JPS59150330A - 欠陥検出装置 - Google Patents
欠陥検出装置Info
- Publication number
- JPS59150330A JPS59150330A JP2369683A JP2369683A JPS59150330A JP S59150330 A JPS59150330 A JP S59150330A JP 2369683 A JP2369683 A JP 2369683A JP 2369683 A JP2369683 A JP 2369683A JP S59150330 A JPS59150330 A JP S59150330A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は光ビームで情報媒体上のキズやゴミ等の欠陥を
検出する欠陥検出装置に関する。
検出する欠陥検出装置に関する。
情報を凹凸の形で螺線状または同心円状に記録するビデ
オディスクやデジタルオーディオディスクでは原盤をも
とにしてマスター、マザー、スタンバ−等のメッキ盤を
順次作製し、゛これを金をとしてグラスチックを成形し
て製作される。情報に相当する凹凸は幅０．８〜１μｍ
長さ０．５〜８μｍ程度の微小な大きさであるので、キ
ズやゴミが付着した場合には情報が失われ、信号再生が
できなくなる。このためディス４製作の各工程、即ち原
盤。
オディスクやデジタルオーディオディスクでは原盤をも
とにしてマスター、マザー、スタンバ−等のメッキ盤を
順次作製し、゛これを金をとしてグラスチックを成形し
て製作される。情報に相当する凹凸は幅０．８〜１μｍ
長さ０．５〜８μｍ程度の微小な大きさであるので、キ
ズやゴミが付着した場合には情報が失われ、信号再生が
できなくなる。このためディス４製作の各工程、即ち原
盤。
メッキ盤、ディスク等でキズやゴミを検出し許容値以下
のものを選ぶ必要がある。
のものを選ぶ必要がある。
この検査方法として従来、集光レンズを用いて情報円盤
に光ビームを照射しその反射光を集光レンズで集束させ
、この反射光即ち非散乱光を光検出器で受光する欠陥検
査方法が知られている。しかしこの方法ではゆるやかな
凹凸状の欠陥等非散乱光の変化の弱いキズやゴミでは充
分な検出が出来ず、欠陥を見落してしまう場合がある。
に光ビームを照射しその反射光を集光レンズで集束させ
、この反射光即ち非散乱光を光検出器で受光する欠陥検
査方法が知られている。しかしこの方法ではゆるやかな
凹凸状の欠陥等非散乱光の変化の弱いキズやゴミでは充
分な検出が出来ず、欠陥を見落してしまう場合がある。
また他に散乱光のみを検出する方法も知られているが、
これでは光吸収性のゴミは検出不可能である。よつてい
ずれの場合にも欠陥検出が不正確であるという欠点があ
った。
これでは光吸収性のゴミは検出不可能である。よつてい
ずれの場合にも欠陥検出が不正確であるという欠点があ
った。
本発明の目的は光学式情報媒体上の欠陥検出の感度を向
上させた欠陥検出装置を提供することにある。
上させた欠陥検出装置を提供することにある。
本発明は光学式情報媒体から反射された非散乱光と散乱
光をそれぞれ別個の光検出器を用いて出力信号を取シ出
し、これらの差信号を差動増幅器から出力させ、欠陥信
号とするものである。
光をそれぞれ別個の光検出器を用いて出力信号を取シ出
し、これらの差信号を差動増幅器から出力させ、欠陥信
号とするものである。
本発明によシ、情報媒体上において、散乱が非常に少な
い欠陥でも検出が可能であシ、又散乱方向の異なる様々
な欠陥をも逃さず確実に検出することができる。
い欠陥でも検出が可能であシ、又散乱方向の異なる様々
な欠陥をも逃さず確実に検出することができる。
〔発明の実施例〕
第１図は本発明のｉ実施例を示す構成図である。
レーザ光源Ｕυから発した直線偏光のレーザビームはコ
リメーションレンズａ４を通し偏光ビームスプリッタ０
で折シ返され１波長板Ｉを通過して集光レンズ（１５）
によ）情報円盤面上に集光される。
リメーションレンズａ４を通し偏光ビームスプリッタ０
で折シ返され１波長板Ｉを通過して集光レンズ（１５）
によ）情報円盤面上に集光される。
この情報円盤（Ｌ７）からの反射光はもとの光路な戻シ
ビームスプリツタｕ′５を透過し、ピンホールα尋を通
して光検出器μ■で受光される。ここで、ピンホールα
樽は非散乱光検出の感度を高めるためのものである。こ
の光ビーム即ち非散乱光の強度は前置増幅器（２０１で
光強度に比例した電圧に変換される。また一方、集光レ
ンズの周囲に配置した光検出器１２１）で散乱光を検出
し、前置増幅器■々で光強度に比例した１圧に変換する
。この前置増幅器（至）（２４両者の出力信号を差動増
幅器（至）に加え、出力端（至）に出力される差信号を
欠陥信号とする。
ビームスプリツタｕ′５を透過し、ピンホールα尋を通
して光検出器μ■で受光される。ここで、ピンホールα
樽は非散乱光検出の感度を高めるためのものである。こ
の光ビーム即ち非散乱光の強度は前置増幅器（２０１で
光強度に比例した電圧に変換される。また一方、集光レ
ンズの周囲に配置した光検出器１２１）で散乱光を検出
し、前置増幅器■々で光強度に比例した１圧に変換する
。この前置増幅器（至）（２４両者の出力信号を差動増
幅器（至）に加え、出力端（至）に出力される差信号を
欠陥信号とする。
この欠陥検査の場合、情報円盤（１７）はモータ（ハ）
で回転させるので集光レンズ（１５１は自動焦点合せが
必要であるがこれは従来知られている方法、例えば非点
収差法を用いて焦点誤差信号を取シ出し、これを駆動装
置αｅに加え、集光レンズ住ωを上下に可動させればよ
い。
で回転させるので集光レンズ（１５１は自動焦点合せが
必要であるがこれは従来知られている方法、例えば非点
収差法を用いて焦点誤差信号を取シ出し、これを駆動装
置αｅに加え、集光レンズ住ωを上下に可動させればよ
い。
第２図は本発明の詳細な説明するための図である。情報
円盤ａηから反射される非散乱光は欠陥のない場所では
一定の光強度が戻ってくるため一定゛屯圧の出力が得ら
れるが、ゴミやキズで散乱が太き５ズなると第２図（ａ
）に示す様に光強度が弱くなシ負のパルスが得られる。
円盤ａηから反射される非散乱光は欠陥のない場所では
一定の光強度が戻ってくるため一定゛屯圧の出力が得ら
れるが、ゴミやキズで散乱が太き５ズなると第２図（ａ
）に示す様に光強度が弱くなシ負のパルスが得られる。
一方散乱光は欠陥のない場所では検出出力は零であるが
、ゴミやキズで散乱が多くなると出力パルスは第２図（
ｂ）のように得られる。両信号のパルス出力は逆極性で
あるのでこれらの差信号をとると第２図（Ｃ）に示すよ
うに、一方のみを検出するのに比べ２倍の感度が得られ
る。また、一方のみの出力しか得られない場合でもｖ３
出力には出力パルスが得られる。
、ゴミやキズで散乱が多くなると出力パルスは第２図（
ｂ）のように得られる。両信号のパルス出力は逆極性で
あるのでこれらの差信号をとると第２図（Ｃ）に示すよ
うに、一方のみを検出するのに比べ２倍の感度が得られ
る。また、一方のみの出力しか得られない場合でもｖ３
出力には出力パルスが得られる。
とのように非散乱光および散乱光の両者を検出すること
により、光吸収性のゴミのように非散乱光の変化はある
が散乱光の得られない場合にもｖ３出力に変化が現われ
るので検出が可能となる。また比較的ゆるやかな凹凸状
の欠穫は、非散乱光では変化が少なく、検出しにくいが
、散乱光は集光レンズの周囲に光検出器を配置している
ので、わずかな変化をも検出が可能である。従って本発
明によればこのような欠陥も検出することができる。
により、光吸収性のゴミのように非散乱光の変化はある
が散乱光の得られない場合にもｖ３出力に変化が現われ
るので検出が可能となる。また比較的ゆるやかな凹凸状
の欠穫は、非散乱光では変化が少なく、検出しにくいが
、散乱光は集光レンズの周囲に光検出器を配置している
ので、わずかな変化をも検出が可能である。従って本発
明によればこのような欠陥も検出することができる。
第８図は散乱光検出のための光検出器の配置例である。
第８図（、）は集光レンズ崗の開口の周囲にリング状の
光検出器（１）を配置゛した場合を示す。第８図（ｂ）
は情報円盤（１？）上をおおうように半球状の光検出器
（２７）を集光レンズ（１５１の周囲に配置したもので
ある。第８図（Ｃ）は光検出器の代夛に光ファイバー（
ハ）をリング状に並べて配置した場合である。この時に
は第８図（ｄ）に示すようにそれぞれの光ファイバー（
ハ）は根元で束ね、その出力端に光検出器（至）を置い
て検出する。光ビームは情報円盤面上の欠陥で点謙で示
すように散乱され光ファイバー（至）に入力子る。第８
図（ｅ）は光ファイバ束（至）で同様な効果をもたせた
場合である。
光検出器（１）を配置゛した場合を示す。第８図（ｂ）
は情報円盤（１？）上をおおうように半球状の光検出器
（２７）を集光レンズ（１５１の周囲に配置したもので
ある。第８図（Ｃ）は光検出器の代夛に光ファイバー（
ハ）をリング状に並べて配置した場合である。この時に
は第８図（ｄ）に示すようにそれぞれの光ファイバー（
ハ）は根元で束ね、その出力端に光検出器（至）を置い
て検出する。光ビームは情報円盤面上の欠陥で点謙で示
すように散乱され光ファイバー（至）に入力子る。第８
図（ｅ）は光ファイバ束（至）で同様な効果をもたせた
場合である。
上述した実施例によシ、様々な角度に散乱される散乱光
を広い範囲で検出することができるため、散乱光検出の
感度を高めることが可能となる。
を広い範囲で検出することができるため、散乱光検出の
感度を高めることが可能となる。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は本発
明の効果を示すカー＝、第８図は本発明、の光検出法の
他の実施例を示す図である。 １１・・・レーｆ光源、１２・・・コリメーションレン
ズ１８・・・ビームスプリッタ、１４・・・菌液長板、
１５・・・集光レンズ、１６・・・駆動装置、１７・・
・情報円盤、１８・・・ピンホール、１９．２１．２９
・・・光検出器、２０．２２・・・前置増幅器、２３・
・・差動増幅器、２４・・・出力端、２５・・・モータ
、２６・・・リング状の光検出器、２７・・・半球上の
光検出器、２８・・・光ファイバー、３０・・・光フア
イバー束、 代理人 弁理士別 近 憲佑 （ほか１名）第 １
図 第 ２ 因 ■ 第 ３ 図 ｒ６）ｒｂ） （ｅン
明の効果を示すカー＝、第８図は本発明、の光検出法の
他の実施例を示す図である。 １１・・・レーｆ光源、１２・・・コリメーションレン
ズ１８・・・ビームスプリッタ、１４・・・菌液長板、
１５・・・集光レンズ、１６・・・駆動装置、１７・・
・情報円盤、１８・・・ピンホール、１９．２１．２９
・・・光検出器、２０．２２・・・前置増幅器、２３・
・・差動増幅器、２４・・・出力端、２５・・・モータ
、２６・・・リング状の光検出器、２７・・・半球上の
光検出器、２８・・・光ファイバー、３０・・・光フア
イバー束、 代理人 弁理士別 近 憲佑 （ほか１名）第 １
図 第 ２ 因 ■ 第 ３ 図 ｒ６）ｒｂ） （ｅン
Claims (2)
- （１）光源と、この光源か灸発射された光ビームを情報
媒体に導く光学系と、前記情報媒体から反射された非散
乱光を受光し゛１気＜＝号に変換する第１の晃検出器と
、前記情報媒体上の欠陥によシ散乱反射された散乱光を
受光し電気信号に変換する第２の光検出器と、非散乱光
電流と散乱光電流の差をとシ出す手段とを具備したこと
を！￥ｆ徴とする欠陥検出装置。 - （２）第２の光検出器は、散乱光を集光する光学系を備
えたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の欠陥
検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2369683A JPS59150330A (ja) | 1983-02-17 | 1983-02-17 | 欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2369683A JPS59150330A (ja) | 1983-02-17 | 1983-02-17 | 欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59150330A true JPS59150330A (ja) | 1984-08-28 |
Family
ID=12117569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2369683A Pending JPS59150330A (ja) | 1983-02-17 | 1983-02-17 | 欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59150330A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62188948A (ja) * | 1986-02-14 | 1987-08-18 | Nec Corp | 欠陥検査装置 |
| JP2016206175A (ja) * | 2015-04-27 | 2016-12-08 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 光センシング装置及び光センシング方法 |
-
1983
- 1983-02-17 JP JP2369683A patent/JPS59150330A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62188948A (ja) * | 1986-02-14 | 1987-08-18 | Nec Corp | 欠陥検査装置 |
| JP2016206175A (ja) * | 2015-04-27 | 2016-12-08 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 光センシング装置及び光センシング方法 |
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