JPS59122000A - 半導体装置の移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、例えば完成された半導体装置を自動測定機
（オートハンドラ）′に供給する半導体装置の移送装置
に関する。

〔発明の技術的背景〕

完成された半導体装置は、自動測定機（オートハンドラ
）に供給し、それぞれ半導体装置の複数のリード端子に
対して測定用端子を接触接続して、正常に機能するか否
かをチェックしているもので、この半導体装置はシュー
トレールによって測定端子部に移送されるようにする。

このシー−トレールは、例えば半導体製造装置の樹脂封
止工程部から、完成された半導体装置が落下移送される
ように設定されるもので、半導体装置の表裏両面部を挾
持するようにした本体レールおよびおさえレールからな
シ、本体レールに対して半導体装置のリード端子が跨が
るように設定する。

す力わち完成された半導体装置は、このシュートレール
部を落下するように移動し、測定機の測定部に供給され
る↓うになる。

〔背景技術の問題点〕

しかしながら、例えば移送される半導体装置のリード端
子部に曲がυ等の損傷があった時には、シュートレール
に連設される自動測定機部において、その測定用端子部
等に上記損傷したリード端子が引掛かシ、移送される半
導体装置が停滞）−る状態となる。

この移送される半導体装置が停止する状態となると、自
動測定機を始めとして、全体的に関連動作する装置を停
止させる事故状態となる。

このようなリード曲がりが原因で関連装置を停止させる
損失時間は、他のトラブルも含めた全体の停止時間に対
して、５０部６以上を占める状態となる。すなわち、半
導体装置の製造および検査工程に対応する関連装置全体
の稼動率を大幅に低下させる結果となる。

〔発明の目的〕

この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、例えばリード曲がυの生じた半導体装置がシ
ュートレール内に流れた場合、この半導体装置を次の装
置に供給することなく、即時自動的に取シ除くことがで
きるようにする半導体装置の移送装置を提供することを
目的とする。

〔発明の概要〕

すなわちこの発明に係る半導体装置の移送装置は、シュ
ートレールの特定される部分に中継レールを設け、この
中継レール部で例えばリード曲がシ等の損傷のある半導
体装置を故意に停止させ、その半導体装置を排出するよ
うにしたものである。

〔発明の実施例〕

以下図面によシこの発明の一実施例を説明する。

第１図および第２図はその構成を示すもので、この装置
には完成された半導体装置１１を例えば垂直状態に移送
するシュートレール１２を備えている。このシー−トレ
ール１２は、半導体装置１１のリード端子１１ａ、ｌｌ
ｂ・・・部が跨るように設定される本体レール１２ａと
、この本体レール１２ａに近接対向し、移送される半導
体装置１１をおさえるおさえレール１２ｂとカラなる。

このシー−トレール１２の途中ニハ、中継レール１３を
介在させるもので、この中継レール１３には、落下移送
される半導体装置１１のリード端子１１ａ、ｌｌｂ・・
・が通過する両側面を囲むようにして制限片１４を設け
る。

この制限片１４は上記中継レール１３に落下してくる半
導体装置１ノの、リード端子１１ａ。

１１ｂ・・・の進行経路間隔を、一定間隔Ａに制限して
設定するものである。

またおさえレール１２ｂに対応して背面保持板１５を設
け、落下する半導体装置１ノは本体レール１２ａＫ＆っ
て制限片１４、背面保持板１５で囲まれる空間を通過す
るようにされる。

そしてこれら中継レール１３部は、例えばモータ１６に
よって予め設定された角度で、例えば水平状にまで回動
されるように構成する。さらに、この回動された中継レ
ール１３に停止された半導体装置を排出するために、送
風用エアパイプ１７を設けるようにする。

上記中継レール１３に後続して連設されるシュートレー
ル１２には、半導体装置１１の落下経路を横切るように
して通過センサ１８を設ける。この通過センサ１８は、
半導体装置１１が中継レール１３を通過したことを検出
するもので、特に図では示してないが、このセンサ１８
から特定される時間間隔が経過しても検出信号が得られ
ない場合に、損傷半導体装置検出の指令を出し、上記モ
ータ１６を駆動して中継レール１３を回動させるように
する。

すなわちシュートレール１２を落下してくる半導体装置
１ノのリード端子１１ａ、ｌｌｂ・・・に、一定間隔Ａ
を越える幅のリード曲がシが存在するような場合には、
この半導体装置は制限片１４によって中継レール１３部
で停止される。

これによシ半導体装置は通過せず、損傷半導体装置検出
の信号が発せられ、モータ１６が駆動されて中継レール
１３を水平状態まで回動する。

したがって、制限片１４に引掛がシ停止していた半導体
装置は、エアパイプ１７がらの圧縮空気によシ、中継レ
ール１３から吹き出し排出されるようＫなシ、図示しな
い不良品ケース等に収容されるようになる。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、完成された半導体装置
を、測定機等に供給するシュートレール部において、リ
ード端子部が９等の生じた不良半導体装置を振シ分けて
排出するようになシ、例えばシュートレールの連続して
設けられる自動測定機の測定端子部に、上記不良品が引
掛かシ停滞する障害を確実に防止することができ、不要
な停止時間を生じさせることなく、半導体製造工程およ
び検査工程等を効率的に稼動させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例に係る半導体装置の移送装
置を説明する構成図、第２図は第１図のｌ−１線断面図
である。 １１・・・半導体装置、１１ａ、１１ｂ・・・リード端
子、１２・・・シー−トレール、１３・・・中継レール
、１４・・・制限片、１６・・・モータ、１７・・・エ
アパイプ、１８・・・通過センサ。 、＠　１　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. リード端子が跨るようにして半導体装置を落下移送する
   シュートレールと、このシュートレールを一部区画して
   設定した中継レールと、この中継レール部分に設けられ
   落下してくる半導体装置のリード端子の進行経路を制限
   する制限片と、上記中継レールを半導体装置が通過した
   ことを検出する通過センサと、この通過センサが一定時
   間以上検出動作しない時に上記中継レールをシュートレ
   ール部から外し制限片で停止された半導体装置を排出す
   る手段とを具備したことを特徴とする半導体装置の移送
   装置。