JPS5914845A - 超音波探触子の製造法 - Google Patents
超音波探触子の製造法Info
- Publication number
- JPS5914845A JPS5914845A JP57125579A JP12557982A JPS5914845A JP S5914845 A JPS5914845 A JP S5914845A JP 57125579 A JP57125579 A JP 57125579A JP 12557982 A JP12557982 A JP 12557982A JP S5914845 A JPS5914845 A JP S5914845A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- acoustic matching
- ultrasonic
- matching plate
- plate
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- Pending
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野ｊ本発明は超音波吸収体 １−
置などに使用する超音波探触子の製造法に関するもので
ある。第１図は超音波探触子の基本的な構造を示してい
る。同図において１はセラミック圧電素子で、複数個（
５個）の素子ム１Ａ。
ある。第１図は超音波探触子の基本的な構造を示してい
る。同図において１はセラミック圧電素子で、複数個（
５個）の素子ム１Ａ。
ム８、Ｂ、 Ｂ、 Ｂ、、０．０．０．、・・・・・・
・・・よってＡＢＣ・・・・・・・・・のグループを形
成する。２社その上面電極、３は下面電極である。上面
電極２は共通のリード線４によって接続され、その上を
合成樹脂又はガラスよ如なる音響マツチング層５によっ
て被覆されている。下面電極３は各グループ毎にフレキ
シブルケーブル６によって接続され、超音波吸収体７に
よって支持されている。
・・・よってＡＢＣ・・・・・・・・・のグループを形
成する。２社その上面電極、３は下面電極である。上面
電極２は共通のリード線４によって接続され、その上を
合成樹脂又はガラスよ如なる音響マツチング層５によっ
て被覆されている。下面電極３は各グループ毎にフレキ
シブルケーブル６によって接続され、超音波吸収体７に
よって支持されている。
８ａ、８ｂ、（３ｃはグループＡＢＯの入出カス１ツチ
である。圧電素子１は超音波電気信号を入力すると超音
波振動を発生する。この超音波振動の下方向への振動は
超音波吸収体７によって吸収され、上方向の振動はマツ
チング層５を通過して生体に入射する。生体から反射し
た超音波振動はマツチング層５を通過して圧電素子１に
入シ、電気信号に変換され、スイッチ８α８ｈ、８Ｃを
介して超音波診断装置に入力される。いま、スイッチ８
αを閉じて圧電素子のグループＡに高周波パルスの電気
信号を入力して超音波を発生させた後、一定の時間をお
いてスイッチＢＡを閉じ、さらに一定の時間をおいて８
Ｃを閉じて電気信号を入力すると、この超音波探触子の
長手方向と平行に生体の断層写真かえられる。
である。圧電素子１は超音波電気信号を入力すると超音
波振動を発生する。この超音波振動の下方向への振動は
超音波吸収体７によって吸収され、上方向の振動はマツ
チング層５を通過して生体に入射する。生体から反射し
た超音波振動はマツチング層５を通過して圧電素子１に
入シ、電気信号に変換され、スイッチ８α８ｈ、８Ｃを
介して超音波診断装置に入力される。いま、スイッチ８
αを閉じて圧電素子のグループＡに高周波パルスの電気
信号を入力して超音波を発生させた後、一定の時間をお
いてスイッチＢＡを閉じ、さらに一定の時間をおいて８
Ｃを閉じて電気信号を入力すると、この超音波探触子の
長手方向と平行に生体の断層写真かえられる。
〔従来技術とその問題点〕上記超音波探触子の従来の製
造法を第２図によって説明する。）ｆｌ）圧電セラミッ
ク板１１の上下両面に連通する電極面１２，１Ｎを形成
し、これをフレ午ガルケーブル６を備えた超音波吸収体
７の上に載置して接合固定する。←）次に圧電セラミッ
ク板１１を上下の電極面１２．１３を含めて所定の間隔
（素子の厚さ）をおいて切断する。９はグループＡＢＯ
内の素子間の切断溝、１０はグループとグループとの間
の切断溝でフレキシブルケーブル６も切断される。ｅ→
切断された上面電極２をリードＩＩｉ！４によって接続
した後、石英ガラス。
造法を第２図によって説明する。）ｆｌ）圧電セラミッ
ク板１１の上下両面に連通する電極面１２，１Ｎを形成
し、これをフレ午ガルケーブル６を備えた超音波吸収体
７の上に載置して接合固定する。←）次に圧電セラミッ
ク板１１を上下の電極面１２．１３を含めて所定の間隔
（素子の厚さ）をおいて切断する。９はグループＡＢＯ
内の素子間の切断溝、１０はグループとグループとの間
の切断溝でフレキシブルケーブル６も切断される。ｅ→
切断された上面電極２をリードＩＩｉ！４によって接続
した後、石英ガラス。
フリントガラス、クラウンガラス等の透明なガラス板よ
シなる音響マツチング板１４を貼着して切断溝１０の上
に当る部分１５（点線で示す部分）を切断すると第１図
の超音波探触子がえられる。音響マツチング板１４を分
断する理由抹圧電素子に電気信号（高周波パルス）を印
加したとき、隣接するグループの圧電素子に超音波振動
が伝播するのを阻止するためである。
シなる音響マツチング板１４を貼着して切断溝１０の上
に当る部分１５（点線で示す部分）を切断すると第１図
の超音波探触子がえられる。音響マツチング板１４を分
断する理由抹圧電素子に電気信号（高周波パルス）を印
加したとき、隣接するグループの圧電素子に超音波振動
が伝播するのを阻止するためである。
ところで上記従来の製造法は以下述べるような解決を要
する問題がある。個々の圧電素子の巾は０．２〜０５調
程度で圧電素子間の切断溝９．１０の巾は３５〜１５０
μｍである。このように巾の狭い切断溝１０に合せて音
響マツチング板１４を正確に分断するためにはマツチン
グ板に透明な材料を使用するととが必要であり、不透明
のマツチング板を使用すると正確な分断が困難である。
する問題がある。個々の圧電素子の巾は０．２〜０５調
程度で圧電素子間の切断溝９．１０の巾は３５〜１５０
μｍである。このように巾の狭い切断溝１０に合せて音
響マツチング板１４を正確に分断するためにはマツチン
グ板に透明な材料を使用するととが必要であり、不透明
のマツチング板を使用すると正確な分断が困難である。
このようにマツチング板の材料が制限されると圧電素子
および生体の音響インビダンスに適合するすぐれた特性
を有し、かつ切断の容易な材料を採択するのに支障を生
ずる。
および生体の音響インビダンスに適合するすぐれた特性
を有し、かつ切断の容易な材料を採択するのに支障を生
ずる。
〔発明の目的〕本発明は上記の問題を解決することを目
的とするものであって、゛ 〔発明の構成〕超音波吸収体の上に、上下両面に連通ず
る電極面を有する圧電セラミック板を接合し、該圧電セ
ラミック板を個々の圧電素子に切断した後、音響マツチ
ング板を貼着し、との音響マツチング板の前記切断され
た圧電素子のグループ毎に分断する工程において、前記
圧電素子の長手方向の先端又は後端に余分の圧電素子を
グループの圧電素子と同一条件で形成し、前記音響マツ
チング板をこの余分の圧電率けた基準溝を基準として前
記音響マツチング板を圧電素子のグループ毎に分断する
ことを％徴とする超音波探触子の製造法である。
的とするものであって、゛ 〔発明の構成〕超音波吸収体の上に、上下両面に連通ず
る電極面を有する圧電セラミック板を接合し、該圧電セ
ラミック板を個々の圧電素子に切断した後、音響マツチ
ング板を貼着し、との音響マツチング板の前記切断され
た圧電素子のグループ毎に分断する工程において、前記
圧電素子の長手方向の先端又は後端に余分の圧電素子を
グループの圧電素子と同一条件で形成し、前記音響マツ
チング板をこの余分の圧電率けた基準溝を基準として前
記音響マツチング板を圧電素子のグループ毎に分断する
ことを％徴とする超音波探触子の製造法である。
〔実施例〕本発明の実施例を第３図および第４図につい
て説明する。第６図においてｚＨグループムの先端に、
グループムＢＯの圧電素子と同一条件で形成した余分の
圧電素子のグルー ５− プで、音響マツチング板１４はその切断溝９を２個露出
させて配置しである。この２個の切断溝のうち、どちら
か一方又は双方を基準として切断機の位置ぎめを行ない
、切断溝１０の上に当る部分１５を切断して音響マツチ
ング板１４をＡＢＯのグループ毎に分断する。１６は超
音波吸収体７に設けた基準孔で、この孔を基準とするこ
ともできる。音響マツチング板１４を分断した後、その
周辺の不要部分を切シ落すと第４図および第１図に示す
ような超音波探触子がえられる。なお、前記実施例は余
分の圧電素子２をグループムの外側に設けた場合を図示
しているが、グループＡＢＣ・・・・・−ＮのＨの外側
にも設ける場合がある。これはＮに近い部分を切断する
ときに切断機の位置ぎめが容易になるからである。
て説明する。第６図においてｚＨグループムの先端に、
グループムＢＯの圧電素子と同一条件で形成した余分の
圧電素子のグルー ５− プで、音響マツチング板１４はその切断溝９を２個露出
させて配置しである。この２個の切断溝のうち、どちら
か一方又は双方を基準として切断機の位置ぎめを行ない
、切断溝１０の上に当る部分１５を切断して音響マツチ
ング板１４をＡＢＯのグループ毎に分断する。１６は超
音波吸収体７に設けた基準孔で、この孔を基準とするこ
ともできる。音響マツチング板１４を分断した後、その
周辺の不要部分を切シ落すと第４図および第１図に示す
ような超音波探触子がえられる。なお、前記実施例は余
分の圧電素子２をグループムの外側に設けた場合を図示
しているが、グループＡＢＣ・・・・・−ＮのＨの外側
にも設ける場合がある。これはＮに近い部分を切断する
ときに切断機の位置ぎめが容易になるからである。
〔発明の効果〕本発明は以上の構成および作用を有する
ので、音響マツチング板１４４（こ不透切々材料を使用
しても分断を正確かつ、容易に行なうことができる。し
たがって音響マツチン ６− グ板の材料の選定に制限を受けることなく最適の材料を
採択することができ、超音波探触子の特性を向上するこ
とができるので、前記従来の製造法にあ・ける問題点を
解消して発明の目的を達成する、すぐれた効果を有する
。
ので、音響マツチング板１４４（こ不透切々材料を使用
しても分断を正確かつ、容易に行なうことができる。し
たがって音響マツチン ６− グ板の材料の選定に制限を受けることなく最適の材料を
採択することができ、超音波探触子の特性を向上するこ
とができるので、前記従来の製造法にあ・ける問題点を
解消して発明の目的を達成する、すぐれた効果を有する
。
第１図：超音波探触子の側向断面図
第２図１：超音波探触子の従来の製造工程を示す図で、
イ）←）（ハ）はその側面図 第３図二本発明の超音波探触子の製造法の説明図で、０
）は平面図、←）は側面図 第４図二本発明の超音波探触子の平面図〔記号〕１・・
・圧電素子、２・・・上面電極、３・・・下面電極、４
・・・リード線、５・−・音響マツチング層、６・・・
フレ庁シプルケーブル、７・・・超音波吸収体、８α、
８邊、８Ｃ・・・入出力スイッチ、９，１０・・・切断
溝、１１・−・圧電セラミック板、１２．１６・・・電
極面、１４・・・音響マツチング板、δ
） 牙３図 （ロ） 才４ＷＪ 手 続 補 正 書（自発） 特許庁長篇 若 杉 和 夫 殿 １ 事件の表示 昭和５７年特許願第１２５．５７９号 ２ 発明の名称 超音波探触子の製造法 ６ 補正をする者 事件との関係 ％許出願人 ５７１ 大阪府門真市太字門真１００６査地５８２
松下電器産業株式会社 ４代理人 明細書および図面 ６ 補正の内容 （３）明細智を次のとおシ補正する。 ＝ ２− 特願昭５７−１２５．５７９号 特許請求の範囲 超音波吸収体の上に、上下両面に電極を有する圧電セラ
ミック板を接合し、該圧電セラミック板を個々の圧電素
子に切断した後、音響マツチング板を貼着し、この音響
マツチング板を前記切断されｔ（圧電素子のグループ毎
に分断する工程において、前記圧電素子の長手方向の先
端又は後端に余分の圧電素子をグループの圧電素子と同
一条件で形成し、前記音響マツチング板をこの余分の圧
電素子の切断溝の少くともその１個が露串するように配
置し、この露出しだ切断溝又は前記超音波吸収体に設け
た基準、溝多基準として前記音響マツチング板を圧電素
子のグループごとに分断することを特徴とする超音波探
触子の製造法 矛３図 （ロ） ４− ＝２１
イ）←）（ハ）はその側面図 第３図二本発明の超音波探触子の製造法の説明図で、０
）は平面図、←）は側面図 第４図二本発明の超音波探触子の平面図〔記号〕１・・
・圧電素子、２・・・上面電極、３・・・下面電極、４
・・・リード線、５・−・音響マツチング層、６・・・
フレ庁シプルケーブル、７・・・超音波吸収体、８α、
８邊、８Ｃ・・・入出力スイッチ、９，１０・・・切断
溝、１１・−・圧電セラミック板、１２．１６・・・電
極面、１４・・・音響マツチング板、δ
） 牙３図 （ロ） 才４ＷＪ 手 続 補 正 書（自発） 特許庁長篇 若 杉 和 夫 殿 １ 事件の表示 昭和５７年特許願第１２５．５７９号 ２ 発明の名称 超音波探触子の製造法 ６ 補正をする者 事件との関係 ％許出願人 ５７１ 大阪府門真市太字門真１００６査地５８２
松下電器産業株式会社 ４代理人 明細書および図面 ６ 補正の内容 （３）明細智を次のとおシ補正する。 ＝ ２− 特願昭５７−１２５．５７９号 特許請求の範囲 超音波吸収体の上に、上下両面に電極を有する圧電セラ
ミック板を接合し、該圧電セラミック板を個々の圧電素
子に切断した後、音響マツチング板を貼着し、この音響
マツチング板を前記切断されｔ（圧電素子のグループ毎
に分断する工程において、前記圧電素子の長手方向の先
端又は後端に余分の圧電素子をグループの圧電素子と同
一条件で形成し、前記音響マツチング板をこの余分の圧
電素子の切断溝の少くともその１個が露串するように配
置し、この露出しだ切断溝又は前記超音波吸収体に設け
た基準、溝多基準として前記音響マツチング板を圧電素
子のグループごとに分断することを特徴とする超音波探
触子の製造法 矛３図 （ロ） ４− ＝２１
Claims (1)
- 超音波吸収体の上に、上下両面に連通ずる電極面を有す
る圧電セラミック板を接合し、鰍圧電セラミック板を個
々の圧電素子に切断した後、音響マツチング板を貼着し
、この音響マツチング板を前記切断された圧電素子のグ
ループ毎に分断する工程において、前記圧電素子の長手
方向の先端又は後端に余分の圧電素子をグループの圧電
素子と同一条件で形成し、前記音醤マツ記音警マツチン
グ板を圧電素子のグループごとに分断することを特徴と
する超音波探触子の製造法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57125579A JPS5914845A (ja) | 1982-07-19 | 1982-07-19 | 超音波探触子の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57125579A JPS5914845A (ja) | 1982-07-19 | 1982-07-19 | 超音波探触子の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5914845A true JPS5914845A (ja) | 1984-01-25 |
Family
ID=14913671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57125579A Pending JPS5914845A (ja) | 1982-07-19 | 1982-07-19 | 超音波探触子の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5914845A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6137141A (ja) * | 1984-07-30 | 1986-02-22 | 株式会社島津製作所 | 超音波探触子の製造方法 |
| JPS61212999A (ja) * | 1985-03-18 | 1986-09-20 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 超音波探触子及びその製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5211926A (en) * | 1975-07-18 | 1977-01-29 | Koden Electronics Co Ltd | Array type supersonic wave vibrator |
| JPS5666992A (en) * | 1979-11-02 | 1981-06-05 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Manufacture of ultrasonic probe and ultrasonic probe concerned |
| JPS5683194A (en) * | 1979-12-11 | 1981-07-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Image sensor |
-
1982
- 1982-07-19 JP JP57125579A patent/JPS5914845A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5211926A (en) * | 1975-07-18 | 1977-01-29 | Koden Electronics Co Ltd | Array type supersonic wave vibrator |
| JPS5666992A (en) * | 1979-11-02 | 1981-06-05 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Manufacture of ultrasonic probe and ultrasonic probe concerned |
| JPS5683194A (en) * | 1979-12-11 | 1981-07-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Image sensor |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6137141A (ja) * | 1984-07-30 | 1986-02-22 | 株式会社島津製作所 | 超音波探触子の製造方法 |
| JPS61212999A (ja) * | 1985-03-18 | 1986-09-20 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 超音波探触子及びその製造方法 |
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