JPS59105547A - 螢光ｘ線分光装置 - Google Patents
螢光ｘ線分光装置Info
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- JPS59105547A JPS59105547A JP57215316A JP21531682A JPS59105547A JP S59105547 A JPS59105547 A JP S59105547A JP 57215316 A JP57215316 A JP 57215316A JP 21531682 A JP21531682 A JP 21531682A JP S59105547 A JPS59105547 A JP S59105547A
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 12
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 18
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000441 X-ray spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 102100025490 Slit homolog 1 protein Human genes 0.000 description 1
- 101710123186 Slit homolog 1 protein Proteins 0.000 description 1
- 238000002083 X-ray spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/076—X-ray fluorescence
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は螢光Ｘ線分光装債に関し、更に詳縄に述べると
、一方向に配置さｆｉた２組のＸ線分光器の設定角度を
夫々任意に調節可能とした螢光Ｘ線分光装置に関する。
、一方向に配置さｆｉた２組のＸ線分光器の設定角度を
夫々任意に調節可能とした螢光Ｘ線分光装置に関する。
一般に、金属中の含有元素の分析を行なう装置として、
螢光Ｘ線分析装置が知られている。この分析装置は、試
料にＸ線を照射した時に、該試料から放出される螢光Ｘ
線の周波数スペクトラムから、試料に含まねている元素
の分析を行なうものでちる。このため、この種の分析装
置にあっては、比例計数管の如へ検出素子と分光結晶板
とを組合せて成るＢ、Ｓ分光器が少なくとも１つ設けら
れており、このＸ線分光器により試料からの螢光Ｘ線の
分析を行なうように構成されているが、複数種類の含有
元素を分析する場合にあっては、分析時間の短縮化を図
るため、複数の方向についてそれぞれ２組のＸ線分光器
を備えた分析装置が用いられている。
螢光Ｘ線分析装置が知られている。この分析装置は、試
料にＸ線を照射した時に、該試料から放出される螢光Ｘ
線の周波数スペクトラムから、試料に含まねている元素
の分析を行なうものでちる。このため、この種の分析装
置にあっては、比例計数管の如へ検出素子と分光結晶板
とを組合せて成るＢ、Ｓ分光器が少なくとも１つ設けら
れており、このＸ線分光器により試料からの螢光Ｘ線の
分析を行なうように構成されているが、複数種類の含有
元素を分析する場合にあっては、分析時間の短縮化を図
るため、複数の方向についてそれぞれ２組のＸ線分光器
を備えた分析装置が用いられている。
ところで、この目的で使用されるＸ線分光器は、目的の
螢光Ｘ線スペクトラムを最高感度で検出することができ
るように、試料とのなす角度が調節しうるようになって
いるのが好捷し贋。このため、従来の装置において、２
組のＸ線分光器のうちの一方のＸ線分光器のみを、ウオ
ーム軸、及び該ウオーム軸と噛合うウオーム歯車を用い
てＸ線分光器の角度位置を所望の値に設定することがで
きるように構成したものが実用化されているが、他方の
Ｘ線分光器は、固定型のＸ線分光器となっていた。これ
は、Ｘ線分光器の角度調節は極めて精密に行なわなけれ
ばがらないため、ウオーム歯車として歯数の大きい、比
較的大型のギヤ装置を使用しなければならず、従って、
一方向にこのような大型の調節機構を２組配設すること
は、不可能であったためである。
螢光Ｘ線スペクトラムを最高感度で検出することができ
るように、試料とのなす角度が調節しうるようになって
いるのが好捷し贋。このため、従来の装置において、２
組のＸ線分光器のうちの一方のＸ線分光器のみを、ウオ
ーム軸、及び該ウオーム軸と噛合うウオーム歯車を用い
てＸ線分光器の角度位置を所望の値に設定することがで
きるように構成したものが実用化されているが、他方の
Ｘ線分光器は、固定型のＸ線分光器となっていた。これ
は、Ｘ線分光器の角度調節は極めて精密に行なわなけれ
ばがらないため、ウオーム歯車として歯数の大きい、比
較的大型のギヤ装置を使用しなければならず、従って、
一方向にこのような大型の調節機構を２組配設すること
は、不可能であったためである。
本発明の目的は、従って、一方向に設けられた２組のＸ
線分光器を、夫々目的とする螢光Ｘ線が最大感度にて検
出されるように角度調節することができるように構成き
れた螢光Ｘ線分光装置を提供することにある。
線分光器を、夫々目的とする螢光Ｘ線が最大感度にて検
出されるように角度調節することができるように構成き
れた螢光Ｘ線分光装置を提供することにある。
以下、図示の実施例により本発明の詳細な説明する。
第１図には、本発明による螢光Ｘ線分光装置１を備えた
マクロアナライザ２が概略的に示されている。マクロア
ナライザ２は、電子銃６がらの電子線４を試料５に照射
し、試料５から放出される螢光Ｘ線６，７を、本発明に
よる螢光Ｘ線分光装置１により分光２分析するように構
成されている。
マクロアナライザ２が概略的に示されている。マクロア
ナライザ２は、電子銃６がらの電子線４を試料５に照射
し、試料５から放出される螢光Ｘ線６，７を、本発明に
よる螢光Ｘ線分光装置１により分光２分析するように構
成されている。
螢光Ｘ線分光装置１ば、１つの方向について同時に２つ
の分光ができるように、２組のＸ線分光器８．９を備え
ており、これらのＸ線分光器８゜９は、駆動機構１０に
より、そわぞれ独立に、角度調節を行なえるようになっ
ている。Ｘｉ分光器８は、ソーラースリット１１９分光
結晶鈑１２゜受光ソーラースリット１３及びＸ線検出器
１４を備えて成っており、一方、ｘＷ分光器９も同様に
、ソーラースリット１５９分光結晶板１６．受光ソーラ
ースリット１７及びＸ線検出器１８を備えて成っている
。そして、螢光Ｘ線６は、図示しないフレーム等に固着
されているソーラースリット１１を介して取出さ、れ、
分光結晶板１２により反射され、Ｘ線検出器１４の受光
側に固着されている受光ソーラースリット１３を介して
Ｘ線検出器１４に入力される。
の分光ができるように、２組のＸ線分光器８．９を備え
ており、これらのＸ線分光器８゜９は、駆動機構１０に
より、そわぞれ独立に、角度調節を行なえるようになっ
ている。Ｘｉ分光器８は、ソーラースリット１１９分光
結晶鈑１２゜受光ソーラースリット１３及びＸ線検出器
１４を備えて成っており、一方、ｘＷ分光器９も同様に
、ソーラースリット１５９分光結晶板１６．受光ソーラ
ースリット１７及びＸ線検出器１８を備えて成っている
。そして、螢光Ｘ線６は、図示しないフレーム等に固着
されているソーラースリット１１を介して取出さ、れ、
分光結晶板１２により反射され、Ｘ線検出器１４の受光
側に固着されている受光ソーラースリット１３を介して
Ｘ線検出器１４に入力される。
第１図及び第２図を参照しながら、ｘ＠分光器８の構造
について述べると、分光結晶板１２は、第１歯車１９の
回転軸１９ａに固着されたホルダ２２に装着きれており
、Ｘ線検出器１４は、第１歯車１９と同軸に配置され、
第１＠車の角速度の２倍の角速度で回転する第２山車２
００回転軸２０ａに、ブラケット２１を介して固着され
ている。回転軸１９ａは、回転軸２０の内に形成された
貫通孔内に貫入されて軸承けされており、且つ、回転軸
２０ａは、フレーム２２に固着されたブロック２３に回
動自在に軸支されている。これらの歯車１９．２０は、
駆動装置１０により駆動され、入力螢光Ｘ線６の分光結
晶板１２へのＸ射角θを任意に設定すると、これに連動
してＸ線検出器１４と分光結晶枡１２との間の位置関係
が変化し、θのいかなる値に対しても、分光結晶ｆｉｉ
１２からの分光Ｘ線６ａが常に受光ソーラースリット１
３を介してＸ線検出器１４に入射されるようになってい
る。
について述べると、分光結晶板１２は、第１歯車１９の
回転軸１９ａに固着されたホルダ２２に装着きれており
、Ｘ線検出器１４は、第１歯車１９と同軸に配置され、
第１＠車の角速度の２倍の角速度で回転する第２山車２
００回転軸２０ａに、ブラケット２１を介して固着され
ている。回転軸１９ａは、回転軸２０の内に形成された
貫通孔内に貫入されて軸承けされており、且つ、回転軸
２０ａは、フレーム２２に固着されたブロック２３に回
動自在に軸支されている。これらの歯車１９．２０は、
駆動装置１０により駆動され、入力螢光Ｘ線６の分光結
晶板１２へのＸ射角θを任意に設定すると、これに連動
してＸ線検出器１４と分光結晶枡１２との間の位置関係
が変化し、θのいかなる値に対しても、分光結晶ｆｉｉ
１２からの分光Ｘ線６ａが常に受光ソーラースリット１
３を介してＸ線検出器１４に入射されるようになってい
る。
Ｘ線分光器９も全く同様に構成されており、従 ５ 一
つて、第１図において、対応する部分には同一の符号に
「′」をつけて説明を省略する。
「′」をつけて説明を省略する。
第３図には、駆動機構１０の機構図が示されている。
駆動機構１０に、ウオーム軸３１及びウオーム歯車３２
から成るウオームギヤ機構３３を有しており、ウオーム
軸３１には駆動用モータ３４が連結されている。モータ
３４は、例えばステッピングモータを用いることができ
、モータ３４の１パルス当りの回転角度を、ウオームギ
ヤ機構３４によりギヤダウンし、ウオーム歯車３２に係
合しているクラッチ３５．５／ｉを介して、Ｘ線分光器
の回転機構にモータ３４の回転力が伝達される。
から成るウオームギヤ機構３３を有しており、ウオーム
軸３１には駆動用モータ３４が連結されている。モータ
３４は、例えばステッピングモータを用いることができ
、モータ３４の１パルス当りの回転角度を、ウオームギ
ヤ機構３４によりギヤダウンし、ウオーム歯車３２に係
合しているクラッチ３５．５／ｉを介して、Ｘ線分光器
の回転機構にモータ３４の回転力が伝達される。
クラッチ３５は、ウオーム歯車３２と第２＠車２０とを
連結することができるようになっており、クラッチ３５
が接続状態となると、ウオーム歯車３２の回転が第２歯
・車２０に伝達される。第２歯車が２０回転したときに
、第１歯車１９をθだけ同一の方向に回転させるため、
θ−２θ変換歯車３７が設けられており（第２図参照）
、これによ ６− リ、分光結晶８ｉ１２がθ回転すると、Ｘ線検出器１４
は２θだけ同一方向に回転することができる。
連結することができるようになっており、クラッチ３５
が接続状態となると、ウオーム歯車３２の回転が第２歯
・車２０に伝達される。第２歯車が２０回転したときに
、第１歯車１９をθだけ同一の方向に回転させるため、
θ−２θ変換歯車３７が設けられており（第２図参照）
、これによ ６− リ、分光結晶８ｉ１２がθ回転すると、Ｘ線検出器１４
は２θだけ同一方向に回転することができる。
クラッチ３６は、ウオーム歯車５２と第２歯車２０′と
を連結することができるように設けられており、Ｘ線分
光器９に設けられているθ−２０変換歯車３７′によっ
て、Ｘ線分光器？側の分光結晶板１６がθ回転すると、
Ｘ線検出器１８が２θだけ同一方向に回転するこ、とが
できるようになっている。
を連結することができるように設けられており、Ｘ線分
光器９に設けられているθ−２０変換歯車３７′によっ
て、Ｘ線分光器？側の分光結晶板１６がθ回転すると、
Ｘ線検出器１８が２θだけ同一方向に回転するこ、とが
できるようになっている。
このような構成によると、ウオームギヤ機構を１つ設け
、各Ｘ線分光器８，９とこのウオームギヤ機構との内を
対応して設けられたクラッチにより、接続、するように
して駆動機構を共用にしたので、大きなスペースを必要
とする駆動機構が１つで済み、従って、一方向に２つの
可変型Ｘ線分光器を設けることができる。これらの２つ
のＸ線分光器８．９［、クラッチ３５．５６の操作によ
り、夫々独立に角度調節することができ、夫々目的の螢
光Ｘ線に適った最高感度位置に、各Ｘ線分光器をセット
することができる。
、各Ｘ線分光器８，９とこのウオームギヤ機構との内を
対応して設けられたクラッチにより、接続、するように
して駆動機構を共用にしたので、大きなスペースを必要
とする駆動機構が１つで済み、従って、一方向に２つの
可変型Ｘ線分光器を設けることができる。これらの２つ
のＸ線分光器８．９［、クラッチ３５．５６の操作によ
り、夫々独立に角度調節することができ、夫々目的の螢
光Ｘ線に適った最高感度位置に、各Ｘ線分光器をセット
することができる。
本発明によれば、上述の如く、駆動機構を１つ設けて共
甲する構成としたので、駆動の精度を低下せしめること
なく、一方向に配置された２組のＸ＃！分光器を可変型
とすることができ、コストの大幅な上昇なしに測定効率
を大幅に改善しつる等の優れた効果を奏する。
甲する構成としたので、駆動の精度を低下せしめること
なく、一方向に配置された２組のＸ＃！分光器を可変型
とすることができ、コストの大幅な上昇なしに測定効率
を大幅に改善しつる等の優れた効果を奏する。
第１図は本発明の一実施例の概略構成図、第２図は第１
図に示したＸ線分光器の回転機構を一部断面して示す図
、第３図は第１図に示す装置のＸ線分光器の駆動機構の
機構図である。 １・・・・・・螢光Ｘ線分光装置 ２・・自・・マクロアナライザ ４・・・・・・Ｘ線 ５・・・・・・試 刺 ６．７・・・螢光Ｘ線 ８．９ ・・・Ｘ線分光器 １０・・・・・・駆動機構 １１．１５・・・ソーラースリット １２．１６・・・分光結晶板 １４．１８・・・Ｘ線検出器 ３１・・・・・・ウオーム軸 ３２・・・・・・ウオーム歯車 ３３・・・・・・ウオームギヤ機構 ３５ 、３６ ・・・クラッチ ３７．３７’・・・θ−２０変換歯車 以 上 ９− ２４３ 第１図 第２図 ２２ ２３ ２０
ノｑ２２ ２０ａ ／’ｈ２ ２ ・・ ）１ 第３図 ２４１
図に示したＸ線分光器の回転機構を一部断面して示す図
、第３図は第１図に示す装置のＸ線分光器の駆動機構の
機構図である。 １・・・・・・螢光Ｘ線分光装置 ２・・自・・マクロアナライザ ４・・・・・・Ｘ線 ５・・・・・・試 刺 ６．７・・・螢光Ｘ線 ８．９ ・・・Ｘ線分光器 １０・・・・・・駆動機構 １１．１５・・・ソーラースリット １２．１６・・・分光結晶板 １４．１８・・・Ｘ線検出器 ３１・・・・・・ウオーム軸 ３２・・・・・・ウオーム歯車 ３３・・・・・・ウオームギヤ機構 ３５ 、３６ ・・・クラッチ ３７．３７’・・・θ−２０変換歯車 以 上 ９− ２４３ 第１図 第２図 ２２ ２３ ２０
ノｑ２２ ２０ａ ／’ｈ２ ２ ・・ ）１ 第３図 ２４１
Claims (2)
- （１）分光結晶板とＸ線検出器とが所定の位置関係をも
って移動しつるように構成された可変形Ｘ線分光器を２
組有し、各可変形Ｘ線分光器を１組のウオームギヤ装置
により夫々駆動することを特徴とする螢光Ｘ線分光装置
。 - （２）前記可変形ｘｄ分光器に夫々対応したクラッチ装
置が設けられており、該クラッチ装置を介して前記ウオ
ームギヤ装置の駆動力が対応する可変形Ｘ線分光器に伝
達されることを特徴とする特許請求の頓囲第１項記載の
螢光Ｘ線分光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57215316A JPS59105547A (ja) | 1982-12-08 | 1982-12-08 | 螢光ｘ線分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57215316A JPS59105547A (ja) | 1982-12-08 | 1982-12-08 | 螢光ｘ線分光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59105547A true JPS59105547A (ja) | 1984-06-18 |
Family
ID=16670290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57215316A Pending JPS59105547A (ja) | 1982-12-08 | 1982-12-08 | 螢光ｘ線分光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59105547A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4959848A (en) * | 1987-12-16 | 1990-09-25 | Axic Inc. | Apparatus for the measurement of the thickness and concentration of elements in thin films by means of X-ray analysis |
| JP2003506701A (ja) * | 1999-08-10 | 2003-02-18 | コラス・アルミニウム・バルツプロドウクテ・ゲーエムベーハー | 金属シートの厚み測定用のｘ線蛍光センサー |
-
1982
- 1982-12-08 JP JP57215316A patent/JPS59105547A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4959848A (en) * | 1987-12-16 | 1990-09-25 | Axic Inc. | Apparatus for the measurement of the thickness and concentration of elements in thin films by means of X-ray analysis |
| JP2003506701A (ja) * | 1999-08-10 | 2003-02-18 | コラス・アルミニウム・バルツプロドウクテ・ゲーエムベーハー | 金属シートの厚み測定用のｘ線蛍光センサー |
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