JPH0442622B2 - - Google Patents
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- JPH0442622B2 JPH0442622B2 JP22836982A JP22836982A JPH0442622B2 JP H0442622 B2 JPH0442622 B2 JP H0442622B2 JP 22836982 A JP22836982 A JP 22836982A JP 22836982 A JP22836982 A JP 22836982A JP H0442622 B2 JPH0442622 B2 JP H0442622B2
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- light
- filter
- specific wavelength
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95692—Patterns showing hole parts, e.g. honeycomb filtering structures
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(1) 発明の技術分野
本発明はプリント板のスルーホール内壁に生じ
たピンホールなどの欠陥を光学的に検出するため
のスルーホール検査方法及びその装置に関するも
のである。
たピンホールなどの欠陥を光学的に検出するため
のスルーホール検査方法及びその装置に関するも
のである。
(2) 技術の背景
両面プリント板の表裏導体の接続、あるいは多
層プリント板の層間導体の接続には、スルーホー
ルメツキ法が広く用いられている。かかるスルー
ホールメツキ法は、導体を積層した絶縁基板に予
め孔あけ加工し、この透孔内壁面に化学的あるい
は電気的にメツキ層を生成することで導体間を電
気的に接続するものであるが、該メツキ層はミク
ロン単位の厚さであるとともに、透孔内壁面の凹
凸が激しく、かつ小径であるため、スルーホール
の生成メツキ層にピンホール、切れ目等の欠陥が
生じる場合が往々あり、そしてメツキ層の欠陥部
が大きいと、導体間の電気的導通の不良につなが
り、プリント板の信頼性の上で大きな問題とな
る。従つて、このようなスルーホールの欠陥を容
易にかつ確実に検査できることが望まれている。
層プリント板の層間導体の接続には、スルーホー
ルメツキ法が広く用いられている。かかるスルー
ホールメツキ法は、導体を積層した絶縁基板に予
め孔あけ加工し、この透孔内壁面に化学的あるい
は電気的にメツキ層を生成することで導体間を電
気的に接続するものであるが、該メツキ層はミク
ロン単位の厚さであるとともに、透孔内壁面の凹
凸が激しく、かつ小径であるため、スルーホール
の生成メツキ層にピンホール、切れ目等の欠陥が
生じる場合が往々あり、そしてメツキ層の欠陥部
が大きいと、導体間の電気的導通の不良につなが
り、プリント板の信頼性の上で大きな問題とな
る。従つて、このようなスルーホールの欠陥を容
易にかつ確実に検査できることが望まれている。
(3) 従来技術の問題点
従来、プリント板のスルーホール検査方式は、
検査用光源で照明される側のプリント板のスルー
ホール部分をマスクし、そして非マスク部分より
プリント板の基板材内に入射して拡散された光が
スルーホール内に漏れているか否かを光検知器に
より検知することで、スルーホールにピンホール
等の欠陥を検出するようになつている。
検査用光源で照明される側のプリント板のスルー
ホール部分をマスクし、そして非マスク部分より
プリント板の基板材内に入射して拡散された光が
スルーホール内に漏れているか否かを光検知器に
より検知することで、スルーホールにピンホール
等の欠陥を検出するようになつている。
しかし、かかる従来方式では、スルーホールの
有無及びその位置を知ることができない。このた
め、プリント板の基板材部分が検査位置に割出さ
れた場合には、基板材内部を透過した光が光検知
器で感知され、その結果、あたかもスルーホール
欠陥があるかの如く判断されることになるほか、
スルーホールの検査位置への割出位置がずれてラ
ンド部分が光検知器に対向していた場合には、ス
ルーホールに欠陥があつても、欠陥がないと判定
されてしまうことになる。
有無及びその位置を知ることができない。このた
め、プリント板の基板材部分が検査位置に割出さ
れた場合には、基板材内部を透過した光が光検知
器で感知され、その結果、あたかもスルーホール
欠陥があるかの如く判断されることになるほか、
スルーホールの検査位置への割出位置がずれてラ
ンド部分が光検知器に対向していた場合には、ス
ルーホールに欠陥があつても、欠陥がないと判定
されてしまうことになる。
(4) 発明の目的
本発明は上記従来の問題を解決したもので、ス
ルーホールの有無、位置及び欠陥の有無を検知可
能にし、併せてスルーホール検査の確実性及び能
率化を図るようにしたプリント板のスルーホール
検査方法及びその装置を提供することを目的とす
る。
ルーホールの有無、位置及び欠陥の有無を検知可
能にし、併せてスルーホール検査の確実性及び能
率化を図るようにしたプリント板のスルーホール
検査方法及びその装置を提供することを目的とす
る。
(5) 発明の構成
上記目的を達成するために、本発明のプリント
板のスルーホール検査方法は、プリント板に形成
されたスルーホールの一端開口をフイルタでマス
クし、 上記プリント板の一側に配置され、上記フイル
タを透過する第１の特定波長光と、上記フイルタ
を透過しない第２の特定波長光の双方を発する照
明装置で上記プリント板を照明し、 上記プリント板の他側に配置される光検知手段
が、上記フイルタを透過し上記スルーホール内を
通過して上記第１の特定波長光を受光したときコ
ンパレータを介して第１の出力信号を出力し、上
記プリント板の基板材及び上記スルーホールの欠
陥を経てスルーホール内へ伝播した上記第２の特
定波長光を上記光検知手段が受光したときコンパ
レータを介して第２の出力信号を出力し、 上記第１及び第２の出力信号の論理積が成立し
たとき、欠陥信号を信号出力手段より発生するよ
うにして構成したものである。
板のスルーホール検査方法は、プリント板に形成
されたスルーホールの一端開口をフイルタでマス
クし、 上記プリント板の一側に配置され、上記フイル
タを透過する第１の特定波長光と、上記フイルタ
を透過しない第２の特定波長光の双方を発する照
明装置で上記プリント板を照明し、 上記プリント板の他側に配置される光検知手段
が、上記フイルタを透過し上記スルーホール内を
通過して上記第１の特定波長光を受光したときコ
ンパレータを介して第１の出力信号を出力し、上
記プリント板の基板材及び上記スルーホールの欠
陥を経てスルーホール内へ伝播した上記第２の特
定波長光を上記光検知手段が受光したときコンパ
レータを介して第２の出力信号を出力し、 上記第１及び第２の出力信号の論理積が成立し
たとき、欠陥信号を信号出力手段より発生するよ
うにして構成したものである。
本発明のプリント板のスルーホール検査装置
は、光透過性物質を基板材とし、該基板材に設け
た透孔の内壁全面にメツキスルーホールが形成さ
れたプリント板のスルーホール検査装置におい
て、 上記プリント板の一面側に該プリント板に形成
されたスルーホールの一端開口をマスクするごと
く配置され、第１の特定波長光を透過し、第２の
特定波長光を透過しない第１のフイルタ５と、 該マスク面側から上記第１の特定波長光、及び
上記第２の特定波長光の双方を発する照明装置６
と、 上記プリント板の他面側に配置され、スルーホ
ール内経由光を集光する集光レンズ７と、 該集光レンズ７の光軸上に設置されたハーフミ
ラー８と、 上記第１の特定波長光のみを透過する第２のフ
イルタ９と、 該第２のフイルタ９の透過光を検知し、スルー
ホールの有無及び位置を検知する第１の光検知器
１０と、 上記ハーフミラー８による反射光軸上に設置さ
れ、上記第２の特定波長光のみを透過する第３の
フイルタ１１と、 該第３のフイルタ１１の透過光を検知し、上記
スルーホールの欠陥を検知する第２の光検知器１
２と、 上記第１の光検知器１０の出力に接続された第
１のコンパレータ１３と、 上記第２の光検知器１２の出力に接続された第
２のコンパレータ１４と、 上記第１のコンパレータ１３の出力及び上記第
２のコンパレータ１４の出力に接続されるアンド
回路１５とを有して構成したものである。
は、光透過性物質を基板材とし、該基板材に設け
た透孔の内壁全面にメツキスルーホールが形成さ
れたプリント板のスルーホール検査装置におい
て、 上記プリント板の一面側に該プリント板に形成
されたスルーホールの一端開口をマスクするごと
く配置され、第１の特定波長光を透過し、第２の
特定波長光を透過しない第１のフイルタ５と、 該マスク面側から上記第１の特定波長光、及び
上記第２の特定波長光の双方を発する照明装置６
と、 上記プリント板の他面側に配置され、スルーホ
ール内経由光を集光する集光レンズ７と、 該集光レンズ７の光軸上に設置されたハーフミ
ラー８と、 上記第１の特定波長光のみを透過する第２のフ
イルタ９と、 該第２のフイルタ９の透過光を検知し、スルー
ホールの有無及び位置を検知する第１の光検知器
１０と、 上記ハーフミラー８による反射光軸上に設置さ
れ、上記第２の特定波長光のみを透過する第３の
フイルタ１１と、 該第３のフイルタ１１の透過光を検知し、上記
スルーホールの欠陥を検知する第２の光検知器１
２と、 上記第１の光検知器１０の出力に接続された第
１のコンパレータ１３と、 上記第２の光検知器１２の出力に接続された第
２のコンパレータ１４と、 上記第１のコンパレータ１３の出力及び上記第
２のコンパレータ１４の出力に接続されるアンド
回路１５とを有して構成したものである。
(6) 発明の実施例
以下、本発明の実施例を図面によつて説明す
る。
る。
第１図は本発明にかかるプリント板のスルーホ
ール検出装置の一例を示すもので、１は検査され
るプリント板であり、このプリント板１を構成す
る基板材２は、例えばガラス繊維にエポキシ樹脂
を含浸させた光透過性の物質から成り、そして基
板材に穿設した透孔２ａの内壁にメツキ層３を生
成することで表裏導体（ランド部）を電気的に接
続するスルーホール４が形成されている。
ール検出装置の一例を示すもので、１は検査され
るプリント板であり、このプリント板１を構成す
る基板材２は、例えばガラス繊維にエポキシ樹脂
を含浸させた光透過性の物質から成り、そして基
板材に穿設した透孔２ａの内壁にメツキ層３を生
成することで表裏導体（ランド部）を電気的に接
続するスルーホール４が形成されている。
このようにしたプリント板１の一面側には、ス
ルーホール４の一端開口をマスクするフイルタ５
が密接状態に配置されており、このフイルタ５は
特定波長の光、例えば緑色の光のみが透過するも
のである。また、上記フイルタ５の配置側には、
上記フイルタ５を透過する光（例えば緑色）と、
該フイルタ５を透過しない波長の光、例えば赤色
の光の双方を発する照明装置６が配置されてい
る。なお、照明装置６からの緑色の光はフイルタ
５の部分のみを照明するように構成されている。
７は上記プリント板１の他面側において、検査さ
れるスルーホール４に対向して配置された集光レ
ンズで、スルーホール４内を透過してくる光を集
光するものであり、このレンズ７の光軸上にはハ
ーフミラー８及び緑色の光のみを透過するフイル
タ９を介してスルーホール４の有無及び位置を検
知する光検知器１０が設置され、さらに上記ハー
フミラー８による反射光軸上には赤色の光のみを
透過するフイルタ１１を介してスルーホール４の
欠陥を検知する光検知器１２が設置されている。
また、上記両光検知器１０，１２の出力側にはコ
ンパレータ１３，１４がそれぞれ接続されてお
り、これらコンパレータ１３，１４はそれぞれれ
の光検知器１０又は１２がスルーホール４の位置
又は欠陥を検知した、つまり光検知器１０、又は
１２の出力信号がコンパレータ１３、又は１４に
設けられている基準値を超えたとき、その出力を
「１」にするものであり、各コンパレータ１３，
１４の出力はアンド回路１５に入力され、このア
ンド回路１５の論理条件が成立したとき、欠陥信
号Ｓを送出するようになつている。
ルーホール４の一端開口をマスクするフイルタ５
が密接状態に配置されており、このフイルタ５は
特定波長の光、例えば緑色の光のみが透過するも
のである。また、上記フイルタ５の配置側には、
上記フイルタ５を透過する光（例えば緑色）と、
該フイルタ５を透過しない波長の光、例えば赤色
の光の双方を発する照明装置６が配置されてい
る。なお、照明装置６からの緑色の光はフイルタ
５の部分のみを照明するように構成されている。
７は上記プリント板１の他面側において、検査さ
れるスルーホール４に対向して配置された集光レ
ンズで、スルーホール４内を透過してくる光を集
光するものであり、このレンズ７の光軸上にはハ
ーフミラー８及び緑色の光のみを透過するフイル
タ９を介してスルーホール４の有無及び位置を検
知する光検知器１０が設置され、さらに上記ハー
フミラー８による反射光軸上には赤色の光のみを
透過するフイルタ１１を介してスルーホール４の
欠陥を検知する光検知器１２が設置されている。
また、上記両光検知器１０，１２の出力側にはコ
ンパレータ１３，１４がそれぞれ接続されてお
り、これらコンパレータ１３，１４はそれぞれれ
の光検知器１０又は１２がスルーホール４の位置
又は欠陥を検知した、つまり光検知器１０、又は
１２の出力信号がコンパレータ１３、又は１４に
設けられている基準値を超えたとき、その出力を
「１」にするものであり、各コンパレータ１３，
１４の出力はアンド回路１５に入力され、このア
ンド回路１５の論理条件が成立したとき、欠陥信
号Ｓを送出するようになつている。
なお、上記基準値は、スルーホールを経て光検
知器１０、又は１２に光が到達したとき光検知器
１０、又は１２から出力される出力信号に対し、
コンパレータ１３、又は１４から「１」の信号を
出力させる値に選ばれる。従つて、スルーホール
以外の位置では、コンパレータ１３、又は１４か
ら「１」の信号は発生しないから、アンド回路１
５から「１」の信号（欠陥信号）は発生しない。
知器１０、又は１２に光が到達したとき光検知器
１０、又は１２から出力される出力信号に対し、
コンパレータ１３、又は１４から「１」の信号を
出力させる値に選ばれる。従つて、スルーホール
以外の位置では、コンパレータ１３、又は１４か
ら「１」の信号は発生しないから、アンド回路１
５から「１」の信号（欠陥信号）は発生しない。
次に上記のように構成された本実施例の動作に
ついて説明する。
ついて説明する。
プリント板１のスルーホール４の１つが検査位
置に割出された状態において、照明装置６から緑
と赤色の光１６がプリント板１の下面に向け照射
されると、緑色の光がスルーホール４をマスクし
ているフイルタ５を透過し、スルーホール４内を
通して集光レンズ７に達する。そして該緑色の透
過光は集光レンズ７により集光され、ハーフミラ
ー８を通してフイルタ９に投光される一方、ハー
フミラーにより反射されてフイルタ１１に投光さ
れる。
置に割出された状態において、照明装置６から緑
と赤色の光１６がプリント板１の下面に向け照射
されると、緑色の光がスルーホール４をマスクし
ているフイルタ５を透過し、スルーホール４内を
通して集光レンズ７に達する。そして該緑色の透
過光は集光レンズ７により集光され、ハーフミラ
ー８を通してフイルタ９に投光される一方、ハー
フミラーにより反射されてフイルタ１１に投光さ
れる。
ここで、フイルタ１１は緑色の光を通さないた
め、光検知器１２は動作しない。一方、フイルタ
９は緑色の光を通すため、該光は光検知器１０に
より検知され、これにより割出位置にスルーホー
ル４があることを検知すると同時に、スルーホー
ル４の位置をも検知する。光検知器１０からの出
力信号は、コンパレータ１３へ入力されてその基
準値と比較される。光検知器１０からの出力信号
が基準値を超えたとき、該コンパレータ１３は
「１」の出力信号を信号する。
め、光検知器１２は動作しない。一方、フイルタ
９は緑色の光を通すため、該光は光検知器１０に
より検知され、これにより割出位置にスルーホー
ル４があることを検知すると同時に、スルーホー
ル４の位置をも検知する。光検知器１０からの出
力信号は、コンパレータ１３へ入力されてその基
準値と比較される。光検知器１０からの出力信号
が基準値を超えたとき、該コンパレータ１３は
「１」の出力信号を信号する。
また、照明装置６からの赤色の光でプリント板
１の下面が照明されると、該光は基板材２内に入
射し拡散される。このとき、スルーホール４にピ
ンホール等の欠陥がなければ、拡散光はスルーホ
ール４内に漏れることがなく、従つて光検知器１
２も動作されることがない。
１の下面が照明されると、該光は基板材２内に入
射し拡散される。このとき、スルーホール４にピ
ンホール等の欠陥がなければ、拡散光はスルーホ
ール４内に漏れることがなく、従つて光検知器１
２も動作されることがない。
しかるに、スルーホール４に欠陥３ａがある
と、基板材２内で拡散した光は欠陥３ａを通して
スルーホール４内に漏れる。この光はレンズ７及
びハーフミラー８にそれぞれのフイルタ９，１１
に向け投射される。このとき、フイルタ９は赤色
の光を透過させないため、該光によつて光検知器
１０が動作されないが、フイルタ１１は赤色の光
を透過させるため、該光は光検知器１２により検
知される。光検知器１２から出力される信号がコ
ンパレータ１４の基準値を超えたとき、コンパレ
ータ１４は「１」の信号を出力する。
と、基板材２内で拡散した光は欠陥３ａを通して
スルーホール４内に漏れる。この光はレンズ７及
びハーフミラー８にそれぞれのフイルタ９，１１
に向け投射される。このとき、フイルタ９は赤色
の光を透過させないため、該光によつて光検知器
１０が動作されないが、フイルタ１１は赤色の光
を透過させるため、該光は光検知器１２により検
知される。光検知器１２から出力される信号がコ
ンパレータ１４の基準値を超えたとき、コンパレ
ータ１４は「１」の信号を出力する。
コンパレータ１３，１４の出力が共に「１」と
なつてアンド回路１５の論理条件が成立すると、
検査位置に割出されたスルーホール４に欠陥があ
ると判定し、欠陥信号Ｓを送出する。
なつてアンド回路１５の論理条件が成立すると、
検査位置に割出されたスルーホール４に欠陥があ
ると判定し、欠陥信号Ｓを送出する。
また、検査位置へのスルーホール４の位置決め
がなされなかつたり、大幅にずれているような場
合は、基板材２を透過する赤色の光が光検知器１
２により検知されたときても欠陥信号Ｓが送出さ
れることがない。
がなされなかつたり、大幅にずれているような場
合は、基板材２を透過する赤色の光が光検知器１
２により検知されたときても欠陥信号Ｓが送出さ
れることがない。
従つて、上記のような本実施例にあつては、特
定波長光の光のみを透過するフイルタ５によりス
ルーホールをマスクし、そしてこのマスク側から
上記フイルタ５を透過する光と透過しない光の双
方で照明し、スルーホール内を透過する双方の光
が光検知器により検知されたとき欠陥と判定する
ようにしたので、スルーホールの欠陥の有無検査
が確実となり、その検査能率も向上できるほか、
スルーホールの有無及びその位置も検知できる。
定波長光の光のみを透過するフイルタ５によりス
ルーホールをマスクし、そしてこのマスク側から
上記フイルタ５を透過する光と透過しない光の双
方で照明し、スルーホール内を透過する双方の光
が光検知器により検知されたとき欠陥と判定する
ようにしたので、スルーホールの欠陥の有無検査
が確実となり、その検査能率も向上できるほか、
スルーホールの有無及びその位置も検知できる。
第２図は本発明の他の実施例を示すもので、第
１図の場合と同様にプリント板１に形成したスル
ーホール４の一端開口を緑色の光のみを透過する
フイルタ５によりマスクし、そして、第２図ａに
示す如くまず緑色の光１７によりプリント板１の
下面をフイルタ５側から照明し、フイルタ５を透
過する光をスルーホール対向位置に設けた光検知
器１８で検知してスルーホール４の有無及び位置
を検知する。次に、第２図ｂに示す如く緑色の光
に代えて赤色の光１９によりプリント板１の下面
を照明し、このときスルーホール４に欠陥３ａが
あれば、基板材２内部に入射して拡散された光が
欠陥３ａを通してスルーホール４内に漏れ、この
光を光検知器１８で検知する。
１図の場合と同様にプリント板１に形成したスル
ーホール４の一端開口を緑色の光のみを透過する
フイルタ５によりマスクし、そして、第２図ａに
示す如くまず緑色の光１７によりプリント板１の
下面をフイルタ５側から照明し、フイルタ５を透
過する光をスルーホール対向位置に設けた光検知
器１８で検知してスルーホール４の有無及び位置
を検知する。次に、第２図ｂに示す如く緑色の光
に代えて赤色の光１９によりプリント板１の下面
を照明し、このときスルーホール４に欠陥３ａが
あれば、基板材２内部に入射して拡散された光が
欠陥３ａを通してスルーホール４内に漏れ、この
光を光検知器１８で検知する。
この実施例にあつては、欠陥判定のための論理
構成が上記実施例のものより多少複雑になるが、
その他は上記実施例と同様な効果が得られる。
構成が上記実施例のものより多少複雑になるが、
その他は上記実施例と同様な効果が得られる。
(7) 発明の効果
以上説明した通り、本発明のスルーホール検査
装置において、スルーホールの有無及び位置を検
知できるとともに欠陥の有無も検知でき、このた
め、スルーホールの欠陥検知を確実にかつ正確に
でき、検査能率も向上できる効果がある。
装置において、スルーホールの有無及び位置を検
知できるとともに欠陥の有無も検知でき、このた
め、スルーホールの欠陥検知を確実にかつ正確に
でき、検査能率も向上できる効果がある。
第１図は本発明にかかるプリント板のスルーホ
ール検査装置の一例を示す構成図、第２図ａ，ｂ
は本発明の他の実施を示す構成図である。 符号の説明 １はプリント板、２は基板材、４
はスルーホール、５はマスク用フイルタ、６は照
明装置、８はハーフミラー、９，１１はフイル
タ、１０，１２，１８は光検知器。
ール検査装置の一例を示す構成図、第２図ａ，ｂ
は本発明の他の実施を示す構成図である。 符号の説明 １はプリント板、２は基板材、４
はスルーホール、５はマスク用フイルタ、６は照
明装置、８はハーフミラー、９，１１はフイル
タ、１０，１２，１８は光検知器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ プリント板に形成されたスルーホールの一端
開口をフイルタでマスクし、 上記プリント板の一側に配置され、上記フイル
タを透過する第１の特定波長光と、上記フイルタ
を透過しない第２の特定波長光の双方を発する照
明装置で上記プリント板を照明し、 上記プリント板の他側に配置される光検知手段
が、上記フイルタを透過し上記スルーホール内を
通過して上記第１の特定波長光を受光したときコ
ンパレータを介して第１の出力信号を出力し、上
記プリント板の基板材及び上記スルーホールの欠
陥を経てスルーホール内へ伝播した上記第２の特
定波長光を上記光検知手段が受光したときコンパ
レータを介して第２の出力信号を出力し、 上記第１及び第２の出力信号の論理積が成立し
たとき、欠陥信号を信号出力手段より発生するこ
とを特徴とするプリント板のスルーホール検査方
法。 ２ 光透過性物質を基板材とし、該基板材に設け
た透孔の内壁全面にメツキスルーホールが形成さ
れたプリント板のスルーホール検査装置におい
て、 上記プリント板の一面側に該プリント板に形成
されたスルーホールの一端開口をマスクするごと
く配置され、第１の特定波長光を透過し、第２の
特定波長光を透過しない第１のフイルタ５と、 上記一面側から上記第１の特定波長光、及び上
記第２の特定波長光の双方を発する照明装置６
と、 上記プリント板の他面側に配置され、スルーホ
ール内経由光を集光する集光レンズ７と、 該集光レンズ７の光軸上に設置されたハーフミ
ラー８と、 上記第１の特定波長光のみを透過する第２のフ
イルタ９と、 該第２のフイルタ９の透過光を検知し、スルー
ホールの有無及び位置を検知する第１の光検知器
１０と、 上記ハーフミラー８による反射光軸上に設置さ
れ、上記第２の特定波長光のみを透過する第３の
フイルタ１１と、 該第３のフイルタ１１の透過光を検知し、上記
スルーホールの欠陥を検知する第２の光検知器１
２と、 上記第１の光検知器１０の出力に接続された第
１のコンパレータ１３と、 上記第２の光検知器１２の出力に接続された第
２のコンパレータ１４と、 上記第１のコンパレータ１３の出力及び上記第
２のコンパレータ１４の出力に接続されるアンド
回路１５とを有することを特徴とするプリント板
のスルーホール検査装置。 ３ 上記第１の特定波長が緑色光であり、上記第
２の特定波長が赤色光であることを特徴とする特
許請求の範囲第２項記載のプリント板のスルーホ
ール検査装置。 ４ 上記照明装置６が上記第１の特定波長及び上
記第２の特定波長を同時に照射することを特徴と
する特許請求の範囲第２項記載のプリント板のス
ルーホール検査装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22836982A JPS59126233A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | プリント板のスルーホール検査方法及びその装置 |
| US06/554,543 US4560273A (en) | 1982-11-30 | 1983-11-23 | Method and apparatus for inspecting plated through holes in printed circuit boards |
| DE8383307291T DE3377527D1 (en) | 1982-11-30 | 1983-11-30 | Method and apparatus for inspecting plated through holes in printed circuit boards |
| EP83307291A EP0111404B1 (en) | 1982-11-30 | 1983-11-30 | Method and apparatus for inspecting plated through holes in printed circuit boards |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22836982A JPS59126233A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | プリント板のスルーホール検査方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59126233A JPS59126233A (ja) | 1984-07-20 |
| JPH0442622B2 true JPH0442622B2 (ja) | 1992-07-14 |
Family
ID=16875379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22836982A Granted JPS59126233A (ja) | 1982-11-30 | 1982-12-27 | プリント板のスルーホール検査方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59126233A (ja) |
-
1982
- 1982-12-27 JP JP22836982A patent/JPS59126233A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59126233A (ja) | 1984-07-20 |
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