JPS59115642U - 半導体ウエフア - Google Patents

半導体ウエフア

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JPS59115642U
JPS59115642U JP942583U JP942583U JPS59115642U JP S59115642 U JPS59115642 U JP S59115642U JP 942583 U JP942583 U JP 942583U JP 942583 U JP942583 U JP 942583U JP S59115642 U JPS59115642 U JP S59115642U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
test circuit
semiconductor wafer
circuit chip
chips
semiconductor integrated
Prior art date
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Pending
Application number
JP942583U
Other languages
English (en)
Inventor
今関　秀一
久之 長峰
Original Assignee
日本電気アイシ−マイコンシステム株式会社
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来の半導体ウェファの説明図、第２図は本
考案を実施した半導体ウェファの例の部分拡大図である
。 １・・・・・・半導体・ウェファ、２・・・・・・半導
体集積回路チップ、３・・・・・・試験用回路部、４・
・・・・・半導体集積回路、５・・・・・・半導体集積
回路用パッド、６・・・・・・試験回路、７・・・・・
・試験回路用パッド、８・・・・・・試験回路識別パタ
ーン、９・・・・・・試験回路識別パターン用パッド。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 分割されてチップ状となるべき多数個の半導体集積回路
    チップと、試験回路チップとを含む半導体ウェファにお
    いて、前記試験回路チップのパラ１＝配置が前記半導体
    集積回路チップのパッド配置と共通部分を有するように
    し、かつ試験回路チップはそれが試験回路であることを
    測定システムに認識させるための回路パターンを有する
    ことを特徴とする半導体ウェファ。
JP942583U 1983-01-26 1983-01-26 半導体ウエフア Pending JPS59115642U (ja)

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JP942583U JPS59115642U (ja) 1983-01-26 1983-01-26 半導体ウエフア

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JPS59115642U true JPS59115642U (ja) 1984-08-04

Family

ID=30140886

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JP942583U Pending JPS59115642U (ja) 1983-01-26 1983-01-26 半導体ウエフア

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54148485A (en) * 1978-05-15 1979-11-20 Nec Corp Test method for semiconductor device
JPS5776854A (en) * 1980-10-30 1982-05-14 Nec Corp Semiconductor device
JPS582039A (ja) * 1981-06-25 1983-01-07 Fujitsu Ltd 半導体基板

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54148485A (en) * 1978-05-15 1979-11-20 Nec Corp Test method for semiconductor device
JPS5776854A (en) * 1980-10-30 1982-05-14 Nec Corp Semiconductor device
JPS582039A (ja) * 1981-06-25 1983-01-07 Fujitsu Ltd 半導体基板

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