JPS58920Y2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

走査電子顕微鏡

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Publication number
JPS58920Y2
JPS58920Y2 JP1980158971U JP15897180U JPS58920Y2 JP S58920 Y2 JPS58920 Y2 JP S58920Y2 JP 1980158971 U JP1980158971 U JP 1980158971U JP 15897180 U JP15897180 U JP 15897180U JP S58920 Y2 JPS58920 Y2 JP S58920Y2
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JP
Japan
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sample
electron
detection signal
scanning
electrons
Prior art date
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Expired
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JP1980158971U
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JPS5670965U (ja
Inventor
紘民 小池
勝義 植野
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Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
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Publication date
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Description

【考案の詳細な説明】 本考案は高分解能２次電子像を適切なコントラストで観
察可能な走査電子顕微鏡に関するものである。
走査電子顕微鏡においては、試料の２次電子像、反射電
子像、吸収電子像、透過電子像、Ｘ線像等夫々に特徴あ
る試料像が得られ、物質の研究等に大いに役立っている
。
しかし乍ら、現在の装置では上記各種試料像の像質が必
ずしも充分ではなく、改良すべき点は多々存在する。
例えば２次電子像においては、充分なコントラストが得
られないという点も一つの改良すべき問題である。
斯かる問題は第１図に示すように試料３が最終段集束レ
ンズの磁場内に置かれる場合には極めて顕著になる。
同図中７８．７ ｂは集束レンズの磁極片を示し、試料
３はその中間に置かれている。
又検出器５は磁極片７ａの上方に置かれており、斯かる
構成では試料３より発生した２次電子は殆んど光軸に沿
って上方に取り出され、検出器５に検出される。
而してこの様な改良された装置では試料がレンズ磁場内
に納められている為、電子線が外部擾乱磁場の影響を受
けに＜＜、且つ各種収差が少くなり、高分解能の試料像
を得ることができると共に高感度の検出が可能であると
いう利点を有している。
しかし乍ら、斯かる配置は第２図に示すように丁度半球
状光源８により、試料３を照明したと同様になり立体感
のない平面的な画像になる。
一方、反射電子像を得る場合には該反射電子のエネルギ
ーが高い為、中間の色調がなくなり、硬いコントラスト
がつく。
本考案は上記の事実に着目してなされたもので、２次電
子検出信号に反射電子の検出信号を加算して画像表示す
ることにより、適切なコントラストを与えることを特徴
がある。
以下第３図に示す実施例に従って説明する。
図中９は最終段集束レンズ（対物レンズ）で磁極片１０
ａ 、１０ ｂの間に試料３が置かれている。
又該磁極間には反射電子の検出器１１も設置されており
、検出器５による２次電子検出と同時に反射電子の検出
をしている。
雨検出器からの信号は増巾器１２及び１３により夫々増
巾され、加算回路１４に導入される。
増幅器１３の利得は容易に可変できるように構成されて
いる。
前記加算回路がらの出力信号は陰極線管１５に導入され
、画像変換される。
斯様な構成となせば、反射電子信号によって影がつけら
れるので充分なコントラストが得られ、立体感のある高
分解能２次電子像が得られる。
又、反射電子検出信号の増幅器の利得が容易に可変でき
るようになっているので、該利得を調整することにより
反射電子検出信号強度を適切な値にし、表示装置に表示
される像を最適なコントラストのものにすることができ
る。
尚、増幅器の後段に減衰率可変の減衰器を設けて減衰器
により反射電子検出信号強度を可変できるようにしても
良い
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の走査電子顕微鏡の主要部を示す構成略図
、第２図は第１図におけるコントラストのつき方を説明
する光学図、第３図は本考案の一実施例を示す構成略図
である。 第３図において、１は電子線、３は試料、４は偏向コイ
ル、５は２次電子検出器、９は最終段集束レンズ、１０
ａ及び１０ ｂはその磁極片、１１は反射電子検出器、
１２及び１３は増巾器、１４は加算回路、１５は陰極線
管である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子レンズの上磁極と下磁極との間のレンズ磁場内に試
    料を配置し、この試料上で電子線を走査することにより
    発生する２次電子を光軸に沿って上磁極の上方に取り出
    し、上磁極の上方におかれた検出器で検出して画像表示
    する装置において、前記電子線の走査により試料表面よ
    り散乱する反射電子を検出する手段を有し、該反射電子
    の検出信号と前記２次電子の検出信号とを加算して表示
    装置に導入する如く構成すると共に、該反射電子の検出
    信号強度を任意に可変し得る如く構成してなる走査電子
    顕微鏡。
JP1980158971U 1980-11-06 1980-11-06 走査電子顕微鏡 Expired JPS58920Y2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2533478B2 (ja) * 1985-06-24 1996-09-11 株式会社日立製作所 走査型電子顕微鏡

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JPS5670965U (ja) 1981-06-11

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