JPH11118449A - 表面形状欠陥検査方法及びそれを用いた表面欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 感光体ドラム表面の緩やかな凹凸形状の欠陥
を簡単な検出系で感度よく、効率的に検出することので
きる表面欠陥検査方法及びそれを用いた表面欠陥検査装
置を提供すること。 【解決手段】 平行光束を被検査物である感光体ドラム
の表面に平行光を斜めに照射する投光光学系と、平凸型
シリンドリカルレンズの拡大光学系、スリットを有する
受光マスク板、受光器のＣＣＤラインセンサーの受光素
子列で構成される受光光学系を持ち、受光マスク板のス
リット及び受光素子列の長手方向を受光光学系の光軸に
垂直な平面内で感光体ドラムの中心軸の射影成分と平行
に配するとともに、平凸シリンドリカルレンズが感光体
ドラムの中心軸方向の正反射光を拡大することを特徴と
する表面欠陥検査方法及びそれを用いた表面欠陥検査装
置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は表面形状欠陥検査方
法及びそれを用いた表面欠陥検査装置に関し、例えば複
写機等に用いられる感光体ドラム表面の欠陥検査を従来
より検出が困難であった緩やかな凹凸形状を持つ表面欠
陥を検査する際に好適なものである。

【０００２】

【従来の技術】複写機のような感光体ドラムを用いる装
置では転写の一様性を保証するために、前記感光体ドラ
ム表面の欠陥検査が必要事項になっている。感光体ドラ
ムのように鏡面状の滑らかな表面を持つ被検査物体で
は、表面に付着したゴミ、傷等の形状のはっきりした欠
陥は検査が容易であるが、緩やかな凹凸形状の欠陥の検
出が困難であった。従来、本発明で対象とする緩やかな
凹凸形状の欠陥を持つ被検査物の表面形状を検査する方
法としては、スリット状の光束を被検査物表面に照射
し、その光束の直線からのずれを検出して表面形状を得
る光切断法が知られている。この場合、検査装置はスリ
ット状光束を出射する光源と、前記スリット状光束を照
射した表面からの反射光の直線性を検出する受光系、例
えばエリアセンサーカメラを備えたもので構成されてい
た。感光体ドラムの場合にはさらに該ドラムを回転させ
たり送ったりしながら、全領域の検査が行なわれる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のよ
うな光切断法による表面検査方法及び装置では、表面形
状の変化が緩やかで、しかも変化量が微小な凹凸を検出
するため、受光系の光学系の倍率を大きくする必要があ
る。この場合、 １．被検査物の回転及び送りによる表面の位置変動が受
光系の合焦を乱し、検出時の検出光束の直線性及び傾き
を乱す要因となる。このため検出される直線性の変化が
被検査物体の表面の緩やかな凹凸による形状変化に起因
するかどうかの分離が困難となり、検出分解能が低下す
る。 ２．前記１による合焦状態による位置変動の影響を極力
少なくするには、光源、受光系、被検査物表面の相対位
置を高精度に合わせる必要があり、装置が複雑になる。 ３．受光系の倍率が大きくなると検査視野が狭くなり、
被検査物の全面を検査するのに必要な時間が長くなる。
等の欠点があった。

【０００４】本発明は上記の欠点に対応すべくなされた
もので、複写機等に用いられる感光体ドラムのように表
面が滑らかで直線性を持つ被検査物の緩やかな凹凸形状
欠陥を検査する方法及び装置を提供することにある。こ
のため本発明では感光体ドラム等の表面上の緩やかでし
かも変化量が微小な凹凸欠陥を検出するため、検査照射
光を該表面に投影し、該検査照射光の正反射光の強度分
布像を受光素子上に拡大投影し、該受光素子からの信号
を処理して前記緩やかな凹凸表面形状欠陥を検出する欠
陥検査方法及びそれを用いた表面欠陥検査装置を提供す
ることを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の欠陥検査においては被検査物である感光体
ドラム表面に検査照射光を当てる投光光学系と、被検査
物からの正反射光を受光する受光光学系、及び受光光学
系で得られた電気信号を処理する処理手段から構成され
ることを特徴とする。投光光学系は光源と光源からの光
を平行光束に変換する光学系、及び該変換された平行光
束を検査照射光の形状に整形するマスク板より構成され
る。また受光光学系は検査照射光のドラム表面での正反
射光を拡大する拡大光学系、該拡大光学系によって投影
される光強度分布を受光する光電変換ラインセンサー
と、該拡大光学系と光電変換ラインセンサーの間に配置
される受光マスク板のスリットによって構成され、被検
査物である感光体ドラム表面の正反射光像が映像信号と
して電気信号に変換される。変換された電気信号より前
記処理手段が表面形状の欠陥を検出する。

【０００６】このような構成で平行光束を被検査物の表
面に照射すると、緩やかな凹凸をもつ表面形状に起因し
た正反射光の反射角の変化が、正反射光像の投影で光強
度分布の変化として現われる。この光強度分布は受光光
学系の拡大光学系によって拡大投影され欠陥の検出が行
なわれる。受光光学系中の受光マスク板のスリットを介
しての検出はスリットが空間フィルターの役目を果たす
ため、拡大投影の際の検出分解能の向上に寄与する。ま
た、不必要な光が受光素子部に照射されないことから、
乱反射による影響も防ぐことができる。

【０００７】本発明では正反射光像を投影しているのみ
で、高性能な撮影レンズを用いて受光素子に被検査物を
結像しているわけではないため、光学系による収差や合
焦の問題がなく、高い信頼性で表面形状欠陥を検出する
ことができる。

【０００８】本発明は検査照射光である平行光束が被検
査物である感光体ドラムの中心軸に対し軸方向から鋭角
で照射する配置も特徴となっている。鋭角照射のため、
前記照射手段による検査照射光の前記軸方向に対する光
束幅よりも被検査物の表面での照射幅が大きくなって幅
の狭い照射光で広い検査幅を得ることができ、検査の時
間効率を上げることができる。入射角が９０度に近づく
ことは広い視野の実現と、検出感度向上に効果がある。
これは９０度に近づくと緩やかな表面形状変化のある部
分と正常な表面での正反射光の差が大きくなり、変化量
の小さな形状変化も正反射光の強度分布の差として明確
に現われるからである。

【０００９】さらに、本発明では投光光学系の照射光軸
と感光体ドラム中心軸により決定される正反射光と光軸
が一致するように配置される受光光学系を平凸型シリン
ドリカルレンズの拡大光学系と、スリットを有する受光
マスク板、及び受光手段である光電ラインセンサー、例
えばＣＣＤラインセンサー等の受光素子列で構成するこ
とが特徴である。正反射光の投影像は拡大光学系により
拡大され、受光マスク板のスリットを介して受光素子列
に投影される。平凸シリンドリカルレンズは感光体ドラ
ムの中心軸方向の反射光のみを拡大する。このため平凸
シリンドリカルレンズの母線は受光光学系の光軸に直交
する平面内で前記感光体ドラムの中心軸の射影と直交す
る方向に配され、受光マスク板のスリット及び受光素子
列の長手方向は受光光学系の光軸に垂直な平面内で該中
心軸の射影と平行に配される。スリットは感光体表面か
らの反射光のうち中心軸と平行な正反射成分の光のみを
受光させ、乱反射光の影響を除去する作用を持つ一種の
空間フィルターである。

【００１０】受光素子列の長手方向と該中心軸の射影方
向を合致させることは受光素子の大きさににあった投影
倍率で検出を行なうことを可能とする。このため、受光
素子列全面を有効に使用でき、素子面積当たりの検査視
野を最適にすることができる。

【００１１】これらの結果として欠陥のない表面からの
光を効率的に検出でき、検査視野内に存在する表面形状
の変化箇所を光強度分布に差が出る部分として受光素子
列に明確に投影することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１は本発明の実施例１で本発明
の特徴を最も良く表わす図面である。同図において１は
光源のＨｅ−Ｎｅレーザー、２はレーザー１からの出力
光を拡大し、かつ平行光とするビームエキスパンダー、
３は被検査物表面に検査光として照射する原形状を定め
るマスク板、４は被検査物である感光体ドラム、５は検
査照射光による被検査物表面の正反射光を投影する平凸
型シリンドリカルレンズ、６は平凸型シリンドリカルレ
ンズ５による投影光のの受光する範囲を定める受光マス
ク板、７は受光マスク板６によって範囲を定められて通
過してきた表面の反射投影光を受光し、その像を電気信
号に変換するＣＣＤセンサー７、８はＣＣＤラインセン
サー７により撮像した映像出力信号を処理する処理装置
である。上記構成において１から７は外光を遮断する不
図示の遮光板でカバーされており、暗所に配置されてい
る。

【００１３】１から３の構成が投光光学系である。検査
光源は被検査物である感光体ドラムにフォトメモリーの
影響を与えない波長域のものが選択され、例えばＨｅ−
Ｎｅレーザー（波長６３２．８ｎｍ）が典型例である。
図１でＨｅ−Ｎｅレーザー１の出力ビーム光１ａはビー
ムエキスパンダー２の光軸に合致するように出射され
る。ビームエキスパンダー２を通過した入射ビーム１ａ
は平行な出射光束２ａに変換され、光の原形状を定める
マスク板３を照射して検査照射光３ａになる。この時２
ａの大きさは検査照射光３ａとして被検査面を照射する
ビームの形状を定めるマスク板上のパターンより充分大
きく、光強度分布が均一なビーム光径に拡大されてい
る。

【００１４】マスク板３は被検査物４を照射する検査照
射光３ａの原形状部のみを貫通するパターンが形成さ
れ、他は遮光板により遮光された構造となっている。マ
スク板面はビームエキスパンダーの光軸と垂直に配置さ
れ、３を通過する検査照射光の原形状部の中心は前記光
軸上にある。

【００１５】検査照射光の原形状を決める前記マスク板
３の典型的な値として、以降本実施例では３（ｘ）＝１
２ｍｍ、３（ｙ）＝１４ｍｍを用いて説明を行う。前記
出射光束２ａをマスク板３へ照射することにより、原形
状部を通過した光束３ａは長方形の形状をした平行な検
査光束として、被検査物４の表面に照射される。長方形
の検査照射光３ａの３（ｘ）の方向（１２ｍｍ）は被検
査物４の感光体ドラムの長手方向に相当する。

【００１６】感光体ドラムは直径３０ｍｍの導電性円筒
物で、鏡面状の表面に感光体となる有機物が均一に数層
コーティングされ、全体としても表面は鏡面状である。
円筒状の感光体ドラムの中心軸４ａは投光光学系である
ビームエキスパンダーの光軸と交差する位置に配置され
る。感光体ドラム表面への検査照射光３ａの入射角θは
前記投光光学系の光軸と感光体ドラムの中心軸４ａの法
線のなす角度である。θは通常６０〜８０度の間に設定
され、この角度で被検査物が斜め照射される。斜め照射
のため被検査物４である感光体ドラムの長手方向に沿っ
ての検査照射光の長さ４（ｘ）は次の式で洗わされる。

【００１７】 ｓｉｎ（ ９０ーθ）＝ ３（ｘ）／４（ｘ） 例えば平行光である検査照射光３ａの長方形光束の一辺
の長さ３（ｘ）を前述の通り１２ｍｍ、入射角θを８０
度とすると前記照射長４（ｘ）は約６９ｍｍとなる。斜
め入射の効果でもとの検査光束の大きさ３（ｘ）＝１２
ｍｍに比べて５倍以上長い範囲を照射していることがわ
かる。一方、検査照射光３ａの長方形の他辺である３
（ｙ）方向（１４ｍｍ）は被検査物が円筒の形状をして
いるため、被検査物上では円弧の形状４（ｙ）となり表
面照射長も３（ｙ）＝１４ｍｍに比べその分長い範囲を
照射する。

【００１８】感光体ドラム表面に前記入射角θで検査照
射光３ａを照射する投光光学系に対し、感光体ドラム表
面の正反射光を検知する受光光学系が配置される。受光
光学系の光軸は投光光学系の光軸の正反射光と一致し、
該光軸上に配置された平凸型シリンドリカルレンズ５に
感光体ドラム表面の正反射光４ｂが入射する。この時、
検査照射光３ａの感光体ドラム表面の照射位置と平凸型
シリンドリカルレンズ５の間隔は平凸型シリンドリカル
レンズ５の焦点距離以上離して配置される。

【００１９】検査対象である感光体ドラムが円筒物で、
表面が鏡面状態であるため、照射される平行な検査照射
光３ａの３（ｘ）方向（１２ｍｍ）に対する反射光は表
面が半径１５ｍｍの曲率を有する。これより正反射光は
感光体ドラムの周方向の照射位置によって定まる広がり
を持った光となる。従って前記平凸型シリンドリカルレ
ンズ５に入射する光は感光体ドラム周方向の４（ｙ）方
向に広がりを持つ正反射光４ｂとなる。平凸型シリンド
リカルレンズ５の正反射光４ｂの入射に対する作用を前
記検査光束３ａに対して考えると、３（ｘ）方向の正反
射光についてはレンズ作用があり、３（ｙ）方向の正反
射光に対してはレンズ作用がない配置となっている。即
ち平凸シリンドリカルレンズの母線は受光光学系の光軸
に直交する平面内で前記感光体ドラムの中心軸の射影と
直交する方向に配される。

【００２０】平凸型シリンドリカルレンズ５に入射した
正反射光４ｂのうち、前記反射光束３ａの３（ｘ）方向
に当たる光は焦点の位置を通過し、それより離れると１
８０度反転して、距離及びレンズ倍率に依存して拡大す
る反転像となる。これに対し、３（ｙ）方向に対するレ
ンズ出射光像は被検査物４の表面の曲率と、前記表面の
検査照射光３ａの照射位置からの距離に依存する拡大像
となる。

【００２１】平凸型シリンドリカルレンズ５を通過した
感光体ドラム表面の反射光５ａは５以下の受光光学系の
光軸上で光軸に対して垂直に配置された受光マスク板６
に投影される。受光マスク板６には受光光学系に垂直な
平面内で、前記光軸上を通り、感光体ドラムの中心軸４
ａの射影と平行な方向にスリットが設けられ投影像の受
光する範囲を定めている。受光マスク板６のスリットを
通過して受光範囲が定められた光束６ａは受光光学系光
軸上に配置した光電変換ラインセンサーであるＣＣＤラ
インセンサー７の受光素子面に投影され検出が行われ
る。

【００２２】ＣＣＤラインセンサー７が受光するのはシ
リンドリカルレンズ５を通過した感光体ドラムの正反射
光５ａのうち受光マスク板６のスリットを通過した光束
６ａのみで、またＣＣＤラインセンサー７の受光素子列
は受光光学系の光軸に垂直な平面内で６のスリットと同
様に、被検査物である感光体ドラムの中心軸４ａの射影
成分と平行な方向に配置される。

【００２３】平凸型シリンドリカルレンズ５とＣＣＤラ
インセンサー７の間隔はＣＣＤラインセンサー７の受光
素子列の長手方向の長さが、前記平凸型シリンドリカル
レンズ５により形成される感光体ドラム表面の反射像５
ａの水平方向の像の大きさとほぼ一致するように設定さ
れる。このようにすれば受光素子の大きさににあった投
影倍率で検出を行なうことができ、受光素子列全面を有
効に使用でき位置の分解能を上げるとともに、素子面積
当たりの検査視野を最適にできる。

【００２４】平凸型シリンドリカルレンズ５とＣＣＤラ
インセンサー７の間に配置された前記受光マスク板６、
及びそれに設けられたスリットは前記ＣＣＤラインセン
サー７の受光素子列全面のみに前記同様、感光体ドラム
表面の反射像６ａの水平方向の像の範囲が照射するよう
に設けられている。

【００２５】ＣＣＤラインセンサー７により撮像された
反射光像は電気信号に変換され、映像信号７ａの出力と
なって処理装置８に入力される。処理装置８は入力信号
７ａに対しフィルター処理を行って電気信号ノイズを除
き、次いで反射光像に対応する映像信号のみを対象とし
て、映像信号レベルを事前に設定した規格レベルの上下
限値と比較する。規格値を外れた映像信号が出力された
箇所は、そこに表面形状不良が存在するものと判断さ
れ、規格値以内の場合は良品と判断される。

【００２６】図２は本発明の検出原理を示す説明図であ
る。同図は前述の平行な検査照射光３ａが感光体ドラム
の中心軸４ａに平行なドラム表面に対し入射角θで、前
記表面のある範囲４（ｘ）を照射したときの様子を示し
たもので、欠陥の無い表面と緩やかな表面形状の欠陥が
あった場合の反射光の振るまいが図示されている。

【００２７】図２において、感光体ドラム表面に緩やか
な凹凸形状の変化が無い表面、即ち４（ｘ１）、４（ｘ
３）という領域では表面とドラム中心軸４ａとの平行が
保たれることから表面反射光の反射角θ’は入射角θと
同じ角度で反射され反射光像４ｂ１、４ｂ３を形成す
る。

【００２８】これに対し緩やかな凸形状表面を持つ４
（ｘ２）という領域に入射した光は、この部分の表面で
ドラム中心軸４ａとの平行性がなくなるため異なった挙
動を示す。即ち４（ｘ２）では表面が中心軸４ａに対し
傾きｘｎ度を持つため、該表面に対する入射角θｎはθ
ーｘｎ度となり、凹凸のない領域での入射角θと異なる
角度で検査照射光が照射されることになる。照射された
検査光束の反射光の反射角θｎ’は入射角θｎと同じ角
で反射されるため、凸型表面を持つ領域４（ｘ２）に対
する正反射光の形成する像４（ｂ２）は凹凸のない部分
とは異なった方向に伝播する。

【００２９】このように平行な検査照射光３ａをドラム
表面の範囲４（ｘ）に照射した場合、前記入射角θ及び
反射角θｎ’の関係より、ドラム表面より充分離れた位
置における受光光学系の光軸近傍で正反射光の分布を観
察すると、該光軸と直角をなす直線４ｃ上での分布は４
ｄのように示される。正反射光が本来存在すべき範囲は
図中４ｃ上で４（ｘ’）で示した範囲であるが、その中
で表面の凸形状による光強度の変化が変化部４ｂ２’と
して現われ、表面欠陥のない表面との反射光強度の差が
得られる。受光マスク板６のスリットは空間フィルタと
しての役割をしている。

【００３０】このような特性をもつ正反射光像は平凸型
シリンドリカルレンズ５及び受光マスク板６を通してＣ
ＣＤラインセンサー７で受光され、光強度の変化が電気
信号の電圧レベル変化に変換される。変換された電気信
号７ａは前記処理装置８に入力されてフィルター処理を
受けた後、規格レベルの上下限値と比較され、表面に形
状変化不良が存在するか否かが判断される。図２で言え
ば表面に凸形状が存在する領域４（ｘ２）の反射光強度
の減少が電圧レベルの低下として変換され、規格レベル
の下限値を外れることから形状変化が存在すると判断さ
れる。

【００３１】被検査物４である感光体ドラムの全面の検
査は被検査物４の中心軸４ａを中心とする回転と、中心
軸方向の送りの２つの不図示の機構によって行われる。
即ち検査光束に対して被検査物を回転してその位置での
全周方向の面検査を行い、次に中心軸方向に被検査物を
送って、未検査部を検査光束が照射するように位置調整
を行って同様に全周検査が行われる。この動作を繰り返
すことで、感光体ドラムの全表面検査が可能となり、表
面形状不良が１つでも存在すると、その被検査物は不良
品と判断される。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように本発明では従来検出
が困難であった感光体ドラム表面の緩やかな凹凸形状の
欠陥を感度よく、効率的に検出することを可能とした。

【００３３】光学系が平行光束を被検査物である感光体
ドラムの表面に斜めに照射する投光光学系と、スリット
で空間フィルタリングをしながら正反射光像を投影する
受光光学系という簡単な構成であるため、光学系による
収差や合焦の問題がなく、信頼性の高い検出をすること
ができる。感光体ドラム表面の緩やかな凹凸に起因した
反射角の変化は正反射光像の光強度分布の変化に変換さ
れ、分解能の高い検出を行なうことができる。

【００３４】本発明では投光光学系で検査照射光である
平行光束を感光体ドラムの中心軸に対し鋭角で照射する
ため、被検査物の表面での照射幅が検査照射光の軸方向
に対する光束幅より大きくなり、幅の狭い照射光で広い
検査幅を得られて検査時間を短縮することができる。入
射角は９０度に近いほど広視野となり、検出感度が向上
する効果がある。

【００３５】正反射光像を投影する受光光学系は平凸型
シリンドリカルレンズの拡大光学系、スリットを有する
受光マスク板、受光器のＣＣＤラインセンサーの受光素
子列で構成され、平凸シリンドリカルレンズの母線は受
光光学系の光軸に直交する平面内で前記感光体ドラムの
中心軸の射影と直交する方向、受光マスク板のスリット
及び受光素子列は感光体ドラムの中心軸の射影成分と平
行に配され、平凸シリンドリカルレンズが感光体ドラム
の中心軸方向の反射像のみを拡大するのが特徴となって
いる。スリットは前述の通り感光体表面の中心軸と平行
な正反射成分の光のみを受光させ、乱反射光の影響を除
去する作用を持つ。受光素子列の長手方向と中心軸方向
の合致は受光素子の大きさににあった投影倍率の設定を
可能とし、受光素子列全面を有効使用と、素子面積当た
りの検査視野の最適化による検出分解能の向上に効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例１を示す図。

【図２】 本発明の検出原理を示す図。

【符号の説明】 １ 光源、 ２ ビームエキスパンダー、 ３ マスク板、 ３ａ 検査照射光、 ４ 被検査物である感光体ドラム、 ５ 平凸シリンドリカルレンズ、 ６ 受光マスク板、 ７ ＣＣＤラインセンサー（受光素子列）、 ８ 処理装置

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 感光体ドラム表面等、鏡面状の滑らかな
   表面を持つ被検査物の欠陥を検査する装置において、該
   装置は被検査物に平行な検査照射光を当てる投光光学系
   と、前記被検査物からの正反射光を受光する受光光学
   系、及び該受光光学系で得られた電気信号を処理する処
   理手段から構成されていることを特徴とする表面欠陥検
   査装置。
2. 【請求項２】 前記投光光学系が光源と該光源からの光
   を平行光束に変換する光学系、及び該平行光束を検査照
   射光の形状に整形するマスク板より構成され、被検査物
   である感光体ドラムの中心軸に対し軸方向から鋭角で照
   射することを特徴とする請求項１記載の表面欠陥検査装
   置。
3. 【請求項３】 前記受光光学系が前記投光光学系の照射
   光軸と感光体ドラム中心軸により決定される照射表面か
   らの正反射光軸上と一致する光軸上に配置されるととも
   に、該正反射光を拡大する拡大光学系、該拡大光学系に
   よって投影される光強度分布を受光する光電変換ライン
   センサー、該拡大光学系と該光電変換ラインセンサーの
   間に配置されるスリットによって構成されることを特徴
   とする請求項２記載の表面欠陥検査装置。
4. 【請求項４】 該拡大光学系が平凸型シリンドリカルレ
   ンズで構成されることを特徴とする請求項３記載の表面
   欠陥検査装置。
5. 【請求項５】 前記平凸型シリンドリカルレンズの母線
   が前記受光光学系の光軸と直交する面内で前記感光体ド
   ラムの中心軸の射影と直交する方向、また前記受光マス
   ク板のスリットと該光電変換ラインセンサーの長手方向
   が前記受光光学系の光軸と直交する面内で該中心軸の射
   影と平行に配されることを特徴とする請求項４記載の表
   面欠陥検査装置。
6. 【請求項６】 該光電変換ラインセンサーの長手方向の
   大きさが該拡大光学系によって形成される像の大きさと
   ほぼ一致するように、該拡大光学系の投影倍率を設定す
   ることを特徴とする請求項５記載の表面欠陥検査装置。
7. 【請求項７】 感光体ドラム表面等、鏡面状の滑らかな
   表面を持つ被検査物の欠陥を検査する検査方法におい
   て、被検査物に平行な検査照射光を当て、前記被検査物
   からの正反射光を受光して得られた電気信号を処理する
   ことにより前記被検査物の欠陥を検出することを特徴と
   する表面欠陥検査方法。
8. 【請求項８】 前記被検査物である感光体ドラムを該平
   行な検査照射光により該感光体ドラムの中心軸に対し軸
   方向から鋭角で照射するとともに、該感光体ドラムから
   の正反射光の光強度分布を空間フィルターであるスリッ
   トを介して光電変換ラインセンサーに対して投影し、該
   ラインセンサーからの信号を処理して前記被検査物の欠
   陥を検出することを特徴とする請求項７記載の表面欠陥
   検査方法。