JPS5912874U - 拡散治具 - Google Patents

拡散治具

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JPS5912874U
JPS5912874U JP10663882U JP10663882U JPS5912874U JP S5912874 U JPS5912874 U JP S5912874U JP 10663882 U JP10663882 U JP 10663882U JP 10663882 U JP10663882 U JP 10663882U JP S5912874 U JPS5912874 U JP S5912874U
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JP
Japan
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diffusion jig
diffusion
work
silicon
horizontal plate
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JP10663882U
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JPS5940444Y2 (ja
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関屋　臣二
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Tecnisco Ltd
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Tecnisco Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の実施例を示すものであり、第１図、第２
図は従来例を示す拡散治具の全体斜視図、第３図、第４
図は他の従来例を示すチューブ材から取出したウェーハ
支持部材、第５図はインボッ　　　　　・トから取出し
て作った拡散治具、第５Ａ図は同Ａ　　　　　゛−Ａ断
面図、第６図は本考案に係る拡散治具の全体斜視図、第
７図は同視ボートの斜視図、第８図、第８Ａ図は夫々ウ
ェーハ支持部材の斜視図である。 １・・・拡散治具、２・・・横板、７・・・横溝、８・
・・ウェーハ支持部材、１４・・・穿設孔、１５・・・
係合部材、１６・・・石英棒、１７・・・丁字形溝：１
８，１８′・・・ストッパ部、Ｐ…シリコンウェーハ。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）棒材の上に該棒材に交叉する嵌合溝を有する係合
    部材を載置結合して架台となし、前記係合部材の嵌合溝
    には横板を嵌入立設し、該横板に穿設した穿設孔に軸方
    向にストッパーを有し且つワーク保持溝を形成したワー
    ク支持部材をワークの形状に合わせて複数個横架せしめ
    た事を特徴とする拡散治具。
  2. （２）前記拡散治具は、シリコン又は石英又はシリコン
    とそれぞれの組合せより構成される事を特徴とする実用
    新案登録請求の範囲第（１）項記載の拡散治具。
JP10663882U 1982-07-13 1982-07-13 拡散治具 Expired JPS5940444Y2 (ja)

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JP10663882U JPS5940444Y2 (ja) 1982-07-13 1982-07-13 拡散治具

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JP10663882U JPS5940444Y2 (ja) 1982-07-13 1982-07-13 拡散治具

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Publication Number Publication Date
JPS5912874U true JPS5912874U (ja) 1984-01-26
JPS5940444Y2 JPS5940444Y2 (ja) 1984-11-16

Family

ID=30249468

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JP10663882U Expired JPS5940444Y2 (ja) 1982-07-13 1982-07-13 拡散治具

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JP (1) JPS5940444Y2 (ja)

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Publication number Publication date
JPS5940444Y2 (ja) 1984-11-16

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