JPS6328654B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は精密過用の積層型フイルタで弗素
樹脂材料のみから成るフイルタユニツトに関す
る。

最近IC、LSIなどの電子機器部品の製造工程に
おいて、エツチング用の強酸あるいは洗浄用の溶
剤に混入した微細な粒子を除去するため、精密
過用のフイルタが必要とされている。このような
用途に用いられるフイルタの材料には耐熱、耐酸
および耐薬品性にすぐれた弗素樹脂が現在では唯
一の適当な材料と云つてよい状態であり、材に
は従来から用いられていたが、材を坦持しフイ
ルタを構成する部材には例えば特開昭56―129016
号に示されているように他の樹脂やステンレス鋼
が用いられていて、金属や樹脂成分が液中に溶
出するので、上記のような用途のフイルタ構成部
材として不適当であつた。ちなみに弗素樹脂がフ
イルタの構成部材に用いられないのは、溶着等の
２次加工がきわめて困難であり従来は成形加工品
のねじ等による機械的結合方法しか利用でできな
かつたため、精密過フイルタに適う十分なシー
ル性が得られないからである。このため弗素樹脂
製の薄膜材と弗素樹脂製の支持体とではシール
ができず、従来は支持体に他の材料を用いてフイ
ルタユニツトを構成していたものである。

この発明は上記の問題を解決したフイルタユニ
ツトを提供するものであつて、材および支持体
共に弗素樹脂のみから成るフイルタユニツトに関
するものである。

実施例によつてこの発明を説明すると、第１図
に平面の一部を示し、第２図に側面の断面を示す
支持体１は軸方向の中央通孔２を設けたボス部３
とその周囲の円盤４すなわち盤状部とから成る。
円盤部４はボス部３寄りから順次外側へ環状に内
側平坦部５、網目部６および外側平坦部７を上下
面に夫々有している。網目部６は多数の開口６ａ
が表面に設けられその内部は網目部６、内側平坦
部５、およびボス部３の中に放射状に設けられた
複数の内部通路８によつて中央通孔２と連通して
いる。

弗素樹脂製の多孔質薄膜で成る環状の材２１
が前記円盤部４の上下面に配設され、材２１の
内周縁部２２は前記内側平坦部５に液密に熱融着
されて環状のシール部を形成している。また材
２１の外周縁部２３は前記外側平坦部７に液密に
熱融着されて環状のシール部を形成している。

次に第３図に側面の断面の一部を示す他の実施
例について説明すると、支持体１１はいずれも弗
素樹脂製の上支持片１１ａと下支持片１１ｂとか
ら成り上支持片１１ａ外周の複数の爪１１ｃによ
つて下支持片１１ｂに係止され結合された支持体
１１を形成する。上支持片１１ａは中央通孔１２
ａを有する上ボス部１３ａ、上内側平坦部１５
ａ，上網目部１６ａおよびその外側に複数の前記
爪部１１ｃを有する。下支持片１１ｂは中央通孔
１２ｂを有する下ボス部１３ｂ、下内側平坦部１
５ｂ、下網目部１６ｂ、下外側平坦部１７ｂおよ
びその上部の上外側平坦部１７ａを有する。上下
支持片１１ａ・１１ｂの背面１９ａ・１９ｂには
網目部に設けた複数の開口と中央通孔１２ａ・１
２ｂを連通する複数の溝１８ａ・１８ｂが設けら
れており、背面１９ａと背面１９ｂが接触するよ
うに重ね合わされて支持体１１となり、ボス部１
３と円盤部１４とを形成する。

上記支持体１１の円盤部１４の上下面に弗素樹
脂製の多孔質薄膜の環状材２４が配設されその
内周縁部25が内側平坦部１５ａ・１５ｂに液密に
熱融着されていることは第１の実施例と同様であ
る。材２４は上下の網目部１６ａ・１６ｂおよ
び外側平坦部１７ａ・１７ｂを蓋つて円盤部１４
の外側に延び上下の材２４の外周縁部２６が互
に液密に熱融着されて環状のシール部を形成す
る。

第１の実施例の支持体１に第２の実施例の材
２４のような材同志を支持体外側で固着するも
のを用いてもよく、第２の実施例の支持体１１に
第１の実施例の材２１のようにその外周縁部２
３を外側平坦部１７ａ・１７ｂに固着するものを
用いてもよい。

また上下支持片１１ａ・１１ｂを成型するには
内部通路が孔を穿つことなく溝でよいので成型が
容易である。

前記の材と支持体又は材同志の液密な熱融
着は次のようにして行われる。すなわち弗素樹脂
製多孔質質薄膜の材の固着すべき部位を、相手
の弗素樹脂製の材又は支持体に圧着し、その融
点270℃〜327℃に加熱すると弗素樹脂は固体状態
と昇華直前の状態との間で高粘度ながら溶融状態
となり、圧着され接合部が相互に溶けあい、加熱
を停止すると固着状態となる。そして、その圧着
圧力や上記温度範囲内での適当な温度および加熱
時間は融着部分の膜厚、形状等により実験的に選
択して定まるものである。

上記のように一体的に熱融着された支持体と薄
膜材とからなる弗素樹脂製のフイルタユニツト
は材を通過して過された液を網目部の開口
を経て支持体内部通路を通しボス部の中央通路へ
導びくが材および支持体が弗素樹脂のみで成つ
ており、熱融着によつて両者が液密にシールされ
ていて、他の樹脂、金属、接着剤など他の材料を
含まずにフイルタユニツトが構成されているの
で、液が強酸や強力な溶剤であつてもこれらに
侵されることなく液の清浄側に不都合な金属や
樹脂その他の有機成分等を溶出することなく精密
過の作用を持続させ前記LSI製造用の強酸や洗
浄液を不純化することがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す支持体の一例の
部分平面図、第２図は第１図の実施例のフイルタ
ユニツトの側面断面図、第３図は他の実施例を示
すフイルタユニツトの側面部分断面図である。 １，１１……弗素樹脂製の支持体、２，１２
ａ，１２ｂ……中央通孔、５，１５ａ，１５ｂ…
…内側平坦部、６，１６ａ，１６ｂ……網目部、
７，１７ａ，１７ｂ……外側平坦部、２１，２４
……弗素樹脂薄膜材。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 軸方向の中央通孔を有するボス部とその外側
   の盤状部とから成る支持体の盤状部に膜状の材
   を固着した積層型フイルタユニツトにおいて、盤
   状部は上下面共に中央ボス寄りから順次に内側平
   坦部、多数の開口を有する網目部および外側平坦
   部より成り、網目部の開口は盤状部およびボス部
   の中に設けた内部通路によつてボス部の前記中央
   通孔に連通している弗素樹脂製の支持体を具え、
   弗素樹脂製の多孔質薄膜材を前記支持体の盤状
   部の上下面に夫々配設し、上下の材の内周縁部
   を前記盤状部の内側平坦部に熱融着で液密に固着
   し、前記材の外周縁を前記網目部より外側にお
   いて熱融着により液密にシールして、材によつ
   て網目部を外部と区画したことを特徴とする弗素
   樹脂製積層型フイルタユニツト。 ２ 前記材の外周縁部が前記支持体盤状部の外
   側平坦部に熱融着により液密に固着シールされて
   いる特許請求の範囲第１項記載の弗素樹脂製積層
   型フイルタユニツト。 ３ 前記材の外周縁部が支持体盤状部の外方に
   延在して、上下の材外周縁部相互が熱融着によ
   り液密に固着シールされている特許請求の範囲第
   １項記載の弗素樹脂製積層型フイルタユニツト。