JPS59143045U - リンサ−ドライヤ装置 - Google Patents

リンサ−ドライヤ装置

Info

Publication number
JPS59143045U
JPS59143045U JP3649683U JP3649683U JPS59143045U JP S59143045 U JPS59143045 U JP S59143045U JP 3649683 U JP3649683 U JP 3649683U JP 3649683 U JP3649683 U JP 3649683U JP S59143045 U JPS59143045 U JP S59143045U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
rinser dryer
holder
rinser
dryer equipment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3649683U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6233315Y2 (ja
Inventor
藤田　一朗
大岡　章
秀明 大竹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP3649683U priority Critical patent/JPS59143045U/ja
Publication of JPS59143045U publication Critical patent/JPS59143045U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6233315Y2 publication Critical patent/JPS6233315Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のリンサードライヤ装置の概要を示す図、
第２図は処理槽内におけるホルダーボックス配置を示す
平面図、第３図、第４図は基板を収容するホルダーの従
来例を示す斜視図、第５図は本考案の一実施例であるホ
ルダーボックスを示す斜視図、第６図は第５図で示すホ
ルダーホックスとホルダーとの関係を示す平面図である
。図に　　　　□おいて、１１・・・ホルダーボックス
、１２・・・突起、１３．１５・・・支柱、１６・・・
基板。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被処理試料を収容するホルダーボックスを有し、高速回
    転する処理槽とキャリアガス導入口を備えた蓋板とで構
    成されるリンサードライヤ装置であって、該ホルダーボ
    ックスの背面に複数の突起を設け、該突起により該試料
    を収容するホルダーの支柱を支持せしめ該試料の脱落防
    止手段としたことを特徴とするリンサードライヤ装置。
JP3649683U 1983-03-14 1983-03-14 リンサ−ドライヤ装置 Granted JPS59143045U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3649683U JPS59143045U (ja) 1983-03-14 1983-03-14 リンサ−ドライヤ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3649683U JPS59143045U (ja) 1983-03-14 1983-03-14 リンサ−ドライヤ装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59143045U true JPS59143045U (ja) 1984-09-25
JPS6233315Y2 JPS6233315Y2 (ja) 1987-08-26

Family

ID=30167166

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3649683U Granted JPS59143045U (ja) 1983-03-14 1983-03-14 リンサ−ドライヤ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59143045U (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6233315Y2 (ja) 1987-08-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS59143045U (ja) リンサ−ドライヤ装置
JPS60115255U (ja) 回転絞り式トナ−補給装置
JPS59109147U (ja) ウエハ収納ケ−ス
JPS5933240U (ja) 遠心乾燥機
JPS583033U (ja) ウエハ−洗浄装置
JPS59169042U (ja) 液処理装置
JPS5984843U (ja) 半導体製造用キヤリアハンガ
JPS593531U (ja) 半導体基板支持用ボ−ド
JPS58119962U (ja) 半田付け用治具
JPS6132077U (ja) 半導体ウエハ−の運搬用トレイ
JPS60187534U (ja) 自動洗浄装置
JPS5965536U (ja) ウエハ搬出装置
JPS5970335U (ja) ウエ−ハの浸液容器
JPS5916141U (ja) キヤリアケ−ス
JPS58120643U (ja) ウエハ処理用バスケツト
JPS5946927U (ja) 基板送り機構
JPS59146266U (ja) 台車
JPS59169354U (ja) 成膜装置
JPS6025184U (ja) 布線ホルダ
JPS6048235U (ja) ドライエッチング装置
JPS5967930U (ja) レジスト塗布装置
JPS59166443U (ja) 遠心乾燥機
JPS5953919U (ja) 球体表面処理装置
JPS6121337U (ja) 回転式物品受け台
JPS60101737U (ja) Ｉｃ容器用トレイ