JPH0326048U - - Google Patents

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JPH0326048U
JPH0326048U JP8594989U JP8594989U JPH0326048U JP H0326048 U JPH0326048 U JP H0326048U JP 8594989 U JP8594989 U JP 8594989U JP 8594989 U JP8594989 U JP 8594989U JP H0326048 U JPH0326048 U JP H0326048U
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【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は本考案にかかる荷電粒子線
走査型試料映像装置の一実施例を説明するための
図であつて、第１図は荷電粒子線走査型試料映像
装置でも真空チヤンバの内部の様子を示す模式図
、第２図はＣＲＴ表示回路の回路構成図である。 １０ａ……反射電子検出器、１０ｂ……Ｘ線検
出器、１０ｃ……透過電子検出器、１０ｄ……試
料電流計、２０……電子光学系、２５……走査コ
イル、３０……分析試料、５１……マルチプレク
サ、５２……ビデオ回路、５３……フイルタ、６
０……ＣＲＴ、ａ……電子線。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 一次荷電粒子線を走査しながら被測定試料に対
    して照射し、照射された当該被測定試料から出た
    二次荷電粒子線の信号を検出器で検出し、この検
    出信号に基づいて当該被測定試料の画像を一次荷
    電粒子線の走査速度を可変にすることにより少な
    くとも２段階の分解能でデイスプレイ上に写し出
    す荷電粒子線走査型試料映像装置において、前記
    デイスプレイの前段における前記検出信号を信号
    処理するためのビデオ回路には、前記一次荷電粒
    子線の走査速度に応じて高域遮断周波数が可変に
    されるフイルタを備えたことを特徴とする荷電粒
    子線走査型試料映像装置。
JP8594989U 1989-07-20 1989-07-20 Pending JPH0326048U (ja)

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JPH0326048U true JPH0326048U (ja) 1991-03-18

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06199233A (ja) * 1992-02-28 1994-07-19 Hitachi Ltd 車両連結部構造
JPH07172307A (ja) * 1993-12-22 1995-07-11 East Japan Railway Co 鉄道車輌用連結幌装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5014272A (ja) * 1973-06-06 1975-02-14

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5014272A (ja) * 1973-06-06 1975-02-14

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06199233A (ja) * 1992-02-28 1994-07-19 Hitachi Ltd 車両連結部構造
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