JPS5898112A - 弗素樹脂製積層型フイルタユニツト - Google Patents
弗素樹脂製積層型フイルタユニツトInfo
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- JPS5898112A JPS5898112A JP56197137A JP19713781A JPS5898112A JP S5898112 A JPS5898112 A JP S5898112A JP 56197137 A JP56197137 A JP 56197137A JP 19713781 A JP19713781 A JP 19713781A JP S5898112 A JPS5898112 A JP S5898112A
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Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は精密濾過用の積層型フィルタで弗素樹脂材料
のみから成るフィルタユニットに関する。
のみから成るフィルタユニットに関する。
最近ＩＣ，ＬＳＩなどの電子機器部品の製造工程におい
て、エツチング用の強酸あるいは洗浄用の溶剤に混入し
た微細な粒子を除去するため、精密濾過用のフィルタが
必袂とさｎている。このような用途に用いらｎるフィル
タの材料には耐熱、耐酸および耐薬品性にすぐｎた弗素
樹脂が現在では唯一の適当な材料と云ってよい状態であ
り、炉材には従来から用いられていたが、戸がＦ液中に
溶出するので、上記のような用途のフィルタ構成部材と
して不適当であった。ちなみに弗素樹脂がフィルタの構
成部材に用いら几ないのは、溶着等の２次加工がきわめ
て困難であり従来は成形加工品のねじ等による機械的結
合方法しか利用できなかつたため、精密濾過フィルタに
適う十分なシール性が得らｎないからである。このため
弗素樹脂製の薄膜０Ｍ材と弗素樹脂製の支持体とではゾ
ールができず、従来は支持体に他の材料を用いてフィル
タユニットを構成していたものである０ この発明は上記の問題を解決したフィルタユニットを提
供するものであって、炉材および支持体共に弗素樹脂の
みから成るフィルタユニットに関するものである。
て、エツチング用の強酸あるいは洗浄用の溶剤に混入し
た微細な粒子を除去するため、精密濾過用のフィルタが
必袂とさｎている。このような用途に用いらｎるフィル
タの材料には耐熱、耐酸および耐薬品性にすぐｎた弗素
樹脂が現在では唯一の適当な材料と云ってよい状態であ
り、炉材には従来から用いられていたが、戸がＦ液中に
溶出するので、上記のような用途のフィルタ構成部材と
して不適当であった。ちなみに弗素樹脂がフィルタの構
成部材に用いら几ないのは、溶着等の２次加工がきわめ
て困難であり従来は成形加工品のねじ等による機械的結
合方法しか利用できなかつたため、精密濾過フィルタに
適う十分なシール性が得らｎないからである。このため
弗素樹脂製の薄膜０Ｍ材と弗素樹脂製の支持体とではゾ
ールができず、従来は支持体に他の材料を用いてフィル
タユニットを構成していたものである０ この発明は上記の問題を解決したフィルタユニットを提
供するものであって、炉材および支持体共に弗素樹脂の
みから成るフィルタユニットに関するものである。
実施例によってこの発明を説明すると、第１図に平面の
一部金示し、第２図に側面の断面會示す支持体ＩＶｉ軸
方向の中央通孔２會設は友ボス部３とその周囲の円盤ｓ
４とから成る。円Ｉｉ部４はボス部３寄りから順次外側
へ環状に内側平坦ｓ５、網目部６および外側平坦部７を
上下面に夫々有している。網目部６は多数の開口６ａが
表面に設けら几その内部は網目部６、内側平坦部５、お
よびボス部３の甲に放射状に設けられ几複数の内部通路
８によって中央通孔２と連通している。
一部金示し、第２図に側面の断面會示す支持体ＩＶｉ軸
方向の中央通孔２會設は友ボス部３とその周囲の円盤ｓ
４とから成る。円Ｉｉ部４はボス部３寄りから順次外側
へ環状に内側平坦ｓ５、網目部６および外側平坦部７を
上下面に夫々有している。網目部６は多数の開口６ａが
表面に設けら几その内部は網目部６、内側平坦部５、お
よびボス部３の甲に放射状に設けられ几複数の内部通路
８によって中央通孔２と連通している。
弗素樹脂製の多孔質薄膜で成る環状の炉材２１が前記円
盤部４の上下面に配設さル、炉材２１の円周縁部２２は
前記内側平坦部５に液密に固着さ几て環状のシール部を
形成している。ま友Ｐ材２１の外周縁ｓ２３は前記外側
平坦部７に液密に固着さｎて環状のシール部を形成して
いる０ 次に第３図ｉｃ側面の断面の一部金示す他の実施例につ
いて説明すると、支持休日はいず１も弗素樹脂製の上支
持片１１ａと下支持片１１ｂとから成り上支持片目ａ外
周の複数の爪間ｃＫよって下支持片１１ｂに係止さ几結
合さまた支持体ｌｌを形成する。
盤部４の上下面に配設さル、炉材２１の円周縁部２２は
前記内側平坦部５に液密に固着さ几て環状のシール部を
形成している。ま友Ｐ材２１の外周縁ｓ２３は前記外側
平坦部７に液密に固着さｎて環状のシール部を形成して
いる０ 次に第３図ｉｃ側面の断面の一部金示す他の実施例につ
いて説明すると、支持休日はいず１も弗素樹脂製の上支
持片１１ａと下支持片１１ｂとから成り上支持片目ａ外
周の複数の爪間ｃＫよって下支持片１１ｂに係止さ几結
合さまた支持体ｌｌを形成する。
上支持片＋１ａは中央通孔＋２ａを有する上ボス部ｌ３
３１上内側平坦部１５ａ、上網口部＋６ａお、しびその
外側に拶数の前記爪部＋ｔｃｔ有する。下支持片目すは
中央通孔１２ｂを有する下ボス部＋３ ｂ 、下内側平
坦部１５ｂ１下網目部１６ｂ１下外側平坦部１７ｂおる
複数の溝１８ａ・＋８ｂが設けら几ており、背面１９ａ
と背面１９ｂが接触するように重ね合わさ几て支持体１
１となり、ボス部１３と円盤部１４とを形成する。
３１上内側平坦部１５ａ、上網口部＋６ａお、しびその
外側に拶数の前記爪部＋ｔｃｔ有する。下支持片目すは
中央通孔１２ｂを有する下ボス部＋３ ｂ 、下内側平
坦部１５ｂ１下網目部１６ｂ１下外側平坦部１７ｂおる
複数の溝１８ａ・＋８ｂが設けら几ており、背面１９ａ
と背面１９ｂが接触するように重ね合わさ几て支持体１
１となり、ボス部１３と円盤部１４とを形成する。
上記支持体１１の円盤部１４の上下面に弗素樹脂製の多
孔質薄膜の環状炉材２４が配設されその内周縁部２５が
内側平坦部１５ａ・１５ｂに液密に固着さ几ていること
は第１の実施例と同様である。Ｆ材２４は上下の網目部
１６ａ・＋６ｂおよび外側平坦部１７ａ寺１７ｂを蓋っ
て円盤部１４の外側に延び上下の炉材２４の外周縁部２
６が互に液密に固着されて環状のシール部を形成する。
孔質薄膜の環状炉材２４が配設されその内周縁部２５が
内側平坦部１５ａ・１５ｂに液密に固着さ几ていること
は第１の実施例と同様である。Ｆ材２４は上下の網目部
１６ａ・＋６ｂおよび外側平坦部１７ａ寺１７ｂを蓋っ
て円盤部１４の外側に延び上下の炉材２４の外周縁部２
６が互に液密に固着されて環状のシール部を形成する。
第１の実施例の支持体１に第２の実施例の炉材５−
２４のような炉材同志を支持体外（１１１１で固層−「
るものを用いてもよく、第２の実施例の支持体１１に第
１の実施例の炉材２Ｉのようにその外周縁＠２３ｆ外側
平坦部１７ａ−１７ｂに固着するものを用いてもよい。
るものを用いてもよく、第２の実施例の支持体１１に第
１の実施例の炉材２Ｉのようにその外周縁＠２３ｆ外側
平坦部１７ａ−１７ｂに固着するものを用いてもよい。
また上下支持片＋１ａ・ｌｌｂを成型するには内部通路
が孔を穿つことなく溝でよいので成型が容易である。
が孔を穿つことなく溝でよいので成型が容易である。
前記の炉材と支持体又は炉材同志の液密な固着°Ｃ〜３
２７°Ｃに加熱すると弗素樹脂は固体状態と昇華直前の
状態との間で高粘度ながら溶融状態となり、圧着され接
合部が相互に溶けおい、加熱を停止すると固着状悲とな
る。そして、その圧着圧力や上記温間範囲内での適当な
温度および加熱時間は融着部分の膜厚、形状等によ！ｌ
ｌ実験的に選択して定まるものである。
２７°Ｃに加熱すると弗素樹脂は固体状態と昇華直前の
状態との間で高粘度ながら溶融状態となり、圧着され接
合部が相互に溶けおい、加熱を停止すると固着状悲とな
る。そして、その圧着圧力や上記温間範囲内での適当な
温度および加熱時間は融着部分の膜厚、形状等によ！ｌ
ｌ実験的に選択して定まるものである。
上記の固着状態により一体的に結合された支持体と薄膜
炉材とからなる弗素樹脂製のフィルタユ６一 ニットは炉材を通過して濾過されたＦ液１に網目部の開
口を経て支持体内部通路を通しボス部の中央通路へ導び
くがＦ材および支持体が弗素樹脂のみで成っており、熱
融着によって両者が液密にソールされていて、他の樹脂
、金属、接着剤など他の材料を含まずにフィルタユニ、
トが構成されているので、Ｆ液が強酸や強力な溶剤であ
ってもこ几らに侵さｎることなくＦ液の漬汁側に不都合
な金属や樹脂その池の有機成分等を溶出することなくｎ
密濾過の作用を持続させ前駅ＬＳＩ９造用の強酸や洗浄
液を不純化することがない。
炉材とからなる弗素樹脂製のフィルタユ６一 ニットは炉材を通過して濾過されたＦ液１に網目部の開
口を経て支持体内部通路を通しボス部の中央通路へ導び
くがＦ材および支持体が弗素樹脂のみで成っており、熱
融着によって両者が液密にソールされていて、他の樹脂
、金属、接着剤など他の材料を含まずにフィルタユニ、
トが構成されているので、Ｆ液が強酸や強力な溶剤であ
ってもこ几らに侵さｎることなくＦ液の漬汁側に不都合
な金属や樹脂その池の有機成分等を溶出することなくｎ
密濾過の作用を持続させ前駅ＬＳＩ９造用の強酸や洗浄
液を不純化することがない。
第１図は本発明の実施例１示す支持体の一例の部分平面
図、第２図は第１図の実施例のフィルタユニットの側面
断面図、第３図は他の実施例を示すフィルタユニットの
側面部外断面図である。 １、ＩＩ・・・弗素樹脂製の支持体 ２、＋２３．１２ｂ−・中央通孔 ５．１５ａ 、 ＋５ｂ −内側平坦部６．１６ａ 、
１６ｂ−網目部 ７．１７ａ、１７ｂ・・−外側平坦部 ２１、２４・・・弗素樹脂薄膜戸材
図、第２図は第１図の実施例のフィルタユニットの側面
断面図、第３図は他の実施例を示すフィルタユニットの
側面部外断面図である。 １、ＩＩ・・・弗素樹脂製の支持体 ２、＋２３．１２ｂ−・中央通孔 ５．１５ａ 、 ＋５ｂ −内側平坦部６．１６ａ 、
１６ｂ−網目部 ７．１７ａ、１７ｂ・・−外側平坦部 ２１、２４・・・弗素樹脂薄膜戸材
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、軸方向の中央通孔を有するボス部とその外側の盤状
部とから成る支持体の盤状部に膜状の炉材を固着した積
層型フィルタユニットにおいて、盤状部は上下面共に中
央ボス寄りから順次に内側平坦部、多数の開口含有する
網目部および外側平坦部より成り、網目部の開口は盤状
部およびボス部の中に設けた内部通路によってボス部の
前記中央通孔に連通している弗素樹脂製の支持体を具え
、弗素樹脂製の多孔質薄膜炉材を前記支持体の盤状部の
上下面に夫々配設し、上下の炉材の内周縁部を前記盤状
部の内側平坦部に熱融着で液密に固着し、前記炉材の外
周縁を前記網目部より外側において熱融着により液密に
シールして、炉材によって網目部を外部と区画したこと
を特徴とする弗素樹脂製積層型フィルタユニット。 ２前記戸材の外周縁部が前記支持体盤状部の外側平坦部
に熱融着に工す液密に固着シールされている特許請求の
範囲第１項記絨の弗素樹脂製積層型フィルタユニット。 ３前記Ｐ材の外周縁部が支持体盤状部の外方に延在して
、上下の炉材外周縁部相互が熱融着により液密に固着シ
ールされている特許請求の範囲第１項記載の弗素樹ＢＶ
ｉ製積層型フィルタユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56197137A JPS5898112A (ja) | 1981-12-08 | 1981-12-08 | 弗素樹脂製積層型フイルタユニツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56197137A JPS5898112A (ja) | 1981-12-08 | 1981-12-08 | 弗素樹脂製積層型フイルタユニツト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5898112A true JPS5898112A (ja) | 1983-06-10 |
| JPS6328654B2 JPS6328654B2 (ja) | 1988-06-09 |
Family
ID=16369365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56197137A Granted JPS5898112A (ja) | 1981-12-08 | 1981-12-08 | 弗素樹脂製積層型フイルタユニツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5898112A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01218605A (ja) * | 1988-02-26 | 1989-08-31 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 中空糸型濾過モジユール |
| JP2002535133A (ja) * | 1999-01-29 | 2002-10-22 | ミリポア・コーポレイション | ペル弗化熱可塑性フィルタカートリッジ |
| US7254212B2 (en) | 2003-04-16 | 2007-08-07 | Horiba, Ltd. | Particulate matter analyzer, collecting filter and system for analyzing and collecting samples from fluids |
| JP2018057340A (ja) * | 2016-10-06 | 2018-04-12 | ジェックス株式会社 | ペット用給水器およびそのフィルター |
| JP2018057339A (ja) * | 2016-10-06 | 2018-04-12 | ジェックス株式会社 | ペット用給水器およびそのフィルター |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3077020B2 (ja) | 1996-04-25 | 2000-08-14 | 株式会社キッツ | 中空糸型分離膜モジュール |
Citations (9)
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|---|---|---|---|---|
| JPS4962563A (ja) * | 1972-10-19 | 1974-06-18 | ||
| JPS5118991A (en) * | 1974-06-28 | 1976-02-14 | Cyprus Metallurg Process | Kinzokuryukabutsuno sankaho |
| JPS5210915A (en) * | 1975-07-15 | 1977-01-27 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Multiple bend |
| JPS5522504A (en) * | 1978-06-15 | 1980-02-18 | Nippon Denso Co Ltd | Heating apparatus employing hot water |
| JPS5525964A (en) * | 1978-08-15 | 1980-02-25 | Matsushita Electric Works Ltd | Illuminating device |
| JPS5617216A (en) * | 1979-07-24 | 1981-02-19 | Central Jidosha Kk | Plastic press die and production thereof |
| JPS5628602A (en) * | 1979-08-14 | 1981-03-20 | Nitto Electric Ind Co Ltd | Production of liquid separating pipe |
| JPS5649606A (en) * | 1979-09-28 | 1981-05-06 | Japanese National Railways<Jnr> | Sensing method for relative position between car mounted magnet of linear synchronous motor and ground conductor during car it stopped |
| JPS56129016A (en) * | 1979-11-05 | 1981-10-08 | Rimipoa Corp | Filter cartridge and method of manufacturing said filter cartridge and its forming element |
-
1981
- 1981-12-08 JP JP56197137A patent/JPS5898112A/ja active Granted
Patent Citations (9)
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| US7254212B2 (en) | 2003-04-16 | 2007-08-07 | Horiba, Ltd. | Particulate matter analyzer, collecting filter and system for analyzing and collecting samples from fluids |
| US8012231B2 (en) | 2003-04-16 | 2011-09-06 | Horiba, Ltd. | Particulate matter analyzer, collecting filter and system for analyzing and collecting samples from fluids |
| JP2018057340A (ja) * | 2016-10-06 | 2018-04-12 | ジェックス株式会社 | ペット用給水器およびそのフィルター |
| JP2018057339A (ja) * | 2016-10-06 | 2018-04-12 | ジェックス株式会社 | ペット用給水器およびそのフィルター |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6328654B2 (ja) | 1988-06-09 |
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