JPS5911649A - 物品収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体装置等の収納に用いる物品収納装置に関
する。

半導体装置の高密度集積化が進む今日、微細加工を推進
する基本として、無塵化が最も重要な課題となっている
。

一万、半導体の結晶成長に近年広く行なわ扛、急速に研
究開発の進んできた分野であるが、半導体基板や、成長
用溶液を構成するメタル等の処理の際、無塵化を基本と
したそｎらの収納装置が完備さｎておらず、従来は第１
図ａ、　　ｂ、　　ｃに示すように清浄かつ使い捨て可
能な濾紙等を様々の形に作り、収納装置として使用さｎ
ていた。しかし、濾紙を用いた収納装置は絶縁性である
ため収納した半導体素子が静電気により破壊さｎること
が多かった。また、一度使用した収納装置は、使い捨て
のためコストが高くついた。

本発明に上記従来の欠点ｒ除去するもので、無塵化を図
ｎる半導体装置や金属体等の物品収納装置を提供するも
のである。

以下図面をもとに本発明の詳細な説明する。

第２図ａ、　　ｂに示すように金属ンートに折って収納
装置音形成するための折り曲げ用加工線を同金属シート
に形成する。この折り曲げ用加工線の形成には第２図ａ
、ｂＶ？−示すミシン線のような加工１ｂを施したり、
折り曲げ線の部分をその両側の金属シートの厚さより薄
くする加工１２Ｌを施す方法がとらｎる〇 金属シートの種類としては、銅や鉄のように半導体中で
深い不純物準位を作る金属は避け、又、折り曲げ加工が
容易な金属を選ぶ必要がある。この点から、金属シート
としてアルミニウム、ジュラルミン、ステンレスのいず
ｎかが収納装置の材料として最適である。

第３図＆に不発明の実施例による物品収納装置ケ形成す
るための金属シートを示しており、直径１５Ｃｍの円形
のアルミニウムのシートに折り曲げ用力１１丁線２勿設
けたものである。このアルミニウムのシートによジ第４
図に示す形状の収納装置３ができる。

この収納容器３の使用方法を説明するとＧａＡｓ　。

ＧａＡｌＡｓの液相成長に際して、ＧａＡｓ基板５およ
び成長用溶液を構成する材料４をエツチング処理した後
、第４図の工つに不発明の実施例の収納装置３に収納し
、赤外線ランプ６で乾燥させる。この収納装置を使用す
ることにより処理中での塵の防止ができる。

第３図すは不発明の他の実施例における収納装置全形成
するための金属シートラ示しており、−辺１５αの正方
形のジュラルミンシートに折り曲げ用加工線７を設けた
ものである。同ジュラルミンンートＶＣ，ｆ：り第５図
に示さｎるような収納容器が形成さｎる。同図において
８は収納容器に収納さｎた半導体素子を示している。こ
の容器は導電性であるので、ステムにマウントさｎた電
界効果トランジスタ等の半導体素子を静電気による破壊
から保護するのに最適な収納容器となる。

以上説明した不発明の物品収納装置に、洗浄等により何
度も使用でき、また半導体素子を収納する場合、静電破
壊を防止できるもので工業上の利用価値が高い。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ、　　ｂ、　　ｃに沖紙を用いた従来の物品収
納装置を示す斜視図、第２図＆、ｂｉ不発明の物品収納
装置を形成するのに必要な金属シートへの折り曲げ線の
構成を示す平面図および正面図、第３図ａ、　　ｂはそ
几ぞｎ本発明の実施例における物品収納装置を形成する
ための金属シートの平面図、第４図に不発明の物品収納
装置の使用方法を示す図、第５図は第３図すの金属シー
トより形成さｎる物品収納装置の斜視図である。 １ａ、１ｂ、２，７・・・・・・折り曲げ線、３・・・
・・・収納装置、４・・・・・・溶液の構成材料、６，
８・・・・・・半導体素子、６・・・・・・赤外線ラン
プ。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 （Ｃス・）　　　　　　　　（１））　　　　　　　　
　　（Ｃ）第２図 第３図 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. アルミニウム、ジュラルミンまたにステンレスのいずｎ
   かからなる金属性シートに形成さｆ′Ｌ、た折り曲げ用
   加工線に沿って前記金属性シートを折り曲げて収納体と
   した物品収納装置。