JPS59126233A - プリント板のスルーホール検査方法及びその装置 - Google Patents
プリント板のスルーホール検査方法及びその装置Info
- Publication number
- JPS59126233A JPS59126233A JP22836982A JP22836982A JPS59126233A JP S59126233 A JPS59126233 A JP S59126233A JP 22836982 A JP22836982 A JP 22836982A JP 22836982 A JP22836982 A JP 22836982A JP S59126233 A JPS59126233 A JP S59126233A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95692—Patterns showing hole parts, e.g. honeycomb filtering structures
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）０発明の技術分野
本発明はプリント板のスルーホール内壁に生じたピンホ
ールなどの欠陥を光学的に検・出するためのスルーホー
ル検査装置に関するものである。
ールなどの欠陥を光学的に検・出するためのスルーホー
ル検査装置に関するものである。
（２）、技術の背景
両面プリント板の表裏導体の接続、あるいは多層プリン
ト板の層間導体の接続には、スルーホールメッキ法が広
く用いられている。かかるスルーホールメッキ法は、導
体を積層した絶縁基板に予め孔あけ加工し、この透孔内
壁面に化学的あるいは電気的にメッキ層を生成すること
で導体間を電気的に接続するものであるが、該メッキ［
Ｕミクロン単位の厚さであるとともに、透孔内壁面の凹
凸が激しく、かつ小径であるため、スルーホールの生成
メッキ層にピンホール、切れ目等の欠陥が生じる場合が
往々あり、そしてメッキ層の欠陥部が太きいと、導体間
の電気的導通の不良につながシ、プリント板の信頼性の
上で大きな問題となる。従って、このようなスルーホー
ルの欠陥を容易にかつ確実に検査できることが望まれて
いる。
ト板の層間導体の接続には、スルーホールメッキ法が広
く用いられている。かかるスルーホールメッキ法は、導
体を積層した絶縁基板に予め孔あけ加工し、この透孔内
壁面に化学的あるいは電気的にメッキ層を生成すること
で導体間を電気的に接続するものであるが、該メッキ［
Ｕミクロン単位の厚さであるとともに、透孔内壁面の凹
凸が激しく、かつ小径であるため、スルーホールの生成
メッキ層にピンホール、切れ目等の欠陥が生じる場合が
往々あり、そしてメッキ層の欠陥部が太きいと、導体間
の電気的導通の不良につながシ、プリント板の信頼性の
上で大きな問題となる。従って、このようなスルーホー
ルの欠陥を容易にかつ確実に検査できることが望まれて
いる。
（３）、従来技術の問題点
従来、プリント板のスルーホール検査方式は、検査用光
源で照明される側のプリント板のスルーホール部分をマ
スクし、そして非マスク部分よりプリント板の基板材内
に入射して拡散された光がスルーホール内に漏れている
か否かを光検知器により検知することで、スルーホール
にピンホール等の欠陥を検出するようになっている。
源で照明される側のプリント板のスルーホール部分をマ
スクし、そして非マスク部分よりプリント板の基板材内
に入射して拡散された光がスルーホール内に漏れている
か否かを光検知器により検知することで、スルーホール
にピンホール等の欠陥を検出するようになっている。
しかし、かかる従来方式では、スルーホールの有無及び
その位置を知ることができない。このため、プリント板
の基板材部分が検査位置に割出された場合には、基板材
内部を透過した光が光検知器で感知され、その結果、あ
たかもスルーホール欠陥があるかの如く判断されること
になるほか、スルーホールの検査位置への割出位置がず
れてランド部分が光検知器に対向していた場合には、ス
ルーホールに欠陥があっても、欠陥がないと判定されて
しまうことになる。
その位置を知ることができない。このため、プリント板
の基板材部分が検査位置に割出された場合には、基板材
内部を透過した光が光検知器で感知され、その結果、あ
たかもスルーホール欠陥があるかの如く判断されること
になるほか、スルーホールの検査位置への割出位置がず
れてランド部分が光検知器に対向していた場合には、ス
ルーホールに欠陥があっても、欠陥がないと判定されて
しまうことになる。
（４）１発明の目的
本発明は上記従来の問題を解決したもので、スルーホー
ルの有無、位置及び欠陥の有無を検知可能にし、併せて
スルーホール検査の確実性及び能率化を図るようにした
プリント板のスルーホール検査装置を提供することを目
的とする。
ルの有無、位置及び欠陥の有無を検知可能にし、併せて
スルーホール検査の確実性及び能率化を図るようにした
プリント板のスルーホール検査装置を提供することを目
的とする。
（５）１発明の構成
上記目的全達宰するために本発明のプリント板のスルー
ホール検査装置は、プリント板に形成されたスルーホー
ルの一端開口を特定波長の光のみを透過させるフィルタ
によりマスクするとともに、このマスク面側から上記フ
ィルタを透過する光と該フィルタを透過しない光の双方
を発する照明装置に、ｌ：９照明し、かつ上記マスク面
と反対の側には、上記フィルタ全透過する光を検知して
スルーホールの位置を検知するための、及び上記フィル
タを透過しない光を検知することでスルーホールの欠陥
を検知するための光検知手段を設置したものである。
ホール検査装置は、プリント板に形成されたスルーホー
ルの一端開口を特定波長の光のみを透過させるフィルタ
によりマスクするとともに、このマスク面側から上記フ
ィルタを透過する光と該フィルタを透過しない光の双方
を発する照明装置に、ｌ：９照明し、かつ上記マスク面
と反対の側には、上記フィルタ全透過する光を検知して
スルーホールの位置を検知するための、及び上記フィル
タを透過しない光を検知することでスルーホールの欠陥
を検知するための光検知手段を設置したものである。
（６）０発明の実施例
以下、本発明の実施例を図面によって説明する。
第１図は本発明にかかるプリント板のスルーホール検出
装置７ｊの一例を示すもので、１は検査されるプリント
板であり、このプリント板１を構成するノ４（板材２は
、例えばガラス繊維にエポキシｉＩ脂を含浸させた光透
過性の物質から成り、そして基板材２に穿設した透孔２
ａの内壁にメッキ層３を生成することで表裏導体（ラン
ド部）を電気的に接続するスルーホール４が形成されて
いる。
装置７ｊの一例を示すもので、１は検査されるプリント
板であり、このプリント板１を構成するノ４（板材２は
、例えばガラス繊維にエポキシｉＩ脂を含浸させた光透
過性の物質から成り、そして基板材２に穿設した透孔２
ａの内壁にメッキ層３を生成することで表裏導体（ラン
ド部）を電気的に接続するスルーホール４が形成されて
いる。
このようにしたプリント板１の一面側には、スルーホー
ル４の一端開口をマスクするフィルタ５が密接状態に配
置されてお夕、このフィルタ５は特定波長の光、例えば
緑色の光のみが透過するものである。寸た、上記フィル
タ５の配置側には、上記フィルタ５を透過する光（例え
ば緑色）と、該フィルタ５を透過しない波長の光、例え
ば赤色の光の双方を発する照明装置６が配置されている
。７は上記プリント板１の他面側において、検査される
スルーホール４に対向して配置された集光レンズで、ス
ルーホール４内全透過してくる光を集光するものであり
、このレンズ７の光軸上にはノ・−フミラー８及び緑色
の光のみを透過するフィルタ９を介してスルーホール４
の有無及び位置を検知する光検知器１０が設置され、さ
らに上記ノ・−フミラー８による反射光軸上には赤色の
光のみ全透過するフィルタ１１を介してスルーホール４
の欠陥を検知する光検知器２が設置されている。また、
上記両光検知器１０．１２の出力側にはコンパレータ１
３．１４、がそれぞれ接続されており、これらコンパレ
ータ１３．１４はそれぞれの光検知器１０又は１２がス
ルーホール４の位置又は欠陥を検知したとき、その出力
を「１」にするものであり、各コンパレータ１３．１４
の出力はアンド回路１５に入力され、このアンド回路１
５の論理条件が成立したとき、欠陥信号Ｓを送出するよ
うになっている。
ル４の一端開口をマスクするフィルタ５が密接状態に配
置されてお夕、このフィルタ５は特定波長の光、例えば
緑色の光のみが透過するものである。寸た、上記フィル
タ５の配置側には、上記フィルタ５を透過する光（例え
ば緑色）と、該フィルタ５を透過しない波長の光、例え
ば赤色の光の双方を発する照明装置６が配置されている
。７は上記プリント板１の他面側において、検査される
スルーホール４に対向して配置された集光レンズで、ス
ルーホール４内全透過してくる光を集光するものであり
、このレンズ７の光軸上にはノ・−フミラー８及び緑色
の光のみを透過するフィルタ９を介してスルーホール４
の有無及び位置を検知する光検知器１０が設置され、さ
らに上記ノ・−フミラー８による反射光軸上には赤色の
光のみ全透過するフィルタ１１を介してスルーホール４
の欠陥を検知する光検知器２が設置されている。また、
上記両光検知器１０．１２の出力側にはコンパレータ１
３．１４、がそれぞれ接続されており、これらコンパレ
ータ１３．１４はそれぞれの光検知器１０又は１２がス
ルーホール４の位置又は欠陥を検知したとき、その出力
を「１」にするものであり、各コンパレータ１３．１４
の出力はアンド回路１５に入力され、このアンド回路１
５の論理条件が成立したとき、欠陥信号Ｓを送出するよ
うになっている。
次に上記のように構成された本実施例の動作について説
明する。
明する。
プリント板１のスルーホール４０１つが検査位置に割出
された状態において、照明装置６から緑と赤色の光１６
がプリント板１の下面に向は照射されると、緑色の光が
スルーホール４をマスクしているフィルタ５を透過し、
スルーホール４内全通して集光レンズ７に達する。そし
て該緑色の透過光は集光レンズ７により集光され、ハー
フミラ−８全通してフィルタ９に投光される一方、ハー
フミラ−によシ反射されてフィルタ１１に投光される。
された状態において、照明装置６から緑と赤色の光１６
がプリント板１の下面に向は照射されると、緑色の光が
スルーホール４をマスクしているフィルタ５を透過し、
スルーホール４内全通して集光レンズ７に達する。そし
て該緑色の透過光は集光レンズ７により集光され、ハー
フミラ−８全通してフィルタ９に投光される一方、ハー
フミラ−によシ反射されてフィルタ１１に投光される。
ここで、フィルタ１１は緑色の光を通さないため、光検
知器１２は動作しない。一方、フィルタ９は緑色の光を
通すため、該光は光検知器１０により検知され、これに
より割出位置にスルーホール４があることを検知すると
同時に、スルーホール４の位置をも検知し、その信号を
コンバレ〜り１３に送出して、該コンパレータ１３の出
力を「１」にする。
知器１２は動作しない。一方、フィルタ９は緑色の光を
通すため、該光は光検知器１０により検知され、これに
より割出位置にスルーホール４があることを検知すると
同時に、スルーホール４の位置をも検知し、その信号を
コンバレ〜り１３に送出して、該コンパレータ１３の出
力を「１」にする。
また、照明装置６からの赤色の光でプリント板１の下面
が照明されると、該光は基板材２内に入射し拡散される
。このとき、スルーホール４に鼾ンホール等の欠陥がな
ければ、拡散光はスルーホール４内に漏れることがなく
、従って光検知器１２も動作イれることがない。
が照明されると、該光は基板材２内に入射し拡散される
。このとき、スルーホール４に鼾ンホール等の欠陥がな
ければ、拡散光はスルーホール４内に漏れることがなく
、従って光検知器１２も動作イれることがない。
しかるに、スルーホール４に欠陥３ａがあると、基板材
２内で拡散した光は欠陥３ ’ａ ｆ通してスルーホー
ル４内に漏れる。この光はレンズ７及びハーフミラ−８
にそれぞれのフィルタ９．１１に向は投射される。この
とき、フィルタ９は赤色の光を透過させないため、該光
によって光検知器１０が動作されないが、フィルタ１１
は赤色の光を透過させるため、該光は光検知器１２によ
°り検知され、これによシ検査位置に割出されたスルー
ホール４に欠陥があることを検知すると同時に、信号を
送出してコンパレータ１４の出力を「１」にする。コン
パレータ１３．１４の出力が共に「１」となってアンド
回路１５の論理条件が成立すると、検査位置に割出され
たスルーホール４に欠陥があると判定し、欠陥信号Ｓを
送出する。
２内で拡散した光は欠陥３ ’ａ ｆ通してスルーホー
ル４内に漏れる。この光はレンズ７及びハーフミラ−８
にそれぞれのフィルタ９．１１に向は投射される。この
とき、フィルタ９は赤色の光を透過させないため、該光
によって光検知器１０が動作されないが、フィルタ１１
は赤色の光を透過させるため、該光は光検知器１２によ
°り検知され、これによシ検査位置に割出されたスルー
ホール４に欠陥があることを検知すると同時に、信号を
送出してコンパレータ１４の出力を「１」にする。コン
パレータ１３．１４の出力が共に「１」となってアンド
回路１５の論理条件が成立すると、検査位置に割出され
たスルーホール４に欠陥があると判定し、欠陥信号Ｓを
送出する。
また、検査位置へのスルーホール４の位置決めがなされ
なかったり、大幅にずれているようｆ：！場合は、基板
材２を透過する赤色の光が光検知器１２により検知され
たとしても欠陥信号Ｓが送出されることがない。
なかったり、大幅にずれているようｆ：！場合は、基板
材２を透過する赤色の光が光検知器１２により検知され
たとしても欠陥信号Ｓが送出されることがない。
従って、上記のような本実施例にあっては、特定波長の
光のみを透過するフィルタ５にょクスルーホールをマス
クし、そしてこのマスク側から上記フィルタ５を透過す
る光と透過しない光の双方で照明し、スルーホール内を
透過する双方の光が光検知器にょシ検知されたとき欠陥
と判定するようにしたので、スル一ホールの欠陥の有無
検査が確実となり、その検査能率も向上できるほか、ス
ルーホールの有無及びその位置も検知できる。
光のみを透過するフィルタ５にょクスルーホールをマス
クし、そしてこのマスク側から上記フィルタ５を透過す
る光と透過しない光の双方で照明し、スルーホール内を
透過する双方の光が光検知器にょシ検知されたとき欠陥
と判定するようにしたので、スル一ホールの欠陥の有無
検査が確実となり、その検査能率も向上できるほか、ス
ルーホールの有無及びその位置も検知できる。
第２図は本発明の他の実施例を示すもので、第１図の場
合と同様にプリント板１に形成したスルーホール４の一
端開口を緑色の光のみを透過するフィルタ５によシマス
フし、そして）第２図（ａ）に示す如くまず緑色の光１
７にょυプリ。
合と同様にプリント板１に形成したスルーホール４の一
端開口を緑色の光のみを透過するフィルタ５によシマス
フし、そして）第２図（ａ）に示す如くまず緑色の光１
７にょυプリ。
ント板１の下面をフィルタ５側から照明し、フィルタ５
を透過する光をスルーホール対向位置 −に設けた光検
知器１８で検知してスルーホール４の有無及び位置を検
知する。次に、第２図（ｂ）に示す如く緑色の光に代え
て赤色の光１９によυプリント板１の下面を照明し、こ
のときスルーホール４に欠陥３ａがあれば、基板材２内
部に入射して拡散された光が欠陥３ａを通してスルーホ
ール４内に漏れ、この光を光検知器１８で検知する。
を透過する光をスルーホール対向位置 −に設けた光検
知器１８で検知してスルーホール４の有無及び位置を検
知する。次に、第２図（ｂ）に示す如く緑色の光に代え
て赤色の光１９によυプリント板１の下面を照明し、こ
のときスルーホール４に欠陥３ａがあれば、基板材２内
部に入射して拡散された光が欠陥３ａを通してスルーホ
ール４内に漏れ、この光を光検知器１８で検知する。
この実施例にあっては、欠陥判定のための論理構成が上
記実施例のものより多少後Ｈになるが、その他は上記実
施例と同様な効果が得られる。
記実施例のものより多少後Ｈになるが、その他は上記実
施例と同様な効果が得られる。
（７）０発明の詳細
な説明した通シ、本発明のスルーホール検査装置におい
ては、スルーホールの有無及び位置を検知できるととも
に欠陥の有無も検知でき、このため、スルーホールの欠
陥検知を確実にかつ正確にでき、検査能率も向上できる
効果がある。
ては、スルーホールの有無及び位置を検知できるととも
に欠陥の有無も検知でき、このため、スルーホールの欠
陥検知を確実にかつ正確にでき、検査能率も向上できる
効果がある。
第１図は本発明にかかるプリント板のスルーホール検査
装置の一例を示す構成図、第２図（ａ） 、 （ｂ）は
本発明の他の実施を示す構成図である。 符号の説明 工はプリント板、２は基板材、４はスルーホール、５は
マスク用フィルタ、６は照明装置、８はハーフミラ−１
９，１１はフィルタ、１０，１２．１８は光検知器。 特許出願人 富士通株式会社
装置の一例を示す構成図、第２図（ａ） 、 （ｂ）は
本発明の他の実施を示す構成図である。 符号の説明 工はプリント板、２は基板材、４はスルーホール、５は
マスク用フィルタ、６は照明装置、８はハーフミラ−１
９，１１はフィルタ、１０，１２．１８は光検知器。 特許出願人 富士通株式会社
Claims (1)
- プリント板Ｖこ形成したスルーホールの一端開口を特定
波長の光のみを透過するフィルタによシマスフするとと
もに、このマスク面側から上記フィルタを透過する光と
該フィルタを透過しない光の双方を発する照明装置によ
り照明し、かつ上記マスク面と反対の側には、上記フィ
ルタを透過する光を検知してスルーホールの位Ｗ−＋検
知するための、及び上記フィルタを透過しない光を検知
することでスルーホールの欠陥を検知するための光検知
手段ｆ設けたことを特徴とするプリント板のスルーホー
ル検査装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22836982A JPS59126233A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | プリント板のスルーホール検査方法及びその装置 |
| US06/554,543 US4560273A (en) | 1982-11-30 | 1983-11-23 | Method and apparatus for inspecting plated through holes in printed circuit boards |
| DE8383307291T DE3377527D1 (en) | 1982-11-30 | 1983-11-30 | Method and apparatus for inspecting plated through holes in printed circuit boards |
| EP83307291A EP0111404B1 (en) | 1982-11-30 | 1983-11-30 | Method and apparatus for inspecting plated through holes in printed circuit boards |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22836982A JPS59126233A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | プリント板のスルーホール検査方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59126233A true JPS59126233A (ja) | 1984-07-20 |
| JPH0442622B2 JPH0442622B2 (ja) | 1992-07-14 |
Family
ID=16875379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22836982A Granted JPS59126233A (ja) | 1982-11-30 | 1982-12-27 | プリント板のスルーホール検査方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59126233A (ja) |
-
1982
- 1982-12-27 JP JP22836982A patent/JPS59126233A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0442622B2 (ja) | 1992-07-14 |
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