JPS59167900A - 高電圧状態を生ずる方法及び動的ロ−ド回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、集積電子回路、ことに回路接続点を選定した
ときには高電圧給電源から誘導される高′電圧状態如駆
動するがこの回路接続点を選定しないときは高電圧給電
源から実質的に電流を引かないロード回路に関する。

ホウラー・ノルドハイム（Ｆｏｗｌｅｒ−Ｎｏｒｄｈｅ
ｉｍ　）電子トンネル機構の工業的利用のできる高品質
の薄い誘電体を生産する技術が最近開発されている。

この方法は電気的消去可能プログラマゾルＲＯＭ（ｘＥ
ｐＲｏＭ）デバイスの操作に使うことができる。

電子トンネル作用により、メモリデバイスから操作電力
を除いても長い時限眞わたりフローティングケ゛−トｒ
電荷を蓄積することができる。

この薄い誘′市体に対するホウラー・ノルトノスイム機
構を使うメモリセルのプログラミングには約２０Ｖを必
要とする。しかしマイクロプロセッサ及びメモリ回路に
対する標準の給電電力Ｇｔ　５　Ｖである。所要の高ｆ
ｌｊ　ｒ：Ｉ：、は、メモリデバイスに一体に作られる
給電ポンプ回路により作ることができる。

給電ポンプ回路はこの所要の高電圧を生ずることができ
るが、これ等の回路は適当な寸法のデバイスでは極めて
限定された電流しか生ずることができない。すなわち選
定したロード素子は給電ボンデかられずかな電流しか引
かないが、選定してなイロード素子は高いインピーダン
スを示し給電ポンプのローディングを妨げる。

前記した要求を実施する動的ロード回路の特定の障害は
、ＭＯＳトランジスタのソース端子への高′電圧の印加
がトランジスタのスレショールド電圧を実質的圧高める
ことである。これは「ボディ効果」と呼ばれろ。スレシ
ョールド電圧のこの上昇は所要の高電圧はポウーラー・
ノルドハイム回路素子への印加のために生ずることがで
きるように考慮しなければならない。動的ロード回路の
トランジスタのスレショールド電圧を制御する方法は、
メモリデバイスの製造の際の処理工程を注意深く調整す
ることである。処理工程のこの注意深い調整は、メモリ
デバイスの１位当り費用をかなり高めることになる。

従ってｌＰＲＯＭ回路のプログラミングのためにロード
制御回路を設ける要求を考慮して、回路接続点を選定し
たときにはほぼ給電ポンプ電圧に駆動するが回路接続点
を選定しないときは給電ポンプから電流を実質的に引か
ないで、これと同時に動的ロード回路トランジスタに対
し比較的広い範囲のスレショールド′電圧を持つことに
より厳密な処理制御を加えないようにする機能を実施す
ることのできる回路が必要になる。

本発明の選定した実施例は、回路接読点に高い電圧状態
を生ずる動的ロード回路にある。本発明動的ロード回路
は、第１の接続点で電圧を増圧する第１のクロック信号
に応答する回路と、第１のＮ接続点を回路接続点に結合
する回路とを備えている。さらに回路接続点を第２の接
続点に結合する回路を設けである。伺加的な回路は第２
接続点で電圧を増圧する第２のクロック信号に応答する
動的ロード回路は、第２接続点の電圧状態に応答し高′
亀圧入力信号を第１接続点に結合する回路を備えている
。クロック信号は第１及び第２の接続点で電圧を進行的
に増圧し回路接続点で高電圧状態を生ずる。

以下本発明による方法及び動的ロード回路の実施例を添
刊図面について詳細に説明する。

従来の動的ロード回路１０は第１図に電気配線図で示し
である。回路１０は導線１２をとてクロック信号を受は
又導ｍ１４を経て高電圧給電ポンプ信号ｖｐｐを受ける
。クロック信号は、接続点１８ｖＣケゞ−ト端子を接続
したトランジスタ１６のソース端子及びドレイン端子に
入力する。

トランジスタ２０は、そのドレイン端子を接続点１８に
接続し、ソース端子を回路接続点２２に接続しである。

トランジスタ２０のケ”−ト端子ハ接続点１８に接続し
である。

テコーダ２４はアドレス信号に応答して接続点２２を少
くともＶ。ｃ　”’　”Ｔの高い状態て又は地電位に選
択的に駆動する。接続点２２は図示してない回路を経て
電荷蓄積素子に結合しである。この素子は、薄い酸化物
層を０（（ｆえホウラー・ノルドハイムトンネル機構に
より動作する。

トランジスタ２８はそのドレイン端子及びソース端子を
両接読点１８．２０の間に接続しである。

トランジスタ２８のゲート端子は回路接続点２２に接続
しである。

導ａｔ　４における高電圧信号は、接続点３ｏにソース
端子を接続したトランジスタ３２のドレイン端子及びケ
８−ト端子に送る。

従来のロード制御回路の動作を第１図について述べる。

回路１０に対する給電電圧ｖ０゜は５■でクロック信号
は０及び５■の間で振動する。ポンプ電圧■ｐｐはたと
えば２０Ｖである。

トランジスタ１６はスイッチコンデンサとして機能する
。ケ８−ト端子の′電圧がソース端子及びドレイン端子
の′市川以上１ショールド以下であるときは、チャネル
が形成されなくて、導線１２及び接続点１８間のキャパ
シタンスは極めて低い。しかしトランジスタ１６のデー
ト端子の電圧がトランジスタ１６のソース端子及びドレ
イン端子の電圧より少くともトランジスタ１６のスレシ
ョールド′覗圧たけ高いときは、チャネルが形成され、
導線１２及び接続点１８間のキャパシタンスが比較的高
くなる。

第１の例では回路接続点２２をデコーダ回路２４により
回路接地状態に保持するものとする。

回路接続点２２の低い電圧状態によりトランジスタ２８
を非導通てすることてよって高電圧信号ｖｐｐから導通
しないようＫする。トランジスタ２０はダイオード式に
接続され、接続点１８の電圧が回路接続点２２の電圧以
上１スレシヨールド覗圧（ｖＴ）よりは高くならないよ
ってする。トランジスタ２０はトランジスタ１６より低
いスレショールド電圧を持つことｆよりトランジスタ１
６を横切るチャネルの形式と高いキャパシタンスの生成
とを防ぐのがよい。このようにしてクロック信号は接続
点１８から有効て阻止される。接続点１８は低い電圧状
態に留まり、トランジスタ２０を経て電流が引かれない
。従って■ｐｐ給電源から電流が実質的に引かれない。

回路接続点２２を低い′電圧状態にセットするときは、
回路１０は回路接続点２２を一層高い電圧状態には駆動
しない。

第２の例では回路接続点２２をデコーダ２４により少く
ともＶ　　−Ｖ　　の高い論理準位状態に駆ｃｃ　　　
　　　Ｔ 動するものとする。接続点２２に接続した回路により、
接続点２２はこの点から電流を引かないで一層高い電圧
準位に駆動することができる。第１図の各トランジスタ
に対するｖＴが１０■であり、２’　ＯＶのＶ　を持つ
５，０■給電源を設けるものとｐ すれば、トランジスタ２Ｂのドレイン端子は１９Ｖであ
るがゲート端子はわずか［５ｖである。従ってトランジ
スタ２８のソース端子は、そのゲート端子の電圧の１■
１以内までにしかならない。

すなわら接続点１８は１．０■のｖＴに対し４■に駆動
される。

導線１２のクロック信号が０■であり接続点１８が４■
であるときはトランジスタ１６にチャネルが形成されク
ロック信号及び接続点１８の間に高い容量性結合を生ず
る。正になるクロックパルスが到達すると、接続点１８
の電圧はトランジスタ１６の容量性結合てより増圧され
る。この場合接続点１８の電圧を約４ｖから約８ＶＩ７
Ｃ増圧する。この場合回路接続点２２の電圧を約７ｖに
高める。導線１２のクロック信号が地電位にもどるとき
は、トランジスタ１６のチャネルのキャパシタンスによ
り接続点１８を４■にもどすようにする。しかしトラン
ジスタ２８のゲート電圧が７ｖＫ増すと、接続点１８の
電圧は、接続点３０になお１９Ｖの電圧があるので約６
■に保たれトランジスタ１６を横切って６■の電防が生
ずる。導線１２のクロック信号が５ＶＫもどろと、接続
点１８は容量的に約１０’Ｖに駆動され、回路接続点２
２を９Ｖにする。伺加的なりロックパルスを受けると、
接続点１８の電圧と回路接続点２２に生ずる電圧とは段
階的に上昇する。この動作により回路接続点２２に高堀
圧駆動信号を生ずる。

５■の正規動作用に作るＭＯ３回路は４■程度に低い供
給電圧で動作する必要がある。さらに５ｖより実質的に
高いソース端子を持つＭＯＳ　）ランジスタのｖＴ　は
少くとも２Ｖの程度である。しかし回路１０の各トラン
ジスタのスレショールド電圧が供給電圧の１／／２を越
えるときは、回路１０は回路接続点２２の電圧の増圧を
止める。たとえば回路接続点２２が１０Ｖであるとする
。この値ではボディ効果てよりトランジスタスレショー
ルド′電圧が２．０ＶＫなる。さらに回路１０の給電源
が４・ＯＶで導線１２のクロック信号が０及び４，０７
０間で遷移するものとする。回路接続点２２が１０、Ｏ
Ｖのときは、トランジスタ２８により接続点１８を８．
０■までにする〔この場合導線１２のクロック信号は初
めにＯｖである〕。このクロック信号がＯから４．ＯＶ
になっても、接続点１８は１２Ｖから容量性分割値を差
引いた値にしか駆動されないヵしかしトランジスタ２０
は２．ＯＶのスレショールドを持つから回路接続点２２
に伺加的な電荷は送られない。

すなわち回路１０には、各トランジスタの■７が供給電
圧の各を越えると機ｔ７ｊ４を１Ｊ二めるという制限が
ある。従ってこの回路は、各トランジスタの最高ｖＴ′
？ｉ：最低供給電圧の］Ａ以下に保つように作らなけれ
ばならない。前記の例では最低供給電圧は４■であり、
従って最高スレショールド電圧は２ｖである。高いソー
ス端子電圧におけるボディ効果を含めてスレショールド
電圧をこのような限定した準位に保持しなからＭＯＳデ
バイスを多・量に作ることはむずかしい。

本発明は、動的ロード回路に使うトランジスタの許容ス
レショールド準位の制限の間顧を低減する。

本発明による動的ロード回路３４は第２図に例示しであ
る。クロック信号は導線３６を経て入力し、クロック信
号の逆信号０ＬＯＣＫは導線３８を経て入力する。給電
ポンプにより生ずる高電圧信号ｖｐｐは導線４０を経て
入力する。回路３４は、回路接続点４２を態動するよう
に比較的高い電圧信号を生ずる作用をする。

デコーダ４４はアドレス信号に応答して回路接続点４２
を高い状ｊ庫たとえば■。ｃ　””Ｔ又は＼池′市位に
選択的に駆動する。接続点４２はデコーダ４４により接
続点４２から電流を引かないで■−■ア以上の電圧状態
に駆動することができる。

接続点４２は図示してない回路を経て蓄積素子に結合し
である。この蓄積素子はホウラー・ノルドハイムトンネ
ル機構を使うのが好適である。デコーダ４４は、たとえ
ばアドレスバッファ又はビットラインでもある汎用ドラ
イバ素子でよい。

導線３６のクロック信号はトランジスタ４８のドレイン
端子に送る。トランジスタ５０はそのソース端子及びド
レイン端子を回路接続点４２とトランジスタ４８のケゞ
−ト端子との間に接続しである。トランジスタ５０のゲ
ート端子は電力端子・■　に接続しである。

Ｃ コンデンサ５２は、ドレイン端子及びソース端子をトラ
ンジスタ４８のソース端子に接続したトランジスタから
成っている。コンデンサ５２を構成するこのトランジス
タのゲート端子は接続点５４に接続しである。トランジ
スタ５６はそのドレイン端子及びケゝ−ト端子を接続点
５４ｆＣ接続しソース端子を回路接続点４２に接続しで
ある。

トランジスタ５８はそのドレイン端子及びソース端子を
接続点５４及び導線４０の高電圧入力の間に接続しであ
る。トランジスタ５８のゲート端子は接続点６０に接続
しである。

トランジスタ６２は、そのドレイン端子及びソース端子
を回路接続点４２及び接続点６０の間に接続しゲート端
子を接続点５４に接続しである。

トランジスタ６４は、そのドレイン端子及びソース端子
を回路接続点４２及び接続点６００間に接続しゲート端
子を電力端子Ｖ。０に接続しである。

クロック信号の逆信号は、接続点６０にデート端子を接
続したトランジスタ７０のドレイン端子に導線３８を経
て伝送する。コンデンサ７２を構成スるトランジスタは
、そのドレイン端子及びソース端子を相互にそしてトラ
ンジスタ７０のソース端子に接続しである。各コンデン
サ５２　、７２を構成するトランジスタはエン／＼ンス
メント型又はデイゾレツション型のどちらでもよい。コ
ンデンサ７２を構成するトランジスタのケゝ−ト端子は
接続点６０に接続しである。

次に動的ロード回路３４の動作を第２図について述べる
。各コンデンサ５２．７２は回路コンデンサとして機能
する。各接続点５４．６０における浮遊キャパシタンス
は各コンデンサ５２．７２のキャパシタンスより実質的
に小さい。

回路接続点４２をデコーダ４４により論理的に低い電圧
状態に駆動するときは、各トランジスタ５０．６４を経
て各トランジスタ４８．７０のデート端子に約ＱＶが加
わる。この低い電圧状態は各トランジスタ４８．７０を
非導通にする作用をする。この条件ではクロック信号及
び逆クロック信号は、各コンデンサ５２．７２を構成す
るトランジスタのソース・ドレイン接続の高いキャパシ
タンスから隔離されることにより、各導線３６゜３８で
クロック駆動回路に高いインピーダンスを与える。接続
点６０の低い電圧状態てよりトランジスタ５８を非導通
にすることｒよって高電圧信壮■　及び接続点５４の間
如高いインピーダンスｐ を生ずる。従って接続点５４は低い電圧状態のままにな
り、回路接続点４２で電圧を引上げる傾向がなくなる。

従って接続点４２のようにすなわち選択してない各回路
接続点に対し、高電圧信号Ｖ　を生ずる給電ポンプ回路
にローディングが行ｐ われない。

回路接続点４２をデコーダ４４により約５ｖの論理的に
高い電圧状態に駆動するときの条件て対する動作を次に
述べる。回路接続点４２における高電圧状態はトランジ
スタ４８．７０を導通させる作用をしてクロック信号を
コンデンサ５２に結合し又クロック信号の逆信号をコン
デンサ７２に結合する。接続点６０をトランジスタ６４
により１トランジスタスレシヨールド電圧以下の供給電
圧如持来するから、トランジスタ５８も又導通しポンプ
信号Ｖ　から接続点５４に電荷を送る。トｐ ランジスタ５８のケ８−ト電圧は電圧Ｖ　より実質ｐ 的に低いから、接続点５４の電圧は、トランジスタ３８
のケゞ−ト電圧から１トランジスタスレシヨールド′覗
圧を差引いた値になる。

各トランジスタ５０．６４は各トランジスタ４８．７０
のケゞ−トキャパシタンスを隔離してクロック信号によ
り各トランジスタ４８．７０のデート端子のシートスト
ラップを行うことができる。

このようにしてクロック信号の全振幅が各トランジスタ
４８．７０を通過することができる。

導線３８の茄瓦信号が地電位にあるときは、トランジス
タ６４は、そのケゝ−ト電圧が■。。であるから接続点
６０をｖ　　−１スレシヨールド′亀圧ｖＴｖｃする。

導線３８の（！ＬＯＯＫ信号の正になる転移を受けると
きは、接続点６０はコンデンサ７２により容量的に約５
ＶＫ昇圧する。

接続点６０の増加した電圧眞より、導！３６におけるク
ロック信号が地電位にある間に接続点５４の電圧を高め
る。次でクロック信号が５■になると、コンデンサ５２
は接続点５４の電圧をさらに高め、トランジスタ５６を
経て回路接続点４２の電圧を高める。この場合トランジ
スタ６２め導通により接続点６ｏの電圧が増す。この動
作サイクルが反復してクロック信号圧より各接続点６０
．５４．４２の電圧が増し続ける。この過程は、回路接
続点４２が所望の電圧に達したときに、又はＶｐｐ＋〔
”Ｃｃ−■Ｔ〕の最高′電圧に達したときに終る。

回路３４内の若干のトランジスタは正規の５Ｖの動作供
給電圧以上の電圧状態を受ける。各トランジスタのソー
ス端子の電圧が上昇するに伴い、前記したボディ効果に
より各トランジスタのｖＴが増す。しかし回路３４は、
各トランジスタのｖＴ　が供給電圧より低い間は、回路
接続点４２の電圧を限度に向い高める。第１図に示した
従来の回路１０では各トランジスタの■１は、前記した
ように回路接続点４２の電圧を高めるのに供給電圧の％
を越えることはできない。すなわち回路３４はボディ効
果に基づくｖＴの増加に対しはるかに大きい公差を持つ
。この場合回路３４の製造には処理上の要求が第１図に
示した回路１０に対するよりもはるかに厳密でなくなる
。

次に第２図に示した回路３４の操作例を述べる。

１例では供給電圧■　は５．ＯＶであり、高電圧ボンフ
０信号Ｖ　は２０Ｖである。各トランジスタのｐ ■工は、これ等のトランジスタの各端子が５ｖより低い
ときは２■になり、又端子の２つが５ｖより高い電圧で
あるときは４■になるものとする。

この近似は本回路の動作を理解するのに有用である。実
際の結合は幾分低いが、完全な容量性結合を仮定する。

回路接続点４２を選定するときは、接続点４２はデコー
ダ４４により少くとも供給電圧から本回路のスレショー
ルド電圧を差引いた電圧眞給電する。この例では初めに
６■に給電する。３■の準位はトランジスタ６４により
接続点６ｏに伝わる。

逆クロック信号が０から５■の状態に転移すると、コン
デンサ７２を構成するトランジスタのソース端子及びド
レイン端子は５■に増圧され接続点６０の電圧をろＶか
ら８Ｖに容量的眞結合し、コンデンサ７２を構成するト
ランジスタのソース端子及びドレイン端子を全５．ＯＶ
準位に駆動する。

接続点６００８■の準位によりトランジスタ７０は、接
続点６０がトランジスタ７０のソース端子より正の２■
以上に留まるので切替過渡状態を通じて導通状態のまま
になる。接続点６０の８■の準位により、トランジスタ
５８の仮定した４、０■の■ア　によって接続点５４の
゛電圧を４Ｖに駆動する。トランジスタ５８に対する４
、０■の■１　の選択は前記の仮定した■１　の準位眞
は無関係である。

この１１４５中ｒクロック信号はＯＶでありコンデンサ
５２に４ｖまで給電する。

クロック信号が０から５■に転移すると、トランジスタ
４８のゲート端子は８■て増圧され、コンデンサ５２の
ソース端子及びドレイン端Ｐを５Ｖに駆動し接続点５４
を９■に駆動する。この９■により、トランジスタ５６
の導通によって回路接続点、４２ＶＣ５ｖの準位を生じ
又トランジスタ６２の導通如よって接続点６ＱＶｃ５Ｖ
の準位を生ずる。

次で逆クロック信号が０から５ｖに転移するときは、接
続点６ｏは５がら１０Ｖに駆動される。

接続点６０のＩＤＶの準位により、導線３６のクロック
信号がＱＶにある間に接続点５４ン６■の準位を生じコ
ンデンサ５２に６■まで給電する。

クロック信号がふたたびＤから５ＶＫ転移するときは、
接続点５４の電圧が６から１１Ｖに駆動され、回路接続
点４２の電圧を７ＶＫ高めろ。この場合又接続点６０に
７ｖの準位を生じ、この間に逆クロック信号は地電位て
ある。

逆りロック侶号がＤから５ＶＫ転移するときは、接続点
６０は７から１２ＶｉＣ駆魁され、これによりクロック
信号がＱＶにある間に接続点５４に８Ｖが生ずるように
なる。

クロック信号がふたたび０から５■に転位するときは、
接続点５４は８から１３Ｖに駆動され回路接続点４２の
電圧が９ＶＫ増すようになる。接続点６０は又９ｖに駆
動される。

口から５ｖへの逆クロック信号の転移後に接続点６０は
１４Ｖに給′電され接続点６０に１４ＶＫ給電して接続
点５４を１０Ｖに駆動する。

以上述べた所から明らかなよう眞回路接続点４２の電圧
は、付加的クロックパルス及び逆クロックパルスを受け
るに伴い除徐に増す。又第２図の回路３４は各高電圧ト
ランジスタのスレショールド電圧が供給電圧のン２を越
えても動作を止めないのは明らかである。回路３４は実
際上、回路３４の各トランジスタの■１が供給電圧を越
えない間は回路接続点４２に最高電圧まで給電する。

前記した各トランジスタは断らない限りはＮチャネルエ
ンハンスメント型ＭＯ３）ランジスタである。しかしＰ
チャネルトランジスタでも同等の回路を作ることができ
る。

回路３４の１変型では各コンデンサ５２．７２はトラン
ジスタの代りに実際のコンデンサでもよい。別の変型で
はコンデンサ５２．７２を構成するトランジスタのどち
らが一方又は両方はそのソース端子又はドレイン端子の
一方が開いていてもよい。

本発明のなお別の変型では各トランジスタ４８゜５０を
省いて導線３６をこの場合スイッチコンデンサでなけれ
ばならないコンデンサ５２’に直接続してもよい。トラ
ンジスタ７０も又省いて導線３Ｂを同様にスイッチコン
デンサでなければならないコンデンサ７２に直接接続し
てもよい。

本発明の好適とする実施例ではＣＬＯＯＫ信号及び五扉
１信号は互に逆である。しかし回路３４の適正な動作の
ためてはＣＬＯＣＫ信号及びＯＬ　ＯＯＫ信号は、全サ
イクルの一部分中に０ＬＯＧ！に信号が高い電圧状態に
あり又０ＬＯＯＫ信号が低いＮ圧状態如あり、そして反
復サイクルの第２の部分中に０ＬＯＯＫ信号が低い電圧
状態にあり又０ＬＯＯＫ信号が高い電圧状態であるとい
う要求に適合さえすればよい。両信号が同時に低い電圧
状態又は高い電圧状態にあってもｔ１容できる。

以上本発明をその実施例について詳細に説明したが本発
明はなおその精神を逸脱しないで種種の変化変型を行う
ことができるのはもちろんである。

【図面の簡単な説明】

第１図は高電圧信号を回路接続点に送る作用をする従来
の回路の電気配線図、第２図は、高電圧信号を選定した
回路接続点に送り、選定してない回路接続点に対し給電
ポンプ回路て高いインピーダンスを与え、選定してない
動的ロード回路から各クロック信号を隔離し、比較的広
い範囲の動作できるＭＯＳ）ランジスタスレショールド
’を況Ｅを生じ処理上の制限を減らす作用をする本発明
動的ロード回路の１実施例の電気配線図である。 ３４・・・動的ロード回路、４２・・・回路接続点、−
５０・・・隔離トランジスタ、５２・・・弓ンデンサ、
５４・・・第、１接続点、５６．５８・・・トランジス
タ、６０・・・第２接続点、６２．６４・・トランジス
タ、７０・・・隔離トランジスタ、７２・・・コンデン
サ。 手　続　補　正　書（方式） 昭和５９年３月９日 特許庁　　長　　　官　　　殿 １事件の表示　　　　昭和５８年特許願第２４５６１４
号３　補正をする者　事件との関係　　　特許出願人マ
スチク、コーパレイシャン ４　代　理　人　　東京都港区赤坂１丁目１番１４号・
溜池東急ビル８・撃窪内５へ　別紙０と３す

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）第１のクロック信号を容量性結合を経て選択的て
   加え、第１の接続点の電圧を増圧し、第２のクロック信
   号を容量性結合を経て選択的に加え第２の接続点の電圧
   を増圧し、この第２接続点の電圧に応答して高電圧入力
   は号を前記第１接続点圧送り、この第１接続点を回路接
   続点に結合しこの回路接続点に前記の高電圧信号を生じ
   、前記第１接続点の電圧状態に応答して前記回路接続点
   の高′亀圧信号を前記第２接続点に結合することから成
   る、回路接続点に高電圧状態を生ずる方法。 （２）　　クロック信号を選択的に印加するに当たり、
   両クロック信号の一方をその他方のクロック信号が高電
   圧状態にあるときに低電圧状態に駆動する特許請求の範
   囲第（１）項記載の方法。 （３）　　回路接続点が所定の′電圧以下の状態にある
   ときに、第１のクロック信号を第１の接続点から隔離し
   そして第２のクロック信号を第２の接続点から隔離する
   特許請求の範囲第（１）項記載の方法。 （４）第１のクロック信号を選択的如印加して第１の接
   続点の電圧を増圧する工程と、第２のクロック信号を選
   択的に印加して第２の接続点の電圧を増圧する工程とが
   交互に生ずるようにする特許請求の範囲第（１）項記載
   の方法。 （５）回路接続点に高電圧状態を生ずる動的ロード＼ 回路において、第１のクロック信号に応答して第１の接
   続点の電圧を増圧する装置と、前記第１接続点を回路接
   続点に結合する装置と、前記回路接続点を第２の磨続点
   に結合する装置と、第２のクロック信号に応答して前記
   第２接続点の電圧を増圧する装置と、前記第２接、読点
   の電圧状態に応答して前記第１接紗点に高電圧入力信号
   を結合する装置とを包含する動的ロード回路。 （６１８１のクロック信号として第２のクロック信号の
   逆信号を使う特許請求の範囲第（５）項記載の動的ロー
   ド回路。 （７）第１のり、ロック信号にＪ応答する装置を、前記
   第１クロツク信号を第１の接続意匠結合するように接続
   したコンデンサにより構成した特Ｆｌ”Ｍ４求の範囲第
   （５）項記載の動的ロード回路。 （８）第１のクロック信号に応答する装置に、第１クロ
   ツク信号を受けるようにソース端子及びドレイン端子の
   少くとも一方を結合しケゝ−ト端子（′ｉ第１の接続点
   に接続した第１のトランジスタを設け、この第１トラン
   ジスタを容量性素子として機能するように１Ｍ成した特
   許請求の範囲第（５）項記載の動的ロード回路。 （９）　　第１のトランジスタのソース端子及びドレイ
   ン端子に接続したソース端子と第１のクロック信号を受
   けるように接続したドレイン端子とを持つ第２のトラン
   ジスタと、回路接続点に接続したソース端子と前記第２
   トランジスタのケゝ−ト端子に接続したドレイン端子と
   電力端子に接続したデート端子とを持つ第６のトランジ
   スタとを備えた特許請求の範囲第（８）項記載の動的ロ
   ード回路。 （１０）第１のクロック信号を第１の接続点に選択的に
   結合する装置を備えた特許請求の範囲第（５）項記載の
   動的ロード回路。 ０１）第２のクロック信号に応答する装置を、第２の接
   続点に第２クロツク信号を結合するように接続したコン
   デン”Ｊ−Ｋより構成した特許請求の範囲第（５）項記
   載の動的ロード回路。 （１２）第２のクロック信号に応答する装置に、ソース
   端子及びドレイン端子の少くとも一方を第２クロツク信
   号を受けるように結合しケゝ−ト端子を第２の接続点に
   接続した第１のトランジスタを設け、この第１のトラン
   ジスタを容量性素子として作用するよって構成した特許
   請求の範囲第（５）項記載の動的ロード回路。 （１３）　　第１のトランジスタのソース端子及びドレ
   イン端子に接続したソース端子と、第２のクロック信号
   を受けるように接続したドレイン端子と、第２の接続点
   に接続したゲート端子とを持つ第２のトランジスタを備
   えた特ｄ１：請求の範囲第（１渇項記載の動的ロード回
   路。 （＋、＝１１　　逆クロック信号を第２の接続点に選択
   的に結合する装置を備えた特許請求の範囲第（５）項記
   載の動的ロード回路。 （１５）第１の接続点を回路接続点に結合する装置を、
   第１の接続点て接続したドレイン端子及びケゝ−ト端子
   と前記回路接続点に接続したソース端子とを持つトラン
   ジスタにより構成した特許請求の範囲第（５）項記載の
   動的ロード回路。 （１６１回路接続点を第２の接続点に結合する装置を、
   第１の接続点に接続したケゝ−ト端子と、前記の回路接
   続点及び第２接続点の間に接続したドレイン端子及びソ
   ース端子とを持つトランジスタにより構成した特許請求
   の範囲第（５）項記載の動的ロード回路。 （＋７）　　一定電圧の接続点に接続したゲート端子と
   、回路接続点及び第２接続点の間に接続したソース端子
   及びドレイン端子とを持つトランジスタを備えたｒ＃δ
   １；請求の範囲第（１−１１項記載の動的ロード回路。 （１８）　　高電圧入力信号を第１の接続点に送る装置
   を、高電圧入力信号を受けるよう眞接続したドレイン端
   子と、第２の接続点に接続したｒ”−）端子と、第１の
   接続点に接続したソース端子とを持つトランジスタによ
   り構成した特許請求の範囲第（５）項記載の動的ロード
   回路。 （１！ｎ　　選定した接続したケ８−ト端子と、回路接
   続点及び第２接続点の間に接続したソース端子及びドレ
   イン端子とを持つトランジスタを備えた特許請求の範囲
   第（５）項記載の動的ロード回路。 （２０）回路接続点て高電圧信号を生ずる動的ロード回
   路において、クロック信号を第１の接続点に結合する笥
   １の容量性装置と、前記クロック信号の逆信号を第２の
   接続点に結合する第２の容量性装置と、前記第１接続点
   に接続したケゝ−ト端子及びドレイン端子と前記回路接
   続点に接続したソース端子とを持つ第１のトランジスタ
   と、前記第２接続点に接続したケゞ−ト端子と前記の第
   １接続点及び高電圧入力信号接続点の間Ｋ［続したソー
   ス端子及びドレイン端子とを持つ第２のトランジスタと
   、前記回路接続点の電圧状態を前記第２接続点に結合す
   る装置とを包含する動的ロード回路。 （２１）　　第１の容量性装置を、クロック信号を受け
   るように接続したドレイン端子を持つ第３のトランジス
   タと、この第６トランジスタのソース端子に接続したソ
   ース端子及びドレイン端子と第１の接続点に接続したケ
   ８−ト端子とを持つ第４のトランジスタと、電力端子に
   接続したケゞ−ト端子と前記第６トランジスタケ８−ト
   端子及び回路接続点の間に接続したソース端子及びドレ
   イン端子とを持つ第５のトランジスタとにより構成した
   特許請求の範囲第（２０）項記載の動的ロード回路。 （イ）第２の容量性装置を、逆クロック信号を受けるよ
   うに接続したドレイン端子と第２の接続点に接続したケ
   ゞ−ト端子とを持つ第６のトランジスタと、この第６ト
   ランジスタのソース端子に接続したソース端子及びドレ
   イン端子と前記第２接続点に接続したケゞ−ト端子とを
   持つ第７のトランジスタとにより構成した特許請求の範
   囲第（２０）項記載の動的ロード回路。 ＠　回路接続点の′電圧状態を第２の接続点に結合する
   装置に、第１の接続点に接続したケ８−ト端子と前記の
   回路接続点及び第２接続点の間に接続したソース端子及
   びドレイン端子とを持つ第８のトランジスタを設けた特
   許請求の範囲第（２０）項記載の動的ロード回路。 （至）　回路接続点の′電圧状態を第２の接続点に結合
   する装置に、電力端子に接続したデート端子と前記の回
   路接、読点及び第２接続点の間に接続したソース端子及
   びドレイン端子とを持つ第９のトランジスタを設けた特
   許請求の範囲第（２０）項記載の動的ロード回路。 （ハ）　回路接続点の電圧状態を第２の（※読点に結合
   する装置に、第１の接続点に接続したゲート端子と前記
   の回路接続点及び第２接続・点の間に接続したソース端
   子及びドレイン端子とを持つ第８のトランジスタと、電
   力端子に接続したケ８−ト端子と前記の回路接読点及び
   第２接続点の間に接続したソース端子及びドレイン端子
   とを持つ第９のトランジスタとを設けた特許請求の範囲
   第（２０）項記載の動的ロード回路。 （ホ）　回路接続点に高電圧信号を生ずる動的ロード回
   路ておいて、クロック信号を受けるように接続したドレ
   イン端子を持つ第１のトランジスタと、この第１トラン
   ジスタのソース端子如接続したドレイン端子及びソース
   端子と第１の接続点に接続したケ８−ト端子とを持つ第
   ２のトランジスタと、前記の回路接続点及び第１トラン
   ジスタデート端子の間眞接続したドレイン端子及びソー
   ス端子と電力端子に接続したデート端子とを持つ第６の
   トランジスタと、前記第１接続点に接続したドレイン端
   子及びケゝ−ト端子と前記回路接続点に接続したソース
   端子とを持つ第４のトランジスタと、前記回路接続点及
   び第２接続点の間に接続したドレイン端子及びソース端
   子と前記電力端子にｊ多読したケゞ−ト端子とを持つ第
   ５のトランジスタと、前記の回路接続点及び第２接続点
   の間に接続したドレイン端子及びソース端子と前記第１
   接読点に接続したデート端子とを持つ第６のトランジス
   タと、前記クロック信号の逆信号を受けるように接続し
   たドレイン端子と前記第２接続点に接続したゲート端子
   とを持つ第７のトランジスタと、この第７トランジスタ
   のソース端子に接続したドレイン端子及びソース端子と
   前記第２接続点に接続したゲート端子とを持つ第８のト
   ランジスタと、前記第１接続点及び高′覗圧入力信号接
   続点の間に接続したソース端子及びドレイン端子と前記
   第２接続点て接続したケ９−ト端子とを持つ第９のトラ
   ンジスタとを包含する動的ロード回路。