JPS5996539A - 磁気記録デイスク - Google Patents
磁気記録デイスクInfo
- Publication number
- JPS5996539A JPS5996539A JP58123548A JP12354883A JPS5996539A JP S5996539 A JPS5996539 A JP S5996539A JP 58123548 A JP58123548 A JP 58123548A JP 12354883 A JP12354883 A JP 12354883A JP S5996539 A JPS5996539 A JP S5996539A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic recording
- substrate
- layer
- underlayer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/7368—Non-polymeric layer under the lowermost magnetic recording layer
- G11B5/7373—Non-magnetic single underlayer comprising chromium
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は一般的（に磁気記録ディスクに関し、さらに具
体的には７リコン基板を使用して形成されたこの様なデ
ィスクに関する。
体的には７リコン基板を使用して形成されたこの様なデ
ィスクに関する。
磁気記録において、アルミニウム基板上に微粒子もしく
は薄膜磁気被膜を有するディスクの使用は周知である。
は薄膜磁気被膜を有するディスクの使用は周知である。
この様な型の被膜の各々は、特に現在及び将来使用され
る高ビツト密度記録パターンのために必要とされる極め
て薄い被膜の場合には、被膜を完全に満足のいかないも
のにするという問題を有する。
る高ビツト密度記録パターンのために必要とされる極め
て薄い被膜の場合には、被膜を完全に満足のいかないも
のにするという問題を有する。
アルミニウム基板上の微粒子磁気被膜は、特に極めて薄
い場合に、ディスクに関連する磁気変換器との接触によ
って酬用件が限られる９、アルミニウム基、板上に磁気
被膜をスパッタリング蒸着もしくは電着する事にｌよっ
て通常形成される薄膜磁気ディスクは一般に微粒子被膜
の場合よりも薄い磁気被膜を与える。しかしながら、薄
膜ディスクは主に重量と電着される薄膜層のためにアル
ミニウムである事が要求される金属基板との反応によっ
て著しい腐食をしばしば生ずる。この様なディスクは基
板と薄膜磁性層間及び薄膜磁性層」二に２乃至それ以上
の保護層の付着を必要とする。明らかに、この様な保護
層は薄膜ディスクのコストを著しく高くする。さらに微
粒子及び薄膜磁気ディスクは通常被膜の厚さと比較して
実質上厚い基板を使用し、この様なディスクのいくつか
を含む組立体の重量を著しく重くする。
い場合に、ディスクに関連する磁気変換器との接触によ
って酬用件が限られる９、アルミニウム基、板上に磁気
被膜をスパッタリング蒸着もしくは電着する事にｌよっ
て通常形成される薄膜磁気ディスクは一般に微粒子被膜
の場合よりも薄い磁気被膜を与える。しかしながら、薄
膜ディスクは主に重量と電着される薄膜層のためにアル
ミニウムである事が要求される金属基板との反応によっ
て著しい腐食をしばしば生ずる。この様なディスクは基
板と薄膜磁性層間及び薄膜磁性層」二に２乃至それ以上
の保護層の付着を必要とする。明らかに、この様な保護
層は薄膜ディスクのコストを著しく高くする。さらに微
粒子及び薄膜磁気ディスクは通常被膜の厚さと比較して
実質上厚い基板を使用し、この様なディスクのいくつか
を含む組立体の重量を著しく重くする。
金属もしくは取合体の薄膜は基板の表向の形状をなぞら
えるのでアルミニウム基板における表面の完全性（即ち
振幅の変調及びヘッドの衝突を防止するだめの表面荒さ
、平坦度等）を達成するだめの試みがこれ迄になされて
来た６、基板の研摩及び被覆方法の改善がなされて来た
が、将来の主たるパホーマンスの改善も基板表面の完全
性の増強に依存する。
えるのでアルミニウム基板における表面の完全性（即ち
振幅の変調及びヘッドの衝突を防止するだめの表面荒さ
、平坦度等）を達成するだめの試みがこれ迄になされて
来た６、基板の研摩及び被覆方法の改善がなされて来た
が、将来の主たるパホーマンスの改善も基板表面の完全
性の増強に依存する。
特願昭５６−１３７８９５号は、磁気記録ティスフ基板
として／リコンを用いる１１４造を開示しているが、こ
れは／リコン基板を支持する強化コア部利を必要として
いる、 〔本発明の概要〕 本発明に従い、磁気記録ディスクは先ずシリコン上に成
る拐料の層を付着する事によって／リコン基板上に形成
され、これによって磁気的パホーマンス及びその後に付
着される磁性層の伺看力が増強される。磁性層には薄い
保護層がイ」着さぜられる。強化コア部１は本発明にと
って必要とされない。
として／リコンを用いる１１４造を開示しているが、こ
れは／リコン基板を支持する強化コア部利を必要として
いる、 〔本発明の概要〕 本発明に従い、磁気記録ディスクは先ずシリコン上に成
る拐料の層を付着する事によって／リコン基板上に形成
され、これによって磁気的パホーマンス及びその後に付
着される磁性層の伺看力が増強される。磁性層には薄い
保護層がイ」着さぜられる。強化コア部１は本発明にと
って必要とされない。
本発明に従い、シリコン基板は半導体市場で容易に利用
可能な通常のシリコン板を切断する事によって形成され
得る。基板は任意の適切な技法によってイリコン板から
スライスされ得る。この様なシリコン板は１５．’２４
ｃｍよりも大きな直径のものが利用可能である。基板
ウェファは０．０４６乃至０．０８１ｃｍの範囲の適当
々厚さに切断され、両表面が研摩され得る。、これ等の
シリコン基板の表面は特に平坦で凹凸がない事が知られ
ている１、／リコン基板に被膜を付着する前に、回転さ
せるだめの適切な構造体に対して仕」二つだ磁気記録デ
ィスクをクランプさせるための中央開孔が／リコン基板
に鳥えられる事が好ましい３．この開化は例えばレーザ
切断もしくはダイアモンド・コア穿孔によって発生され
得る。シリコン基板が先ず形成された後、基板の両表面
にＲＦスパッタリングによって下地層が電着させられる
。この下地層は略４ｓｏｏ３の厚さに昇華／蒸着される
Ｃｒである事が好捷しい。このノリコン表面上の下地層
の付着は上層の磁性層の４１８性を増強するが、ΔＡＭ
ｇの如きシリコン以外の基板上の下地層としてＣｒが同
様に（＝Ｊ着さぜられ２時は、磁性の増強は生じない事
が発見された。
可能な通常のシリコン板を切断する事によって形成され
得る。基板は任意の適切な技法によってイリコン板から
スライスされ得る。この様なシリコン板は１５．’２４
ｃｍよりも大きな直径のものが利用可能である。基板
ウェファは０．０４６乃至０．０８１ｃｍの範囲の適当
々厚さに切断され、両表面が研摩され得る。、これ等の
シリコン基板の表面は特に平坦で凹凸がない事が知られ
ている１、／リコン基板に被膜を付着する前に、回転さ
せるだめの適切な構造体に対して仕」二つだ磁気記録デ
ィスクをクランプさせるための中央開孔が／リコン基板
に鳥えられる事が好ましい３．この開化は例えばレーザ
切断もしくはダイアモンド・コア穿孔によって発生され
得る。シリコン基板が先ず形成された後、基板の両表面
にＲＦスパッタリングによって下地層が電着させられる
。この下地層は略４ｓｏｏ３の厚さに昇華／蒸着される
Ｃｒである事が好捷しい。このノリコン表面上の下地層
の付着は上層の磁性層の４１８性を増強するが、ΔＡＭ
ｇの如きシリコン以外の基板上の下地層としてＣｒが同
様に（＝Ｊ着さぜられ２時は、磁性の増強は生じない事
が発見された。
下地層の付着に続いて、磁性層が再びＲＦスパッタリン
グによって付着させられる。この磁性層は米国時π「第
４２４５００８号に説明された１？ｅ１Ｃｏ、Ｃｒ磁性
層の如き適切な型のものであり得る。この′特許に開示
されている如く、磁性層は重１％でＯ乃至５５係のＣｏ
、８乃至２２％のＣｒ及び残部の主にＦｅより成る。こ
の様な磁性層はＲＦスパッタリングによって略ろｏｏＪ
の厚さに電着させられる。
グによって付着させられる。この磁性層は米国時π「第
４２４５００８号に説明された１？ｅ１Ｃｏ、Ｃｒ磁性
層の如き適切な型のものであり得る。この′特許に開示
されている如く、磁性層は重１％でＯ乃至５５係のＣｏ
、８乃至２２％のＣｒ及び残部の主にＦｅより成る。こ
の様な磁性層はＲＦスパッタリングによって略ろｏｏＪ
の厚さに電着させられる。
」二層の如く形成された磁性薄膜はろＯＯ乃至１０００
エルステツドの範囲の保磁力及び略９０％以上の磁気方
形比の如き優れた磁気的性質を有する事が発見されてい
る。
エルステツドの範囲の保磁力及び略９０％以上の磁気方
形比の如き優れた磁気的性質を有する事が発見されてい
る。
上述の米国特許第４２４５００８号に開示されたＦｅ、
Ｃｏ、Ｃｒ磁性層に代って、他の磁性層を使用すること
もできる。例えば、Ｆ６３０４の層がＲＦスパッタされ
、電着位置での酸化によって磁性Ｆｅ２Ｏ３にされる。
Ｃｏ、Ｃｒ磁性層に代って、他の磁性層を使用すること
もできる。例えば、Ｆ６３０４の層がＲＦスパッタされ
、電着位置での酸化によって磁性Ｆｅ２Ｏ３にされる。
適切な」二層がこの磁性層を保護するだめに刀えられる
１、この様な上層は磁性層の磁気的特性を劣化さぜない
様に十分薄く、硬くて耐久性のある。セラミック、重合
体もしくは金属薄膜であり得る。
１、この様な上層は磁性層の磁気的特性を劣化さぜない
様に十分薄く、硬くて耐久性のある。セラミック、重合
体もしくは金属薄膜であり得る。
１つの特に魅力的な保護層は沈殿／浸７エ“Ｉプロセス
によって伺着させられる直径７ｏＸの５ｉ０２ビーズ及
び５０Ｘ乃至１００ＸのアモルファスＳｉＯ２の単一層
によって形成され得る事が発見された。
によって伺着させられる直径７ｏＸの５ｉ０２ビーズ及
び５０Ｘ乃至１００ＸのアモルファスＳｉＯ２の単一層
によって形成され得る事が発見された。
もし望まれるならば、変換器とディスク表面間に有害な
接触を与える事なく、回転するディスク表面に関して狭
い空気ベアリングをはさんで変換器が容易に浮遊する様
に保護上層の表面には潤滑剤が与えられ得る。
接触を与える事なく、回転するディスク表面に関して狭
い空気ベアリングをはさんで変換器が容易に浮遊する様
に保護上層の表面には潤滑剤が与えられ得る。
Claims (2)
- （１）表面上に実質上凹凸のないシリコン基板と、該／
リコン基板」二にスパッタされた非磁性の下地層と、該
下地層上にスパッタされた磁性層と、該磁性層」二に設
けられた非磁性保護層とより成る磁気記録ディスク - （２）上記非磁性の下地層がＣｒである事を１１４徴と
する特許請求の範囲第（１）項記載の磁気記録ディスク
。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US44351582A | 1982-11-22 | 1982-11-22 | |
| US443515 | 1982-11-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5996539A true JPS5996539A (ja) | 1984-06-04 |
| JPH0241089B2 JPH0241089B2 (ja) | 1990-09-14 |
Family
ID=23761093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58123548A Granted JPS5996539A (ja) | 1982-11-22 | 1983-07-08 | 磁気記録デイスク |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0109481B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5996539A (ja) |
| DE (1) | DE3375340D1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02161617A (ja) * | 1988-03-15 | 1990-06-21 | Ulvac Corp | 面内記録型磁気記録体の製造方法 |
| JPWO2022107871A1 (ja) * | 2020-11-19 | 2022-05-27 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3585489D1 (de) * | 1984-10-22 | 1992-04-09 | Hitachi Ltd | Magnetischer aufzeichnungstraeger. |
| US5198309A (en) * | 1984-11-14 | 1993-03-30 | Nihon Shinku Gijutsu Kabushiki Kaisha | Magnetic recording member |
| JPS61233401A (ja) * | 1985-04-08 | 1986-10-17 | Toshiba Corp | 磁気記録再生装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4376963A (en) * | 1980-12-19 | 1983-03-15 | International Business Machines Corporation | Composite magnetic recording disk |
| CA1188796A (en) * | 1981-04-14 | 1985-06-11 | Kenji Yazawa | Magnetic recording medium |
-
1983
- 1983-06-16 EP EP83105929A patent/EP0109481B1/en not_active Expired
- 1983-06-16 DE DE8383105929T patent/DE3375340D1/de not_active Expired
- 1983-07-08 JP JP58123548A patent/JPS5996539A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02161617A (ja) * | 1988-03-15 | 1990-06-21 | Ulvac Corp | 面内記録型磁気記録体の製造方法 |
| JPWO2022107871A1 (ja) * | 2020-11-19 | 2022-05-27 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0109481A3 (en) | 1986-03-19 |
| EP0109481A2 (en) | 1984-05-30 |
| JPH0241089B2 (ja) | 1990-09-14 |
| DE3375340D1 (en) | 1988-02-18 |
| EP0109481B1 (en) | 1988-01-13 |
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