JPS6160107A - Ｘ−ｙステ−ジ - Google Patents
Ｘ−ｙステ−ジInfo
- Publication number
- JPS6160107A JPS6160107A JP18197084A JP18197084A JPS6160107A JP S6160107 A JPS6160107 A JP S6160107A JP 18197084 A JP18197084 A JP 18197084A JP 18197084 A JP18197084 A JP 18197084A JP S6160107 A JPS6160107 A JP S6160107A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- stage
- axis direction
- support member
- guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D3/00—Control of position or direction
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、Ｘ−Ｙステージに関する。特に、半導体装置
の製造工程において半導体ウェーハの位置合わせ等に使
用するＸ−Ｙステージの重量を軽減して慣性を小さくし
、駆動モータの出力を小さくし、ステップ送り速度を速
くし、さらに、正確な位置合わせ制御を可能にする改良
に関する。
の製造工程において半導体ウェーハの位置合わせ等に使
用するＸ−Ｙステージの重量を軽減して慣性を小さくし
、駆動モータの出力を小さくし、ステップ送り速度を速
くし、さらに、正確な位置合わせ制御を可能にする改良
に関する。
従来技術に係るＸ−Ｙステージは第５図に示すように、
その上面に例えばＸ軸方向にガイド１４の設けられたベ
ッド１３上に、そのＸ軸方向ガイド１４にガイドされて
移動するＸ軸ステージ１２が載せられ、そのＸ軸ステー
ジ１２の−に面にはＬ記のガイドと直交する方向例えば
Ｙ軸方向にＹ軸方向ガイド１５が設けられ、このＹ軸方
向ガイド１５にガイドされてＸ軸ステージ１２」二を移
動するＹ軸ステージ１１がＸ軸ステージ１２Ｊ−に載せ
られており、例えばＹ・軸ステージ１１の平面積を基準
とすると、Ｘ軸ステージ１２の平面積は原則としてＹ軸
ステージ１１の面積の２倍であることが望ましく、ベッ
ド１３の平面積は原則としてＸ軸ステージ１２の２倍（
Ｙ軸ステージ１１の４倍）であることが望ましい。
その上面に例えばＸ軸方向にガイド１４の設けられたベ
ッド１３上に、そのＸ軸方向ガイド１４にガイドされて
移動するＸ軸ステージ１２が載せられ、そのＸ軸ステー
ジ１２の−に面にはＬ記のガイドと直交する方向例えば
Ｙ軸方向にＹ軸方向ガイド１５が設けられ、このＹ軸方
向ガイド１５にガイドされてＸ軸ステージ１２」二を移
動するＹ軸ステージ１１がＸ軸ステージ１２Ｊ−に載せ
られており、例えばＹ・軸ステージ１１の平面積を基準
とすると、Ｘ軸ステージ１２の平面積は原則としてＹ軸
ステージ１１の面積の２倍であることが望ましく、ベッ
ド１３の平面積は原則としてＸ軸ステージ１２の２倍（
Ｙ軸ステージ１１の４倍）であることが望ましい。
上記せる構造の従来技術に係るＸ−Ｙステージを動作さ
せるには、Ｘ軸ステージ１２とＹ軸ステージ１１とのい
づれかまたは双方を移動する必要がある。ところが、上
記のとおり、Ｘ軸ステージ１２またはＹ軸ステージ１１
のいづれかはかなり大きな寸法となるので、重量も大き
く、慣性が大きいので、駆動に必要な推力が大きくなり
、大きな駆動力が必要であり、ステップ送り速度を速く
できず、所望の位置に正確に停止させることが困難であ
るという欠点があった。
せるには、Ｘ軸ステージ１２とＹ軸ステージ１１とのい
づれかまたは双方を移動する必要がある。ところが、上
記のとおり、Ｘ軸ステージ１２またはＹ軸ステージ１１
のいづれかはかなり大きな寸法となるので、重量も大き
く、慣性が大きいので、駆動に必要な推力が大きくなり
、大きな駆動力が必要であり、ステップ送り速度を速く
できず、所望の位置に正確に停止させることが困難であ
るという欠点があった。
本発明は、この欠点を解消し、可動部の重量が小さく、
可動部の慣性が小さく、駆動に必要な推力が小さく、小
さな駆動力で十分であり、しかも、ステップ送り速度を
速くし、さらに、所望の位置に正確に停止させうるＸ−
Ｙステージを提供することにあり、その手段は、第１図
にその概念的構成を示すように、Ｘ軸方向ガイド２とＹ
軸方向ガイド３とを有する板状部材よりなるテーブルｌ
と、前記Ｘ軸方向ガイド２に摺動可能に嵌合し前記テー
ブルｌが前記Ｘ軸方向ガイド２にそって移動することを
許すように前記テーブルを支持するＹ軸方向支持部材４
と、前記Ｙ軸方向ガイド３に摺動可能に嵌合し前記テー
ブルｌが前記Ｙ軸方向ガイド３にそって移動することを
許すように前記テーブルを支持するＸ軸方向支持部材５
と、前記Ｙ軸方向支持部材４に固着しＹ軸方向に伸延す
るＸ軸方向軸６と、前記Ｘ軸方向支持部材５に固着しＸ
軸方向に伸延するＸ軸方向軸７と、前記Ｙ軸方向軸６を
摺動可能に支持するＹ軸方向軸受け８と、前記Ｘ軸方向
軸７を摺動可能に支持するＸ軸方向軸受け９よりなるＸ
−Ｙステージよりなる。
可動部の慣性が小さく、駆動に必要な推力が小さく、小
さな駆動力で十分であり、しかも、ステップ送り速度を
速くし、さらに、所望の位置に正確に停止させうるＸ−
Ｙステージを提供することにあり、その手段は、第１図
にその概念的構成を示すように、Ｘ軸方向ガイド２とＹ
軸方向ガイド３とを有する板状部材よりなるテーブルｌ
と、前記Ｘ軸方向ガイド２に摺動可能に嵌合し前記テー
ブルｌが前記Ｘ軸方向ガイド２にそって移動することを
許すように前記テーブルを支持するＹ軸方向支持部材４
と、前記Ｙ軸方向ガイド３に摺動可能に嵌合し前記テー
ブルｌが前記Ｙ軸方向ガイド３にそって移動することを
許すように前記テーブルを支持するＸ軸方向支持部材５
と、前記Ｙ軸方向支持部材４に固着しＹ軸方向に伸延す
るＸ軸方向軸６と、前記Ｘ軸方向支持部材５に固着しＸ
軸方向に伸延するＸ軸方向軸７と、前記Ｙ軸方向軸６を
摺動可能に支持するＹ軸方向軸受け８と、前記Ｘ軸方向
軸７を摺動可能に支持するＸ軸方向軸受け９よりなるＸ
−Ｙステージよりなる。
第１図、第２図参照
第２図は、第１図にその概念的構成を示す本発明に係る
Ｘ−ＹステージをＹ軸にそって切断したＸ軸方向断面図
である。テーブルｌはＸ軸方向ガイド２にそって摺動可
能なようにＹ軸方向支持部材４によって支持されており
、このＹ軸方向支持部材４はＸ軸方向軸６を介して、Ｙ
軸方向軸受け８によって支持されているので、テーブル
ｌはＸ軸方向ガイド２にそって、Ｘ軸方向に自由に移動
しうる。そして、この移動を実現するには、Ｙ軸方向支
持部材５またはこれを支持するＸ軸方向軸７をＸ軸方向
に押せばよい。
Ｘ−ＹステージをＹ軸にそって切断したＸ軸方向断面図
である。テーブルｌはＸ軸方向ガイド２にそって摺動可
能なようにＹ軸方向支持部材４によって支持されており
、このＹ軸方向支持部材４はＸ軸方向軸６を介して、Ｙ
軸方向軸受け８によって支持されているので、テーブル
ｌはＸ軸方向ガイド２にそって、Ｘ軸方向に自由に移動
しうる。そして、この移動を実現するには、Ｙ軸方向支
持部材５またはこれを支持するＸ軸方向軸７をＸ軸方向
に押せばよい。
第１図、第３図参照
第３図は、第１図にその概念的構成を示す本発明に係る
Ｘ−ＹステージをＸ軸にそって切断したＹ軸方向断面図
である。テーブルｌはＹ軸方向ガイド３にそって摺動可
能なようにＸ軸方向支持部材５によって支持されており
、このＸ軸方向支持部材５はＸ軸方向軸７を介して、Ｘ
軸方向軸受け９によって支持されているので、テーブル
ｌはＹ軸方向ガイド３にそって、Ｙ軸方向に自由に移動
しうる。そして、この移動を実現するには、Ｘ軸方向支
持部材４またはこれを支持するＸ軸方向軸６をＹ軸方向
に押せばよい。
Ｘ−ＹステージをＸ軸にそって切断したＹ軸方向断面図
である。テーブルｌはＹ軸方向ガイド３にそって摺動可
能なようにＸ軸方向支持部材５によって支持されており
、このＸ軸方向支持部材５はＸ軸方向軸７を介して、Ｘ
軸方向軸受け９によって支持されているので、テーブル
ｌはＹ軸方向ガイド３にそって、Ｙ軸方向に自由に移動
しうる。そして、この移動を実現するには、Ｘ軸方向支
持部材４またはこれを支持するＸ軸方向軸６をＹ軸方向
に押せばよい。
従来技術に係るＸ−Ｙステージにおける可動部はＸ軸ス
テージとＹ軸ステージの双方であるが、上記の構成に係
るＸ−Ｙステージにおける可動部は、テーブルとＸ、Ｙ
軸方向支持部材とｘ、Ｙ方向軸であり可動部が少なく、
しかも、従来技術に係るＸ−Ｙステージのステージの大
きさを規定する要素にはステージの移動可能距離との関
連で規定される要素が含まれているので、被移動物体が
小さい場合でも移動範囲が広いとステージを小さくでき
ない場合があるが、上記の構成のＸ−Ｙステージのテー
ブルは被移動物体の大きさのみによって規定され移動範
囲が広くても十分小さくなしうる。したがって、テーブ
ルの自重は、従来技術に係るＸ−Ｙステージのステージ
と比較して小さくなる。たぐし、軸の長さと軸受けを支
持するベッドの大きさは移動範囲にしたがって大きくな
らざるを得ない。
テージとＹ軸ステージの双方であるが、上記の構成に係
るＸ−Ｙステージにおける可動部は、テーブルとＸ、Ｙ
軸方向支持部材とｘ、Ｙ方向軸であり可動部が少なく、
しかも、従来技術に係るＸ−Ｙステージのステージの大
きさを規定する要素にはステージの移動可能距離との関
連で規定される要素が含まれているので、被移動物体が
小さい場合でも移動範囲が広いとステージを小さくでき
ない場合があるが、上記の構成のＸ−Ｙステージのテー
ブルは被移動物体の大きさのみによって規定され移動範
囲が広くても十分小さくなしうる。したがって、テーブ
ルの自重は、従来技術に係るＸ−Ｙステージのステージ
と比較して小さくなる。たぐし、軸の長さと軸受けを支
持するベッドの大きさは移動範囲にしたがって大きくな
らざるを得ない。
また、従来技術に係るＸ−Ｙステージにおいては、ｘ、
Ｙ方向とも同一の推力をもって駆動することはできない
が、上記の構成のＸ−Ｙステージにおいては、Ｘ、Ｙ方
向とも同一の推力をもって駆動可能である。そして、駆
動に必要な推力は、上記せるテーブルの大きさが減少す
ることによる効果を除外して考えると、一方に対しては
従来技術に係るＸ−Ｙステージのステージを移動するに
必要な推力とはＣ同一であるが、他方向に対しては繕以
下となる。また、テーブルの自重は、上記せる減少効果
に加えて、従来技術に係るＸ−Ｙステージの、上記せる
駆動推力が減少する方向に移動するステージの自重の局
以下となるので、この方向にテーブルを駆動するに要す
る推力は坏以下となる。これらの効果が相剰的に作用し
て、可動部の重量が小さくなり、可動部の慣性が小さく
なり、駆動に必要な推力が小さくなり、小さな駆動力で
十分となり、しかも、ステップ送り速度を速くなし、さ
らに、所望の位置に正確に停止させることができること
となる。
Ｙ方向とも同一の推力をもって駆動することはできない
が、上記の構成のＸ−Ｙステージにおいては、Ｘ、Ｙ方
向とも同一の推力をもって駆動可能である。そして、駆
動に必要な推力は、上記せるテーブルの大きさが減少す
ることによる効果を除外して考えると、一方に対しては
従来技術に係るＸ−Ｙステージのステージを移動するに
必要な推力とはＣ同一であるが、他方向に対しては繕以
下となる。また、テーブルの自重は、上記せる減少効果
に加えて、従来技術に係るＸ−Ｙステージの、上記せる
駆動推力が減少する方向に移動するステージの自重の局
以下となるので、この方向にテーブルを駆動するに要す
る推力は坏以下となる。これらの効果が相剰的に作用し
て、可動部の重量が小さくなり、可動部の慣性が小さく
なり、駆動に必要な推力が小さくなり、小さな駆動力で
十分となり、しかも、ステップ送り速度を速くなし、さ
らに、所望の位置に正確に停止させることができること
となる。
以下、図面を参照しつ（、本発明の実施例に係るＸ−Ｙ
ステージについてさらに説明する。
ステージについてさらに説明する。
第４図参照
ｌは正方形の板状体よりなるテーブルであり、その周囲
にダブテール型のＸ軸方向ガイド２とＸ軸方向ガイド３
とが設けられ、このＸ軸方向ガイド２とＸ軸方向ガイド
３とに係合するＸ軸方向支持部材４とＸ軸方向支持部材
５が設けられている。６．７は、それぞれ、Ｙ軸方向持
部材４とＸ軸方向支持部材５と固着されているＹ軸方向
軸とＸ軸方向軸とであり、その長さは、テーブルｌの移
動距離からテーブルｌの長さを引いた値必要である。８
．９は、それぞれ、Ｘ軸方向軸６とＸ軸方向軸７とを摺
動可能に支持する軸受けであり。
にダブテール型のＸ軸方向ガイド２とＸ軸方向ガイド３
とが設けられ、このＸ軸方向ガイド２とＸ軸方向ガイド
３とに係合するＸ軸方向支持部材４とＸ軸方向支持部材
５が設けられている。６．７は、それぞれ、Ｙ軸方向持
部材４とＸ軸方向支持部材５と固着されているＹ軸方向
軸とＸ軸方向軸とであり、その長さは、テーブルｌの移
動距離からテーブルｌの長さを引いた値必要である。８
．９は、それぞれ、Ｘ軸方向軸６とＸ軸方向軸７とを摺
動可能に支持する軸受けであり。
ベッドｌＯに固定される。
テーブルｌをＸ軸方向に移動するときは、Ｘ軸方向支持
部材５またはこれを支持するＸ軸方向軸７を押せばよい
。これによりＸ軸方向支持部材４がＸ軸方向ガイド２に
ガイドされて移動するので、テーブル１はＸ軸方向に移
動する。テーブルｌをＹ軸方向に移動するときは、直交
する方向に同様の操作をなせばよい。
部材５またはこれを支持するＸ軸方向軸７を押せばよい
。これによりＸ軸方向支持部材４がＸ軸方向ガイド２に
ガイドされて移動するので、テーブル１はＸ軸方向に移
動する。テーブルｌをＹ軸方向に移動するときは、直交
する方向に同様の操作をなせばよい。
テーブルｌの大きさは被移動体例えば半導体ウェーハを
乗せるに十分な大きさであればよい。
乗せるに十分な大きさであればよい。
ベッド１０の大きさまたは軸受け８と軸受け９と間の距
離はテーブルｌの移動範囲によって規定される。軸６．
７の長さはテーブル１の移動距離と同程度であればよい
。よって本実施例に係るＸ−Ｙステージの可動部の大き
さは従来技術に係るｘ−Ｙステージの可動部の大きさよ
り小さくなり、その可動部の自重は小さくなり、駆動推
力は小さくなり、ステップ送り速度を向上することがで
き、位置合わせ精度も向上する。
離はテーブルｌの移動範囲によって規定される。軸６．
７の長さはテーブル１の移動距離と同程度であればよい
。よって本実施例に係るＸ−Ｙステージの可動部の大き
さは従来技術に係るｘ−Ｙステージの可動部の大きさよ
り小さくなり、その可動部の自重は小さくなり、駆動推
力は小さくなり、ステップ送り速度を向上することがで
き、位置合わせ精度も向上する。
なお、本発明に係るＸ−Ｙステージにあっては、テーブ
ルの移動範囲外に軸が伸延することになるが、半導体装
置の製造工程等に使用する場合は半導体ウェーハ等の被
移動体が小さいこと及び、その周囲にスペースを残留す
る必要があることのため、欠点とはならない。
ルの移動範囲外に軸が伸延することになるが、半導体装
置の製造工程等に使用する場合は半導体ウェーハ等の被
移動体が小さいこと及び、その周囲にスペースを残留す
る必要があることのため、欠点とはならない。
以上説明せるとおり、本発明によれば、可動部の重量が
小さく、可動部の慣性が小さく、駆動に必要な推力が小
さく、小さな駆動力で十分であり、しかも、ステップ送
り速度を速くし、さらに、所望の位置に正確に停止させ
うるｘ−Ｙステージを提供することができる。
小さく、可動部の慣性が小さく、駆動に必要な推力が小
さく、小さな駆動力で十分であり、しかも、ステップ送
り速度を速くし、さらに、所望の位置に正確に停止させ
うるｘ−Ｙステージを提供することができる。
第１図は、本発明に係るｘ−Ｙステージの概念的構成図
であり、第２図、第３図は、第１図を、それぞれ、Ｘ軸
及びＸ軸にそって切断した断面図である。第４図は本発
明の実施例に係るＸ−Ｙステージの概念的構成図である
。第５図は従来技術に係るＸ−Ｙステージの概念的構成
図である。 ｌ・・・テーブル、 ２１１・−Ｘ軸方向ガイド。
であり、第２図、第３図は、第１図を、それぞれ、Ｘ軸
及びＸ軸にそって切断した断面図である。第４図は本発
明の実施例に係るＸ−Ｙステージの概念的構成図である
。第５図は従来技術に係るＸ−Ｙステージの概念的構成
図である。 ｌ・・・テーブル、 ２１１・−Ｘ軸方向ガイド。
Claims (1)
- Ｘ軸方向ガイド２とＹ軸方向ガイド３とを有する板状
部材よりなるテーブル１と、前記Ｘ軸方向ガイド２に摺
動可能に嵌合し前記テーブル１が前記Ｘ軸方向ガイド２
にそって移動することを許すように前記テーブルを支持
するＹ軸方向支持部材４と、前記Ｙ軸方向ガイド３に摺
動可能に嵌合し前記テーブル１が前記Ｙ軸方向ガイド３
にそって移動することを許すように前記テーブルを支持
するＸ軸方向支持部材５と、前記Ｙ軸方向支持部材４に
固着しＹ軸方向に伸延するＹ軸方向軸６と、前記Ｘ軸方
向支持部材５に固着しＸ軸方向に伸延するＸ軸方向軸７
と、前記Ｙ軸方向軸６を摺動可能に支持するＹ軸方向軸
受け８と、前記Ｘ軸方向軸７を摺動可能に支持するＸ軸
方向軸受け９とよりなるＸ−Ｙステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18197084A JPS6160107A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | Ｘ−ｙステ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18197084A JPS6160107A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | Ｘ−ｙステ−ジ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6160107A true JPS6160107A (ja) | 1986-03-27 |
Family
ID=16110046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18197084A Pending JPS6160107A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | Ｘ−ｙステ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6160107A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110132141A (zh) * | 2019-06-13 | 2019-08-16 | 上海电气集团股份有限公司 | 一种硅钢片测量的定位平台及方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5687318A (en) * | 1979-12-18 | 1981-07-15 | Toshiba Corp | Finely movable table |
| JPS58106514A (ja) * | 1981-12-21 | 1983-06-24 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 載物台 |
| JPS5836711B2 (ja) * | 1980-03-14 | 1983-08-11 | 国産金属工業株式会社 | 自動車におけるドア用ロックの遠隔操作機構 |
| JPS59178507A (ja) * | 1983-03-29 | 1984-10-09 | Omron Tateisi Electronics Co | 移動テ−ブル装置 |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP18197084A patent/JPS6160107A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5687318A (en) * | 1979-12-18 | 1981-07-15 | Toshiba Corp | Finely movable table |
| JPS5836711B2 (ja) * | 1980-03-14 | 1983-08-11 | 国産金属工業株式会社 | 自動車におけるドア用ロックの遠隔操作機構 |
| JPS58106514A (ja) * | 1981-12-21 | 1983-06-24 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 載物台 |
| JPS59178507A (ja) * | 1983-03-29 | 1984-10-09 | Omron Tateisi Electronics Co | 移動テ−ブル装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110132141A (zh) * | 2019-06-13 | 2019-08-16 | 上海电气集团股份有限公司 | 一种硅钢片测量的定位平台及方法 |
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