JPS589238A - 光学的情報記録媒体 - Google Patents
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- JPS589238A JPS589238A JP56107040A JP10704081A JPS589238A JP S589238 A JPS589238 A JP S589238A JP 56107040 A JP56107040 A JP 56107040A JP 10704081 A JP10704081 A JP 10704081A JP S589238 A JPS589238 A JP S589238A
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- G11B7/2533—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of substrates comprising resins
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発ｗＡは、光、熱等のエネルギービームの照射１：よ
り記録膜に穴もしくは凹部な形成すること６二よって情
報を記録するようεニした光学的情報記―媒体（：係り
、峙礁；感度め向上および長寿命化１図った光学的情報
記録媒体−二関する◇ 基板上１：形成された薄換層厘；千ネルギービームを照
射し、記録されるべき信号６；対応したピット列を形成
するようにした光学的情報記録媒体において、徒来より
低融点金属記録薄膜として例えとビスマス（Ｂ、 ）を
使用する仁とが知られている。真薄膜は最も低いエネル
ギーで所望のビットを形成できる材料であり、こ９種の
用途Ｃ；おいては高感度材料として極めて有望である。
り記録膜に穴もしくは凹部な形成すること６二よって情
報を記録するようεニした光学的情報記―媒体（：係り
、峙礁；感度め向上および長寿命化１図った光学的情報
記録媒体−二関する◇ 基板上１：形成された薄換層厘；千ネルギービームを照
射し、記録されるべき信号６；対応したピット列を形成
するようにした光学的情報記録媒体において、徒来より
低融点金属記録薄膜として例えとビスマス（Ｂ、 ）を
使用する仁とが知られている。真薄膜は最も低いエネル
ギーで所望のビットを形成できる材料であり、こ９種の
用途Ｃ；おいては高感度材料として極めて有望である。
こむで感度とは単位面積幽りのピット形成に要するエネ
ルギー（ｍＪ／ｊ ）で定義される。
ルギー（ｍＪ／ｊ ）で定義される。
しかしながらｓ Ｂｊは大気中に放置された場合、酸
素や水分により酸化され、透明感−なる度合が速い０記
鎌簿膜として使用する場合、膜厚紘７００ス程鉦と極め
て薄いため膜の酸化で生じた透明度増加に起因する膜の
感度劣化は著しい。す表わち膜が飯化されると融解、蒸
発温度が上昇するとともに透明化するために光吸収が少
なく表り、ピット落成に景するエネルギーが大きくなり
感度の劣化を米たす。また、たとえば７０℃、相対湿度
８５ｇ６の雰囲気−一装置した場合、約５時間で感度が
約２０−低下し、約１５時間で約５０％低下してしまう
。
素や水分により酸化され、透明感−なる度合が速い０記
鎌簿膜として使用する場合、膜厚紘７００ス程鉦と極め
て薄いため膜の酸化で生じた透明度増加に起因する膜の
感度劣化は著しい。す表わち膜が飯化されると融解、蒸
発温度が上昇するとともに透明化するために光吸収が少
なく表り、ピット落成に景するエネルギーが大きくなり
感度の劣化を米たす。また、たとえば７０℃、相対湿度
８５ｇ６の雰囲気−一装置した場合、約５時間で感度が
約２０−低下し、約１５時間で約５０％低下してしまう
。
このためＴｇ展の酸化防止のために種々の防止策がとら
れている。安定無機物質でＢ１１ｋをコートする方法は
有効であるが感度低下と高価なため実用化されていない
〇一方、プラスチックコートの場合は、熱伝導率が小さ
く感度を損なう度合が小さく有利であるが酸素や水を比
較的容易ｇ二透過さ−せＴ。
れている。安定無機物質でＢ１１ｋをコートする方法は
有効であるが感度低下と高価なため実用化されていない
〇一方、プラスチックコートの場合は、熱伝導率が小さ
く感度を損なう度合が小さく有利であるが酸素や水を比
較的容易ｇ二透過さ−せＴ。
膜の酸化防止Ｃ二は役立たない。
本発明は上記問題を解決するためなされたもので、合成
ＩＩＩＩＢ′ｉ１基板を使用しながら高感度かつ長寿命
の光学的情報記録媒体を提供することを目的とする。
ＩＩＩＩＢ′ｉ１基板を使用しながら高感度かつ長寿命
の光学的情報記録媒体を提供することを目的とする。
本発明の光学的情報記録媒体は、記録膜を炭素（０）、
リン（Ｐ）および水素（Ｈ）を含有する低融点金属また
鉱、低融点金属合金の薄膜によって形成した°ことを特
徴としており、これＣ：よって高感度と長寿命とを兼ね
備え＆４のである。低融点金属としては、膜形成技術、
および配置特性から２５〜ａｏｏ’ｅｔ：融点を示す金
属およびそれらの合金、例えばＣｄ、工ｓｏ ８ｓｔ
Ｚｓ＊ Ｘ’ｂ＊ Ｂｓ等の単体、およびそれらの合金
から選ぶことができる。
リン（Ｐ）および水素（Ｈ）を含有する低融点金属また
鉱、低融点金属合金の薄膜によって形成した°ことを特
徴としており、これＣ：よって高感度と長寿命とを兼ね
備え＆４のである。低融点金属としては、膜形成技術、
および配置特性から２５〜ａｏｏ’ｅｔ：融点を示す金
属およびそれらの合金、例えばＣｄ、工ｓｏ ８ｓｔ
Ｚｓ＊ Ｘ’ｂ＊ Ｂｓ等の単体、およびそれらの合金
から選ぶことができる。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施例につき詳細
ａ；説明する。
ａ；説明する。
第１図社本発明の一実施例を示す断面図である０図にお
いて、（１）は基板で本実施例では合成樹脂の１つであ
るアクリル板を用いた。しかし、他のプラスチック板ま
たはガラス板であっても作用効果は同じであり、情報記
録の書き込み、読み出し方法礪；よって適宜選択すれに
良いｏ（ｘ）ａ、Ｏ，？。
いて、（１）は基板で本実施例では合成樹脂の１つであ
るアクリル板を用いた。しかし、他のプラスチック板ま
たはガラス板であっても作用効果は同じであり、情報記
録の書き込み、読み出し方法礪；よって適宜選択すれに
良いｏ（ｘ）ａ、Ｏ，？。
■を含む情報記録用低融点金属膜であり、その厚さ轄、
十分な光反射率を得る程度６：厚く、かつ感度を損なわ
ない程度に薄いことが必要でｚｏｏｆｆｉ〜１μｍ程度
が適尚である。
十分な光反射率を得る程度６：厚く、かつ感度を損なわ
ない程度に薄いことが必要でｚｏｏｆｆｉ〜１μｍ程度
が適尚である。
例えば低融点金属としてｎｉを選んだ場合、メタン（０
１４）とホスフィン（ＰＨｆｉ）との混合ガス内（１０
−”ＴＯｒｒ ）でルツボまたはボートでＢｉを加熱蒸
発させ、基板と蒸発源との間には予め電界を加えてガス
をイオン化しておくと、基板面にＢｉ、 Ｏ，Ｐおよび
■とからなる腹が廊られる。いわゆる反応性イオンプレ
ーテーイングといｂ・れる方法で、膜中のＣ，？および
Ｈの含有量は、 ａＨ４とＰＨｓの混合比および膜成長
速度−二より制御でき例えｄ ０１１４ ／ＰＨ＠ ”
１Ｇの混合比でｓｏｏ Ｘ７分の成長速度では、約３
０原子−〇〇と約２原子−のＰを含有した膜を形成させ
ることができる。この場合、膜の組成式％式％ 化学的に最も安定する■の含有量は、ｙ、ｙｌ：よって
決まる。ここでは膜中に水素ガス（ＩＩＩ）が発生する
ほど多量に含有させ表い限り■含有量は任意５２選ぶこ
とができる。
１４）とホスフィン（ＰＨｆｉ）との混合ガス内（１０
−”ＴＯｒｒ ）でルツボまたはボートでＢｉを加熱蒸
発させ、基板と蒸発源との間には予め電界を加えてガス
をイオン化しておくと、基板面にＢｉ、 Ｏ，Ｐおよび
■とからなる腹が廊られる。いわゆる反応性イオンプレ
ーテーイングといｂ・れる方法で、膜中のＣ，？および
Ｈの含有量は、 ａＨ４とＰＨｓの混合比および膜成長
速度−二より制御でき例えｄ ０１１４ ／ＰＨ＠ ”
１Ｇの混合比でｓｏｏ Ｘ７分の成長速度では、約３
０原子−〇〇と約２原子−のＰを含有した膜を形成させ
ることができる。この場合、膜の組成式％式％ 化学的に最も安定する■の含有量は、ｙ、ｙｌ：よって
決まる。ここでは膜中に水素ガス（ＩＩＩ）が発生する
ほど多量に含有させ表い限り■含有量は任意５２選ぶこ
とができる。
膜厚拡酸長時間Ｃ：比例するので自由−二制御できるＯ
膜の光学定数は膜組成Ｉ：よって決まるので記録媒体の
光学的性質は、上記の実施例では約１０００１の膜厚で
反射率が敵大となり記録特性が最良となつ九。 ・ この条件で作成した膜は非晶質であり、多結晶五層に比
べて配置状態のピット周辺エツジ部が清らかとなり、情
報読み取り時のノイズレベルを低くおさえることができ
る。
光学的性質は、上記の実施例では約１０００１の膜厚で
反射率が敵大となり記録特性が最良となつ九。 ・ この条件で作成した膜は非晶質であり、多結晶五層に比
べて配置状態のピット周辺エツジ部が清らかとなり、情
報読み取り時のノイズレベルを低くおさえることができ
る。
第２図は、７０℃相対湿度８５１１の雰囲気で時間経過
に対する感度の劣化を従来のＢｔ単体のものと本発明Ｃ
二よるものとを比較し要因である。
に対する感度の劣化を従来のＢｔ単体のものと本発明Ｃ
二よるものとを比較し要因である。
本図’ｔ＝おける感度の劣化は、配置６；必！！亀エネ
ルギーの逆数の初期値に対する変化として表わされてお
り、Ｂｉ単体から廠る従来Ｏ記嚢膜、本発明による記借
膜とも１ニアクリル基板上に形成されえ場合を示す。
ルギーの逆数の初期値に対する変化として表わされてお
り、Ｂｉ単体から廠る従来Ｏ記嚢膜、本発明による記借
膜とも１ニアクリル基板上に形成されえ場合を示す。
本図かられかるようにＢｉ単体からなる記録膜の場合、
図中（ム）で示すようζ二時間経過とともぎ二感度が劣
化する。これは時間ととも６二局部的な透明領域（シミ
）が発生するためで約１７０時間経過後Ｉ：は全伽にわ
たって劣化する。
図中（ム）で示すようζ二時間経過とともぎ二感度が劣
化する。これは時間ととも６二局部的な透明領域（シミ
）が発生するためで約１７０時間経過後Ｉ：は全伽にわ
たって劣化する。
一方、本発明によるＣ９Ｐおよび■を含有するＢｌ薄膜
の場合は、同図（Ｂ）で示すよう（： １０００時間経
過後もｓｉ薄膜番−見られた様なシミは全く認められず
、常響：ハは一定の感度を保持しており、長寿命化を達
成することがわかる。
の場合は、同図（Ｂ）で示すよう（： １０００時間経
過後もｓｉ薄膜番−見られた様なシミは全く認められず
、常響：ハは一定の感度を保持しており、長寿命化を達
成することがわかる。
本発明による上記実施例の感度は従来Ｂｉ膜を用いた記
録媒体と−ｊ等かまたはわずか上まわる値を示しており
、本発明１−よるｃ、Ｐおよび■を含有するＢｉ薄膜を
用いた光学記録媒体は高感度であることも兼ね備えてい
るα 以上述べたように本発明Ｉ：よるｃ、ＰおよびＨを含有
するＢｉ薄膜を用いた記録媒体は優れた感度と非常に長
い寿命を得る仁とができる０ただし、５原子−以下のＣ
を含有する膜でｈＢ＜膜との有意差は見られず、また８
０原子−以上含有する膜では感度の低下がみられた。Ｃ
とＨＦ２膜の“耐湿性と高感度化、 Ｐｉｎｔ膜の非晶
質化と高感度化−−それぞれ主感二役立っていると考え
られる。ＰＦｉｉ原子−以下で社効来がなく、５ｏ原子
−以上では寿命を短かくする。
録媒体と−ｊ等かまたはわずか上まわる値を示しており
、本発明１−よるｃ、Ｐおよび■を含有するＢｉ薄膜を
用いた光学記録媒体は高感度であることも兼ね備えてい
るα 以上述べたように本発明Ｉ：よるｃ、ＰおよびＨを含有
するＢｉ薄膜を用いた記録媒体は優れた感度と非常に長
い寿命を得る仁とができる０ただし、５原子−以下のＣ
を含有する膜でｈＢ＜膜との有意差は見られず、また８
０原子−以上含有する膜では感度の低下がみられた。Ｃ
とＨＦ２膜の“耐湿性と高感度化、 Ｐｉｎｔ膜の非晶
質化と高感度化−−それぞれ主感二役立っていると考え
られる。ＰＦｉｉ原子−以下で社効来がなく、５ｏ原子
−以上では寿命を短かくする。
上記の例でＰＨ０１４とＰＨ１１の混合ガス中での反応
性イオンプレーティグによる方法について述べた。
性イオンプレーティグによる方法について述べた。
しかし、本発明１二よるＣＩＦおよびＨを含むＢ１１ｊ
は、他の方法によっても形成可能でめる。Ｂ１の蒸発源
の改嵐でクツスターイオンビー４法でも可能でありｓ
ＩＩｊＦｌｅ ＢｉｔｙＪｌｍ等のガスと０ＩＩ４．
Ｐｌｉｌガスを用いて気相成長させることも、またそζ
１−電場を印加して、プラズマを生成させて気相成長さ
せることも可能である。
は、他の方法によっても形成可能でめる。Ｂ１の蒸発源
の改嵐でクツスターイオンビー４法でも可能でありｓ
ＩＩｊＦｌｅ ＢｉｔｙＪｌｍ等のガスと０ＩＩ４．
Ｐｌｉｌガスを用いて気相成長させることも、またそζ
１−電場を印加して、プラズマを生成させて気相成長さ
せることも可能である。
Ｂｉ ｔｊ：２７１℃と低融点のためスパッタ等ｉ１使
用できないが！、（３１９℃）、ａ、Ｈ（３ガ０℃）等
を０１１４とＰＨ３ガスの混合ガス中で反応性スパッタ
ーさせて、ｚｓ−ｃ−ｐ−ａＪｌｌ［またはＯ４−０−
Ｐ−１！膜を形成させることができる。
用できないが！、（３１９℃）、ａ、Ｈ（３ガ０℃）等
を０１１４とＰＨ３ガスの混合ガス中で反応性スパッタ
ーさせて、ｚｓ−ｃ−ｐ−ａＪｌｌ［またはＯ４−０−
Ｐ−１！膜を形成させることができる。
またｓ Ｂｉｓチー＠（５８５℃） 、 １８８７ （
５３５℃）等の合金も低融点として知られ、ターゲット
として使用できるので上記同様反応性スパッタリング法
−二より本発明の主旨と同一性能をもった膜を形成させ
ることができる０ また上記ＯＨ４ガ４ＦｉＯｓｉＩ＋（エチレン）十〇１
ｉｌｌ（アセチレン）ガスで置き換えることも可能であ
る０
５３５℃）等の合金も低融点として知られ、ターゲット
として使用できるので上記同様反応性スパッタリング法
−二より本発明の主旨と同一性能をもった膜を形成させ
ることができる０ また上記ＯＨ４ガ４ＦｉＯｓｉＩ＋（エチレン）十〇１
ｉｌｌ（アセチレン）ガスで置き換えることも可能であ
る０
ｊｇ１図は本発明の実施例を示す断面−１第２図は第１
図ａ；示した記録媒体と従来の記録媒体との却命区ユつ
いての比較図である０ １・・・基板 ２・−Ｂ酪−０−Ｐ−１！膜 代理人弁理士 則 近 憲 佑 ほか１名 手続補正書（自発） 特許庁長官 若 極相 夫殿 １、 事件の表示 昭和５６年特−第１０７０４０号 ２、発明の名称 光学的情輻記録媒体 ３、補正なする者 事件との関係 特許出願人 （３０７）東京芝浦電気株式会社 ４、代理人 〒１００ 東京都千代田区内幸町１−１−６ 明細書の「特許請求の範囲」の欄 ６、補正の内容 （１） 特許請求の範囲を別紙のとうり補正する。 （２） 明細書第２頁第７行目の「凹部」を「例えば
凹部等の変形部」と訂正する。 以上 特許請求の範囲 （１）基板上に記録族を形成し、前記記録族にエネルギ
ービームを照射し、穴もしくはｔｍを形成して情報を記
録する光学的記録用部材において、前記記録族が低融点
金属、炭素、リンおよび水素を含有することを特徴とす
る光学的情報記録媒体。 （２） 基板はガラスもしくは合成樹脂であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学的情報記録
媒体。 （３）記録族は、２５〜６００ ’Ｃの融点をもつ金属
ならびに金属合金を含むことを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の光学的情報記録媒体。 （４）記録族の組成は舅を低融点金属と、Ｌ、 Ｍｌ−
ｘ−、ＣｘＰ、 （Ｈ）と表わしたとき、炭素＜Ｃ＞の
含有量は、５〜４０原子パーセント、リン（Ｐ）の含有
量は１〜５０原子パーセントであることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の光学的情報記録媒体。 （５）記録族の厚さは２００人ないし１μｍであること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学約情報記
録媒体。
図ａ；示した記録媒体と従来の記録媒体との却命区ユつ
いての比較図である０ １・・・基板 ２・−Ｂ酪−０−Ｐ−１！膜 代理人弁理士 則 近 憲 佑 ほか１名 手続補正書（自発） 特許庁長官 若 極相 夫殿 １、 事件の表示 昭和５６年特−第１０７０４０号 ２、発明の名称 光学的情輻記録媒体 ３、補正なする者 事件との関係 特許出願人 （３０７）東京芝浦電気株式会社 ４、代理人 〒１００ 東京都千代田区内幸町１−１−６ 明細書の「特許請求の範囲」の欄 ６、補正の内容 （１） 特許請求の範囲を別紙のとうり補正する。 （２） 明細書第２頁第７行目の「凹部」を「例えば
凹部等の変形部」と訂正する。 以上 特許請求の範囲 （１）基板上に記録族を形成し、前記記録族にエネルギ
ービームを照射し、穴もしくはｔｍを形成して情報を記
録する光学的記録用部材において、前記記録族が低融点
金属、炭素、リンおよび水素を含有することを特徴とす
る光学的情報記録媒体。 （２） 基板はガラスもしくは合成樹脂であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学的情報記録
媒体。 （３）記録族は、２５〜６００ ’Ｃの融点をもつ金属
ならびに金属合金を含むことを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の光学的情報記録媒体。 （４）記録族の組成は舅を低融点金属と、Ｌ、 Ｍｌ−
ｘ−、ＣｘＰ、 （Ｈ）と表わしたとき、炭素＜Ｃ＞の
含有量は、５〜４０原子パーセント、リン（Ｐ）の含有
量は１〜５０原子パーセントであることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の光学的情報記録媒体。 （５）記録族の厚さは２００人ないし１μｍであること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学約情報記
録媒体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）基板上ベニ記録膜を形成し、前記記録膜ａ；エネ
ルギービームを照射し、穴もしく拡凹部を形成して情報
を記録する光学的記録用部材−二おいて、前記記録膜が
低融点金属、炭素、リンおよび水、累を含有することを
特徴とする光学的情報記録媒体。 （２）基板はガラスもしくは合成樹脂である仁とを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の光学的情報記録媒体
。 ７ 。 （８） 記鍬膜拡、２５〜６００”ＣＦ）、融点をも
つ金属ならびＩ：金属台金を含むことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の、光学的情報記録媒体０（４）
記母膜の組成ａＭを低融点金属としＭＡ−ａ−７ｃ
ｚＰｙ （Ｈ）と表わしたとき、炭素（０）の含有量は
、、５〜４０原子パーセント１．リン（Ｐ）の゛含有量
は１〜５０原子パーセントであることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の光学的情報記録媒体。 （６） 記―膜の厚さＦｉｚｏｏｚないし１μｍであ
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学的
情報記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56107040A JPS589238A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 光学的情報記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56107040A JPS589238A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 光学的情報記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS589238A true JPS589238A (ja) | 1983-01-19 |
Family
ID=14448990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56107040A Pending JPS589238A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 光学的情報記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS589238A (ja) |
-
1981
- 1981-07-10 JP JP56107040A patent/JPS589238A/ja active Pending
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