JPS59149630U - ウエハ処理電極 - Google Patents
ウエハ処理電極Info
- Publication number
- JPS59149630U JPS59149630U JP4196583U JP4196583U JPS59149630U JP S59149630 U JPS59149630 U JP S59149630U JP 4196583 U JP4196583 U JP 4196583U JP 4196583 U JP4196583 U JP 4196583U JP S59149630 U JPS59149630 U JP S59149630U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer processing
- processing electrode
- electrode
- coolant
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、従来のウェハ処理電極の縦断面図、第２図は
、本考案によるウェハ処理電極の一実施例を示す縦断面
図である。 １０・・・ウェハ処理電極、１２・・・流通空間、１３
・・・回転体、１４・・・供給路、１５・・・排出路。
、本考案によるウェハ処理電極の一実施例を示す縦断面
図である。 １０・・・ウェハ処理電極、１２・・・流通空間、１３
・・・回転体、１４・・・供給路、１５・・・排出路。
Claims (1)
- ドライエツチング装置の処理室に内設され、ウェハが載
置されると共に冷媒により冷却される電極において、前
記電極に前記冷媒の流通空間を形成すると共に、該流通
空間に冷媒の流通力で回転力を付与される回転体を回転
可能に内設したことを特徴とするウェハ処理電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4196583U JPS59149630U (ja) | 1983-03-25 | 1983-03-25 | ウエハ処理電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4196583U JPS59149630U (ja) | 1983-03-25 | 1983-03-25 | ウエハ処理電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59149630U true JPS59149630U (ja) | 1984-10-06 |
Family
ID=30172527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4196583U Pending JPS59149630U (ja) | 1983-03-25 | 1983-03-25 | ウエハ処理電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59149630U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6346840U (ja) * | 1986-09-10 | 1988-03-30 |
-
1983
- 1983-03-25 JP JP4196583U patent/JPS59149630U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6346840U (ja) * | 1986-09-10 | 1988-03-30 |
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