JPS59178507A - 移動テ−ブル装置 - Google Patents
移動テ−ブル装置Info
- Publication number
- JPS59178507A JPS59178507A JP5477483A JP5477483A JPS59178507A JP S59178507 A JPS59178507 A JP S59178507A JP 5477483 A JP5477483 A JP 5477483A JP 5477483 A JP5477483 A JP 5477483A JP S59178507 A JPS59178507 A JP S59178507A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable
- moving table
- driving force
- moving
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Program-control systems
- G05B19/02—Program-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form
- G05B19/41—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by interpolation, e.g. the computation of intermediate points between programmed end points to define the path to be followed and the rate of travel along that path
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/34—Director, elements to supervisory
- G05B2219/34156—Slope control, delta x, y proportional to x, y
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computing Systems (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Automation & Control Theory (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈発明の技術分野〉
本発明は、例えは半導体製造装置、光学測定機器、精密
工作機械等に使用するｘｙステージと称する移動テーブ
ル装置に関する。
工作機械等に使用するｘｙステージと称する移動テーブ
ル装置に関する。
〈発明の背景〉
従来この種移動テーブル装置は、ベッド上へ縦、横対向
配設した固定カイトに夫々可動体および可動体の駆動装
置を設けて、互いに対向する可動体間へ縦横移動ガイド
を直交して取付け、かかる移動ガイドの交叉部にテーブ
ルを摺動自在に支持して構成される。しかし、前記各移
動ガイド両端の駆動装置は、移動テーブルの位置に関係
なく一定推力で駆動するため、移動テーブルが縦横中心
線上を走行するとき以外は可動部重心番こ対して回転モ
ーメントが生し、移動テーブルは揺動、蛇行を起し、走
行の安定性に支障をきたす。
配設した固定カイトに夫々可動体および可動体の駆動装
置を設けて、互いに対向する可動体間へ縦横移動ガイド
を直交して取付け、かかる移動ガイドの交叉部にテーブ
ルを摺動自在に支持して構成される。しかし、前記各移
動ガイド両端の駆動装置は、移動テーブルの位置に関係
なく一定推力で駆動するため、移動テーブルが縦横中心
線上を走行するとき以外は可動部重心番こ対して回転モ
ーメントが生し、移動テーブルは揺動、蛇行を起し、走
行の安定性に支障をきたす。
〈発明の目的〉
本発明は、移動チーフルと両駆動装置との間の距離を検
出し、かかる距離比に応じて両駆動装置の駆動力を強弱
自動調節することにより、従来の問題を解消し、移動テ
ーブルの安定走行をはかった新規な移動テーブル装置を
提供することを目的とする。
出し、かかる距離比に応じて両駆動装置の駆動力を強弱
自動調節することにより、従来の問題を解消し、移動テ
ーブルの安定走行をはかった新規な移動テーブル装置を
提供することを目的とする。
〈実施例の説明〉
第１図において、移動テーブル装置はベッド１上へ縦、
横互いに対向配備した固定ガイド２，２ａ、３，３ａに
対し、各々可動体２１゜２２．３１．３２および可動体
の駆動装置４を構成するリニアモータ４１，４１ａ、４
２゜４２ａか配設されている。互いに対向した可動体２
１，２２．３１．３２間には、立体交叉した移動ガイド
５，６の両端が取付は固定され、かかる移動がオド５，
６の交叉部に、縦、横交叉した摺動溝７１．７２を有す
移動テーブル７が両ガイド５，６Ｉこ対し摺動自在に係
合されている。
横互いに対向配備した固定ガイド２，２ａ、３，３ａに
対し、各々可動体２１゜２２．３１．３２および可動体
の駆動装置４を構成するリニアモータ４１，４１ａ、４
２゜４２ａか配設されている。互いに対向した可動体２
１，２２．３１．３２間には、立体交叉した移動ガイド
５，６の両端が取付は固定され、かかる移動がオド５，
６の交叉部に、縦、横交叉した摺動溝７１．７２を有す
移動テーブル７が両ガイド５，６Ｉこ対し摺動自在に係
合されている。
本発明は、上記移動テーブル装置に対し、移動テーブル
７の位置検出装置８と、該位置検出装ｗ８からの信号に
基づき移動テーブル７の位置と両リニアモータ４１．４
１ａとの間の距離を比較する演算回路部９４と、かかる
距離比に応して両リニアモータ４１，４１ａの駆動力を
強弱調節する駆動力分配回路部９５とを備えたことを特
徴とする。
７の位置検出装置８と、該位置検出装ｗ８からの信号に
基づき移動テーブル７の位置と両リニアモータ４１．４
１ａとの間の距離を比較する演算回路部９４と、かかる
距離比に応して両リニアモータ４１，４１ａの駆動力を
強弱調節する駆動力分配回路部９５とを備えたことを特
徴とする。
」二記位置検出装置８は、直角をなす２つの面に反射面
８２．８３を有ずレーザ測長用り型反射鏡８１を移動テ
ーブル７に取付けると共に、前記各反射面８２．８３に
対しＸ軸方向及びＹ軸方向に一定間隔を存してＸ軸位置
検出用およびＹ軸位置検出用の測長用ミラー８４．８５
が夫々対向配備され、各測長用ミラー８４．８５はビー
ムスプリッタ８６を介してレーザ測長機８７に光学的に
接続し構成されている。
８２．８３を有ずレーザ測長用り型反射鏡８１を移動テ
ーブル７に取付けると共に、前記各反射面８２．８３に
対しＸ軸方向及びＹ軸方向に一定間隔を存してＸ軸位置
検出用およびＹ軸位置検出用の測長用ミラー８４．８５
が夫々対向配備され、各測長用ミラー８４．８５はビー
ムスプリッタ８６を介してレーザ測長機８７に光学的に
接続し構成されている。
第３図は本発明の原理を示すもので、移動ガイド６の左
右Ｙ軸すニアモータ４１，４．１１の駆動力をｐＬ、
ｒ；Ｒとし、移動テーブル７の重心Ｇと左右Ｙ軸すニア
モータ４１，４１ａとの間の距離をｌ、ｍとなし、移動
ガイド６の質量を無視した場合において、本発明てはｌ
−ＦＬ＝ ｍ −ＦＲの関係が成立すべく両リニアモ
ータ４１．４１ａの駆動力を制御する。
右Ｙ軸すニアモータ４１，４．１１の駆動力をｐＬ、
ｒ；Ｒとし、移動テーブル７の重心Ｇと左右Ｙ軸すニア
モータ４１，４１ａとの間の距離をｌ、ｍとなし、移動
ガイド６の質量を無視した場合において、本発明てはｌ
−ＦＬ＝ ｍ −ＦＲの関係が成立すべく両リニアモ
ータ４１．４１ａの駆動力を制御する。
第４図は、左右Ｙ軸すニアモータ４１゜４１ａの動作を
制御する制御回路の構成例を示し、図中、目標値設定部
８８は、移動テーブル７をＹ軸方向に移行させる目標地
点の座標データを設定するものであり、Ｙ軸側差演算部
９０は、レーザ測長機９１にて検出されるＹ軸上での移
動テーブル７の現在位置から目標地点Ｐまでの距離を演
算し、演算結果に基づいて締部動力演算回路９２の動作
を制御する。締部動力演算回路９２は、移動テーブル７
の現在位置をチェックしつつ、現在位置から目標地点ま
での移動に要する左右リニアモータ４１，４１ａの締部
動力を演算するものである２、７ｏまた、Ｘ軸位置検出
部９３は、レーザ測長機９１にて検出された移動テーブ
ル７の現在位置からその重心Ｇの位置を検出するもので
あり、Ｘ軸テーブル位置演算部９４は、移動チーフル７
０重心Ｇ位１＃と左右リニアモータ４１，４１ａ との
間の距離比を演算するものである。また、駆動力分配回
路９５は、前記Ｘ軸テーブル位置演算部９４および総駆
り１力演算部９２の演算結果に基づき作動し、演算回路
９２に基つく締部動カを左右リニアモータ４１．４１ａ
に対し、前記テーブル重心Ｃと左右リニアモータ４１，
４１ａとの距離１ｏｍ比に応してｌｊ−ＦＬ＝ｍ−ＦＲ
の関係を成立すへ＜、ＦＬ＝ｍ／ｍ＋ｌ およびＦＲ＝
’／ｒｎ＋ ｌに分配制御し、かかる分配駆動力ＦＬ
、ＦＲを夫々サーボアンプ９６．９７にて増幅し左右リ
ニアモータ４１，４１ａを駆動制御するものである。
制御する制御回路の構成例を示し、図中、目標値設定部
８８は、移動テーブル７をＹ軸方向に移行させる目標地
点の座標データを設定するものであり、Ｙ軸側差演算部
９０は、レーザ測長機９１にて検出されるＹ軸上での移
動テーブル７の現在位置から目標地点Ｐまでの距離を演
算し、演算結果に基づいて締部動力演算回路９２の動作
を制御する。締部動力演算回路９２は、移動テーブル７
の現在位置をチェックしつつ、現在位置から目標地点ま
での移動に要する左右リニアモータ４１，４１ａの締部
動力を演算するものである２、７ｏまた、Ｘ軸位置検出
部９３は、レーザ測長機９１にて検出された移動テーブ
ル７の現在位置からその重心Ｇの位置を検出するもので
あり、Ｘ軸テーブル位置演算部９４は、移動チーフル７
０重心Ｇ位１＃と左右リニアモータ４１，４１ａ との
間の距離比を演算するものである。また、駆動力分配回
路９５は、前記Ｘ軸テーブル位置演算部９４および総駆
り１力演算部９２の演算結果に基づき作動し、演算回路
９２に基つく締部動カを左右リニアモータ４１．４１ａ
に対し、前記テーブル重心Ｃと左右リニアモータ４１，
４１ａとの距離１ｏｍ比に応してｌｊ−ＦＬ＝ｍ−ＦＲ
の関係を成立すへ＜、ＦＬ＝ｍ／ｍ＋ｌ およびＦＲ＝
’／ｒｎ＋ ｌに分配制御し、かかる分配駆動力ＦＬ
、ＦＲを夫々サーボアンプ９６．９７にて増幅し左右リ
ニアモータ４１，４１ａを駆動制御するものである。
尚、上記構成例は、Ｙ軸のみを移動させる場合について
説明したが、Ｘ軸移動についても同様な回路構成を実施
する。
説明したが、Ｘ軸移動についても同様な回路構成を実施
する。
また、駆動装置４は、リニアモータに限らずエアシリン
タ、或いはモータと送りネジとの組合せ構造となす等、
選択実施する。
タ、或いはモータと送りネジとの組合せ構造となす等、
選択実施する。
〈発明の効果〉 。
本発明は上記の如（、移動テーブル７に対し、位置検出
装置８を備えてテーブル７の位置と両側駆動装置４１，
４１１との間の距離比を演算し、斯る演算結果に基つき
両駆動装置４１．４１ａの駆動力を強弱調節するように
したから、移動テーブル７が可動部中心がら片寄った場
合、近接側の駆動装置４１ ａが対向駆動装置４１より
距離比に応じて駆動力が増強し、従来の如く回転モーメ
ントの発生がなく、もって移動チーフルは揺動、蛇行を
発生せず安定走行を実現する等、発明目的を達成した効
果を奏する。
装置８を備えてテーブル７の位置と両側駆動装置４１，
４１１との間の距離比を演算し、斯る演算結果に基つき
両駆動装置４１．４１ａの駆動力を強弱調節するように
したから、移動テーブル７が可動部中心がら片寄った場
合、近接側の駆動装置４１ ａが対向駆動装置４１より
距離比に応じて駆動力が増強し、従来の如く回転モーメ
ントの発生がなく、もって移動チーフルは揺動、蛇行を
発生せず安定走行を実現する等、発明目的を達成した効
果を奏する。
第１図は本発明にかかる移動テーブル装置の平面図、第
・２図は第１図の横断面図、第３図は原理説明図、第４
図は装置の回路構成例を示すブロック図である。 ４１．４１ａ・・・・・駆動装置 ５，６・・・・・・
移動ガイド７・・・・・移動テーブル ８・・・・・・
位置検出装置９４・・・・・テーブル位置演算回路部９
５・・・・・駆動力分配回路部 特許出願人 立石電機株式会社
・２図は第１図の横断面図、第３図は原理説明図、第４
図は装置の回路構成例を示すブロック図である。 ４１．４１ａ・・・・・駆動装置 ５，６・・・・・・
移動ガイド７・・・・・移動テーブル ８・・・・・・
位置検出装置９４・・・・・テーブル位置演算回路部９
５・・・・・駆動力分配回路部 特許出願人 立石電機株式会社
Claims (1)
- 縦横直交し、且つ、各々両端部を駆動装置に連繋した移
動ガイドの交叉部に摺動自在なテーブルを備えた移動テ
ーブル装置において、移動テーブルの位置検出装置と、
テーブル位置と駆動装置との間の距離比を演算する演算
回路部と、演算結果に基づき対をなす駆動装置の駆動力
を強弱調節する駆動力分配回路部とを備えた移動テーブ
ル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5477483A JPS59178507A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | 移動テ−ブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5477483A JPS59178507A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | 移動テ−ブル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59178507A true JPS59178507A (ja) | 1984-10-09 |
Family
ID=12980116
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5477483A Pending JPS59178507A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | 移動テ−ブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59178507A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6160107A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-03-27 | Fujitsu Ltd | Ｘ−ｙステ−ジ |
| JPS6316286A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-23 | 株式会社井上ジャパックス研究所 | 送り装置 |
| JPH01291194A (ja) * | 1988-05-18 | 1989-11-22 | Tokyo Electron Ltd | Ｘ−ｙテーブル |
| US6064467A (en) * | 1997-04-21 | 2000-05-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Alignment apparatus, and exposure apparatus with the alignment apparatus |
| CN109396948A (zh) * | 2018-11-16 | 2019-03-01 | 华中科技大学 | 一种提高五轴铣削系统加工稳定性的主动控制方法及系统 |
-
1983
- 1983-03-29 JP JP5477483A patent/JPS59178507A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6160107A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-03-27 | Fujitsu Ltd | Ｘ−ｙステ−ジ |
| JPS6316286A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-23 | 株式会社井上ジャパックス研究所 | 送り装置 |
| JPH01291194A (ja) * | 1988-05-18 | 1989-11-22 | Tokyo Electron Ltd | Ｘ−ｙテーブル |
| US6064467A (en) * | 1997-04-21 | 2000-05-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Alignment apparatus, and exposure apparatus with the alignment apparatus |
| CN109396948A (zh) * | 2018-11-16 | 2019-03-01 | 华中科技大学 | 一种提高五轴铣削系统加工稳定性的主动控制方法及系统 |
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