JPS59127232A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS59127232A JPS59127232A JP58002454A JP245483A JPS59127232A JP S59127232 A JPS59127232 A JP S59127232A JP 58002454 A JP58002454 A JP 58002454A JP 245483 A JP245483 A JP 245483A JP S59127232 A JPS59127232 A JP S59127232A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- magnetic recording
- recording medium
- diamond structure
- carbon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
- G11B5/727—Inorganic carbon protective coating, e.g. graphite, diamond like carbon or doped carbon
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は表面にダイヤモンｌ、” ＄造を含んたＩｙの
薄膜を形成した磁気記録媒体に関する・情報処理様器の
発達に併りい勝気記録装置に対する要望が捷すます厳し
くなってきている。フレキシブルディスク、ハードディ
スク、干−ブと形態はさまざまであるがその要求される
ところは小面積もしくは小体積で高容量の信呆配＠を行
りうことである。磁気記録媒体材料として従来のｒ酸化
鉄に替わってＯｒ ＯＢ ＊ ＣＯ変性酸化鉄、更には
蒸着ＣＯ等高密度記録に適応する材質が見出されている
。更に信頼性についてもフレキシブルディスクの場合ｔ
ｄ ３００万バス、ハードティスフの場合は２万回のａ
ＳＳ後もヘッド及び媒体に損傷が々（、かつ電磁変換特
性の劣化が認められないことが要求されている。これを
遠戚するために５１０２やＳｉ、Ｎａ々どの過膜′（ｉ
−表面に形成することが行りわれている。これらの薄膜
は絶縁体であるために表面が帯電し、やすく、周辺のほ
こりを吸着することがしばしばある、ｆｆｌわち表面硬
度は硬（かったほこりのために憂勿記録媒体もしくはヘ
ッドヲ損傷することが起きるようになった。
薄膜を形成した磁気記録媒体に関する・情報処理様器の
発達に併りい勝気記録装置に対する要望が捷すます厳し
くなってきている。フレキシブルディスク、ハードディ
スク、干−ブと形態はさまざまであるがその要求される
ところは小面積もしくは小体積で高容量の信呆配＠を行
りうことである。磁気記録媒体材料として従来のｒ酸化
鉄に替わってＯｒ ＯＢ ＊ ＣＯ変性酸化鉄、更には
蒸着ＣＯ等高密度記録に適応する材質が見出されている
。更に信頼性についてもフレキシブルディスクの場合ｔ
ｄ ３００万バス、ハードティスフの場合は２万回のａ
ＳＳ後もヘッド及び媒体に損傷が々（、かつ電磁変換特
性の劣化が認められないことが要求されている。これを
遠戚するために５１０２やＳｉ、Ｎａ々どの過膜′（ｉ
−表面に形成することが行りわれている。これらの薄膜
は絶縁体であるために表面が帯電し、やすく、周辺のほ
こりを吸着することがしばしばある、ｆｆｌわち表面硬
度は硬（かったほこりのために憂勿記録媒体もしくはヘ
ッドヲ損傷することが起きるようになった。
本発明はこのような欠点がな（、表面硬度が硬く、かつ
帯電し方（てほこりを吸着し７ガい磁気記録媒体を完成
したものである。
帯電し方（てほこりを吸着し７ガい磁気記録媒体を完成
したものである。
本発明の目的は信頼性の高い研偲ｄｅ録媒体を提供する
ことにある。
ことにある。
カーボンはその同素体としてグラファイトとダイヤモン
ドがあり、いずわも＃４．電性を示す。特にダイヤモン
ドは硬度が硬いことは周知のことである７グラフアイト
は潤滑性能にすぐれていることも周知である。
ドがあり、いずわも＃４．電性を示す。特にダイヤモン
ドは硬度が硬いことは周知のことである７グラフアイト
は潤滑性能にすぐれていることも周知である。
ダイヤモンド構造を含んだ薄膜げイオンビームスパッタ
やプラズマＣｙＤ％レーザー蒸着等により形成される。
やプラズマＣｙＤ％レーザー蒸着等により形成される。
本発明は磁気記録媒体のｔ面にこのダイヤモンド構造を
含むカーボンの薄膜を形成することにより信頼性を飛躍
的に向上させたものである＾ダイヤモンド構造を含むカ
ーボン薄膜ノ厚み−は１０００オングストローム以下で
も充分その効果を示した、又カーボン薄膜中にダイヤモ
ンド構造以外のグラファイト構造を含んでいても効果け
そこ１弥ることはｈかった。
含むカーボンの薄膜を形成することにより信頼性を飛躍
的に向上させたものである＾ダイヤモンド構造を含むカ
ーボン薄膜ノ厚み−は１０００オングストローム以下で
も充分その効果を示した、又カーボン薄膜中にダイヤモ
ンド構造以外のグラファイト構造を含んでいても効果け
そこ１弥ることはｈかった。
以下に実施例について本発明を説明すふ、実施例１゜
１１＋＋＋＋＋厚で１２５−径のアルミニウム基板上に
反応性スパッタに工りγＦｅ５０ｍ の薄膜を形成した
。
反応性スパッタに工りγＦｅ５０ｍ の薄膜を形成した
。
更にその上にグラファイトをターゲットとしてイオンビ
ーム照射を行ない１表面にダイヤモンド構造カーボン薄
膜１０００オングストロームを形成した。との磁気記録
媒体は表面に特に潤滑剤を徐布せずにヘッドとの接触、
即ちＯＥ３Ｓ？２万回以上行斤っても表面に何の損傷も
なく、はこりが付着することもなかった。
ーム照射を行ない１表面にダイヤモンド構造カーボン薄
膜１０００オングストロームを形成した。との磁気記録
媒体は表面に特に潤滑剤を徐布せずにヘッドとの接触、
即ちＯＥ３Ｓ？２万回以上行斤っても表面に何の損傷も
なく、はこりが付着することもなかった。
実施例２
アルミ基板上にパーマロ４０５ミクロン、ｃ。
−Ｃｉ ｒ Ｏ，５ミクロンをスパッタリングで形成し
た。
た。
Ｏｏ −Ｃｒ薄膜はＯｒを１Ｓａｔ係含有している。
このＣ〇−Ｃｒ薄膜の表面に、真空中でダイヤモンド微
粒子にレーザーを照射して昇華して（る成分を付着せし
めた、はとんどダイヤモンド構造のカーボン薄膜で厚み
は５００オングストロームあった、この媒体ｉｌ″１２
万回以上のｃｓｓに耐えた。
粒子にレーザーを照射して昇華して（る成分を付着せし
めた、はとんどダイヤモンド構造のカーボン薄膜で厚み
は５００オングストロームあった、この媒体ｉｌ″１２
万回以上のｃｓｓに耐えた。
実施例６゜
硬質ガラス基板上ＶＣＯ含有γＦｅ１ｏｎ の薄膜を
形ｂ７シ、更にその上にメタンガスを用いた高周波プラ
ズマにエリダイヤモンド構造とグラファイト構造を含む
カーボン薄膜を１０００オングストローム形成Ｌ１ｃ、
ｃｐｓけ２万個以上行りったが伺ら損傷に認められなか
った。
形ｂ７シ、更にその上にメタンガスを用いた高周波プラ
ズマにエリダイヤモンド構造とグラファイト構造を含む
カーボン薄膜を１０００オングストローム形成Ｌ１ｃ、
ｃｐｓけ２万個以上行りったが伺ら損傷に認められなか
った。
実施例４
アル、ミ基板上に無ＫＭメッキにエリＮ ｉ −Ｆ層を
２５μｍ形威し、更にタングステンを含有するＣ Ｏ−
Ｎ ｉ −Ｐを５μｍ無電解メッキで形成した。
２５μｍ形威し、更にタングステンを含有するＣ Ｏ−
Ｎ ｉ −Ｐを５μｍ無電解メッキで形成した。
更にそｄ上に真空中でイオンガン中にメタンガスを導入
してイオン化上せてダイヤモンド−造含有カーボン膜を
１０００オングストローム形成し、た。
してイオン化上せてダイヤモンド−造含有カーボン膜を
１０００オングストローム形成し、た。
特に潤滑剤を塗布しｈ（てもＣ３ＥＩは２万回をクリア
ーした。 − 以上実施例について詳述した如く表面にダイヤモンド゛
構造含有カーボン薄膜を形成した本発明勝気８ｅ＠媒体
は信頼性について抜群の性能を示し。
ーした。 − 以上実施例について詳述した如く表面にダイヤモンド゛
構造含有カーボン薄膜を形成した本発明勝気８ｅ＠媒体
は信頼性について抜群の性能を示し。
その工業的ダｌ来は非常に大きい、
以上
出願人 株式会社 卵訪精工舎
Claims (1)
- 表面にダイヤモンド゛構造を含むカーボンのｋ Ｈａケ
形戚し／ζこと全特徴とする磁気記録媒体、
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58002454A JPS59127232A (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58002454A JPS59127232A (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59127232A true JPS59127232A (ja) | 1984-07-23 |
Family
ID=11529733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58002454A Pending JPS59127232A (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59127232A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6196512A (ja) * | 1984-10-18 | 1986-05-15 | Seiko Epson Corp | 磁気記録媒体 |
| JPS61126627A (ja) * | 1984-11-26 | 1986-06-14 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS6234325A (ja) * | 1985-08-08 | 1987-02-14 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS6288131A (ja) * | 1985-10-14 | 1987-04-22 | Hitachi Ltd | 磁気デイスク |
| JPS62236116A (ja) * | 1986-04-08 | 1987-10-16 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 磁気記録媒体 |
| JPS6398824A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS6398825A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS6482321A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-28 | Hitachi Ltd | Magnetic recording medium |
| FR2634051A1 (fr) * | 1988-07-05 | 1990-01-12 | Thomson Csf | Dispositif en materiau magnetique a couche anti-usure et applications a une tete d'enregistrement-lecture et a un disque d'enregistrement |
| JPH07134821A (ja) * | 1984-11-26 | 1995-05-23 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体 |
| US5506154A (en) * | 1990-09-14 | 1996-04-09 | Komatsu Electronic Metals Co., Ltd. | Process for preheat treatment of semiconductor wafers |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50137701A (ja) * | 1974-04-19 | 1975-11-01 | ||
| JPS53143206A (en) * | 1977-05-18 | 1978-12-13 | Nec Corp | Magnetic disc |
| JPS5641524A (en) * | 1979-07-23 | 1981-04-18 | Datapoint Corp | Magentic recording disk and forming same |
-
1983
- 1983-01-11 JP JP58002454A patent/JPS59127232A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50137701A (ja) * | 1974-04-19 | 1975-11-01 | ||
| JPS53143206A (en) * | 1977-05-18 | 1978-12-13 | Nec Corp | Magnetic disc |
| JPS5641524A (en) * | 1979-07-23 | 1981-04-18 | Datapoint Corp | Magentic recording disk and forming same |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6196512A (ja) * | 1984-10-18 | 1986-05-15 | Seiko Epson Corp | 磁気記録媒体 |
| JPS61126627A (ja) * | 1984-11-26 | 1986-06-14 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPH07134821A (ja) * | 1984-11-26 | 1995-05-23 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS6234325A (ja) * | 1985-08-08 | 1987-02-14 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS6288131A (ja) * | 1985-10-14 | 1987-04-22 | Hitachi Ltd | 磁気デイスク |
| JPS62236116A (ja) * | 1986-04-08 | 1987-10-16 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 磁気記録媒体 |
| JPS6398824A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS6398825A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS6482321A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-28 | Hitachi Ltd | Magnetic recording medium |
| FR2634051A1 (fr) * | 1988-07-05 | 1990-01-12 | Thomson Csf | Dispositif en materiau magnetique a couche anti-usure et applications a une tete d'enregistrement-lecture et a un disque d'enregistrement |
| US5506154A (en) * | 1990-09-14 | 1996-04-09 | Komatsu Electronic Metals Co., Ltd. | Process for preheat treatment of semiconductor wafers |
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