒体の構成により他の工
程が付加されることは自由である。
以下に図面を用い本発明の詳細な説明する。
〔実施例1〕 基板としてのポリエチレンテレフタレートフィ#A (
e、s−9、s oosor幅)上にあらかじめ1×1
σ5丁orrまで排気した真空槽内に5X1じ5Tar
t になるように槽外部より強制的に酸素を導入し、平
均蒸着速度1300人/3!で、入射角4σ以上の蒸気
流でCo90%Ni10%の磁性層を0.13μmの厚
さに形成し、磁気テープ原反を作成した。この原反を別
の真空槽で処理し、前記磁性層上に金属を含む7ツ化カ
ーボン系の重合層を形成した。即ち、99.99%純度
のMo をターゲットとし13.6616の高周波を前
記ターゲットに印加して、グロー放電を発生させる。放
電維持ガスは02FA  ガスで圧力を検出して導入量
を制御した。
第1図は本発明による磁気テープを示す。図において1
は基板2上に形成された磁性層でその上に重合層3が形
成されている。
なお重合層の厚みは正確に測定することが困難であるた
め、テープ出力によシ管理した。
実験結果を後出の第1表、第2表に示す。なおここで、
第1表、第2表におけるテープムは。
13.66&Ik、 360W 、 0.ITOrro
C2F4  フ5スマに2.0秒間さらした場合の重合
層厚みをto  とすると、テープBij4秒間、テー
プCF1a、0秒間それぞれさらしたもので(プラズマ
の安定性と他の較正実験より1時間比例した厚みを確認
している)、この場合、それぞれの重合層の厚みは2t
0゜31Oで、記録波長O,Sμmでの再生出力は重合
層なしのものにくらべて、ム、B、Cそれぞれで±0.
311B、 f 0.311B、 f 0.4+IBで
65xぺ−x損失は無視できるものである。しかしこの
程度の厚みであっても、この保護層の保護効果は目をみ
はるものかあシ第1表、第2表に示すような有意差を確
認できた。なお従来例として、飽和脂肪酸の単分子層を
形成した場合とスパッタ法で窒化けい素膜t−270人
形成した場合の二側を採用した。前記各テープについて
以下のように2つの試験を行った。
(試験1) 捧テープをオーツ/リールに100271巻き込み記録
波長0.8μの正弦波を記録し60℃904RHの環境
に1.5.10の各週間及置後再生fテラすることで出
力減少と、目づまり頻度を比較した。
なおテープ送り速度は2.acyx/式、相対速度は4
.2 m /菖である。
試験結果を第1表に示す。
(以 下金 白) (試験2) 同じテープを36℃s s qbRHの環境下で5US
304からなる0、1”Sの表面性を有するポスト(直
径10M)に18♂まきつけ、 2.4 am 7mで
くり返し走行せしめ、摩擦係数の変化を調べた結果を第
2表に示す。
第   2   表 0 以上の2つの試験結果から明らかなように1本発明によ
るテープの耐久性、安定性は、従来のテープになかった
ものであることが理解されるが。
更に46°C101RHの極めて摩擦に不利な乾燥条件
下でもはっきりとした差が認められる点も注目すべき点
である。
〔実施例2〕 ホリエチレンテレフタレートフィルム(11,Spm厚
、5oota幅)上4CIX10″″5テorr (F
)真空度で、鉄を66°以上の入射角で0.16μmの
厚さに形成したのち、 o、oaTorrの酸素グロー
放電(500V1.3A)$C2秒間さらした。次K 
0274ガスを0.33 Ml /min導入し圧力を
0.06丁orrに維持し、13.5611にの高周波
をCo(e e、e e %純度)をターゲットとした
ターゲットホルダーに印加し、高周波プラズマを発生さ
せ、Coを含むフッ化カーボン重合膜を前記鉄からなる
磁性層上に形成し、保護膜とした。推定厚み範囲は60
〜130人で3水準調べた。この範囲では、0.8μm
の記録波長では前記保護膜の有無による再生出力変化は
みられず、保護性能は、実施例1の場合と同一の試験に
より、従、来例に比べてほとんど同じ改善効果が得られ
ることが確かめられた。
以上により、磁性層によらず、保護膜の有用性が良く理
解される。
〔実施例3〕 ポリエチレンテレフタレートフィルム(1O,SSμm
厚、600mm幅)上にあらかじめ6.6 X 1o′
Torr  tで排気したのち外部より酸素t−1,O
Nl/win導入し、 2.5 x 10−5Torr
 ノ真空度としタナかで入射角46@以上でC080%
Ni2O% を蒸着して0.13μm厚の磁性層を形成
し、つづいて。
めらかじめ6.15 X 1 o−”rorrまで排気
して、外部よ1csFa  t−0,065Torr 
分導入し、酸素を0.015 TOrr 分導入した0
、07Torr の真空度の混合ガス系で1a、sa&
の高周波をW(99,99チ純度)ターゲットに印加し
て、Wを含むプラズマ重合膜を前記磁性層上に形成した
。酸素を介在させた効果は、より短時間でほぼ同じ重合
膜ができたことから、重合膜の形成速度を早める作用が
以上のようにして形成したWlに含むフッ化カーボン保
護層につき推定厚み7O人、140人、310人の3水
準について選んで、保護性能を調べた。その結果は、実
施例1の場合と同一であった。
なお前記保護層の厚み310人を得た条件より規格化を
時間で行うことにより推定される。30人。
10人厚みの保護層についても同様に調べた。その結果
厚みが10人と推定された場合、試験1では、1週間、
6週間の各放置後で出力減少が−0,611B、−1,
211Bと従来品における保護膜と始んど同じ程度では
あったが、目づまりが1週間、6週間の各放置後で、o
、a/win 、 0.4/l1inとすぐれており、
一方試験2で60バス、600パス後の摩擦係数変化率
が+16%、+28チと、実用可能な値に保持される作
用を有しており、金属を含むフッ化カーボン系の重合膜
の保護効果の優秀さを示しているといえる。
本発明FiCF4を出発モノマーとした場合についても
同様の効果を確かめられ、さらには基板と垂13  ・ 直方向に磁化容易軸を有しリングヘッドで記録再生する
磁性層を有する場合や、又、磁気テープに限らず、ポリ
アミド、ポリイミド〜板としてのシート、ディスク、或
Vはアルミ等の金属基板のディスク等についても同様の
効果がみられるものであり、このように、磁性層の種類
、形成法によらず有効である。又、ターゲットとして、
 Or、Ti。
Ni を選んだ場合も同様な効果を確認した。
さらに本発明の他の効果として、金属を含むフッ化カー
ボン系重合膜は金属磁性層との接着強度向上が期待され
、その結果、30℃80%RH下での耐摩耗性(ヘッド
はフェライト使用)の改良が顕著であることも確認され
た。
以上のように本発明によると、耐蝕性ならびに走行性に
すぐれた磁気記録媒体を容易に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
図は本発明による磁気記録媒体の断面図である。 1・・・・・・磁性層、2・・・・・・基板、3・・・
・・・重合層。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)  非磁性基板上に強磁性金属層を有し、かつ前
    記強磁性金属層上に、金属を含むフッ化カーボン系の重
    合体からなる保護層を有することを特徴とする磁気記録
    媒体。 (9)非磁性基板上に蒸着法により強磁性金属層を形成
    する工程と、金属をターゲットとして、フッ化カーボン
    系の七ツマー蒸気をプラズマ重合し、前記金属層上に金
    属を含む−フッ化カーボン系の重合体からなる保護層を
    形成する工程とを有することを特徴とする磁気記録媒体
    の製造方法。
JP56187591A 1981-11-20 1981-11-20 磁気記録媒体およびその製造方法 Granted JPS5888829A (ja)

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