JPS59161809A - リ−ドフレ−ム搬送装置 - Google Patents
リ−ドフレ−ム搬送装置Info
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- JPS59161809A JPS59161809A JP58037163A JP3716383A JPS59161809A JP S59161809 A JPS59161809 A JP S59161809A JP 58037163 A JP58037163 A JP 58037163A JP 3716383 A JP3716383 A JP 3716383A JP S59161809 A JPS59161809 A JP S59161809A
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- JP
- Japan
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- lead frame
- lead
- frames
- rail
- positioning
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P95/00—Generic processes or apparatus for manufacture or treatments not covered by the other groups of this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
Landscapes
- Control Of Conveyors (AREA)
- Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は半導体製造装置に係り、特に半導体チップの実
装時にリードフレームの移送、位置決めを行うリードフ
レーム搬送装置に関する。
装時にリードフレームの移送、位置決めを行うリードフ
レーム搬送装置に関する。
〔発明の技術的背景およびその問題点〕一般に半導体チ
ップの実装時には、複数のチップに対応するリードが連
続的に形成されたリードフレームを所定のピッチで移送
、位置決めして、特定の場所にてダイゲンデング、ワイ
ヤボンデング等を行っている。
ップの実装時には、複数のチップに対応するリードが連
続的に形成されたリードフレームを所定のピッチで移送
、位置決めして、特定の場所にてダイゲンデング、ワイ
ヤボンデング等を行っている。
従来のリードフレーム搬送装置は、第1図に示すように
、リードフレーム1の幅方向端部なそれぞれ支持すると
ともに、このリードフレーム1を長手方向に移送させる
ための案内路を形成するカイトレール2および3が平行
に配設される一方、ダイゲンデングまたはワイヤボンデ
ングを行う位置(以下単にゲンデング位置と言う)Aに
リードフレーム1を移送するため忙、ガイドレールと平
行な軸8上に複数の送り爪4〜7を配置し、さらにこれ
らを図示しないカムまたはクランクによって駆動する送
り機構が設けられている。
、リードフレーム1の幅方向端部なそれぞれ支持すると
ともに、このリードフレーム1を長手方向に移送させる
ための案内路を形成するカイトレール2および3が平行
に配設される一方、ダイゲンデングまたはワイヤボンデ
ングを行う位置(以下単にゲンデング位置と言う)Aに
リードフレーム1を移送するため忙、ガイドレールと平
行な軸8上に複数の送り爪4〜7を配置し、さらにこれ
らを図示しないカムまたはクランクによって駆動する送
り機構が設けられている。
この場合、リードフレーム1には種々の形状の溝や穴が
形成されており、その移送に際しては幅方向の一端部に
形成された角穴1aが、その位置決めに際しては幅方向
の他端部に形成された丸穴1bがそれぞれ用いられる。
形成されており、その移送に際しては幅方向の一端部に
形成された角穴1aが、その位置決めに際しては幅方向
の他端部に形成された丸穴1bがそれぞれ用いられる。
しかして、送り爪4〜7の先端部にはそれぞれ角穴1a
に係合する駒4a〜7aが取付けられている。
に係合する駒4a〜7aが取付けられている。
また、ボンデング位置Aの近傍には位置決め機構が設け
られ、位置決めビン9を丸穴1bに挿入して正確な位置
決めを行っている。
られ、位置決めビン9を丸穴1bに挿入して正確な位置
決めを行っている。
斯かる従来のリードフレーム搬送装置にあっては、通常
、ゲンデング位RAを固定とし、この位置にリードフレ
ーム1の被ゲンデング部を停止させるため、例えば、横
幅、ピッチ、穴形状、長さの異るリードフレームに対し
ては、ガイドレール2および3を中心から振分けて個別
に調節することの他、送り爪4〜7の位置および駒48
〜7aならびに位置決め機構の位置および位置決めビン
9等の変更若しくは交換を余儀な(される。
、ゲンデング位RAを固定とし、この位置にリードフレ
ーム1の被ゲンデング部を停止させるため、例えば、横
幅、ピッチ、穴形状、長さの異るリードフレームに対し
ては、ガイドレール2および3を中心から振分けて個別
に調節することの他、送り爪4〜7の位置および駒48
〜7aならびに位置決め機構の位置および位置決めビン
9等の変更若しくは交換を余儀な(される。
この場合、送り機構、位置決め機構および図示しないボ
ンデング装置はそれぞれ駆動系を具えることから、リー
ドフレームの種類が変わる毎に、調整および部品交換に
多大な時間を費やし、これが稼動率を低下させるだけで
なく、試運転によって初めて調整の不完全さを発見する
ことがあり、製品歩留りをも低下させる等の欠点があっ
た。
ンデング装置はそれぞれ駆動系を具えることから、リー
ドフレームの種類が変わる毎に、調整および部品交換に
多大な時間を費やし、これが稼動率を低下させるだけで
なく、試運転によって初めて調整の不完全さを発見する
ことがあり、製品歩留りをも低下させる等の欠点があっ
た。
本発明は上記従来のものの欠点を除去するためになされ
たもので、形状の異るリードフレームに対して、高精度
且つ迅速な調整を可能にするリードフレーム搬送装置の
提供を目的とする。
たもので、形状の異るリードフレームに対して、高精度
且つ迅速な調整を可能にするリードフレーム搬送装置の
提供を目的とする。
この目的を達成するために本発明は、リードフレームの
幅方向端部をそれぞれ支持するとともに、このリードフ
レームを長手方向に移送させるための案内路を形成する
1対のカイトレールと、前記案内路に沿って前記リード
フレームを、所定のピッチ毎に移送、位置決めする複数
の駆動系とを具えるリードフレーム搬送装置において、
前記カイトレールの一方を基準とし、前記ガイドレール
の他方を、前記リードフレームの横幅方向に相対的に移
動可能に構成したことを特徴とするものである。
幅方向端部をそれぞれ支持するとともに、このリードフ
レームを長手方向に移送させるための案内路を形成する
1対のカイトレールと、前記案内路に沿って前記リード
フレームを、所定のピッチ毎に移送、位置決めする複数
の駆動系とを具えるリードフレーム搬送装置において、
前記カイトレールの一方を基準とし、前記ガイドレール
の他方を、前記リードフレームの横幅方向に相対的に移
動可能に構成したことを特徴とするものである。
以下、添付図面を参照して本発明の一実施例について説
明する。
明する。
第2図は本発明に係るリードフレーム搬送装置の平面図
、第3図はその側面図で、第1図と同一の符号を付した
ものはそれぞれ同一の要素を示す。
、第3図はその側面図で、第1図と同一の符号を付した
ものはそれぞれ同一の要素を示す。
このリードフレーム搬送装置は、主に、カイトレール2
.3および下記の各駆動系を固定する架台部10と、ガ
イドレール2.3に沿ってボンデング処理前のリードフ
レームを送り込む搬入装置加と、ボンデング処理後のリ
ードフレームを次段の処理工程に送り出す搬出装置間と
、ストロークを任意に調節し得、搬入装置かによって送
り込まれたリードフレームを、調節されたストロークで
)−次移送する間欠送り装置40と、リードフレーム搬
入時の先端な当接せしめて定位置に停止させる停止装置
間と、lンデング時の位置決めを行うターレット型の位
置決め装置印とで構成されている。
.3および下記の各駆動系を固定する架台部10と、ガ
イドレール2.3に沿ってボンデング処理前のリードフ
レームを送り込む搬入装置加と、ボンデング処理後のリ
ードフレームを次段の処理工程に送り出す搬出装置間と
、ストロークを任意に調節し得、搬入装置かによって送
り込まれたリードフレームを、調節されたストロークで
)−次移送する間欠送り装置40と、リードフレーム搬
入時の先端な当接せしめて定位置に停止させる停止装置
間と、lンデング時の位置決めを行うターレット型の位
置決め装置印とで構成されている。
ここで、架台部10は主基板11上に、支持板12によ
って結合された中間基板13ヲ有し、さらに、この中間
基板13上には1対の支持板14 、15が離隔配置さ
れ、この支持板14 、15上にカイトレール2゜3が
固定されている。なお、支持板14 、15のガイドレ
ール3を取付ける部分には溝14a、15aがそれぞれ
設けられ、ガイドレール2を基準として、ガイドレール
3をリードフレーム1の横幅方向に相対的に移動させ得
る構成になっている。
って結合された中間基板13ヲ有し、さらに、この中間
基板13上には1対の支持板14 、15が離隔配置さ
れ、この支持板14 、15上にカイトレール2゜3が
固定されている。なお、支持板14 、15のガイドレ
ール3を取付ける部分には溝14a、15aがそれぞれ
設けられ、ガイドレール2を基準として、ガイドレール
3をリードフレーム1の横幅方向に相対的に移動させ得
る構成になっている。
次に、搬入装置加は1対のロール支持部21の軸端にそ
れぞれローラ〃を有し、ベルトラ介して電動根羽に結合
された主動ロール機構と、コ字形に形成されたロール支
持部冴の両端に、それぞれ上記ローラρとともにリード
フレーム1の側端部を押圧するローラ5が取付けられ、
且つ、そのロール間隙を開閉するためのシリンダ21−
有する従動ロール機構とで構成されている。
れぞれローラ〃を有し、ベルトラ介して電動根羽に結合
された主動ロール機構と、コ字形に形成されたロール支
持部冴の両端に、それぞれ上記ローラρとともにリード
フレーム1の側端部を押圧するローラ5が取付けられ、
且つ、そのロール間隙を開閉するためのシリンダ21−
有する従動ロール機構とで構成されている。
また、搬出装置30もこれと同様に、一対のロール支持
部31の軸端にそれぞれローラ32乞有し、ベルトを介
して電動機33に結合された主動ロール機構と、コ字形
に形成されたロール支持部340両端に、それぞれ上記
ローラ32とともにリードフレーム1の側端部を押圧す
るロー235が取付けられ、月つ、そのロール間隙を開
閉するためのシリンダ36ヲ有する従動ロール機構とで
構成されている。
部31の軸端にそれぞれローラ32乞有し、ベルトを介
して電動機33に結合された主動ロール機構と、コ字形
に形成されたロール支持部340両端に、それぞれ上記
ローラ32とともにリードフレーム1の側端部を押圧す
るロー235が取付けられ、月つ、そのロール間隙を開
閉するためのシリンダ36ヲ有する従動ロール機構とで
構成されている。
次に、間欠送り装置40は、固定爪41と、シリンダ4
3によって相対間隔を変化させ得る可動爪42とでリー
ドフレーム1の側端部を両面から挾み付ける1対のチャ
ック機構44が、それぞれガイドレール2と平行に配置
されたスライド軸45の軸方向に2組離隔して取付けら
れ、さらに、このスライド軸45はアーム46ヲ介して
ねじ軸絽に螺合するナツト47と結合されており、電動
機49によりねじ軸48を回動させることによってチャ
ック機構44ヲガイドレール2に沿う方向にストローク
運動させるように構成されている。
3によって相対間隔を変化させ得る可動爪42とでリー
ドフレーム1の側端部を両面から挾み付ける1対のチャ
ック機構44が、それぞれガイドレール2と平行に配置
されたスライド軸45の軸方向に2組離隔して取付けら
れ、さらに、このスライド軸45はアーム46ヲ介して
ねじ軸絽に螺合するナツト47と結合されており、電動
機49によりねじ軸48を回動させることによってチャ
ック機構44ヲガイドレール2に沿う方向にストローク
運動させるように構成されている。
次に、停止装#恥はカイトレー)L/2側で、且つ、そ
の長手方向中間部に配置され、リードフレーム1の搬入
時にこの先端な当接せしめるストッノソ51と、リード
フレーム1の移送、位置決め時にこのストッパ51ヲ逃
がすシリンダ52とを具えている。
の長手方向中間部に配置され、リードフレーム1の搬入
時にこの先端な当接せしめるストッノソ51と、リード
フレーム1の移送、位置決め時にこのストッパ51ヲ逃
がすシリンダ52とを具えている。
また、位置決め装置60はボンデング位置に設けられ、
それ自体ターレット状に配置された複数の位置決めビン
61ヲ有し、リードフレーム1の穴形状および位置の変
化に対応した適切なものを選択してその先端をリードフ
レーム1の穴に挿入するものである。その他ヒーターブ
ロック62、フレーム押え(図示しない)等で構成され
ている。
それ自体ターレット状に配置された複数の位置決めビン
61ヲ有し、リードフレーム1の穴形状および位置の変
化に対応した適切なものを選択してその先端をリードフ
レーム1の穴に挿入するものである。その他ヒーターブ
ロック62、フレーム押え(図示しない)等で構成され
ている。
一方、上述した架台部100基&IJおよび中間基板1
3間には、ガイドレール2.3と平行な軸18が支持板
12ヲ貫通して回動自在に支持されており、この軸のリ
ードフレーム搬入(1111端部にセンサ群J6が取付
けられ、位置決め装置(イ)に対応する軸方向中間部に
カム群17が取付けられ、さらに、この軸のリードフレ
ーム搬出側端部に電動機19が設けられている。なお、
カム群17は図示しない連結部材を介して位置決め装置
60ヲ作動させるものである。
3間には、ガイドレール2.3と平行な軸18が支持板
12ヲ貫通して回動自在に支持されており、この軸のリ
ードフレーム搬入(1111端部にセンサ群J6が取付
けられ、位置決め装置(イ)に対応する軸方向中間部に
カム群17が取付けられ、さらに、この軸のリードフレ
ーム搬出側端部に電動機19が設けられている。なお、
カム群17は図示しない連結部材を介して位置決め装置
60ヲ作動させるものである。
また、停止装置シ)の近傍には、搬入せしめられたIJ
−)’フレーム1の先端部を検出するセンサ71と、
所定のピッチで移送されるリードフレーム1の後端部が
通過したことを検出するセンサ72とが1
リードフレームlの移送方向に並設されている。
−)’フレーム1の先端部を検出するセンサ71と、
所定のピッチで移送されるリードフレーム1の後端部が
通過したことを検出するセンサ72とが1
リードフレームlの移送方向に並設されている。
なお、上述した間欠送り装置40、停止装置犯および位
置決め装置(イ)等の電動機またはシリンダを具える駆
動系は全てガイドレール2側に集中配置されている。
置決め装置(イ)等の電動機またはシリンダを具える駆
動系は全てガイドレール2側に集中配置されている。
上記の如く構成されたリードフレーム搬送装置の作用?
以下に説明する。
以下に説明する。
先ず、電動機またはシリンダを具える駆動系はガイドレ
ール2と一体的に固定されていることから、リードフレ
ーム1の横幅が変化した場合には、取付位fを随時変更
し得るカイトレール3を調節してリードフレームの横幅
に見合った案内路を形成する。この調節を完了した段階
でリードフレーム1を送給すると、これが搬入装置側を
構成するローラ乙および別に噛み込まれてゲンデング位
置Aに向かって移動し、その先端がストッパ社に当接す
る。このとき、センサ71がリードフレーム1を検知し
て、ローラnおよびツの間隙を拡げる側にシリンダ26
ヲ作動させる。したがって、リードフレーム1はストン
・ξ51に当接した状態で停止する。
ール2と一体的に固定されていることから、リードフレ
ーム1の横幅が変化した場合には、取付位fを随時変更
し得るカイトレール3を調節してリードフレームの横幅
に見合った案内路を形成する。この調節を完了した段階
でリードフレーム1を送給すると、これが搬入装置側を
構成するローラ乙および別に噛み込まれてゲンデング位
置Aに向かって移動し、その先端がストッパ社に当接す
る。このとき、センサ71がリードフレーム1を検知し
て、ローラnおよびツの間隙を拡げる側にシリンダ26
ヲ作動させる。したがって、リードフレーム1はストン
・ξ51に当接した状態で停止する。
この状態にて、電動機19を駆動させるとカム群17に
より位置決め装置ωが解除されて、次にセンサ群16に
より間欠送り装置40を構成するシリンダ43ヲ作動さ
せて固定爪41および可動爪42によってリードフレー
ム1を挾持する一方、停止装置50ヲ構成するシリンダ
52ヲ作動させてストッパ51ヲ逃がした状態にて間欠
送り装置の′電動機49ヲ駆動すると、リードフレーム
1は定められたストロークで移送される。もちろん、こ
の移送を完了した時点でシリンダ43が復帰せられてリ
ードフレーム1は離されるが、略これと同期して駆動さ
れるカム群17が位置決め装置60ヲ作動させて位置決
めビン61ヲリードフレーム1の穴に挿入せしめる。
より位置決め装置ωが解除されて、次にセンサ群16に
より間欠送り装置40を構成するシリンダ43ヲ作動さ
せて固定爪41および可動爪42によってリードフレー
ム1を挾持する一方、停止装置50ヲ構成するシリンダ
52ヲ作動させてストッパ51ヲ逃がした状態にて間欠
送り装置の′電動機49ヲ駆動すると、リードフレーム
1は定められたストロークで移送される。もちろん、こ
の移送を完了した時点でシリンダ43が復帰せられてリ
ードフレーム1は離されるが、略これと同期して駆動さ
れるカム群17が位置決め装置60ヲ作動させて位置決
めビン61ヲリードフレーム1の穴に挿入せしめる。
かくして、リードフレームの移送、位置決めが完了し、
ボンデング位tρAでのボンデング作業が行なわれる。
ボンデング位tρAでのボンデング作業が行なわれる。
また、ボンデング作業中に間欠送り装置40は図示した
状態に後締する。
状態に後締する。
次に、ボンデング作業を行った後で再び電動機19)j
i駆動させると、位置決めビン61が下げられ間欠送り
装置が同期して以下リードフレーム1の移送操作、位置
決め操作およびボンデング作業が順次繰返される。
i駆動させると、位置決めビン61が下げられ間欠送り
装置が同期して以下リードフレーム1の移送操作、位置
決め操作およびボンデング作業が順次繰返される。
続いて、センサ72によってリードフレーム1の尾端部
の通過を検知するとともに一連のボンデング作fill
完了した段階で、このリードフレーム1は搬出装置間に
よって次の工程に送り出される一方、新しいリードフレ
ーム1が搬入装置間によって送り込まれる。
の通過を検知するとともに一連のボンデング作fill
完了した段階で、このリードフレーム1は搬出装置間に
よって次の工程に送り出される一方、新しいリードフレ
ーム1が搬入装置間によって送り込まれる。
第4図はストン・ソ51の位置およびlンデング位置A
と、間欠送り装置4oのストロークとの関係を示すもの
で、リードフレームのピッチなPl、その先端から最初
にボンデングされる点までの寸法(以下端面寸法と言う
)をP2、ストン・郵1とボンデング位置Aとの距離を
L(定数)とすると、ストン・ξ1に当接した状態での
リードフレームに対してはL+P2 だけ移送させる必
要がある。
と、間欠送り装置4oのストロークとの関係を示すもの
で、リードフレームのピッチなPl、その先端から最初
にボンデングされる点までの寸法(以下端面寸法と言う
)をP2、ストン・郵1とボンデング位置Aとの距離を
L(定数)とすると、ストン・ξ1に当接した状態での
リードフレームに対してはL+P2 だけ移送させる必
要がある。
一方、間欠送り装置4oの図示しない制御装置にはこれ
らの値P4. P2およびL’4人カする数値大刀部を
具えており、リードフレームの種類に変更を生じたとき
にこれらの値を大刀すると、新たなリードフレーム1が
到達する毎に、間欠送り装置4゜は(L+P2)/2の
ストロークでの移送操作を2回繰返し、続いてP、のス
トロークでの移送操作を繰返すとともに、リードフレー
ム1を保持して前進するとき早送りが行なわれるように
構成されている。
らの値P4. P2およびL’4人カする数値大刀部を
具えており、リードフレームの種類に変更を生じたとき
にこれらの値を大刀すると、新たなリードフレーム1が
到達する毎に、間欠送り装置4゜は(L+P2)/2の
ストロークでの移送操作を2回繰返し、続いてP、のス
トロークでの移送操作を繰返すとともに、リードフレー
ム1を保持して前進するとき早送りが行なわれるように
構成されている。
かくして、種類の異るリードフレームのボンデングを行
う場合でも、リードフレームの横幅に対応してガイドレ
ール3の取付位置の変更と、ピッチP、および端面寸法
P2 等を数値入力するだけで済み、これによって調
整時間が著しく短縮されるとともに、リードフレームの
種類に対応した適確な搬入操作、移送、位置決め操作お
よび搬出操作が行なわれる。
う場合でも、リードフレームの横幅に対応してガイドレ
ール3の取付位置の変更と、ピッチP、および端面寸法
P2 等を数値入力するだけで済み、これによって調
整時間が著しく短縮されるとともに、リードフレームの
種類に対応した適確な搬入操作、移送、位置決め操作お
よび搬出操作が行なわれる。
なお、上2実施例ではリードフレームを間欠送りする時
の累積誤差を生じないようにターレット形式の位置決め
装置日)ヲ用いて、位置決めビン61を適合する穴に挿
入しているが、連続形成されるフレーム数が少ない場合
にはこの位置決め装置間を除去してもよ(、あるいはま
た、この位置決め装置間の代わりに光学的な位置検出装
置を採用することによって、送り量を制御しフレームが
多数個連続形成された場合でも、リードフレームの穴若
しくは溝を一切用いない搬送装置を構成することができ
る。
の累積誤差を生じないようにターレット形式の位置決め
装置日)ヲ用いて、位置決めビン61を適合する穴に挿
入しているが、連続形成されるフレーム数が少ない場合
にはこの位置決め装置間を除去してもよ(、あるいはま
た、この位置決め装置間の代わりに光学的な位置検出装
置を採用することによって、送り量を制御しフレームが
多数個連続形成された場合でも、リードフレームの穴若
しくは溝を一切用いない搬送装置を構成することができ
る。
また、上記実施例では、ストン・e51に当接した状態
のリードフレーム72回に分けて送り操作しているが、
ストロークの調整範囲の広い間欠送り装置を用いるなら
ば1回の送り操作でlンデング位置Aに到達せしめるこ
とも又、カイトレール3の移動を外部指令で移動せしめ
ることも勿論、可能である。
のリードフレーム72回に分けて送り操作しているが、
ストロークの調整範囲の広い間欠送り装置を用いるなら
ば1回の送り操作でlンデング位置Aに到達せしめるこ
とも又、カイトレール3の移動を外部指令で移動せしめ
ることも勿論、可能である。
以上の説1明によって明らかな如く、本発明のリードフ
レーム搬送装置によれば、リードフレームを支持、案内
する1対のカイトレールの−・方を基準とし、他方をリ
ードフレームの横幅方向に相対的に移動可能な構成が採
られているので、基準となるガイドレールと複数の駆動
系とを一体的に固定し得、しかも他方のカイトレールを
リードフレームの横幅に合わせて移動させるだけで実質
的な調整作業を完了することがら、種類の異るリードフ
レームに対して迅速且つ高精度な調整が可能になり、生
産性および製品歩留りを大幅に向上させ得るという優れ
た効果が得られる。
レーム搬送装置によれば、リードフレームを支持、案内
する1対のカイトレールの−・方を基準とし、他方をリ
ードフレームの横幅方向に相対的に移動可能な構成が採
られているので、基準となるガイドレールと複数の駆動
系とを一体的に固定し得、しかも他方のカイトレールを
リードフレームの横幅に合わせて移動させるだけで実質
的な調整作業を完了することがら、種類の異るリードフ
レームに対して迅速且つ高精度な調整が可能になり、生
産性および製品歩留りを大幅に向上させ得るという優れ
た効果が得られる。
第1図は従来のリードフレーム搬送装置の構成を示す平
面図、第2図は本発明に係るリードフレーム搬送装置の
一実施例の構成を示す平面図、第3図は同実施例の構成
を示す側面図、第4図は同実施例の作用を説明するため
に要部の位置関係を示した平面図である。 1・・・リードフレーム、2.3・・・カイトレール、
4〜7・・・送り爪、1o・・・架台部、加・・・搬入
装置、加・・・搬出装置、40・・・間欠送り装置、関
・・・停止装置、(イ)・・・位置決め装置。 出願人代理人 猪 股 清
面図、第2図は本発明に係るリードフレーム搬送装置の
一実施例の構成を示す平面図、第3図は同実施例の構成
を示す側面図、第4図は同実施例の作用を説明するため
に要部の位置関係を示した平面図である。 1・・・リードフレーム、2.3・・・カイトレール、
4〜7・・・送り爪、1o・・・架台部、加・・・搬入
装置、加・・・搬出装置、40・・・間欠送り装置、関
・・・停止装置、(イ)・・・位置決め装置。 出願人代理人 猪 股 清
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、リードフレームの幅方向端部をそれぞれ支持すると
ともに、このリードフレームを長手方向に移送させるた
めの案内路を形成する1対のカイトレールと、前記案内
路に沿って前記リードフレームを、所定のピッチ毎に移
送、位置決めする複数の駆動系とを具えるリードフレー
ム搬送装置において、前記ガイドレールの一方を基準と
し、前記カイトレールの他方を、前記リードフレームの
横幅方向に相対的に移動可能に構成したことを特徴とす
るリードフレーム搬送装置。 2、前記駆動系を、前記リードフレームの横幅方向に対
して、基準となる前記一方のガイドレールと一体的に固
定したことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のリ
ードフレーム搬送装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58037163A JPS59161809A (ja) | 1983-03-07 | 1983-03-07 | リ−ドフレ−ム搬送装置 |
| US06/586,696 US4624358A (en) | 1983-03-07 | 1984-03-06 | Device for transferring lead frame |
| DE3408368A DE3408368C2 (de) | 1983-03-07 | 1984-03-07 | Fördervorrichtung für geführte Rahmen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58037163A JPS59161809A (ja) | 1983-03-07 | 1983-03-07 | リ−ドフレ−ム搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59161809A true JPS59161809A (ja) | 1984-09-12 |
| JPH0412618B2 JPH0412618B2 (ja) | 1992-03-05 |
Family
ID=12489925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58037163A Granted JPS59161809A (ja) | 1983-03-07 | 1983-03-07 | リ−ドフレ−ム搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59161809A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008300585A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 半導体素子の装着装置 |
| JP2010010465A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Shibaura Mechatronics Corp | 電子部品の実装装置及び実装方法 |
-
1983
- 1983-03-07 JP JP58037163A patent/JPS59161809A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008300585A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 半導体素子の装着装置 |
| JP2010010465A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Shibaura Mechatronics Corp | 電子部品の実装装置及び実装方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0412618B2 (ja) | 1992-03-05 |
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