JPS59154342A - 規則性パタ−ンの欠陥検査装置 - Google Patents
規則性パタ−ンの欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPS59154342A JPS59154342A JP2905883A JP2905883A JPS59154342A JP S59154342 A JPS59154342 A JP S59154342A JP 2905883 A JP2905883 A JP 2905883A JP 2905883 A JP2905883 A JP 2905883A JP S59154342 A JPS59154342 A JP S59154342A
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- Japan
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- parallel light
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95623—Inspecting patterns on the surface of objects using a spatial filtering method
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は規則性パター／における欠陥を検査する装置に
係り、特にその感度分布を補正する装置に関する。
係り、特にその感度分布を補正する装置に関する。
各種メタルフィルタ、工Ｃマスク等で代表される却５則
性をもったパターン中の欠陥を検出する方法として、微
小光ビームでλ次元画像を走査し得られた出力信号を電
子計算機で処理するものがある。しかし、この方法は処
理の複＋（（さ、処理時間の長さ、高価という問題点が
ある。
性をもったパターン中の欠陥を検出する方法として、微
小光ビームでλ次元画像を走査し得られた出力信号を電
子計算機で処理するものがある。しかし、この方法は処
理の複＋（（さ、処理時間の長さ、高価という問題点が
ある。
そこで、これに代るものとして、光の回折親、象を利用
して当該欠陥の検出を行つレー→ｒ光回折・ξターン空
間周波数フィルタリング方式（以］：空間フィルタリン
グ方式という）が開発され実用化されている。これは２
次元画像の空間的並列処理が簡即でしかも安価な光学系
でできる上に高速であるという特徴があるため、規則性
２次元ノξターンを持つ工業製品の欠陥検査には好適で
ある。すなわち、この方式は、レーザ光をコリメータレ
ンズを介して平行光とし被検査対象に当て、その透過光
ヲフーリエ変換レンズ、空間フィルタおよび逆フーリエ
変換レンズを通してディテクタに再録るものである。そ
して、被検査対象の全面走査を行うことによりディテク
タにより欠陥部分だけの像が得られろ。
して当該欠陥の検出を行つレー→ｒ光回折・ξターン空
間周波数フィルタリング方式（以］：空間フィルタリン
グ方式という）が開発され実用化されている。これは２
次元画像の空間的並列処理が簡即でしかも安価な光学系
でできる上に高速であるという特徴があるため、規則性
２次元ノξターンを持つ工業製品の欠陥検査には好適で
ある。すなわち、この方式は、レーザ光をコリメータレ
ンズを介して平行光とし被検査対象に当て、その透過光
ヲフーリエ変換レンズ、空間フィルタおよび逆フーリエ
変換レンズを通してディテクタに再録るものである。そ
して、被検査対象の全面走査を行うことによりディテク
タにより欠陥部分だけの像が得られろ。
ここにおいて、この欠陥検査装置の光学系中に検査誤差
に結び付くような不具合があることがある。例えば、レ
ーザとレンズの光軸ずれ、レーザの出力変動等である。
に結び付くような不具合があることがある。例えば、レ
ーザとレンズの光軸ずれ、レーザの出力変動等である。
しか（７ながら、従来これら不具合についての対策は（
Ｆｉ、ｌら講じられていなかったため、これらの誤差原
因を除去するための注意を充分に払う必要があり、しか
も一方で検査精度に関する問題か残っている。
Ｆｉ、ｌら講じられていなかったため、これらの誤差原
因を除去するための注意を充分に払う必要があり、しか
も一方で検査精度に関する問題か残っている。
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、検査動作を
所定性行う毎に平行光の各部光量を測定して測定値に基
く感度設定信号を形成しディテクタもしくはその出力信
号処理部に与えることにより精度分布を補正して検査精
度の高い・ξターン欠陥検査装置を提供するものである
。
所定性行う毎に平行光の各部光量を測定して測定値に基
く感度設定信号を形成しディテクタもしくはその出力信
号処理部に与えることにより精度分布を補正して検査精
度の高い・ξターン欠陥検査装置を提供するものである
。
以下添付図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
第１図（ａ） 、 （ｂ）は本発明による輝度分布の補
止を行うため、平行光の輝度分布を測定する測定部の＋
１４成例を示したもので、／はレーザ光源１．２はレー
ザ光でありコリメータレンズ３を経ることにより平行光
ケとなって被検査対象、ＳＫ力えられる。
止を行うため、平行光の輝度分布を測定する測定部の＋
１４成例を示したもので、／はレーザ光源１．２はレー
ザ光でありコリメータレンズ３を経ることにより平行光
ケとなって被検査対象、ＳＫ力えられる。
被検査対象Ｓの取付は治具にあげる被検査対象の側部に
は光センサアレイ乙には被検査対象Ｓの赤査に関連して
平行光が力えられる。図の場合は、被検査対象の最Ｔ辺
部を左右方向に走査するときに被検査ｚ１象Ｓの右端よ
り右側外ではみ出すようニ走有スれば光センサアレイ乙
に平行光を照射することができる。ここで、光センサア
レイ乙と平行光りとけ同図（１，）に示すように、平行
光ケの垂直方向の直径に重なる位的、に光センサアレイ
乙があるとき、光中ンザアレイ６の各十ンｙに光が照射
され輝度分布を測定し得る訳である。
は光センサアレイ乙には被検査対象Ｓの赤査に関連して
平行光が力えられる。図の場合は、被検査対象の最Ｔ辺
部を左右方向に走査するときに被検査ｚ１象Ｓの右端よ
り右側外ではみ出すようニ走有スれば光センサアレイ乙
に平行光を照射することができる。ここで、光センサア
レイ乙と平行光りとけ同図（１，）に示すように、平行
光ケの垂直方向の直径に重なる位的、に光センサアレイ
乙があるとき、光中ンザアレイ６の各十ンｙに光が照射
され輝度分布を測定し得る訳である。
第一回は本発明に係る感度補正装＠を絹込んたパターン
欠陥検査装置の回路構成を示したもので、第１図と同一
符号は同一要素を示している。そして、７は被検査対象
、夕を経た平行光をフーリエ変換するフーリエ変換レン
ズであり、この変換が行われた光は空間フィルタｇを経
て欠陥部分だけの光とされ逆フーリエ変換レンズ７の後
焦点面上ＫＩｇｊ、かれたディテクタ開［１アレイ１０
により欠陥部分像の検出が行われ、る。このディテクタ
開口アレイ１０により検出された光は光ファイ・ｚ／／
を介して信号処理部７．２に至り電気信号に変換されて
欠陥信号として出力される。
欠陥検査装置の回路構成を示したもので、第１図と同一
符号は同一要素を示している。そして、７は被検査対象
、夕を経た平行光をフーリエ変換するフーリエ変換レン
ズであり、この変換が行われた光は空間フィルタｇを経
て欠陥部分だけの光とされ逆フーリエ変換レンズ７の後
焦点面上ＫＩｇｊ、かれたディテクタ開［１アレイ１０
により欠陥部分像の検出が行われ、る。このディテクタ
開口アレイ１０により検出された光は光ファイ・ｚ／／
を介して信号処理部７．２に至り電気信号に変換されて
欠陥信号として出力される。
信号処理部／２は、制御信号発生部／ｌｌからのザンプ
ル信号／Ｓ１ リセット信号／乙に基き光センサアレイ
乙により取出された輝度分布信号に対応し感度設定信号
発生部／３が出力する感度設定信号により制御される。
ル信号／Ｓ１ リセット信号／乙に基き光センサアレイ
乙により取出された輝度分布信号に対応し感度設定信号
発生部／３が出力する感度設定信号により制御される。
第３図は第２図の感度設定信号発生部／Ｊのより具体的
な構成を示したもので、／ＪＦＬは反転増幅器であり、
光センサアレイ乙の光センサから与えられた輝度信号を
極性反転してサンプル回路ｉ、ｙ’ｏに寿える。サンプ
ル回路／３ ｂは制御信号発生部／弘からのザンゾル信
号／ｊに基き、反転増幅器／３８から与えられる輝度信
号を抽出してホール＋：′回路／３ｃに与え記憶させる
。ボールド回路／３Ｃはり士ノド信号／Ａが与えられる
まで記憶を続けこの記憶内容を信号処、理部／、２に−
ｌジえろ。制御信号発４＋部ｉ／／ｒ、ｒ；）、これら
ザ／プル信号／Ｓ、り七ント信号／Ａの送出を・２ター
ン欠陥検査装置の検査走査に同期して行い、例えは被検
査対象を１つ検査する直前に新ｙ”ｃブ：ｃ輝度信号を
取込むようにする。
な構成を示したもので、／ＪＦＬは反転増幅器であり、
光センサアレイ乙の光センサから与えられた輝度信号を
極性反転してサンプル回路ｉ、ｙ’ｏに寿える。サンプ
ル回路／３ ｂは制御信号発生部／弘からのザンゾル信
号／ｊに基き、反転増幅器／３８から与えられる輝度信
号を抽出してホール＋：′回路／３ｃに与え記憶させる
。ボールド回路／３Ｃはり士ノド信号／Ａが与えられる
まで記憶を続けこの記憶内容を信号処、理部／、２に−
ｌジえろ。制御信号発４＋部ｉ／／ｒ、ｒ；）、これら
ザ／プル信号／Ｓ、り七ント信号／Ａの送出を・２ター
ン欠陥検査装置の検査走査に同期して行い、例えは被検
査対象を１つ検査する直前に新ｙ”ｃブ：ｃ輝度信号を
取込むようにする。
第１図は第２図の装置におけろ光子ンサアレイ６の紳０
度分布泗１定結果および信号処理部７ノのノ（へ度分布
を示す特性図である。この場合、光センサアレイ乙およ
び信号処理部／）、は共に／グナヤネルで構成され、し
たがって同図上部の輝度分血止１定結果は第７．ｌｒチ
ャネルをピークとする正規分布状になり、これに合わせ
て同ＩＵＩ下部の感度分布は輝度分布測定結果を補正し
て′ｓＶ担な信号レベルが得られるように選べばよい。
度分布泗１定結果および信号処理部７ノのノ（へ度分布
を示す特性図である。この場合、光センサアレイ乙およ
び信号処理部／）、は共に／グナヤネルで構成され、し
たがって同図上部の輝度分血止１定結果は第７．ｌｒチ
ャネルをピークとする正規分布状になり、これに合わせ
て同ＩＵＩ下部の感度分布は輝度分布測定結果を補正し
て′ｓＶ担な信号レベルが得られるように選べばよい。
この下部の特性中、破線で示したものは補正を行わない
場合の欠陥信号レベルを、鎖線は信号処理部／２の各ナ
ヤホル感度分布を、実線は補正後の欠陥信号レベルをそ
れぞれ示している。
場合の欠陥信号レベルを、鎖線は信号処理部／２の各ナ
ヤホル感度分布を、実線は補正後の欠陥信号レベルをそ
れぞれ示している。
本発明は上述のよう１・て、空間フィルタリング方式に
よる。６ターン欠陥検査装置における光学系や輝度分布
を測定して欠陥検出信号のレベル補正を行うようにした
ため、光源のレベル変動とか光学系内の光軸ずれ等があ
ってもこれによる検査誤差を除去することができ、高精
度でパターン欠陥検査を行うことができる。
よる。６ターン欠陥検査装置における光学系や輝度分布
を測定して欠陥検出信号のレベル補正を行うようにした
ため、光源のレベル変動とか光学系内の光軸ずれ等があ
ってもこれによる検査誤差を除去することができ、高精
度でパターン欠陥検査を行うことができる。
第１゛図（ａ） 、 （ｂ）は空間フィルタリング方式
による・ξターン欠陥検査装置における光学系の輝度分
布測定部の説明図、第２図は本発明に係る感度補正装置
を組込んだ／ぐターン欠陥検査装置の回路構成を示すブ
ｏ 、７り線図、第、７図は第２図の装置における感度
設宇償号発生部のより週休的回路構成を示すブロック線
図、第ケ図は第２図の装置における輝度分布測定結果お
よび感ｍ補正内容を説明するための特性図である。 ／・・レーｆ光源、コ・・・レーｆｊｔ、３・コリメー
タ１／ンズ、ＩＩ・・平行光、Ｓ・・被検査対象、乙・
・光センザアレイ、７ フーリエ変換Ｌ／ンズ、ｇ 空
間フィルタ、？・・逆フー リエを換レンズ、／θ・・
ディテクタ開［」アレイ、／／・光ファイ、Ｓ、／、２
信号処理部、／３・・・感度設定信号発タ１コ部、／
ｌ 制御信号発生部。
による・ξターン欠陥検査装置における光学系の輝度分
布測定部の説明図、第２図は本発明に係る感度補正装置
を組込んだ／ぐターン欠陥検査装置の回路構成を示すブ
ｏ 、７り線図、第、７図は第２図の装置における感度
設宇償号発生部のより週休的回路構成を示すブロック線
図、第ケ図は第２図の装置における輝度分布測定結果お
よび感ｍ補正内容を説明するための特性図である。 ／・・レーｆ光源、コ・・・レーｆｊｔ、３・コリメー
タ１／ンズ、ＩＩ・・平行光、Ｓ・・被検査対象、乙・
・光センザアレイ、７ フーリエ変換Ｌ／ンズ、ｇ 空
間フィルタ、？・・逆フー リエを換レンズ、／θ・・
ディテクタ開［」アレイ、／／・光ファイ、Ｓ、／、２
信号処理部、／３・・・感度設定信号発タ１コ部、／
ｌ 制御信号発生部。
Claims (1)
- 規則性−次元、９ターンを持つ被検査対象を平行光によ
り走査してフーリエ変換し、空間フィルタにより前記被
検査対象の欠陥部分の像を取出して逆フーリエ変換した
光をデイデクタアレイにより検出して信号処理部に与え
欠陥信号な形成するようＫした規則性・ξターンの欠陥
検査装置において、゛前記平行光の輝度分布を測定する
センサと、このセンサの測定値に応じて前記信号処理部
に感度設定信号を与える感度設定信号発生部と、前記検
査装置の検査動作に同期して前記感度設定信号発生部の
設定動作を行う制御信号発生部とをそプ’ｘえたことを
特徴とする規則性・ξターンの欠陥検査装置・
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2905883A JPS59154342A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 規則性パタ−ンの欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2905883A JPS59154342A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 規則性パタ−ンの欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59154342A true JPS59154342A (ja) | 1984-09-03 |
Family
ID=12265761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2905883A Pending JPS59154342A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 規則性パタ−ンの欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59154342A (ja) |
-
1983
- 1983-02-23 JP JP2905883A patent/JPS59154342A/ja active Pending
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